JP7128249B2 - クリーンブース - Google Patents
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Description
前記包囲体で仕切られた空間内部の圧力が陽圧及び陰圧に切り換え可能であって、
陽圧モードでは、前記出入り口に近い側に前記排気用のファンフィルタユニットを配置するとともに、前記出入り口から遠い側に前記給気用のファンフィルタユニットを配置し、
陰圧モードでは、前記出入り口に近い側に前記給気用のファンフィルタユニットを配置するとともに、前記出入り口から遠い側に前記排気用のファンフィルタユニットを配置していることを特徴とするクリーンブースが提供される。
陽圧モードでは、前記出入り口に隣接する1行目の3マスのうちいずれかに前記排気用のファンフィルタユニットを配置するとともに、前記出入り口から遠い側の3行目及び4行目の6マスのうちいずれかに前記給気用のファンフィルタユニットを配置し、
陰圧モードでは、前記出入り口に隣接する1行目及び2行目の6マスのうちいずれかに前記給気用のファンフィルタユニットを配置するとともに、前記出入り口から遠い側の2列目を除く3行目及び4行目の5マスのうちいずれかに前記排気用のファンフィルタユニットを配置している請求項1記載のクリーンブースが提供される。
前記天井パネルが、前記ファンフィルタユニットを設置可能な第1天井パネルと、前記ファンフィルタユニットを設置不能な第2天井パネルとを含む請求項1~3いずれかに記載のクリーンブースが提供される。
Claims (4)
- 少なくとも側壁部及び天井部を有し、前記側壁部の一部に出入り口を備えた包囲体と、前記天井部に取り付けられた給気用のファンフィルタユニット及び排気用のファンフィルタユニットとからなるクリーンブースであって、
前記包囲体で仕切られた空間内部の圧力が陽圧及び陰圧に切り換え可能であって、
陽圧モードでは、前記出入り口に近い側に前記排気用のファンフィルタユニットを配置するとともに、前記出入り口から遠い側に前記給気用のファンフィルタユニットを配置し、
陰圧モードでは、前記出入り口に近い側に前記給気用のファンフィルタユニットを配置するとともに、前記出入り口から遠い側に前記排気用のファンフィルタユニットを配置していることを特徴とするクリーンブース。 - 平面視で、前記天井部が前記出入り口を基準として縦3列×横4行の12マスに区画され、
陽圧モードでは、前記出入り口に隣接する1行目の3マスのうちいずれかに前記排気用のファンフィルタユニットを配置するとともに、前記出入り口から遠い側の3行目及び4行目の6マスのうちいずれかに前記給気用のファンフィルタユニットを配置し、
陰圧モードでは、前記出入り口に隣接する1行目及び2行目の6マスのうちいずれかに前記給気用のファンフィルタユニットを配置するとともに、前記出入り口から遠い側の2列目を除く3行目及び4行目の5マスのうちいずれかに前記排気用のファンフィルタユニットを配置している請求項1記載のクリーンブース。 - 前記給気用のファンフィルタユニット及び排気用のファンフィルタユニットは、それぞれ1又は複数配置されている請求項1、2いずれかに記載のクリーンブース。
- 前記天井部は、天井フレームに、ユニット化された複数の天井パネルが取り付けられることにより構成され、
前記天井パネルが、前記ファンフィルタユニットを設置可能な第1天井パネルと、前記ファンフィルタユニットを設置不能な第2天井パネルとを含む請求項1~3いずれかに記載のクリーンブース。
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