JP7146612B2 - ユニット型クリーンルーム及びユニット型クリーンルーム施設方法 - Google Patents

Description

本発明は、建造物の内部における所定の箇所に施設されるユニット型クリーンルームに関するとともに、建造物の所定の箇所にダクトレスのユニット型クリーンルームを施設するユニット型クリーンルーム施設方法に関する。

複数の部屋に区画された室内区画部と、外気を取り込む天井埋め込み形空調機と、天井埋め込み形空調機から給気され、室内区画部とは隔離されている天井内チャンバーと、天井内チャンバー内の空気を室内へ給気するフィルターファンユニットと、室内から天井内チャンバーへ還気する第１の還気ファンと、天井内チャンバーから天井埋め込み形空調機へ還気する第２の還気ファンとを備え、建造物の内部における所定の箇所に施設されるユニット型細胞培養施設が開示されている（特許文献１参照）。フィルターファンユニットは、天井埋め込み形空調機から天井内チャンバーへの給気量よりも大きい風量を給気し、第１の還気ファンは、フィルターファンユニットと同量及び／又はそれ以下の風量を還気し、第２の還気ファンは、天井埋め込み形空調機から天井内チャンバーへの給気量と同量の風量を還気する。

特許第５６１５４１７号

前記特許文献１に開示のユニット型細胞培養施設は、室内区画部と隔離された天井内チャンバーを施設する必要があり、天井の高さ制限がある建造物（天井の低い建造物）に施設することができず、施設可能な建造物が限られてしまう場合や建造物の新築を要する場合がある。また、フィルターや第１の還気ファン、第２の還気ファンがユニット型細胞培養施設の天井に設置されているから、施設のメンテナンス作業者がそれらのメンテナンスを行う場合、脚立に上りながら天井を向いた状態でメンテナンス作業を行い、又は、天井内に入ってメンテナンス作業を行わなければならず、メンテナンス作業に手間と時間とを要するとともに、事故の発生を予防する方策（労災予防策）が必要となる。

前記特許文献１に開示のユニット型細胞培養施設は、ユニット型細胞培養施設の施設工事において、建造物の内部における所定の箇所に側壁及び天井壁を形成する複数の仕切板を気密に設置し、それら仕切板によって操作室や着衣室、脱衣室、準備室、兼用更衣室、バスルーム、エントランス、搬入口、廊下を施設しなければならず、各種複数の資材を必要とするとともにその施設作業に時間がかかるから、原価の低減が難しく、工期を短縮することができない。また、一度施設した後に室のレイアウトを変更することはできず、施設利用者の作業内容の変化に伴うレイアウトの変更要求に対応することができない。更に、一度施設した後に室の数を増やすことや室の数を減らすことができず、施設利用者の作業内容の変化に対応した室の増加要求や室の減少要求に対応することができない。

本発明の目的は、空気を給気するダクトを別途設置する必要はなく、高い天井高を有する建造物のみならず、通常の天井高の天井を有する建造物に施設することができるユニット型クリーンルーム及びそのユニット型クリーンルームの施設方法を提供することにある。本発明の他の目的は、メンテナンス作業における手間と時間とを低減し、メンテナンス作業を容易に行うことができるユニット型クリーンルーム及びそのユニット型クリーンルームの施設方法を提供することにある。本発明の他の目的は、ダクト材料に関する各種複数の資材を必要とせず、ダクト工事を省略してその施設作業を短時間に行うことができ、原価の低減や工期を短縮することができるユニット型クリーンルーム及びユニット型クリーンルーム施設方法を提供することにある。本発明の他の目的は、一度施設した後に、利用者の作業内容の変化に対応してエリアのレイアウト（形状）を変更することができるとともに、一度施設した後に、利用者の作業内容の変化に対応してエリアの数を増やすことやエリアの数を減らすことができ、エリアのレイアウトの変更要求やエリアの増加要求、エリアの減少要求に対応することができるユニット型クリーンルーム及びユニット型クリーンルーム施設方法を提供することにある。本発明の他の目的は、建造物の内部の非清浄空気の各エリアへの流入を防ぐことができ、建造物の内部の空気が各エリアの空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、各エリアの清浄状態を保持することができるユニット型クリーンルーム及びユニット型クリーンルーム施設方法を提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の第１の前提は、建造物の内部における所定の箇所に施設されるユニット型クリーンルームである。

前記第１の前提における本発明のユニット型クリーンルームの特徴としては、ユニット型クリーンルームが、建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された各側壁パネルによって区画され、空気清浄度高要求エリアであって主作業を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのワークエリアと、空気清浄度低要求エリアであって主作業に対する補助作業及び第２更衣を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのサポートエリアと、空気清浄度低要求エリアであって主作業を除く従作業を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのサプライエリアとを有し、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとが、所定の開口面積の出入口を介してつながって一棟のユニット型クリーンルームを作り、空気の清浄度要求が、ワークエリア→サポートエリア→サプライエリアの順に低くなり、ワークエリアが、ユニット型クリーンルームの外部空気及びユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気が通流する流路として機能するとともに、フィルター及び送風機構を有して空気をその内部に給気する清浄空気給気手段を備え、サポートエリアとサプライエリアとが、空気が通流する流路として機能し、サポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも一方が、空気をワークエリアに還流させる還流手段を備え、ユニット型クリーンルームでは、清浄空気給気手段を利用して空気をワークエリアからサポートエリアに向かうとともにサポートエリアからサプライエリアに向かって順に通流させることが可能であり、清浄空気給気手段を利用して空気をワークエリアからサポートエリアに向かうとともにサポートエリアからサプライエリアに向かって段階的に連続利用し、必要な清浄度及び必要な温度に空調された空気をワークエリアから前記サポートエリアに向かうとともにサポートエリアからサプライエリアに向かって順に通流させるダクトレスのクリーンルームを建造物の内部における所定の箇所に施設することが可能であることにある。

