CN205401198U - 一种ffu风压监测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种FFU风压监测装置，所述监测装置至少包括：电压采样模块，采集所述FFU的风压值并将所述风压值转换为电压采样值；报警模块，与所述电压采样模块相连，比较所述电压采样值与报警模块设定的电压阈值，若所述电压采样值低于所述电压阈值，所述报警模块发出警报；电源输入模块，给所述电压采样模块和所述报警模块供电。利用本实用新型提供的监测装置作为感应装置，在FFU风扇不运作时可以及时的发出声响和信号报警，让线上工程师更快的发现问题，并处理问题和解决问题，提高产品的质量和产率。

Description

一种FFU风压监测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别是涉及一种FFU风压监测装置。

背景技术

集成电路洁净厂房是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该洁净室对环境洁净度、温湿度、振动、ESD(静电控制)、AMC(气态分子级污染物)控制等都有一定的要求。

根据洁净室空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和风扇过滤器单元(FanFilterUnit，FFU)循环系统。

目前，FFU系统已成半导体制造中洁净厂房的主流方案，它是自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。由于FFU系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的洁净设计方案。

机台FFU一般设置在机台顶端，机台FFU风扇经常会由于马达的老化或断电导致停止工作，导致机台内部粉尘颗粒增多，影响产品的质量，更严重的可能导致整批产品报废，对晶圆产率造成极大的影响。

因此，提供一种FFU风压监测装置，以监测FFU是否正常工作，是本领域技术人员需要解决的课题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种FFU风压监测装置，用于解决现有技术中FFU马达不工作时风扇停止，影响工艺产品质量和产率的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种FFU风压监测装置，所述FFU风压监测装置至少包括：

电压采样模块，采集所述FFU的风压值并将所述风压值转换为电压采样值；

报警模块，与所述电压采样模块相连，比较所述电压采样值与报警模块设定的电压阈值，若所述电压采样值低于所述电压阈值，所述报警模块发出警报；

电源输入模块，给所述电压采样模块和所述报警模块供电。

作为本实用新型FFU风压监测装置的一种优化的结构，所述电源输入模块至少包括一交流直流转换单元、电容C1以及电容C2；

所述交流直流转换单元的输入端与交流电源连接，所述电容C1、电容C2分别与所述交流直流转换单元的输出端并联，所述电容C1、电容C2的一端接地、另一端输出直流电压信号给所述电压采样模块和所述报警模块供电。

作为本实用新型FFU风压监测装置的一种优化的结构，所述电压采样模块至少包括一风压转换单元、电容C3、电容C4、二极管D1、二极管D2以及电阻R1；

所述风压转换单元包括四个端口，第一端口正对着待监测的FFU风扇，以采集所述FFU风扇的风压；第二端口与所述电源输入模块的直流电压信号输出端相连；第三端口接地，所述电容C3和电容C4并联且一端连接所述第二端口、另一端接地，所述二极管D1和二极管D2同向串联且所述二极管D1的负极接第二端口、所述二极管D2的正极接地，所述第四端口和二极管D2的负极之间设置电阻R1。

作为本实用新型FFU风压监测装置的一种优化的结构，所述风压为正向风压或者负向风压。

作为本实用新型FFU风压监测装置的一种优化的结构，所述报警模块至少包括：放大器、电阻R1、电阻R2、变阻器R3、电容C5、电容C6、二极管D3、二极管D4、继电器、声脉冲插头以及报警器；

所述放大器包括五个端口，一端口为负端，与所述电压采样模块中的二极管D2的负极相连；二端口为正端，通过电阻R2与所述电源输入模块中的直流电压信号输出端相连，所述二端口与电阻R2之间通过变阻器R3和电阻R4接地；所述三端口接地；所述四端口与所述电源输入模块中的直流电压信号输出端相连；五端口为输出端；所述电容C5和电容C6并联且一端连接所述四端口、另一端接地，所述二极管D3、继电器分别并联在所述四端口和五端口之间，所述声脉冲插头与所述继电器的输出端相连，所述二极管D4、报警器的一端与所述继电器相连，另一端接地。

