JP6810301B1 - クリーンブース - Google Patents

Abstract

本発明は、空気の清浄度が確保されており外部の汚染も抑制される空間を簡便に形成することができる組立式のクリーンブースを提供するものである。クリーンブース（１００）は、組み立てられた状態で、フレーム（１０）と、フレーム（１０）に設けられて内部空間を形成する壁部（２０）と、を備え、壁部（２０）に設けられ、第１フィルタを介して内部空間内に給気する第１ファンを有する第１ユニット（５０）と、壁部（２０）に設けられ、内部空間内の空気を第２フィルタを介して内部空間外に排気する第２ファンを有する第２ユニット（６０）と、を備えた。

Description

本発明は、組み立ておよび解体が可能な組立式のクリーンブースに関する。

医療分野、工業分野、理化学分野等では、空気の清浄度を確保するために、クリーンルームが用いられている。抵抗力が低下した患者等の治療や、医薬品、半導体等の製造の際には、汚染物の侵入を防ぐために、陽圧室のクリーンルームが用いられている。また、感染症の罹患者等の診療・治療や、病原体、遺伝子組換え体、放射性物質等の取り扱いの際には、危険物の漏洩を防ぐために、陰圧室のクリーンルームが用いられている。

従来、このような空間を簡易的に実現する設備として、組立式のクリーンブースが知られている。組立式のクリーンブースは、本体の骨格を形成し、組立てられたた状態で内部空間を内包するフレームや、フレーム同士の間を閉塞し、内部空間と外部空間とを隔てるスクリーン等で構成される。組立式のクリーンブースは、使用時に組み立てられ、不使用時には解体されるため、軽量で簡易的な構造に設けられている。

組立式のクリーンブースには、多くの場合、送風ファンが備えられる。送風の方式としては、内部空間に対して給気のみを行うワンパス方式が広く用いられている。ワンパス方式では、ブース外の空気を、防塵フィルタを介して内部空間に給気し、空気を内部空間中に一方向的に流して排気する。組立式のクリーンブースには、搬送・組み立て・解体の容易性が求められるため、排気時に防塵フィルタやファンを介さず、底部側からそのまま排気する陽圧型のワンパス方式が普及している。

特許文献１には、吸気ファンと排気ファンの両方を設けた組立式のクリーンブースが記載されている。吸気ファンや排気ファンとしては、市販されている換気扇等を使用することができる、とされている（段落００６５参照）。また、送風機のＯＮ／ＯＦＦを管理するだけで、室内を陽圧にも陰圧にも調整することができる、とされている（段落００７１参照）。ＨＥＰＡフィルタは、室内を陽圧にする場合に吸気側、室内を陰圧にする場合に排気側に設置される、とされている（段落００７４参照）。

特開２０１１−２３１９８９号公報

医療分野等の各種の分野において、空気の清浄度が要求される作業・行為を、外部の汚染を避けつつ、組立式のクリーンブース内で行いたい、という要求がある。従来、空気の清浄度が要求される作業・行為は、陽圧室で行われるのが一般的となっている。しかし、作業・行為を行う内部空間に、漏洩を避けるべき汚染物が潜在的に内在していたり、内部空間における作業・行為に伴って汚染物が生じたりするケースがある。

このような汚染物は、クリーンブースが陽圧室である場合には、ブース外に向けて拡散し易いといえる。組立式のクリーンブースが、汚染物を外部に向けて漏洩し易い構造であると、設置場所や設置条件が制約されることになるため、組立式としての利点が損なわれることが課題となっている。

例えば、感染症の罹患者等の診療・治療を行う場合、病原体の外部への漏洩を防止することが望まれるため、一般的には、陰圧室が有効である。その一方で、診療・治療に従事する医療関係者が、ブース内で感染する危険性もあるため、ブース内の空気の清浄度を確保することも望まれる。

感染症の罹患者等の診療・治療を行う際には、病床数が不足することも想定されるため、組立式のクリーンブースを、医療施設の屋内等の適宜の場所に設置できるとよい。しかし、組立式のクリーンブースを設置する空間に、感染を避けるべき患者、医療関係者等がいることも想定される。

特許文献１に記載された技術では、ＨＥＰＡフィルタが、吸気側および排気側のいずれかに設置されるため、ブース内の空気の清浄度とブース外の汚染の抑制が両立しない点に問題がある。そのため、ブース内の空気の清浄度が確保されており、ブース外の汚染も抑制される組立式のクリーンブースが望まれる。

そこで、本発明は、空気の清浄度が確保されており外部の汚染も抑制される空間を簡便に形成することができる組立式のクリーンブースを提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明に係るクリーンブースは、組み立てられた状態で、土台、柱および梁を構成するフレームと、前記フレーム間に設けられて内部空間を形成する壁部と、を備えたクリーンブースにおいて、前記壁部に設けられ、第１フィルタを介して前記内部空間内に給気する第１ファンを有する第１ユニットと、前記壁部に設けられ、前記内部空間内の空気を第２フィルタを介して前記内部空間外に排気する第２ファンを有する第２ユニットと、を備え、前記内部空間の床は、前記クリーンブースが設置された建屋の床であり、当該建屋の床と対向する前記土台を構成するフレームに緩衝部材を設けた。

本発明によると、空気の清浄度が確保されており外部の汚染も抑制される空間を簡便に形成することができる組立式のクリーンブースを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るクリーンブースの外観を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係るクリーンブースの外観を示す斜視図である。 図２のクリーンブースの平断面図である。 図２のクリーンブースの正面図である。 図２のクリーンブースの側断面図である。 クリーンブースの下端の構造例を示す斜視断面である。 クリーンブースの電源の構成例を示すブロック図である。 ファンフィルタユニットのファンの回転速度とファンが形成する差圧との関係を示す図である。

以下、本発明の一実施形態に係るクリーンブースについて、図を参照しながら説明する。なお、以下の各図において、共通する構成については同一の符号を付して重複した説明を省略する。

図１は、本発明の一実施形態に係るクリーンブースの外観を示す斜視図である。図１には、組立式のクリーンブースの一例が組み立てられた状態を、上方から俯瞰する視点で示している。
図１に示すように、クリーンブース１００は、組み立てられた状態で、ブース本体の骨格を形成するフレーム１０と、フレーム１０に設けられて内部空間を形成する壁部２０と、を備えている。