本発明のユニット型クリーンルームの一例としては、清浄空気給気手段が、ワークエリアを区画する側壁パネルに設置されている。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、サポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも一方に備えられた還流手段が、還流口と所定のフィルターと送風機構を有して空気をワークエリアに還流させる空気還流手段とフィルター及び送風機構を有して空気をワークエリアに還流させる清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つであり、還流口とフィルターと空気還流手段と清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つが、サポートエリアとサプライエリアとを区画する側壁パネルに設置されている。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、空気を外部に排気する排気口が、ワークエリアである空気清浄度高要求エリアとサポートエリア及びサプライエリアである空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置されている。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、ユニット型クリーンルームが、サポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも一方に開閉扉又は所定の開口面積の出入口を介して繋がって第１更衣を行い、空気清浄度低要求エリアであって空気の清浄度要求が最も低い少なくとも１つのガウニングエリアを含む。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、空気を外部に排気する排気口が、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとガウニングエリアとのうちの少なくとも１つのエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置されている。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、ユニット型クリーンルームが、側壁パネルによって区画されてワークエリアとサプライエリアとを繋げ、空気清浄度低要求エリアであってユニット型クリーンルームの外部空気が流入するとともにユニット型クリーンルームの内部空気が通流するメンテナンスエリアを含み、清浄空気給気手段が、メンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置され、還流口とフィルターと空気還気手段と清浄空気還気手段とのうちの少なくとも１つが、メンテナンスエリアに対向するサプライエリアの側壁パネルに設置されている。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、ユニット型クリーンルームの外部空気を流入させる外気流入口と所定のフィルターと送風機構を有して外部空気を給気する外部空気給気手段とフィルター及び送風機構を有して外部空気を給気する清浄外部空気給気手段とのうちの少なくとも１つが、メンテナンスエリアを区画する側壁パネルに設置されている。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、ユニット型クリーンルームの外部空気及びユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気を空調する空調機が、メンテナンスエリアに設置されている。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、ユニット型クリーンルームが、メンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置されて清浄空気給気手段によって空気清浄度高要求エリアの一方向へ給気される空気の流れを拡散させる整流板を含む。

本発明のユニット型クリーンルームの他の一例としては、整流板が、ワークエリアに給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるデフレクター板と、空気を通流させる複数の貫通孔が形成されてワークエリアに給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるパンチング板と、ワークエリアに給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるとともに、空気を通流させる複数の貫通孔が形成されてワークエリアに給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるデフレクターパンチング板とのうちのいずれかである。

前記課題を解決するための本発明の第２の前提は、建造物の内部における所定の箇所にダクトレスのユニット型クリーンルームを施設するユニット型クリーンルーム施設方法である。

前記第２の前提における本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の特徴としては、ダクトレスのユニット型クリーンルームが、建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された複数の側壁パネルによって区画され、空気清浄度高要求エリアであって主作業を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのワークエリアと、空気清浄度低要求エリアであって主作業に対する補助作業及び第２更衣を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのサポートエリアと、空気清浄度低要求エリアであって主作業を除く従作業を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのサプライエリアとから形成され、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとが、所定の開口面積の出入口を介してつながって一棟のユニット型クリーンルームを作り、空気の清浄度要求が、ワークエリア→サポートエリア→サプライエリアの順に低くなり、ユニット型クリーンルーム施設方法が、複数の側壁パネルを使用して建造物の内部における所定の箇所に施設するワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとのレイアウトを設計要求に応じて設計するレイアウト設計工程と、レイアウト設計工程によって設計されたレイアウトに基づいてそれら側壁パネルを建造物の内部における所定の箇所に気密に設置し、それら側壁パネルによって区画されてユニット型クリーンルームの外部空気及びユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気が通流する流路としての機能を備えたワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとを施設するエリア施設工程と、空気をワークエリアからサポートエリアに向かうとともにサポートエリアからサプライエリアに向かって順に通流させるフィルター及び送風機能を備えた清浄空気給気手段をワークエリアに設置する清浄空気給気手段設置工程と、空気をワークエリアに還流させる還流手段をサポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも一方に設置する還流手段設置工程と、空気を外部に排気する排気口をワークエリアである空気清浄度高要求エリアとサポートエリア及びサプライエリアである空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置する排気口設置工程とを有することにある。

本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の一例としては、ユニット型クリーンルーム施設方法が、ユニット型クリーンルームを施設した後に、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアにおける側壁パネルの設置位置を変更し、又は、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアにあらたな側壁パネルを設置し、或いは、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアから既設の側壁パネルを取り外すことで、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアのレイアウトを改変するレイアウト改変工程を含む。

本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の他の一例としては、ユニット型クリーンルーム施設方法が、ユニット型クリーンルームを施設した後に、建造物の内部における所定の箇所にあらたな側壁パネルを設置し、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアの数を増加させるエリア数増加工程と、ユニット型クリーンルームを施設した後に、建造物の内部における所定の箇所から既設の側壁パネルを取り外し、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアの数を減少させるエリア数減少工程とを含む。

本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の他の一例としては、ダクトレスのユニット型クリーンルームが、空気清浄度低要求エリアであって第１更衣を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのガウニングエリアを含み、エリア施設工程が、建造物の内部における所定の箇所にガウニングエリアを施設する。

本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の他の一例としては、ダクトレスのユニット型クリーンルームが、側壁パネルによって区画されてワークエリアとサプライエリアとを繋げ、空気清浄度低要求エリアであってユニット型クリーンルームの外部空気が流入するとともにユニット型クリーンルームの内部空気が通流するメンテナンスエリアを含み、エリア施設工程が、建造物の内部における所定の箇所にメンテナンスエリアを施設し、清浄空気給気手段設置工程が、清浄空気給気手段をメンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置し、還流手段設置工程が、還流口と所定のフィルターと送風機構を有して空気をワークエリアに還流させる空気還流手段とフィルター及び送風機構を有して空気をワークエリアに還流させる清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つをメンテナンスエリアに対向するサプライエリアの側壁パネルに設置し、排気口設置工程が、排気口をワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとガウニングエリアとのうちの少なくとも１つエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置する。

本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の他の一例としては、ユニット型クリーンルーム施設方法が、ユニット型クリーンルームの外部空気をメンテナンスエリアに流入させる外気流入口と所定のフィルターと送風機構を有して外部空気をメンテナンスエリアに給気する外部空気給気手段とフィルター及び送風機構を有して外部空気をメンテナンスエリアに給気する清浄外部空気給気手段とのうちの少なくとも１つをメンテナンスエリアを区画する側壁パネルに設置する外気取入手段設置工程を含む。

本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の他の一例としては、ユニット型クリーンルーム施設方法が、ユニット型クリーンルームの外部空気及びユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気を空調する空調機をメンテナンスエリアに設置する空調機設置工程を含む。

本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の他の一例としては、ユニット型クリーンルーム施設方法が、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れを拡散させる整流板をメンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置する整流板設置工程を含む。

本発明のユニット型クリーンルーム施設方法の他の一例としては、整流板設置工程によって設置される整流板が、ワークエリアに給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるデフレクター板と、空気を通流させる複数の貫通孔が形成されてワークエリアに給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるパンチング板と、ワークエリアに給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるとともに、空気を通流させる複数の貫通孔が形成されてワークエリアに給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるデフレクターパンチング板とのうちのいずれかである。