作为本实用新型FFU风压监测装置的一种优化的结构，所述报警器包括并联的声报警器和光报警器。

作为本实用新型FFU风压监测装置的一种优化的结构，所述光报警器为灯泡，所述声报警器为蜂鸣器。

作为本实用新型FFU风压监测装置的一种优化的结构，所述声报警器和光报警器发出警报的同时，所述声脉冲插头的数位输出为0，若不发出警报，输出为1。

如上所述，本实用新型的FFU风压监测装置，包括：电压采样模块，采集所述FFU的风压值并将所述风压值转换为电压采样值；报警模块，与所述电压采样模块相连，比较所述电压采样值与报警模块设定的电压阈值，若所述电压采样值低于所述电压阈值，所述报警模块发出警报；电源输入模块，给所述电压采样模块和所述报警模块供电。利用本实用新型提供的监测装置作为感应装置，在FFU风扇不运作时可以及时的发出声响和信号报警，让线上工程师更快的发现问题，并处理问题和解决问题，提高产品的质量和产率。

附图说明

图1显示为本实用新型的FFU风压监测装置示意图。

图2显示为本实用新型FFU风压监测装置中电源输入模块电路示意图。

图3显示为本实用新型FFU风压监测装置中电压采样模块电路示意图。

图4显示为本实用新型FFU风压监测装置中报警模块电路示意图。

元件标号说明

1电压采样模块

S1风压转换单元

2报警模块

21报警器

3电源输入模块

31交流直流转换单元

32直流电压信号输出端

4FFU风扇

5正压导风管

6负压导风管

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1所示，本实用新型提供一种FFU风压监测系统，所述FFU风压监测系统至少包括：电压采样模块1、报警模块2以及电源输入模块3。

所述电源输入模块3用于将交流电转变为直流电，再将直流电信号供给所述电压采样模块1和报警模块2。所述电压采样模块1用于采集所述FFU的风压值并将所述风压值转换为电压采样值。所述报警模块2则与所述电压采样模块1相连，用于比较所述电压采样值与报警模块2设定的电压阈值，若所述电压采样值低于所述电压阈值，所述报警模块2发出警报，提示线上工作人员FFU风扇异常，停止工艺。

请参阅附图2，该附图为本实施例中电源输入模块3电路图。所述电源输入模块3至少包括一交流直流转换单元31、电容C1以及电容C2。

所述交流直流转换单元31的输入端与交流电源连接，所述电容C1、电容C2分别与所述交流直流转换单元的输出端并联，所述电容C1、电容C2的一端接地、另一端输出直流电压信号给所述电压采样模块1和所述报警模块2供电。

本实施例中，所述交流电源的输入电压为100～220V，经过所述电源输入模块3，最后从直流电压信号输出端32输出24V的直流电压给所述电压采样模块1和所述报警模块2。

请参阅附图3，该附图为本实施例中电压采样模块1电路图。所述电压采样模块1至少包括一风压转换单元S1、电容C3、电容C4、二极管D1、二极管D2以及电阻R1。

所述风压转换单元S1用于把风压信号变成电压信号，所述风压转换单元包括四个端口，第一端口正对着待监测FFU风扇4，以采集所述FFU风扇4的风压；第二端口与所述电源输入模块3的直流电压信号输出端32相连；第三端口接地，所述电容C3和电容C4并联且一端连接所述第二端口、另一端接地，所述二极管D1和二极管D2同向串联且所述二极管D1的负极接第二端口、所述二极管D2的正极接地，所述第四端口和二极管D2的负极之间设置电阻R1。

进一步地，所述风压可以是正向风压或者负向风压，通过正压导风管5或者负压导风管6将FFU风扇的风引入所述风压转换单元S1。需要说明的是，两个导风管接任意一个导风管即可。

所述电压采样模块1的电压采样值由所述二极管D2的负极和电阻R1之间的连接点Sensor1输出至报警模块2中放大器U1A的负端(一端口)。

请参阅附图4，该附图为本实施例中报警模块2电路图。所述报警模块至少包括放大器U1A、电阻R1、电阻R2、变阻器R3、电容C5、电容C6、二极管D3、二极管D4、继电器RL1、声脉冲插头J1以及报警器21。

所述放大器U1A包括五个端口，一端口为负端，与所述电压采样模块1中的二极管D2的负极相连；二端口为正端，通过电阻R2与所述电源输入模块3中的直流电压信号输出端32相连，所述二端口与电阻R2之间通过变阻器R3和电阻R4接地；所述三端口接地；所述四端口与所述电源输入模块3中的直流电压信号输出端32相连；五端口为输出端；所述电容C5和电容C6并联且一端连接所述四端口、另一端接地，所述二极管D3、继电器RL1分别并联在所述四端口和五端口之间，所述声脉冲插头J1与所述继电器RL1的输出端相连，所述二极管D4、报警器21的一端与所述继电器RL1相连，另一端接地。