クリーンブース１００のブース本体は、複数のフレーム１０や複数の壁部２０の組み合わせによって構成されている。クリーンブース１００は、ブース本体の内側に、外部空間から隔てられる内部空間を有している。

図１には、組み立てられたクリーンブース１００のブース本体に対して、ファンフィルタユニット（Fan Filter Unit：ＦＦＵ）５０，６０が組み付けられた状態を示している。

クリーンブース１００は、外部空間から隔てられており、且つ、空気の清浄度が確保されている内部空間を、外部空間よりも圧力が低い陰圧室として提供するものである。クリーンブース１００は、図１に示すように、組み立てられた状態で使用される。クリーンブース１００は、不使用時には、解体することが可能であり、解体された状態で保管することができる。

クリーンブース１００は、組み立てられた状態において、内部空間の圧力（室圧）が、後記するファンフィルタユニットによって、外部空間の圧力よりも低い陰圧に調整される。また、組み立てられた状態において、内部空間の空気の清浄度が、後記するファンフィルタユニットによって、外部空間よりも高い状態に調整される。すなわち、所定の大きさ以上の塵埃等の個数が外部空間よりも少ない陰圧室が形成される。

クリーンブース１００の内部空間は、空気の清浄度が要求される作業・行為に用いられる。空気の清浄度が要求される作業・行為としては、例えば、感染症の罹患者等の診療・治療、患者の診察・隔離、検診等が挙げられる。但し、内部空間で行う作業・行為は、医療分野の作業・行為に限定されるものではなく、医薬品、半導体等の製造をはじめとする工業分野の作業や、病原体、遺伝子組換え体、放射性物質等の取り扱いをはじめとする理化学分野の作業等であってもよい。

図１において、クリーンブース１００は、組み立てられた状態において、略立方体状の六面体を呈するように設けられている。但し、クリーンブース１００のブース本体は、底面側が開口しており、天井部および側面部を有する一方で、底面部を有していない。ブース本体の底面側では、クリーンブース１００が組み立てられた場所の床面、地面等が内部空間を隔てる。

このように、組み立てられた場所の接地面を利用する構造によると、底面部を組み立てる必要がないため、ブース本体の組み立てを速やかに行うことができる。また、底面部を形成する部材が不要になるため、ブース本体を構成する部材の全体について、軽量化を図ることができる。

図１において、クリーンブース１００は、ブース本体の内側に、室圧や空気の清浄度が調整される内部空間として、一室を有している。クリーンブース１００のブース本体は、複数のフレーム１０が組み合わされて形成されており、主として、土台、柱および梁によって成り立っている。

フレーム１０は、それぞれ、直線的な柱状の部材として設けられることが好ましい。柱状の部材であると、クリーンブース１００を組み立てる前の状態において、搬送が容易になる。また、ブース本体を構成する部材を保管するための空間について、省スペース化を図ることができる。

フレーム１０の材料としては、例えば、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ合金等のアルミニウム合金、炭素鋼、ステンレス鋼、合成樹脂等が挙げられる。フレーム１０の材料としては、アルミニウム合金が好ましい。アルミニウム合金によると、フレームを軽量に設けることができるため、ブース本体の組み立てや解体が容易になる。フレーム１０の幅や厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、３０〜５０ｍｍとすることができる。

図１において、土台のフレーム１０としては、互いに平行に配置された２本の縦土台部材１１ａと、この縦土台部材１１ａに直交するように互いに平行に配置された横土台部材１１ｂと、が備えられている。なお、図１には、これらの部材のうち、ブース本体の前側と右側に位置する部材のみを示している。

また、柱のフレーム１０としては、土台の四隅に立設された４本の柱部材１２ａと、この柱部材１２ａ同士の間に立設された８本の支柱部材１２ｂと、が備えられている。なお、図１には、これらの部材のうち、ブース本体の前側と右側に位置する部材のみを示している。

また、梁のフレーム１０としては、互いに平行に配置された２本の縦梁部材１３ａと、この縦梁部材１３ａに直交するように互いに平行に配置された２本の横梁部材１３ｂと、縦梁部材１３ａの間に平行に架された２本の中間梁部材１３ｃと、が備えられている。

縦土台部材１１ａおよび横土台部材１１ｂは、ブース本体の底面部の骨格を形成している。縦梁部材１３ａおよび横梁部材１３ｂは、ブース本体の天井部の骨格を形成している。柱部材１２ａは、縦土台部材１１ａや、横土台部材１１ｂや、縦梁部材１３ａや、横梁部材１３ｂと共に、ブース本体の側面部の骨格を形成している。

支柱部材１２ｂは、ブース本体の側面部を略三等分する位置に配置されている。柱部材１２ａや支柱部材１２ｂにより、縦梁部材１３ａや横梁部材１３ｂが鉛直方向から支持されている。また、中間梁部材１３ｃは、ブース本体の天井部を略三等分する位置に配置されている。縦梁部材１３ａや中間梁部材１３ｃにより、横梁部材１３ｂ同士が水平方向から支持されている。このような構造によると、ブース本体の強度や剛性が高められる。

図１に示すように、ブース本体の天井部には、ユニット支持部材１５が備えられている。ユニット支持部材１５としては、薄板状の受面が設けられた柱状の部材が２本組み込まれている。各ユニット支持部材１５は、ブース本体の左側に位置する一方の縦梁部材１３ａと、この縦梁部材１３ａに隣接する中間梁部材１３ｃとの間に、互いに平行に架された状態で固定されており、ブース本体の天井部の片側に偏在している。

このユニット支持部材１５は、給気用のファンフィルタユニット（第１ユニット）５０を載置して固定するための部位となっている。ユニット支持部材１５の受面には、密着性と気密性を確保するために、不図示のパッキンが取り付けられる。パッキンとしては、弾性を有し、気体透過性が低い合成樹脂材等が用いられる。

クリーンブース１００が組み立てられた状態において、ユニット支持部材１５の上面には、給気用のファンフィルタユニット５０が吐出側を下方に向けて固定される。ユニット支持部材１５の間に形成される開口部は、ファンフィルタユニット５０とパッキンによって気密に閉塞される。

また、図１に示すように、ブース本体の右側に位置する一つの側面部には、ユニット接続部材１６が備えられている。ユニット接続部材１６としては、薄板状の密着代が設けられた柱状の部材が備えられている。ユニット接続部材１６は、ブース本体の側面部に配置された２本の支柱部材１２ｂ同士の間に、水平に架された状態で固定されており、ブース本体の側面部の下部側に偏在している。