本発明に係るユニット型クリーンルームによれば、それを形成する空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアがクリーンルームの外部空気及びクリーンルームの内部空気からなる空気を通流させる流路として機能し、各エリアへの専用ダクトを別途設置する必要はなく、ダクトレスのクリーンルームであるから、専用ダクトを設置する場合の天井高を確保する必要はなく、高い天井高を有する建造物のみならず、通常の天井高の天井を有する建造物に施設することができる。ユニット型クリーンルームは、建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された側壁パネル（仕切板）によって空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアを施設することができるから、ダクト材料に関する各種複数の資材を必要とせず、ダクト工事を省略してその施設作業を短時間に行うことができ、原価の低減や工期を短縮することができる。ユニット型クリーンルームは、クリーンルームを一度施設した後に、あらたな側壁パネルの設置や既設の側壁パネルの取り外しによって、各エリアのレイアウトを自由に変更することができるとともに、各エリアの数を増やすことや減らすことができ、クリーンルームの利用者の作業内容の変更に伴うレイアウト変更要求やエリアの分割要求、エリアの拡張要求、エリアの増設要求、エリアの減少要求に迅速に対応することができる。ユニット型クリーンルームは、フィルター（ＨＥＰＡフィルター）及び送風機構を有する清浄空気給気手段を利用して空気清浄度高要求エリア～空気清浄度低要求エリアに向かって空気を順に通流させて流路内を陽圧にすることが可能であるから、クリーンルームの内外の圧力差によって建造物の内部の空気の空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアへの流入を防ぐことができ、建造物の内部の空気（クリーンルームの外部空気）が空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアの空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアの清浄状態を保持することができる。

清浄空気給気手段を利用して空気清浄度高要求エリア～空気清浄度低要求エリアに向かって空気を段階的に連続利用し、必要な清浄度及び必要な温度に空調された空気を空気清浄度高要求エリア～空気清浄度低要求エリアに向かって順に通流させるユニット型クリーンルームは、必要な清浄度及び必要な温度を備えた空気を空気清浄度高要求エリアに給気することができ、空気清浄度高要求エリアの空気を必要な清浄度及び必要な温度に保持することができるとともに、空気清浄度高要求エリアを通流した空気を空気清浄度低要求エリアに通流させることで、必要な清浄度及び必要な温度を備えた空気を段階的に連続利用することができる。

清浄空気給気手段が空気清浄度高要求エリアを区画する側壁パネルに設置されているユニット型クリーンルームは、清浄空気給気手段を空気清浄度高要求エリアを区画する側壁パネルに設置することで、清浄空気給気手段を利用して必要な清浄度及び必要な温度を備えた空気を空気清浄度高要求エリア～空気清浄度低要求エリアに向かって順に通流させることができるとともに、清浄空気給気手段のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、清浄空気給気手段を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、清浄空気給気手段のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。

空気清浄度低要求エリアの還流手段が還流口と所定のフィルターと送風機構を有して空気を空気清浄度高要求エリアに還流させる空気還流手段とフィルター及び送風機構を有して空気を空気清浄度高要求エリアに還流させる清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つであり、還流口とフィルターと空気還流手段と清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つが空気清浄度低要求エリアを区画する側壁パネルに設置されているユニット型クリーンルームは、還流手段が還流口である場合、空気が還流口を通って空気清浄度高要求エリアに還流するから、空気を空気清浄度低要求エリアから空気清浄度高要求エリアに還流させることができる。還流手段が所定のフィルターである場合、空気が還流口を通って空気清浄度高要求エリアに還流するとともに空気に含まれる不純物（塵埃や微粒子等）がフィルターによって除去されるから、清浄な空気を空気清浄度低要求エリアから空気清浄度高要求エリアに還流させることができる。還流手段が送風機構を有する空気還流手段である場合、空気還流手段によって空気が強制的に空気清浄度高要求エリアに還流するから、空気を空気清浄度低要求エリアから空気清浄度高要求エリアに確実に還流させることができる。還流手段がフィルター及び送風機構を有する清浄空気還流手段である場合、清浄空気還流手段によって空気が強制的に空気清浄度高要求エリアに還流するとともに空気に含まれる不純物（塵埃や微粒子等）が清浄空気還流手段のフィルターによって除去されるから、清浄な空気を空気清浄度低要求エリアから空気清浄度高要求エリアに確実に還流させることができる。ユニット型クリーンルームは、還流口やフィルター、空気還流手段、清浄空気還流手段のうちの少なくとも１つを空気清浄度低要求エリアを区画する側壁パネルに設置することで、還流口やフィルター、空気還流手段、清浄空気還流手段のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、還流口やフィルター、空気還流手段、清浄空気還流手段を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、還流口やフィルター、空気還流手段、清浄空気還流手段のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。

空気を外部に排気する排気口が空気清浄度高要求エリアと空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置されているユニット型クリーンルームは、空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアを区画する側壁パネルに排気口を設置することで、排気口を利用して空気を空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアの外部に排気することができるとともに、排気口のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、排気口を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、排気口のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。

空気清浄度高要求エリアがユニット型クリーンルームにおける主作業を行う少なくとも１つのワークエリアであり、空気清浄度低要求エリアが主作業に対する補助作業及び第２更衣を行う少なくとも１つのサポートエリアと主作業を除く従作業を行う少なくとも１つのサプライエリアとであり、それらエリアが所定の開口面積の出入口を介してつながり、空気の清浄度要求がワークエリア→サポートエリア→サプライエリアの順に低くなるユニット型クリーンルームは、それを形成するワークエリアやサポートエリア、サプライエリアがクリーンルームの外部空気及びクリーンルームの内部空気からなる空気を通流させる流路として機能し、各エリアへの専用ダクトを別途設置する必要はなく、ダクトレスのクリーンルームであるから、専用ダクトを設置する場合の天井高を確保する必要はなく、高い天井高を有する建造物のみならず、通常の天井高の天井を有する建造物に施設することができる。ユニット型クリーンルームは、建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された側壁パネル（仕切板）によってワークエリアやサポートエリア、サプライエリアを施設することができるから、ダクト材料に関する各種複数の資材を必要とせず、ダクト工事を省略してその施設作業を短時間に行うことができ、原価の低減や工期を短縮することができる。ユニット型クリーンルームは、クリーンルームを一度施設した後に、あらたな側壁パネルの設置や既設の側壁パネルの取り外しによって、ワークエリアやサポートエリア、サプライエリアのレイアウトを自由に変更することができるとともに、それらエリアの数を増やすことや減らすことができ、クリーンルームの利用者の作業内容の変更に伴うレイアウト変更要求やエリアの分割要求、エリアの拡張要求、エリアの増設要求、エリアの減少要求に迅速に対応することができる。ユニット型クリーンルームは、フィルター（ＨＥＰＡフィルター）及び送風機構を有する清浄空気給気手段を利用してワークエリアやサポートエリア、サプライエリアに向かって空気を順に通流させて流路内を陽圧にすることが可能であるから、建造物の内部の空気（クリーンルームの外部空気）のワークエリアやサポートエリア、サプライエリアへの流入を防ぐことができ、クリーンルームの内外の圧力差によって建造物の内部の空気がワークエリアやサポートエリア、サプライエリアの空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、ワークエリアやサポートエリア、サプライエリアの清浄状態を保持することができる。