作为优选的方案，所述报警器21包括并联的声报警器和光报警器。当FFU马达发生异常导致风扇不工作时，声报警器和光报警器同时触发，发出警报。

更进一步地，本实施例中，所述光报警器为灯泡L1，所述声报警器为蜂鸣器B1。

再需要说明的是，所述报警模块2中，电阻R2和变阻器R3之间连接点(即放大器正端)的电压值为设置电压阈值，当FFU风扇4工作异常时，Sensor1输出的所述电压采样值低于所述电压阈值，此时继电器RL1得电，联动开关闭合，声、光报警器有电流通过，引起声、光报警器同时报警，并且开关闭合后，所述声脉冲插头J1发生短路，数位输出为0。相反，当FFU工作正常时，报警不报警，同时声脉冲插头J1为开路状态，数位输出为1。

综上所述，本实用新型提供一种FFU风压监测装置，所述监测装置至少包括：电压采样模块，采集所述FFU的风压值并将所述风压值转换为电压采样值；报警模块，与所述电压采样模块相连，比较所述电压采样值与报警模块设定的电压阈值，若所述电压采样值低于所述电压阈值，所述报警模块发出警报；电源输入模块，给所述电压采样模块和所述报警模块供电。利用本实用新型提供的监测装置作为感应装置，在FFU风扇不运作时可以及时的发出声响和信号报警，让线上工程师更快的发现问题，并处理问题和解决问题，提高产品的质量和产率。

所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (8)

1.一种FFU风压监测装置，其特征在于，所述FFU风压监测装置至少包括：

电压采样模块，采集所述FFU的风压值并将所述风压值转换为电压采样值；

报警模块，与所述电压采样模块相连，比较所述电压采样值与报警模块设定的电压阈值，若所述电压采样值低于所述电压阈值，所述报警模块发出警报；

电源输入模块，给所述电压采样模块和所述报警模块供电。

2.根据权利要求1所述的FFU风压监测装置，其特征在于：所述电源输入模块至少包括一交流直流转换单元、电容C1以及电容C2；

所述交流直流转换单元的输入端与交流电源连接，所述电容C1、电容C2分别与所述交流直流转换单元的输出端并联，所述电容C1、电容C2的一端接地、另一端输出直流电压信号给所述电压采样模块和所述报警模块供电。

3.根据权利要求2所述的FFU风压监测装置，其特征在于：所述电压采样模块至少包括一风压转换单元、电容C3、电容C4、二极管D1、二极管D2以及电阻R1；

所述风压转换单元包括四个端口，第一端口正对着待监测的FFU风扇，以采集所述FFU风扇的风压；第二端口与所述电源输入模块的直流电压信号输出端相连；第三端口接地，所述电容C3和电容C4并联且一端连接所述第二端口、另一端接地，所述二极管D1和二极管D2同向串联且所述二极管D1的负极接第二端口、所述二极管D2的正极接地，第四端口和二极管D2的负极之间设置电阻R1。

4.根据权利要求3所述的FFU风压监测装置，其特征在于：所述风压为正向风压或者负向风压。

5.根据权利要求3所述的FFU风压监测装置，其特征在于：所述报警模块至少包括：放大器、电阻R1、电阻R2、变阻器R3、电容C5、电容C6、二极管D3、二极管D4、继电器、声脉冲插头以及报警器；

所述放大器包括五个端口，一端口为负端，与所述电压采样模块中的二极管D2的负极相连；二端口为正端，通过电阻R2与所述电源输入模块中的直流电压信号输出端相连，所述二端口与电阻R2之间通过变阻器R3和电阻R4接地；所述三端口接地；所述四端口与所述电源输入模块中的直流电压信号输出端相连；五端口为输出端；所述电容C5和电容C6并联且一端连接所述四端口、另一端接地，所述二极管D3、继电器分别并联在所述四端口和五端口之间，所述声脉冲插头与所述继电器的输出端相连，所述二极管D4、报警器的一端与所述继电器相连，另一端接地。

6.根据权利要求5所述的FFU风压监测装置，其特征在于：所述报警器包括并联的声报警器和光报警器。

7.根据权利要求6所述的FFU风压监测装置，其特征在于：所述光报警器为灯泡，所述声报警器为蜂鸣器。

8.根据权利要求6所述的FFU风压监测装置，其特征在于：所述声报警器和光报警器发出警报的同时，所述声脉冲插头的数位输出为0，若不发出警报，输出为1。