このユニット接続部材１６は、排気用のファンフィルタユニット（第２ユニット）６０を密着させて固定するための部位となっている。ユニット接続部材１６の密着代には、密着性と気密性を確保するために、不図示のパッキンが取り付けられる。パッキンとしては、弾性を有し、気体透過性が低い合成樹脂材等が用いられる。

クリーンブース１００が組み立てられた状態において、ユニット接続部材１６の外側には、ファンフィルタユニット６０が吸込側を内側に向けて固定される。ユニット接続部材１６に形成される開口部は、ファンフィルタユニット６０とパッキンによって気密に閉塞される。

なお、受面やパッキンは、ユニット支持部材１５と同様に、縦梁部材１３ａや中間梁部材１３ｃにも設けることができる。また、密着代やパッキンは、接続部材１６と同様に、支柱部材１２ｂや縦土台部材１１ａにも設けることができる。また、パッキンは、開口部の形状に合わせて、ファンフィルタユニット５０，６０側に固着させておくこともできる。なお、ファンフィルタユニット５０，６０は、クリーンブース１００の正面から見たときに略対角上に配置されているので、クリーンブース１００が転倒しにくい。

これらの縦土台部材１１ａ、横土台部材１１ｂ、柱部材１２ａ、支柱部材１２ｂ、縦梁部材１３ａ、横梁部材１３ｂ、中間梁部材１３ｃ、ユニット支持部材１５、および、ユニット接続部材１６は、クリーンブース１００の設置時において、互いに組み立てられ、ボルト、ナット等で互いに固定される。また、ユニット支持部材１５や、ユニット接続部材１６には、ファンフィルタユニット５０，６０を固定するために、ボルトが羅合可能な固定部等を設けておくことができる。

図１に示すように、ブース本体の側面部には、内部空間に対して入退出を可能にするために、開閉自在なドア１４が備えられる。図１において、ドア１４は、ブース本体の前側の側面部において、２本の支柱部材１２ｂ同士の間に配置されている。ドア１４は、支柱部材１２ｂ同士の間に形成される開口部を閉塞する幅に設けられている。

ドア１４は、例えば、アクリル樹脂等の合成樹脂材や、軽量な金属材等によって、パネル状等に設けることができる。ドア１４は、外開きの開き戸として設けられる。陰圧で閉じ易い外開きの方式により、内部空間の密閉性を補うことができる。

ドア１４の取り付け方式は、例えば、差し込み式の蝶番を用いる方式とすることができる。軸側と孔側で構成される一対の蝶番を、ドア１４と、ドア１４に隣接する一方の支柱部材１２ｂとに、それぞれ固定しておく。このような方式によると、ドア１４の蝶番をフレーム１０の蝶番に差し込むだけで、ドア１４を組み付けることができる。また、組み付けられているドア１４を持ち上げるだけで、ドア１４を取り外すことができる。

以上のとおり、クリーンブース１００のブース本体は、主要な開口部として、ドア１４が取り付けられる部位と、給気用のファンフィルタユニット５０が取り付けられる部位と、排気用のファンフィルタユニット６０が取り付けられる部位と、を有している。これらの開口部が、主要な通気経路となり、内部空間に対する給気や、内部空間からの排気が許容される。

互いに組み立てられたフレーム１０同士の間等には、これらの開口部と、ブース本体の底面側とを除いて、壁部２０が設けられる。壁部２０は、スクリーンによって形成される。ブース本体の開口部を除いた部位は、スクリーンで形成される壁部２０によって、内部空間と外部空間との間における気密性が確保される。なお、これらの部位以外に、電気機器の配線や、通信回線の配線等のために、微小な開口部が形成される。但し、このような微小な開口部は、シール材によって閉塞される。シール材としては、塩化ビニル樹脂等の合成樹脂で形成されたテープ等が用いられる。

壁部２０を形成するスクリーンは、可撓性を有するシート状であってもよいし、剛性を有するパネル状であってもよいが、シート状であることが好ましい。スクリーンの材料としては、例えば、塩化ビニル樹脂等の合成樹脂を用いることができる。シート状のスクリーンの厚さは、例えば、０．３〜２．０ｍｍとすることができる。スクリーンは、透明、半透明、不透明等のように、適宜の光透過性に設けることができる。

壁部２０を形成するスクリーンは、フレーム１０に対して着脱式とすることができる。加工繊維で形成された面ファスナを、スクリーンの一面の外縁部と、フレーム１０の表面とに、それぞれ固着させておく。このような方式によると、フレーム１０に対するスクリーンの貼り付けと引き剥がしが可能であり、不使用時には、フレーム１０と壁部２０を形成するスクリーンとを、解体された状態で搬送、保管等することができる。壁部２０を形成するスクリーンが可撓性を有するシート状であれば、折り畳み状態や巻回状態で搬送、保管等することもできる。

図１に示すように、クリーンブース１００には、組み立てられた状態において、内部空間を形成する壁部２０に、給気用のファンフィルタユニット（第１ユニット）５０と、排気用のファンフィルタユニット（第２ユニット）６０と、が備えられる。

ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）５０，６０は、気体を吸気し、吸気した気体から塵埃等を除去して、清浄度が高められた気体（所定の大きさ以上の塵埃等の個数が低減された気体）を送風する装置である。ファンフィルタユニット５０，６０は、通過する気体から塵埃等を除去するフィルタ、給気または排気のために気体を送風するファン、ファンの回転速度を制御する制御装置等を備える。

ＦＦＵのフィルタは、塵埃等の粒子を捕集するために、空気の流路や、流路に対して設けられて流線を変えるセパレータや、繊維等の濾材等によって構成される。フィルタとしては、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタ、ＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air）フィルタ等の防塵フィルタが用いられる。

ＦＦＵのファンは、回転可能なインペラ等のファン本体や、ファン本体の回転運動を駆動するファンモータ等によって構成される。ファンとしては、例えば、プロペラファン等の軸流ファン等が用いられる。ファンモータとしては、直流モータ、誘導電動機等が用いられる。直流モータとしては、ブラシレス直流モータ、および、ブラシ付き直流モータのいずれを用いることもできる。