空気清浄度低要求エリアがサポートエリアとサプライエリアとのうちの少なくとも一方に開閉扉又は所定の開口面積の出入口を介して繋がって第１更衣を行い、空気の清浄度要求が最も低い少なくとも１つのガウニングエリアを含むユニット型クリーンルームは、それを形成するワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアがクリーンルームの外部空気及びクリーンルームの内部空気からなる空気を通流させる流路として機能し、各エリアへの専用ダクトを別途設置する必要はなく、ダクトレスのクリーンルームであるから、専用ダクトを設置する場合の天井高を確保する必要はなく、高い天井高を有する建造物のみならず、通常の天井高の天井を有する建造物に施設することができる。ユニット型クリーンルームは、建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された側壁パネル（仕切板）によってワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアを施設することができるから、ダクト材料に関する各種複数の資材を必要とせず、ダクト工事を省略してその施設作業を短時間に行うことができ、原価の低減や工期を短縮することができる。ユニット型クリーンルームは、クリーンルームを一度施設した後に、あらたな側壁パネルの設置や既設の側壁パネルの取り外しによって、ワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアのレイアウトを自由に変更することができるとともに、それらエリアの数を増やすことや減らすことができ、クリーンルームの利用者の作業内容の変更に伴うレイアウト変更要求やエリアの分割要求、エリアの拡張要求、エリアの増設要求、エリアの減少要求に迅速に対応することができる。ユニット型クリーンルームは、フィルター（ＨＥＰＡフィルター）及び送風機構を有する清浄空気給気手段を利用してワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアに向かって空気を順に通流させて流路内を陽圧にすることが可能であるから、建造物の内部の空気（クリーンルームの外部空気）のワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアへの流入を防ぐことができ、クリーンルームの内外の圧力差によって建造物の内部の空気がワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアの空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、ワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアの清浄状態を保持することができる。

空気を外部に排気する排気口がワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとガウニングエリアとのうちの少なくとも１つのエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置されているユニット型クリーンルームは、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとガウニングエリアとのうちの少なくとも１つのエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに排気口を設置することで、排気口を利用して空気をワークエリアやサポートエリアや、プライエリア、ガウニングエリアの外部に排気することができるとともに、排気口のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、排気口を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、排気口のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。

側壁パネルによって区画されてワークエリアとサプライエリアとを繋げ、ユニット型クリーンルームの外部空気が流入するとともにユニット型クリーンルームの内部空気が通流するメンテナンスエリアを含み、清浄空気給気手段がメンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置され、還流口とフィルターと空気還気手段と清浄空気還気手段とのうちの少なくとも１つがメンテナンスエリアに対向するサプライエリアの側壁パネルに設置されているユニット型クリーンルームは、清浄空気給気手段をメンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置することで、清浄空気給気手段を利用して空気をメンテナンスエリアからワークエリアに確実に還流させることができるとともに、清浄空気還流手段のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、清浄空気還流手段を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、清浄空気還流手段のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。ユニット型クリーンルームは、メンテナンスエリアに外気が流入することで、還気に外気（クリーンルームの外部空気）を混合させることができ、新鮮な空気をクリーンルームに取り入れることができる。ユニット型クリーンルームは、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段のうちの少なくとも１つをメンテナンスエリアに対向するサプライエリアの側壁パネルに設置することで、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段を利用して空気をメンテナンスエリアに還流させることができるとともに、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。

ユニット型クリーンルームの外部空気を流入させる外気流入口と所定のフィルターと送風機構を有して外部空気を給気する外部空気給気手段とフィルター及び送風機構を有して外部空気を給気する清浄外部空気給気手段とのうちの少なくとも１つがメンテナンスエリアを区画する側壁パネルに設置されているユニット型クリーンルームは、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段をメンテナンスエリアを区画する側壁パネルに設置することで、ワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアにクリーンルームの外部空気及びクリーンルームの内部空気からなる空気を通流させることができるとともに、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。

ユニット型クリーンルームの外部空気及びユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気を空調する空調機がメンテナンスエリアに設置されているユニット型クリーンルームは、メンテナンスエリアに空調機を設置することで、空調機によって設定温度及び設定湿度に空調された空気をメンテナンスエリアからワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアに順に通流させることができ、それらエリアの温度環境や湿度環境を最適に保持することができるとともに、クリーンルームの利用者にとって良好な作業環境をそれらエリアに良好な作業環境を作ることができる。

清浄空気給気手段からワークエリア（空気清浄度高要求エリア）の一方向へ空気を給気すると、給気の動圧が大きい場合、ワークエリアを通過した空気がサポートエリア（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネルにおいて跳ね返り、サポートエリアの低清浄度空気を含む空気がワークエリアに逆流する場合があるが、メンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置されて清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れを拡散させる整流板を含むユニット型クリーンルームは、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れが整流板によって拡散されるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリアを通過した空気のサポートエリアの側壁パネルにおける跳ね返りを防ぐことができ、低清浄度空気を含む空気のワークエリアへの逆流を防ぐことができる。

整流板がワークエリアに給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるデフレクター板と、空気を通流させる複数の貫通孔が形成されてワークエリアに給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるパンチング板と、ワークエリアに給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるとともに、空気を通流させる複数の貫通孔が形成されてワークエリアに給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるデフレクターパンチング板とのうちのいずれかであるユニット型クリーンルームは、メンテナンスエリアに対向するワークエリア（空気清浄度高要求エリア）の側壁パネルにデフレクター板を設置することで、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れがデフレクター板によって一方向と交差する交差方向へ変えられるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリアを通過した空気のサポートエリア（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネルにおける跳ね返りを防ぐことができ、低清浄度空気を含む空気のワークエリアへの逆流を防ぐことができる。ユニット型クリーンルームは、メンテナンスエリアに対向するワークエリア（空気清浄度高要求エリア）の側壁パネルにパンチング板を設置することで、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れがパンチング板によって一方向を含むその他の方向へ分散されるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリアを通過した空気のサポートエリア（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネルにおける跳ね返りを防ぐことができ、低清浄度空気を含む空気のワークエリアへの逆流を防ぐことができる。ユニット型クリーンルームは、メンテナンスエリアに対向するワークエリア（空気清浄度高要求エリア）の側壁パネルにデフレクターパンチング板を設置することで、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れがデフレクターパンチング板によって一方向と交差する交差方向へ変えられるとともに一方向を含むその他の方向へ分散されるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリアを通過した空気のサポートエリア（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネルにおける跳ね返りを防ぐことができ、低清浄度空気を含む空気のワークエリアへの逆流を防ぐことができる。

