JP6820380B2 - ダミーセルの制御方法および半導体装置 - Google Patents
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Description
20:ビット線選択回路
30:強く消去されたメモリセル
Ic:セル電流
BLE、BLO:グローバルビット線
100:フラッシュメモリ
Claims (14)
- フラッシュメモリのNANDストリングに含まれるダミーセルを制御する方法であって、
選択されたブロックの消去後に、当該ブロックのダミーセルに接続されたダミーワード線にプログラム電圧を印加してダミーセルをプログラム状態にプログラムするステップを含み、
メモリセルアレイは複数のプレーンを含み、NANDストリングに含まれるビット線側選択トランジスタおよびソース線側選択トランジスタを駆動するための選択信号が複数のプレーンに共通に供給される、方法。 - NANDストリングは、ビット線側選択トランジスタとメモリセルとの間に接続された第1のダミーセルとソース線側選択トランジスタとメモリセルとの間に接続された第2のダミーセルとを含み、
前記プログラムするステップは、第1および第2のダミーセルの少なくとも一方をプログラムする、請求項1に記載の方法。 - 前記プログラムするステップは、第2のダミーセルをプログラムする、請求項2に記載の方法。
- 前記プログラム状態は、ダミーワード線にGNDレベルの電圧が印加されたときにダミーセルが導通しない状態である、請求項1に記載の方法。
- 前記選択されたブロックの消去は、内部の消去コマンドに応答して行われる、請求項1に記載の方法。
- ダミーセルを含むNANDストリングが形成されたメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイの選択したブロックを消去する消去手段と、
前記消去手段によりブロックの消去後に、ダミーセルに接続されたダミーワード線にプログラム電圧を印加してダミーセルをプログラム状態にプログラムするプログラム手段と、
NANDストリングに含まれるビット線側選択トランジスタおよびソース線側選択トランジスタを駆動するための選択信号を出力する駆動手段とを有し、
当該駆動手段は、前記メモリセルアレイの複数のプレーンによって共有される、半導体装置。 - NANDストリングは、ビット線側選択トランジスタとメモリセルとの間に接続された第1のダミーセルとソース線側選択トランジスタとメモリセルとの間に接続された第2のダミーセルとを含み、
前記プログラム手段は、第1および第2のダミーセルの少なくとも一方をプログラムする、請求項6に記載の半導体装置。 - 前記プログラム手段は、第2のダミーセルをプログラムする、請求項7に記載の半導体装置。
- 前記プログラム状態は、ダミーワード線にGNDレベルの電圧が印加されたときにダミーセルが導通しない状態である、請求項6に記載の半導体装置。
- ダミーセルを含むNANDストリングが形成されたプレーンを複数有するメモリセルアレイと、
アドレス情報に基づき複数のプレーンのそれぞれのブロックを選択する選択手段と、
NANDストリングに含まれるビット線側選択トランジスタおよびソース線側選択トランジスタを駆動するための選択信号を前記選択手段で選択された複数のプレーンの各ブロックに共通に出力する駆動手段と、
前記選択手段によって選択されたブロックを消去するとき、当該ブロックの消去後に当該ブロックに含まれるダミーセルをプログラム状態にプログラムするダミーセル制御手段と、
を含む半導体装置。 - 半導体装置はさらに、複数のプレーンの中からいずれかのプレーンを選択するプレーン選択手段を含み、
前記選択手段は、前記プレーン選択手段によって選択されたプレーンおよび非選択プレーンの各ブロックを選択する、請求項10に記載の半導体装置。 - 非選択プレーンのダミーセルは、ダミーワード線に印加された電圧によって導通しない、請求項10に記載の半導体装置。
- 半導体装置はさらに、前記選択手段によって選択されたブロックのページを読み出す読出し手段を含み、当該読出し手段は、選択されたプレーンのダミーワード線にプログラム状態の如何にかかわらずダミーセルが導通する読出し電圧を印加し、非選択プレーンのダミーワード線にGNDレベルの電圧を印加する、請求項11または12に記載の半導体装置。
- フラッシュメモリの制御方法であって、
第1のコマンドを受け取り、前記フラッシュメモリの複数のプレーンを選択されたプレーンと非選択プレーンに分けるステップと、
前記非選択プレーンのNANDストリングのダミーセルをプログラムするステップであって、当該プログラムされたダミーセルは前記第1のコマンドに応答してオフする、前記プログラムするステップと、
前記ダミーセルがプログラムされた後、前記第1のコマンドにより共通に前記選択されたプレーンの選択トランジスタのゲートおよび前記非選択プレーンの選択トランジスタのゲートに選択信号を提供し、前記選択プレーンに関して消去以外の動作を行うため前記選択トランジスタをオンするステップとを有し、
前記ダミーセルは、前記選択トランジスタとメモリセルとの間に配置される、制御方法。
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