給気用のファンフィルタユニット（第１ユニット）５０は、内蔵しているフィルタ（第１フィルタ）を介して、ブース本体の内部空間内に給気するファン（第１ファン）を有する。ファンフィルタユニット５０は、クリーンブース１００の外部の空気を吸い込み、フィルタを通過した空気を、ブース本体の内部空間に吐出する。

排気用のファンフィルタユニット（第２ユニット）６０は、ブース本体の内部空間内の空気を、内蔵しているフィルタ（第２フィルタ）を介して、ブース本体の内部空間外に排気するファン（第２ファン）を有する。ファンフィルタユニット６０は、ブース本体の内部空間の空気を吸い込み、フィルタを通過した空気を、クリーンブース１００の外部に吐出する。

クリーンブース１００において、排気用のファンフィルタユニット６０による排気風量は、給気用のファンフィルタユニット５０による給気流量よりも大きくなるように制御される。このような制御によって、内部空間の圧力（室圧）が、外部空間の圧力よりも低い陰圧に調整される。内部空間の圧力値は、外部空間の圧力よりも低圧である限り、特に限定されるものではない。

ファンの回転速度の好ましい一つの制御方式は、給気側のファンの回転速度および排気側のファンの回転速度の両方を一定速に制御する方式である。給気側および排気側のファンモータとしては、ブラシ付き直流モータ、誘導電動機等のいずれを用いることもできる。

このような制御方式とする場合、給気用のファンフィルタユニット５０および排気用のファンフィルタユニット６０は、内部空間に要求される陰圧の大きさに応じて、ファンの回転速度が互いに異なる回転速度に段階的に変更できるように、送風量毎に回転速度を切り替える切替式に設けることが好ましい。給気側および排気側の各ファンの回転速度は、切り替えの段階毎に、予め設定しておくことができる。

このような制御方式によると、給気側のファンの回転速度および排気側のファンの回転速度の両方を一定速に制御するため、内部空間に要求される陰圧の大きさに応じて、給気側および排気側の各ファンの回転速度を切り替えるだけで、特定の陰圧に調整することができる。また、内部空間の圧力が安定し易いため、内部空間が陽圧になる危険性を低減することができる。

ファンの回転速度の好ましい別の制御方式は、給気側のファンの回転速度を一定速に制御し、排気側のファンの回転速度を可変速に制御する方式である。給気側のファンモータとしては、ブラシ付き直流モータ、誘導電動機等のいずれを用いることもできる。排気側のファンモータとしては、ブラシレス直流モータ、誘導電動機等のいずれを用いることもできる。

このような制御方式とする場合、給気用のファンフィルタユニット５０は、内部空間に要求される陰圧の大きさに応じて、ファンの回転速度が互いに異なる回転速度に段階的に変更できるように、送風量毎に回転速度を切り替える切替式に設けることが好ましい。一方、排気用のファンフィルタユニット６０は、インバータによって可変速に制御する。排気側のファンの回転速度は、内部空間の室圧を目標値に制御するために、圧力センサ９０による室圧の計測に基づいて、フィードバック制御することが好ましい。

このような制御方式によると、給気側のファンの回転速度を一定速に制御し、排気側のファンの回転速度を可変速に制御するため、内部空間に形成される陰圧を目標値とするにあたり、排気側のファンの回転速度のみが可変速に制御されることになり、ハンチング現象の発生が防止される。一般に、給気側のファンと排気側のファンの両方を可変速とした場合には、ハンチング現象で周期的な変動を生じるため、室圧が安定し難くなる。しかしこのような制御方式であれば、内部空間に形成される陰圧を目標値に制御しつつ、内部空間が陽圧になる危険性も低減することができる。

給気用のファンフィルタユニット５０は、図示するように、ブース本体の天井部や、ブース本体の側面部の上部側に配置することが好ましい。一方、排気用のファンフィルタユニット６０は、図示するように、ブース本体の側面部の下部側に配置することが好ましい。

このような配置とすると、空気がブース本体内の上部側から下部側に向けて一方向的に流れる。そのため、塵埃、危険物、汚染物等が気流で舞い上がるのを抑制しつつ、室圧の調整や空気の清浄化を行うことができる。ブース本体は、底面側が開口している構造であるものの、空気がブース本体内の上部側から下部側に向けて一方向的に流れると、外部空間から内部空間への塵埃の侵入も抑制することができる。

以上のクリーンブース１００によると、組立式のブース本体に対して、フィルタおよびファンを備えた給気用のファンフィルタユニット５０と、フィルタおよびファンを備えた排気用のファンフィルタユニット６０が、容易に取り付けられる。給気側と排気側の両方でフィルタを介した送風が行われるため、ブース内の空気の清浄度が確保されるだけでなく、ブース外への汚染物の漏洩も防ぐことができる。また、給気側と排気側の両方にファンがあるため、これらのファンの制御と大きな差圧の形成によって、高精度な陰圧を安定的に維持することができる。また、組立式のブース本体は、搬送・組み立て・解体が容易である。よって、このようなクリーンブースによると、清浄度が確保されており、外部の汚染も抑制される空間を、簡便に形成することができる。

次に、本発明に係るクリーンブースの別の実施形態について、図を参照しながら説明する。

図２は、本発明の一実施形態に係るクリーンブースの外観を示す斜視図である。図３Ａは、図２のクリーンブースの平断面図である。図３Ｂは、図２のクリーンブースの正面図である。図３Ｃは、図２のクリーンブースの側断面図である。図２には、組立式のクリーンブースの一例が組み立てられた状態を、上方から俯瞰して示している。図３Ｃは、図３ＡにおけるＩ−Ｉ線断面図である。

図２、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、クリーンブース２００は、前記のクリーンブース１００と同様に、組み立てられた状態で、ブース本体の骨格を形成するフレーム１０と、フレーム１０に設けられて内部空間を形成する壁部２０と、を備えている。

クリーンブース２００のブース本体は、前記のクリーンブース１００と同様に、複数のフレーム１０や複数の壁部２０の組み合わせによって構成されている。クリーンブース２００は、ブース本体の内側に、外部空間から隔てられる内部空間を有している。

図２、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃには、組み立てられたクリーンブース２００のブース本体に対して、２基の給気用のファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂと、２基の排気用のファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂと、が組み付けられた状態を示している。