本発明に係るユニット型クリーンルーム施設方法によれば、複数の側壁パネルを使用して建造物の内部における所定の箇所に施設する空気清浄度高要求エリア～空気清浄度低要求エリアのレイアウトを設計要求に応じて設計するレイアウト設計工程と、レイアウト設計工程によって設計されたレイアウトに基づいてそれら側壁パネルを建造物の内部における所定の箇所に気密に設置し、それら側壁パネルによって区画されてユニット型クリーンルームの外部空気及びユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気が通流する流路としての機能を備えた空気清浄度高要求エリア～空気清浄度低要求エリアを施設するエリア施設工程と、空気を空気清浄度高要求エリア～空気清浄度低要求エリアに向かって順に通流させるフィルター及び送風機能を備えた清浄空気給気手段を空気清浄度高要求エリアに設置する清浄空気給気手段設置工程と、空気を空気清浄度高要求エリアに還流させる還流手段を空気清浄度低要求エリアに設置する還流手段設置工程と、空気を外部に排気する排気口を空気清浄度高要求エリアと空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアに設置する排気口設置工程とを有するから、空気清浄度高要求エリア～空気清浄度低要求エリアのレイアウトをクリーンルームの利用者の作業内容の変更による設計要求に応じて自由に設計することができ、建造物の内部における所定の箇所に設計要求に応じたレイアウトのユニット型クリーンルームを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、クリーンルームを形成する空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアがクリーンルームの外部空気及びクリーンルームの内部空気からなる空気を通流させる流路として機能し、各エリアへの専用ダクトを別途設置する必要はなく、ダクトレスのユニット型クリーンルームを建造物の内部における所定の箇所に容易に施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、専用ダクトを設置する場合の天井高を確保する必要はなく、高い天井高を有する建造物のみならず、通常の天井高の天井を有する建造物にユニット型クリーンルームを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された側壁パネル（仕切板）によって空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアを施設するから、ダクト材料に関する各種複数の資材を必要とせず、ダクト工事を省略してクリーンルームの施設作業を短時間に行うことができ、原価の低減や工期を短縮することができる。

ユニット型クリーンルームを施設した後に、空気清浄度高要求エリアと空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアにおける前記側壁パネルの設置位置を変更し、又は、空気清浄度高要求エリアと空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアにあらたな側壁パネルを設置し、或いは、空気清浄度高要求エリアと空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアから既設の側壁パネルを取り外すことで、空気清浄度高要求エリアと空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアのレイアウトを改変するレイアウト改変工程を含むユニット型クリーンルーム施設方法は、空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアにおける側壁パネルの設置位置を変更することで、クリーンルームの利用者の作業内容の変更に伴うそれらエリアのレイアウト変更要求に応じてエリアのレイアウトを自由に改変することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアにあらたな側壁パネルを設置することで、あらたな側壁パネルによってそれらエリアを分割することができ、クリーンルームの利用者の作業内容の変更に伴うそれらエリアの分割要求に応じてエリアのレイアウトを自由に改変することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアから既設の側壁パネルを取り外すことで、それらエリアの容積や床面積を拡張することができ、クリーンルームの利用者の作業内容の変更に伴うそれらエリアの拡張要求に応じてエリアのレイアウトを自由に改変することができる。

ユニット型クリーンルームを施設した後に、建造物の内部における所定の箇所にあらたな側壁パネルを設置し、空気清浄度高要求エリアと空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアの数を増加させるエリア数増加工程と、ユニット型クリーンルームを施設した後に、建造物の内部における所定の箇所から既設の側壁パネルを取り外し、空気清浄度高要求エリアと空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアの数を減少させるエリア数減少工程とを含むユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルームを施設した後、建造物の所定の箇所にあらたな側壁パネルを設置することで、既設のエリアに繋がるあらたな空気清浄度高要求エリアや空気清浄度低要求エリアを施設することができ、クリーンルームの利用者の作業内容の変更に伴う建造物の内部におけるエリアの増設要求に応じて空気清浄度高要求エリアの数や空気清浄度低要求エリアの数を自由に増やすことができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルームを施設した後、建造物の内部における所定の箇所から既設の側壁パネルを取り外すことで、クリーンルームの利用者の作業内容の変更に伴う建造物の内部におけるエリアの減少要求に応じて空気清浄度高要求エリアの数や空気清浄度低要求エリアの数を自由に減らすことができる。

空気清浄度高要求エリアがユニット型クリーンルームにおける主作業を行う少なくとも１つのワークエリアであり、空気清浄度低要求エリアが主作業に対する補助作業及び第２更衣を行う少なくとも１つのサポートエリアと主作業を除く従作業を行う少なくとも１つのサプライエリアと第１更衣を行う少なくとも１つのガウニングエリアとであり、エリア施設工程が建造物の内部における所定の箇所にワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとガウニングエリアとを施設するユニット型クリーンルーム施設方法は、クリーンルームを形成するワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアのレイアウトを設計要求に応じて自由に設計することができ、建造物の内部における所定の箇所にクリーンルームの利用者の作業内容の変更による設計要求に応じたレイアウトのワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、ワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアがクリーンルームの外部空気及びクリーンルームの内部空気からなる空気を通流させる流路として機能し、各エリアへの専用ダクトを別途設置する必要はなく、ダクトレスのユニット型クリーンルームを建造物の内部における所定の箇所に容易に施設することができ、専用ダクトを設置する場合の天井高を確保する必要はなく、高い天井高を有する建造物のみならず、通常の天井高の天井を有する建造物にユニット型クリーンルームを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された側壁パネルによってワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアを施設するから、ダクト材料に関する各種複数の資材を必要とせず、ダクト工事を省略してクリーンルームの施設作業を短時間に行うことができ、原価の低減や工期を短縮することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、あらたな側壁パネルの設置（増設）や既設の側壁パネルの取り外しによって、クリーンルームを一度施設した後に、ワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアのレイアウトを自由に改変することができ、それらエリアの数を容易に増減することができる。

側壁パネルによって区画されてワークエリアとサプライエリアとを繋げ、ユニット型クリーンルームの外部空気が流入するとともにユニット型クリーンルームの内部空気が通流するメンテナンスエリアを施設するメンテナンスエリア施設工程を含み、清浄空気給気手段設置工程が清浄空気給気手段をメンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置し、還流手段設置工程が還流口と所定のフィルターと送風機構を有して空気を空気清浄度高要求エリアに還流させる空気還流手段とフィルター及び送風機構を有して空気を空気清浄度高要求エリアに還流させる清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つをメンテナンスエリアに対向するサプライエリアの側壁パネルに設置し、排気口設置工程が排気口をワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとガウニングエリアとのうちの少なくとも１つエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置するユニット型クリーンルーム施設方法は、清浄空気給気手段をメンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置することで、清浄空気給気手段を利用して空気をワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアに通流させることができるとともに、清浄空気給気手段のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、メンテナンスエリアにおいて清浄空気給気手段を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、清浄空気給気手段のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことが可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、メンテナンスエリアに外気を流入させることで、還気に外気（クリーンルームの外部空気）を混合させることができ、新鮮な空気を取り入れることが可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段のうちの少なくとも１つをメンテナンスエリアに対向するサプライエリアの側壁パネルに設置することで、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段を利用して空気をワークエリアに還流させることができるとともに、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、メンテナンスエリアにおいて還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、還流口やフィルター、空気還気手段、清浄空気還気手段のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことが可能なクリーンルームを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、ワークエリアとサポートエリアとサプライエリアとガウニングエリアとのうちの少なくとも１つのエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに排気口を設置することで、排気口を利用してワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアの空気を外部に排気することができるとともに、排気口のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、排気口を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、排気口のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことが可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。