クリーンブース２００は、外部空間から隔てられており、且つ、空気の清浄度が確保されている内部空間を、外部空間よりも圧力が低い陰圧室として提供するものである。クリーンブース２００は、図２、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、組み立てられた状態で使用される。クリーンブース２００は、不使用時には、解体することが可能であり、解体された状態で保管することができる。

クリーンブース２００は、前記のクリーンブース１００と同様に、土台のフレーム１０として複数の土台部材１１や、柱のフレーム１０として複数の柱部材１２や、梁のフレーム１０として複数の縦梁部材１３を用いて形成されている。これらのフレーム１０、壁部２０等の基本的な構成は、前記のクリーンブース１００と同様である。

クリーンブース２００は、前記のクリーンブース１００と同様に、室圧や空気の清浄度が調整される内部空間として、主室２１０を有している。一方、クリーンブース２００は、前記のクリーンブース１００とは異なり、ブース本体の内側に、複数室を有している。クリーンブース２００は、主室２１０に加えて、前室２２０と、副前室２３０と、機械室２４０と、を有している。

主室２１０は、ブース本体の内側において、最も広い部屋となっており、ブース本体の後側に設けられている。前室２２０は、主室２１０よりも狭い部屋となっており、主室２１０よりも前側であって、ブース本体の右側に設けられている。副前室２２０は、主室２１０や前室２２０よりも狭い部屋となっており、主室２１０よりも前側であって、ブース本体の左側に設けられている。

主室２１０、前室２２０および副前室２３０は、着脱式のスクリーンによって形成される壁部２０によって、クリーンブース２００の外部から隔てられている。また、主室２１０、前室２２０および副前室２３０は、着脱式のスクリーンによって形成される壁部２０によって、互いに隔てられている。

機械室２４０は、主室２１０よりも前側であって、前室２２０と副前室２３０との間に設けられている。機械室２４０は、着脱式のスクリーンによって形成される壁部２０によって、主室２１０、前室２２０および副前室２３０から隔てられている。但し、機械室２４０は、ブース本体の内側に区画されているものの、側面部の一部が壁部２０で隔てられてなく、クリーンブース２００の外部に対して開放されている。

主室２１０は、内部空間の圧力（室圧）が、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）によって、クリーンブース２００の外部や、前室２２０や、副前室２３０よりも低い陰圧に調整される。また、主室２１０は、空気の清浄度が、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）によって、クリーンブース２００の外部や、前室２２０や、副前室２３０よりも高い状態に調整される。

一方、前室２２０や副前室２３０は、内部空間の圧力や空気の清浄度が積極的に調整される部屋とはなっていない。前室２２０や副前室２３０は、気密性については確保されるが、内部空間の圧力や空気の清浄度は、主室２１０から流入する空気に依存する。

主室２１０は、空気の清浄度が要求される作業・行為に用いられる。空気の清浄度が要求される作業・行為としては、例えば、感染症の罹患者等の診療・治療、患者の診察・隔離、検診等が挙げられる。但し、内部空間で行う作業・行為は、医療分野の作業・行為に限定されるものではなく、工業分野の作業や、理化学分野の作業等であってもよい。

前室２２０や副前室２３０は、主室２１０に対する外部からの影響を緩和する機能を有している。但し、前室２２０や副前室２３０は、各種の作業・行為に用いられてもよい。前室２２０の具体的な用途としては、例えば、作業・行為の従事者等の更衣、従事者等が着用している衣類等の空気洗浄等が挙げられる。副前室２３０の具体的な用途としては、例えば、廃棄物の搬出、作業・行為に用いられる道具や機器等の搬入出、試料や検体等の搬入出等が挙げられる。

機械室２４０は、排気用のファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂや、電気部品ボックス８０が配置される空間となっている。電気部品ボックス８０には、クリーンブース２００で使用される電源や、電気機器を制御するための制御器、電気機器を操作するための操作器等を含む制御盤ユニットが収納される。

また、図３Ａにおいて、機械室２４０と主室２１０とを隔てる壁部２０の主室２１０側には、室圧を計測するための圧力センサ９０が設置されている。圧力センサ９０は、排気用のファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂのファンの回転速度を可変速に制御する場合に用いることができる。但し、圧力センサ９０を設置する位置は、このような位置に制限されるものではない。可変速に制御しない場合、圧力センサ９０の設置は省略されてもよい。

図２、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃにおいて、クリーンブース２００は、組み立てられた状態において、平たい直方体状の六面体を呈するように設けられている。但し、クリーンブース２００のブース本体は、前記のクリーンブース１００と同様に、底面側が開口しており、天井部および側面部を有する一方で、底面部を有していない。ブース本体の底面側では、クリーンブース２００が組み立てられた場所の床面、地面等が内部空間を隔てる。

フレーム１０に設けられて内部空間を形成する壁部２０は、主室２１０の天井部および側面部や、前室２２０の天井部および側面部や、副前室２３０の天井部および側面部に備えられることになる。一方、主室２１０、前室２２０および副前室２３０の底面側には、フレーム１０に設けられて内部空間を形成する壁部２０は備えられない。

図２、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、クリーンブース２００のブース本体の前側の側面部は、前室２２０の前壁を形成している。前室２２０の前壁には、前室２２０に対して入退出を可能にするために、開閉自在な外側主ドア３１が備えられている。また、前室２２０の後壁には、主室２１０に対して入退出を可能にするために、開閉自在な内側主ドア３２が、外側主ドア３１に対向する位置に備えられている。

主室２１０に対する入退出は、主として、前室２２０を通過する経路で行うことができる。主室２１０に対する入退出は、前室２２０を介する場合、原則として、外側主ドア３１と内側主ドア３２とが同時に開放されないように行う。これらのドアには、同時に開放されないように、インターロック機能を備えてもよい。

また、クリーンブース２００のブース本体の前側の側面部は、副前室２３０の前壁を形成している。副前室２３０の前壁には、副前室２３０に対して入退出を可能にするために、開閉自在な外側副ドア３３が備えられている。また、副前室２３０の後壁には、主室２１０に対して入退出を可能にするために、開閉自在な内側副ドア３４が、外側副ドア３３に対向する位置に備えられている。

主室２１０に対する入退出は、副前室２３０を通過する経路で行うことも可能になっている。主室２１０に対する入退出は、副前室２３０を介する場合、原則として、外側副ドア３３と内側副ドア３４とが同時に開放されないように行う。これらのドアには、同時に開放されないように、インターロック機能を備えてもよい。

外側主ドア３１、内側主ドア３２、外側副ドア３３、および、内側副ドア３４は、例えば、アクリル樹脂等の合成樹脂材や、軽量な金属材等によって、パネル状等に設けることができる。これらのドアは、前記のドア１４と同様に、外開きの開き戸として設けられる。また、これらのドアの取り付け方式は、前記のドア１４と同様に、差し込み式の蝶番を用いる方式とすることができる。

図２、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、クリーンブース２００には、組み立てられた状態において、内部空間を形成する壁部２０に、給気用のファンフィルタユニット（第１ユニット）５０ａ，５０ｂと、排気用のファンフィルタユニット（第２ユニット）６０ａ，６０ｂと、が備えられる。

ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）５０ａ，５０ｂ，６０ａ，６０ｂは、前記のファンフィルタユニット５０，６０と同様に、気体を吸気し、吸気した気体から塵埃等を除去して、清浄度が高められた気体（所定の大きさ以上の塵埃等の個数が低減された気体）を送風する装置である。ファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂ，６０ａ，６０ｂは、前記のファンフィルタユニット５０，６０と同様に、通過する気体から塵埃等を除去するフィルタ、給気または排気のために気体を送風するファン、ファンの回転速度を制御する制御装置等を備える。

給気用のファンフィルタユニット（第１ユニット）５０ａ，５０ｂは、内蔵しているフィルタ（第１フィルタ）を介して、主室２１０（内部空間）内に給気するファン（第１ファン）を有する。これらのファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂは、クリーンブース２００の外部の空気を吸い込み、フィルタを通過した空気を、主室２１０（内部空間）に吐出する。図２には、主室２１０に吐出される空気の流れを、矢印で模式的に示している。

排気用のファンフィルタユニット（第２ユニット）６０ａ，６０ｂは、主室２１０（内部空間）内の空気を、内蔵しているフィルタ（第２フィルタ）を介して、主室２１０（内部空間）外に排気するファン（第２ファン）を有する。これらのファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂは、主室２１０の空気を吸い込み、フィルタを通過した空気を、クリーンブース２００の外部に吐出する。図２には、機械室２４０を通じて吐出される空気の流れを、矢印で模式的に示している。

クリーンブース２００において、排気用のファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂによる合計の排気風量は、給気用のファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂによる合計の給気流量よりも大きくなるように制御される。このような制御によって、主室２１０の圧力（室圧）が、クリーンブース２００の外部や、前室２２０や、副前室２３０よりも低い陰圧に調整される。主室２１０の圧力値は、クリーンブース２００の外部の圧力よりも低圧である限り、特に限定されるものではない。

給気用のファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂや排気用のファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂのファンの回転速度の制御方式は、前記のファンフィルタユニット５０，６０と同様の方式とすることができる。給気側のファンの回転速度および排気側のファンの回転速度の両方を一定速に制御する方式や、給気側のファンの回転速度を一定速に制御し、排気側のファンの回転速度を可変速に制御する方式が好ましい方式となる。

給気用のファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂは、図２、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、主室２１０の天井部や、主室２１０の側面部の上部側に配置することが好ましい。一方、排気用のファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂは、図２、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、主室２１０の側面部や、主室２１０の側面部の下部側に配置することが好ましい。

このような配置とすると、空気が主室２１０の上部側から下部側に向けて一方向的に流れる。そのため、塵埃、危険物、汚染物等が気流で舞い上がるのを抑制しつつ、室圧の調整や空気の清浄化を行うことができる。ブース本体は、底面側が開口している構造であるものの、空気が主室２１０の上部側から下部側に向けて一方向的に流れると、クリーンブース２００の外部等から主室２１０への塵埃の侵入も抑制することができる。

ファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂ，６０ａ，６０ｂは、前記のファンフィルタユニット５０，６０と同様に、フレーム１０によって所定の開口部を設ける方法で設置することができる。なお、このクリーンブース２００では、２基の給気用のファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂと、２基の排気用のファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂを、それぞれ、同程度の給気流量や排気流量に制御して、陰圧化に必要な差圧を形成するものとしているが、互いに異なる給気流量や排気流量に制御してもよい。

以上のクリーンブース２００によると、組立式のブース本体に対して、フィルタおよびファンを備えた給気用のファンフィルタユニット５０ａ，５０ｂと、フィルタおよびファンを備えた排気用のファンフィルタユニット６０ａ，６０ｂが、容易に取り付けられる。給気側と排気側の両方でフィルタを介した送風が行われるため、主室２１０内の空気の清浄度が確保されるだけでなく、ブース外への汚染物の漏洩も防ぐことができる。また、給気側と排気側の両方にファンがあるため、これらのファンの制御と大きな差圧の形成によって、高精度な陰圧を安定的に維持することができる。前室２２０や副前室２３０が設けられるため、主室２１０に対する入退出時の影響も緩和される。組立式のブース本体は、搬送・組み立て・解体が容易である。よって、このようなクリーンブースによると、清浄度が確保されており、外部の汚染も抑制される空間を、簡便に形成することができる。

次に、本発明に係るクリーンブースの具体的な実施形態について、図を参照しながら説明する。

クリーンブース１００，２００は、給気用のダクトおよび排気用のダクトを設けることなく、各種の作業・行為に用いることができる。給気用のダクトや排気用のダクトとしては、ブース本体の内側に配置される配管、シャフト、ホース等や、ブース本体の外側に接続される配管、シャフト、ホース等のいずれも不要である。

クリーンブース１００，２００では、フィルタを備えた排気用のファンフィルタユニット６０，６０ａ，６０ｂを用いるため、外部の汚染も抑制されることになる。そのため、ブース本体を設置する場所だけでなく、排気の場所の自由度も高くなる。

クリーンブース１００，２００を設置する場所としては、例えば、医療用途の場合であれば、医療施設の屋内、医療施設の屋外、コンベンションホール、競技場、体育館、公園、街路等の各種の施設・建造物の屋内や、各種の施設・建造物の屋外が挙げられる。但し、クリーンブース１００，２００を設置する場所は、室圧や空気の清浄度が確保される限り、特に限定されるものではない。