ユニット型クリーンルームの外部空気をメンテナンスエリアに流入させる外気流入口と所定のフィルターと送風機構を有して外部空気をメンテナンスエリアに給気する外部空気給気手段とフィルター及び送風機構を有して外部空気をメンテナンスエリアに給気する清浄外部空気給気手段とのうちの少なくとも１つをメンテナンスエリアを区画する側壁パネルに設置する外気取入手段設置工程を含むユニット型クリーンルーム施設方法は、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段をメンテナンスエリアを区画する側壁パネルに設置することで、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段によって外気（クリーンルームの外部空気）をメンテナンスエリアに流入させることができるとともに、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段を低所において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、外気流入口やフィルター、外部空気給気手段、清浄外部空気給気手段のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うこと可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。

ユニット型クリーンルームの外部空気及びユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気を空調する空調機をメンテナンスエリアに設置する空調機設置工程を含むユニット型クリーンルーム施設方法は、空調機によって設定温度及び設定湿度に空調された空気をメンテナンスエリアからワークエリアやサポートエリア、サプライエリア、ガウニングエリアに順に通流させることができ、それらエリアの温度環境や湿度環境を最適に保持することができるとともに、クリーンルームの利用者にとって良好な作業環境をそれらエリアに作ること可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。

清浄空気給気手段からワークエリア（空気清浄度高要求エリア）の一方向へ空気を給気すると、給気の動圧が大きい場合、ワークエリアを通過した空気がサポートエリア（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネルにおいて跳ね返り、サポートエリアの低清浄度空気を含む空気がワークエリアに逆流する場合があるが、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れを拡散させる整流板をメンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルに設置する整流板設置工程を含むユニット型クリーンルーム施設方法は、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れが整流板によって拡散されるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリアを通過した空気のサポートエリアの側壁パネルにおける跳ね返りを防ぐことが可能であって、低清浄度空気を含む空気のワークエリアへの逆流を防ぐことが可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。

前記整流板設置工程によって設置される整流板がワークエリアに給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるデフレクター板と、空気を通流させる複数の貫通孔が形成されてワークエリアに給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるパンチング板と、ワークエリアに給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるとともに、空気を通流させる複数の貫通孔が形成されてワークエリアに給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるデフレクターパンチング板とのうちのいずれかであるユニット型クリーンルーム施設方法は、メンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルにデフレクター板を設置することで、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れがデフレクター板によって一方向と交差する交差方向へ変えられるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリアを通過した空気のサポートエリア（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネルにおける跳ね返りを防ぐことが可能であって、低清浄度空気を含む空気のワークエリアへの逆流を防ぐことが可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、メンテナンスエリアに対向するワークエリアの側壁パネルにパンチング板を設置することで、清浄空気給気手段によってワークエリア（空気清浄度高要求エリア）の一方向へ給気される空気の流れがパンチング板によって一方向を含むその他の方向へ分散されるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリアを通過した空気のサポートエリア（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネルにおける跳ね返りを防ぐことが可能であって、低清浄度空気を含む空気のワークエリアへの逆流を防ぐことが可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、メンテナンスエリアに対向するワークエリア（空気清浄度高要求エリア）の側壁パネルにデフレクターパンチング板を設置することで、清浄空気給気手段によってワークエリアの一方向へ給気される空気の流れがデフレクターパンチング板によって一方向と交差する交差方向へ変えられるとともに一方向を含むその他の方向へ分散されるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリアを通過した空気のサポートエリア（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネルにおける跳ね返りを防ぐことが可能であって、低清浄度空気を含む空気のワークエリアへの逆流を防ぐことが可能なユニット型クリーンルームを施設することができる。

一例として示すユニット型クリーンルーム１の斜視図。 ユニット型クリーンルームの上面図。 ユニット型クリーンルームの正面図。 ユニット型クリーンルームの背面図。 ユニット型クリーンルームの右側面図。 ユニット型クリーンルームの左側面図。 天井パネルを取り外した状態で示すユニット型クリーンルームの上面図。 ユニット型クリーンルームにおける空気（外気及び還気）の流動を説明する上面図 他の一例として示すユニット型クリーンルームの上面図。 図９のユニット型クリーンルームにおける空気の流動を説明する上面図。 レイアウトの改変前のユニット型クリーンルームの上面図。 レイアウトの改変後のユニット型クリーンルームの上面図。 エリア数増加後のユニット型クリーンルームの上面図。 天井パネルを取り外した状態で示す他の一例のユニット型クリーンルームの上面図。 側壁パネルに設置されたデフレクター板の一例を示す斜視図。 側壁パネルに設置されたデフレクター板の側面図。 デフレクター板を取り付けたユニット型クリーンルームにおける空気（外気及び還気）の流動を説明する上面図。 天井パネルを取り外した状態で示す他の一例のユニット型クリーンルームの上面図。 側壁パネルに設置されたパンチング板の一例を示す斜視図。 パンチング板を取り付けたユニット型クリーンルームにおける空気（外気及び還気）の流動を説明する上面図。 側壁パネルに設置されたデフレクターパンチング板の一例を示す斜視図。 側壁パネルに設置されたデフレクターパンチング板の側面図。

一例として示すユニット型クリーンルーム１０Ａの斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明に係るユニット型クリーンルーム及びユニット型クリーンルーム施設方法の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、ユニット型クリーンルーム１０Ａの上面図であり、図３は、ユニット型クリーンルーム１０Ａの正面図である。図４は、ユニット型クリーンルーム１０Ａの背面図であり、図５は、ユニット型クリーンルーム１０Ａの右側面図である。図６は、ユニット型クリーンルーム１０Ａの左側面図であり、図７は、天井パネル１２を取り外した状態で示すユニット型クリーンルーム１０Ａの上面図である。図１では、クリーンルーム１０Ａに設置された各機器やクリーンルーム１０Ａに収容された各機器の図示を省略している。図１では、前後方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、上下方向を矢印Ｃで示す。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ（ユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄを含む）は、病院や研究棟、実験棟、細胞培養施設、薬品製造工場、半導体製造工場等の建造物の内部（室内）における所定の箇所に施設され、各種の実験や研究、細胞培養、開発等に利用される。ユニット型クリーンルーム１０Ａ（ユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄを含む）は、各側壁パネル１１（側壁を形成する仕切板）及び各天井パネル１２（天井を形成する仕切板）によって区画された空気清浄度高要求エリア１３～空気清浄度低要求エリア１４を有する。空気清浄度高要求エリア１３～空気清浄度低要求エリア１４は、それらエリア１３，１４が一連に繋がって一棟のユニット型クリーンルーム１０Ａを形成している。それらエリア１３，１４の内部の気圧は、陽圧に保持されている。