例えば、クリーンブース１００，２００を感染症の罹患者等の診療・治療に使用する場合、クリーンブース１００，２００を医療施設の屋内の通路等に設置することが可能になる。排気用のファンフィルタユニット６０，６０ａ，６０ｂから排気される空気を、その場に放出させることも可能である。フィルタを介して排気される空気は、清浄度が確保されているため、クリーンブース１００，２００の外部を清浄化する効果も期待できる。クリーンブース２００は、クリーンブース１００よりも大型であり、ベッド、医療機器等を収容することができる。体育館等に多数設置することで、内部の空気が清浄で、しかも体育館内にもクリーンブース２００内部から清浄な空気を排出する簡易な病室を、簡単に多数提供することができる。

図４は、クリーンブースの下端の構造例を示す斜視断面である。図４には、前記の組立式のクリーンブースの下端に配置される土台のフレームの構造の一例を示している。
図４に示すように、前記のクリーンブース１００，２００は、クリーンブースの下端に配置される土台のフレーム１０の下側に、緩衝部材７０を備えることができる。

土台のフレーム１０は、クリーンブース１００，２００が組み立てられた場所の床面、地面等に接する部材である。緩衝部材７０は、このような部材の床面、地面等に接する面に対して、クリーンブース１００，２００が組み立てられる前に、予め固着させておくことができる。緩衝部材７０は、土台のフレーム１０の下面の全体に設けてもよいし、下面の一部に設けてもよいが、下面の全体に設けることが好ましい。

緩衝部材７０としては、ウレタンフォーム等の独立気泡型または連続気泡型の樹脂発泡体や、ポリウレタン、ゴム等の樹脂弾性体、シリコーン樹脂、ポリ塩化ビニル等が挙げられる。緩衝部材７０の具体例としては、スポンジ状の樹脂発泡体であるモルトプレーン等が挙げられる。樹脂の状態としてはゲル状でも良い。緩衝部材７０は、フレーム１０に対して、接着剤、粘着剤等によって固着させることができる。

緩衝部材７０は、クリーンブース１００，２００を組み立てて、床面、地面等に接地させたとき、ブース本体の重さによって収縮することができる。そのため、室圧や空気の清浄度が調整される内部空間の床が、当該クリーンブース１００，２００が設置された建屋の床であり、当該建屋の床と対向する土台を構成するフレーム１０に緩衝部材７０を設けておくと、ブース本体と接地面との隙間が、収縮可能な緩衝部材７０によって埋められる。よって、このような緩衝部材７０を用いると、より高い気密性を確保することができる。

また、室圧や空気の清浄度が調整される内部空間の床が、地面等の凹凸を有する接地面であり、当該接地面と対向する土台を構成するフレーム１０に緩衝部材７０を設けておくと、ブース本体と凹凸等との隙間が、変形し易く収縮可能な緩衝部材７０によって埋められる。よって、このような緩衝部材７０を用いると、接地面に凹凸等がある場合であっても、より高い気密性を確保することができる。

なお、緩衝部材７０は、クリーンブース１００，２００の接地面が平坦である場合等には、必ずしも設けなくてもよい。クリーンブース１００，２００を設置するときに、平坦な接地面が確保できる場合は、土台のフレーム１０を接地面に密着させて配置することもできる。但し、クリーンブース１００，２００のブース本体の底面側には、クリーンマット等を敷設してもよい。

図５は、クリーンブースの電源の構成例を示すブロック図である。図５には、前記の組立式のクリーンブースに備えられる電源の構成の一例を示している。
図５に示すように、前記のクリーンブース１００，２００は、ファンフィルタユニット５０，５０ａ，５０ｂ等を駆動するための専用の電源として、直流電源部８２を備えてもよい。

直流電源部８２は、交流電源８１から変換される。直流電源部８２は、トランスやスイッチング素子による交流電源８１の電圧の変圧処理や、整流化処理、平滑化処理、直流変換処理等の処理回路を備える。交流電源８１としては、例えば、電圧が１００〜２４０Ｖ、周波数が５０Ｈｚまたは６０Ｈｚ等の商用電源を利用することができる。なお、交流電源８１は、直流電源部８２の他に、前記のクリーンブース１００，２００に備えられる他の電気機器に分配することもできる。

直流電源部８２は、給気用のファンフィルタユニット５０，５０ａ，５０ｂに備えられる専用の給気用ＦＦＵ電源部８３と、排気用のファンフィルタユニット６０，６０ａ，６０ｂに備えられる専用の排気用ＦＦＵ電源部８４と、に分配される。なお、直流電源部８２は、入力電圧の許容幅が大きいフリー電源の電源回路を備えることが好ましい。

給気用ＦＦＵ電源部８３は、給気側の送風量を制御するために、給気側のユニット制御部８５への給電を行う。給気側のユニット制御部８５は、給気用のファンフィルタユニット５０，５０ａ，５０ｂを駆動するための電源回路や、給気用のファンフィルタユニット５０，５０ａ，５０ｂのファンに対して回転速度を制御するための指示を出す制御回路を備える。

一方、排気用ＦＦＵ電源部８４は、排気側のユニット制御部８６への給電を行う。排気側のユニット制御部８６は、排気用のファンフィルタユニット６０，６０ａ，６０ｂのファンモータを駆動するための電源回路や、排気用のファンフィルタユニット６０，６０ａ，６０ｂのファンに対して回転速度を制御するための指示を出す制御回路を備える。排気用ＦＦＵ電源部８４は、圧力センサ９０への給電を行うように構成されている。

このような電源の構成を備えると、クリーンブース１００，２００を組み立てた後、交流電源８１の給電を開始するのみで、室圧の調整を開始することができる。給気側のファンの回転速度および排気側のファンの回転速度の両方を一定速に制御する制御方式に有利である。また、クリーンブース１００，２００の設置場所の周辺にある商用電源の差込式接続器を利用することも可能になる。このような利用法であれば、特別な配線が不要になるため、使用者のみで容易に陰圧室を設営することができる。

図６は、ファンフィルタユニットのファンの回転速度とファンが形成する差圧との関係を示す図である。図６において、縦軸は、ファンフィルタユニットのファンの回転速度Ｎ＊、横軸は、ファンが形成する差圧ΔＰ［Ｐａ］を示す。実線は、給気用のファンフィルタユニットの特性線、破線は、排気用のファンフィルタユニットの特性線を示す。

図６には、ファンの回転速度の制御方式の一例として、給気用のファンフィルタユニット５０，５０ａ，５０ｂのファンの回転速度を一定速とし、排気用のファンフィルタユニット６０，６０ａ，６０ｂのファンの回転速度を可変速とする例を示している。

図６に示す制御例は、排気用のファンフィルタユニット（第２ユニット）６０ａ，６０ｂのユニット制御部８６が、排気用のファンフィルタユニット６０，６０ａ，６０ｂのファン（第１ファン）によって給気される流量よりも、給気用のファンフィルタユニット５０，５０ａ，５０ｂのファン（第２ファン）によって排気される流量の方が多くなるように、給気用のファンフィルタユニット５０，５０ａ，５０ｂのファン（第２ファン）に対して指示を出す場合に相当する。

図６に示すように、給気側のファンの回転速度を一定速とすると、内部空間に対して略一定した給気流量を維持することができる。また、排気側のファンの回転速度を可変速とすると、給気側のファンによる略一定した給気流量の下で、内部空間からの排気流量が調整される。内部空間からの排気流量は、給気および排気による差圧が、陽圧から陰圧に転換した後、陰圧の目標値に収束するように調整される。このような制御方式により、ハンチング現象の発生を防止しつつ、内部空間に形成される陰圧が目標値に制御される。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記の実施形態に限定されるものではなく、技術的範囲を逸脱しない限り、様々な変形例が含まれる。例えば、前記の実施形態は、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されない。また、或る実施形態の構成の一部を他の構成に置き換えたり、或る実施形態の構成に他の構成を加えたりすることが可能である。また、或る実施形態の構成の一部について、他の構成の追加、構成の削除、構成の置換をすることも可能である。

例えば、前記のクリーンブース１００，２００は、組み立てられた状態において、六面体を呈するように設けられている。しかしながら、本発明に係るクリーンブースは、適宜の形状や、適宜の長さ、幅、高さ等に設けることができる。陰圧に調整される内部空間が設けられる限り、ブース本体は、１以上の任意の数の部屋や、任意の数の入退出用の開口部やドアを備えることができる。

また、前記のクリーンブース１００，２００は、ブース本体が、複数のフレーム１０が組み合わされて形成されており、主として、土台、柱および梁によって成り立っている。しかしながら、本発明に係るクリーンブースにおいて、フレーム１０の寸法、組み合わせ、相互の組み方等は、特に制限されるものではない。例えば、ブース本体の内側に柱が配置されてもよいし、土台の上方の互いに異なる高さに多段の梁が配置されてもよい。

また、前記のクリーンブース１００，２００は、１基ないし２基の給気用のファンフィルタユニットと、１基ないし２基の排気用のファンフィルタユニットを備えている。しかしながら、給気用のファンフィルタユニットや、排気用のファンフィルタユニットの設置数は、特に制限されるものではない。内部空間が陰圧に調整される限り、給気側の基数と排気側の基数とは、互いに同じであってもよいし、互いに異なってもよい。

また、前記の弾性部材８０や、直流電源部８２、給気用ＦＦＵ電源部８３、排気用ＦＦＵ電源部）８４、給気側のユニット制御部８５、排気側のユニット制御部８６は、前記のクリーンブース１００，２００や、これらの類似する形態のいずれに備えてもよい。

１０ フレーム
１１ 土台部材
１１ａ 縦土台部材
１１ｂ 横土台部材
１２ 柱部材
１２ａ 柱部材
１２ｂ 支柱部材
１３ 梁部材
１３ａ 縦梁部材
１３ｂ 横梁部材
１３ｃ 中間梁部材
１４ ドア
１５ ユニット支持部材
１６ ユニット接続部材
２０ 壁部
３１ 外側主ドア
３２ 内側主ドア
３３ 外側副ドア
３４ 内側副ドア
５０，５０ａ，５０ｂ 給気用のファンフィルタユニット（第１ユニット）
６０，６０ａ，６０ｂ 排気用のファンフィルタユニット（第２ユニット）
７０ 緩衝部材
８０ 電気部品ボックス
８１ 交流電源
８２ 直流電源部
８３ 給気用ＦＦＵ電源部
８４ 排気用ＦＦＵ電源部
８５ 給気側のユニット制御部
８６ 排気側のユニット制御部
９０ 圧力センサ
１００ クリーンブース
２００ クリーンブース
２１０ 主室（内部空間）
２２０ 前室
２３０ 副前室
２４０ 機械室

Claims (5)

1. 組み立てられた状態で、
   土台、柱および梁を構成するフレームと、
   前記フレーム間に設けられて内部空間を形成する壁部と、を備えたクリーンブースにおいて、
   前記壁部に設けられ、第１フィルタを介して前記内部空間内に給気する第１ファンを有する第１ユニットと、
   前記壁部に設けられ、前記内部空間内の空気を第２フィルタを介して前記内部空間外に排気する第２ファンを有する第２ユニットと、を備え、
   前記内部空間の床は、前記クリーンブースが設置された建屋の床であり、
   当該建屋の床と対向する前記土台を構成するフレームに緩衝部材を設けた、クリーンブース。
2. 請求項１に記載のクリーンブースにおいて、
   前記第１ユニットは、前記内部空間の上方に位置する壁部に設けられており、
   前記第２ユニットは、前記内部空間の側方に位置する壁部に設けられている、クリーンブース。
3. 請求項１または請求項２に記載のクリーンブースにおいて、
   前記第２ユニットは、前記第２ファンに対して指示を出すユニット制御部を備え、
   前記ユニット制御部は、前記第１ファンによって給気される流量よりも前記第２ファンによって排気される流量の方が多くなるように、前記第２ファンに対して指示を出し、
   前記第１ファンの回転速度は一定速に制御される、クリーンブース。
4. 請求項２に記載のクリーンブースにおいて、
   前記内部空間の上方に位置する前記フレームは、柱部材同士の間に配置された支柱部材と、前記柱部材に支持されている第１梁部材と、前記支柱部材に支持されている第２梁部材と、前記第１梁部材と前記第２梁部材に固定された支持部材とを備え、
   前記第１ユニットは、前記支持部材に固定されている、クリーンブース。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のクリーンブースにおいて、
   前記壁部と前記壁部と当接する前記フレームとには面ファスナが設けられており、
   前記壁部と前記壁部と当接する前記フレームとは着脱可能である、クリーンブース。

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