各側壁パネル１１は、垂直に配置され、前後方向と横方向とへ一列に並んだ状態でそれらの下端部が建造物の床に気密に連結されている。側壁パネル１１どうしは、それらの側縁部が気密に連結されている。それら側壁パネル１１は、前後方向と横方向とへ連結されてユニット型クリーンルーム１０Ａ（各エリア１３，１４）の側壁を形成している。それら側壁パネル１１は、建造物の内部に着脱可能であり、複数枚の側壁パネル１１を所定のマニュアル（手順）にしたがって建造物の内部に容易かつ迅速に取り付けることができ、建造物の内部から容易かつ迅速に取り外すことができるとともに、複数枚の側壁パネル１１に容易に分解することができる。

各天井パネル１２は、水平に配置され、前後方向と横方向とへ一列に並んだ状態で側壁パネル１１の上端部に気密に連結されている。各天井パネル１２どうしは、それらの接合部において気密に連結されている。それら天井パネル１２は、前後方向と横方向とへ連結されてクリーンルーム１０Ａ（各エリア１３，１４）の天井を形成している。それら天井パネル１２は、建造物の内部に着脱可能であり、複数枚の天井パネル１２を所定のマニュアル（手順）にしたがって建造物の内部に容易かつ迅速に取り付けることができ、建造物の内部から容易かつ迅速に取り外すことができるとともに、複数枚の天井パネル１２に容易に分解することができる。

天井パネル１２には、図示はしていないが、クリーンルーム１０Ａを照らす天井用照明器具（ＬＥＤ照明や蛍光灯）が設置されている。なお、クリーンルーム１０Ａの天井として建造物の天井を利用することで、天井パネル１２を省くこともできる。この場合、側壁パネル１１の下端部が建造物の床に気密に連結され、側壁パネル１１の上端部が建造物の天井に気密に連結される。

それら側壁パネル１１やそれら天井パネル１２には、アルミサッシ（アルミ枠）に透明（無色透明、有色透明）、半透明、不透明の合成樹脂板（アクリルボードやポリカーボネートボード、塩ビボード等）を気密に嵌め込んだ平面形状が四角形の板材、アルミサッシ（アルミ枠）に透明（無色透明、有色透明）、半透明、不透明のガラス板を気密に嵌め込んだ平面形状が四角形の板材が使用されている。それらパネル１１，１２には、平面形状が四角形のアルミパネルまたは鋼材パネルを使用することもできる。

空気清浄度高要求エリア１３は、ユニット型クリーンルーム１０Ａ（ユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄを含む）における主作業を行う所定容積及び所定の床面積のワークエリア１５（作業エリア）である。空気清浄度低要求エリア１４は、主作業に対する補助作業及び第２更衣を行う所定容積及び所定の床面積のサポートエリア１６と、主作業を除く従作業を行う所定容積及び所定の床面積のサプライエリア１７と、第１更衣を行う所定容積及び所定の床面積のガウニングエリア１８と、所定のメンテナンスを行う所定容積及び所定の床面積のメンテナンスエリア１９とから形成されている。

ワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９がひとつながりになって一棟のクリーンルーム１０Ａ（クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄを同様）を作っている。なお、空気清浄度低要求エリア１４は、１つ（１エリア）以上のサポートエリア１６、１つ（１エリア）以上のサプライエリア１７、１つ（１エリア）以上のガウニングエリア１８、１つ（１エリア）以上のメンテナンスエリア１９のうちの少なくとも１つ（１エリア）以上のサプライエリア１７であればよい。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ（ユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄを含む）は、空気清浄度高要求エリア１３～空気清浄度低要求エリア１４に向かってクリーンルーム１０Ａの外部空気及びクリーンルーム１０Ａの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気を段階的に連続利用する。具体的には、ワークエリア１５→サポートエリア１６→サプライエリア１７→メンテナンスエリア１９の順に空気を循環させ、空気をそれらエリア１５，１６，１７，１９に段階的に連続利用する。なお、空気の一部がサプライエリア１７から外部に排気される。また、空気の一部がワークエリア１５→サポートエリア１６→ガウニングエリア１８の順に通流し、ガウニングエリア１８から外部に排気される。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ（ユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄを含む）では、空気清浄度高要求エリア１３における空気の清浄度要求が１番高い。空気の清浄度要求は、空気清浄度高要求エリア１３～空気清浄度低要求エリア１４に向かって順に低くなる。具体的には、空気の清浄度要求がワークエリア１５→サポートエリア１６→サプライエリア１７→メンテナンスエリア１９の順に低くなり、空気の清浄度要求がワークエリア１５→サポートエリア１６→ガウニングエリア１８の順に低くなる。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ（ユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄを含む）では、空気清浄度高要求エリア１３における空気の温度の要求度が１番高い。空気の温度の要求度は、空気清浄度高要求エリア１３～空気清浄度低要求エリア１４に向かって順に低くなる。具体的には、空気の温度の要求度がワークエリア１５→サポートエリア１６→サプライエリア１７→メンテナンスエリア１９の順に低くなり、空気の温度の要求度がワークエリア１５→サポートエリア１６→ガウニングエリア１８の順に低くなる。

ワークエリア１５において行われる主作業には、各種の実験作業や研究作業、開発作業、細胞培養作業等がある。ワークエリア１５には、細胞培養に使用するバイオハザード対策用安全キャビネット（ＢＳＣ）２０や遠心分離器２１、インキュベーター２２が設置されている（図７参照）。なお、クリーンベンチやグローブボックス、アイソレータ、ドラフトチャンバ等の実験設備がワークエリア１５に設置される場合もある。

図１では、１つ（１エリア）のワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）を図示しているが、建造物の所定の箇所に２つ（２エリア）以上のワークエリア１５が施設されてもよい。ワークエリア１５の容積（大きさ）や床面積、レイアウト（エリアの平面形状）について特に制限はなく、ワークエリア１５の使用目的や用途に応じてその容積や床面積、レイアウトを自由に設定（設計）することができる。

側壁パネル１１の設置数や設置箇所、天井パネル１２の設置数や設置箇所を計画することにより、ワークエリア１５の施設前（施工前）におけるワークエリア１５の容積や床面積（大きさ）、レイアウトを自由に設計することができる。また、ワークエリア１５を施設（施工）した後、あらたな側壁パネル１１やあらたな天井パネル１２を設置（増設）し、又は、既設の側壁パネル１１や既設の天井パネル１２を取り外すことで、ワークエリア１５の施工後におけるワークエリア１５の容積（大きさ）や床面積を大きくしたり小さくしたりすることができ、ワークエリア１５のレイアウト（エリアの平面形状）を自由に改変することができるとともに、ワークエリア１５の数（エリア数）を増やすことができ、複数のワークエリア１５の数（エリア数）を減らすことができる。

ガウニングエリア１８において行われる第１更衣は、たとえば、フードや前身頃、後身頃、袖から作られた１次無塵衣（作業者の上半身および下半身を覆うつなぎ服タイプ、又は、作業者の上半身を覆う上着タイプおよび下半身を覆うズボンタイプ）を衣服の上に着用する行為である。ガウニングエリア１８には、着替え用のロッカー２３が設置されている（図７参照）。

サプライエリア１７において行われる従作業には、たとえば、培養した細胞の保存作業や培養液の保存作業、物品の出し入れ、実験データの入力作業、研究結果の入力作業、培養結果の入力作業、開発品の物性や品質の確認作業等がある。サポートエリア１６において行われる補助作業には、たとえば、実験材料や研究材料、開発機器、培養細胞、培養液の搬入作業、培養細胞や培養液の回収作業等がある。サプライエリア１７には、防爆冷蔵庫２４、ディープフリーザー２５が設置されている（図７参照）。椅子や机、棚、コンピュータ（サーバ）等がサプライエリア１７に設置される場合もある。サポートエリア１６において行われる第２更衣は、ヤッケ型２次無塵衣や無塵アームカバー、無塵マスク、無塵キャップ等を着用する行為である。

図１では、１つ（１エリア）のサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）やサプライエリア１７（空気清浄度低要求エリア１４）、ガウニングエリア１８（空気清浄度低要求エリア１４）、１つのメンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）を図示しているが、建造物の所定の箇所に２つ（２エリア）以上のサポートエリア１６やサプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９が施設されていてもよい。

サポートエリア１６やサプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９の容積（大きさ）や床面積、レイアウト（エリア１６～１９の平面形状）について特に制限はなく、サポートエリア１６やサプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９の使用目的や用途に応じてそれらエリア１６～１９の容積や床面積、レイアウトを自由に設定（設計）することができる。

側壁パネル１１の設置数や設置箇所、天井パネル１２の設置数や設置箇所を計画することにより、サポートエリア１６やサプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９の施工前におけるそれらエリア１６～１９の容積（大きさ）や床面積、レイアウト（エリア１６～１９の平面形状）を自由に設計することができる。

それらエリア１６～１９を施設（施工）した後、あらたな側壁パネル１１やあらたな天井パネル１２を設置（増設）し、又は、既設の側壁パネル１１や既設の天井パネル１２を取り外すことで、サポートエリア１６やサプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９の施工後におけるそれらエリア１６～１９の容積（大きさ）や床面積を大きくしたり小さくしたりすることができ、それらエリア１６～１９のレイアウト（エリア１６～１９の平面形状）を自由に改変することができるとともに、それらエリア１６～１９の数を増やすことができ、複数のエリア１６～１９の数を減らすことができる。

ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）は、サポートエリア１６とメンテナンスエリア１９との間に位置している。ワークエリア１５は、建造物の床、各側壁パネル１１、各天井パネル１２によって囲繞（区画）され、主作業を行うことが可能な容積及び床面積を有する。ワークエリア１５は、クリーンルーム１０Ａの外部空気及びクリーンルーム１０Ａの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気がワークエリア１５からサポートエリア１６に向かって流動することで、空気が通流する流路（擬似ダクト）として機能する。

ワークエリア１５とサポートエリア１６とを区画する各側壁１１の間には、作業者が通行可能な面積（大きさ）を有する出入口２６（開口）が作られている。ワークエリア１５は、所定面積の出入口２６を介してサポートエリア１６に繋がっている。ワークエリア１５では、出入口２６を通ることでサポートエリア１６からワークエリア１５に入ることができ、ワークエリア１５からサポートエリア１６に出ることができる。

ワークエリア１５は、空気をメンテナンスエリア１９からその内部に給気する２つのファンフィルターユニット２７（フィルター及び送風機構を有して空気をワークエリア１５の内部に給気する清浄空気給気手段）を備えている。ワークエリア１５は、ファンフィルターユニット２７を介してメンテナンスエリア１９に繋がっている。ワークエリア１５は、ファンフィルターユニット２７及び後記するファンフィルターユニット３１から所定の給気風量（たとえば、０．３～０．４ｍ／ｓ）の空気が給気されることで、その内部気圧が陽圧（３０Ｐａ）に保持されている。

それらファンフィルターユニット２７は、ワークエリア１５を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９に対向する側壁パネル１１の上部に設置されている。ファンフィルターユニット２７は、図示はしていないが、メンテナンスエリア１９を区画する側壁パネル１１（建造物の内部の側の側壁パネル１１）に設置されたコントローラー（制御盤）に接続され、コントローラーによってその発停（ＯＮ／ＯＦＦ）やファンの出力設定が行われる。

それらファンフィルターユニット２７にはＨＥＰＡフィルターが着脱可能に設置され、ファンフィルターユニット２７を通過する空気に含まれる不純物（塵埃や微粒子、ＰＭ２．５等）がＨＥＰＡフィルターによって除去される。ファンフィルターユニット２７の設置数について特に制限はなく、クリーンルーム１０Ａの容積や床面積によってその設置数が決定される。

クリーンルーム１０Ａは、ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）がワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）を区画する側壁パネル１１に設置されているから、ファンフィルターユニット２７を利用して必要な清浄度及び必要な温度を備えた空気をワークエリア１５からサポートエリア１６やサプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）に向かって順に通流させることができるとともに、ファンフィルターユニット２７のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、ファンフィルターユニット２７を低所（床面高さ付近）において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、ファンフィルターユニット２７のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。

サポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）は、ワークエリア１５とガウニングエリア１８との間に位置している。サポートエリア１６は、建造物の床、各側壁パネル１１、各天井パネル１２によって囲繞（区画）され、補助作業を行うことが可能な容積（大きさ）及び床面積を有する。サポートエリア１６は、クリーンルーム１０Ａの外部空気及びクリーンルーム１０Ａの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気がサポートエリア１６からサプライエリア１７に向かって流動するとともに、空気がサポートエリア１６からガウニングエリア１８に向かって流動することで、空気が通流する流路（擬似ダクト）として機能する。

ワークエリア１５及びサポートエリア１６を区画する側壁パネル１１とサポートエリア１６及びガウニングエリア１８を区画する側壁パネル１１との間には、作業者が通行可能な面積（大きさ）を有する出入口２８（開口）が作られている。サポートエリア１６は、所定面積の出入口２８を介してサプライエリア１７に繋がっている。サポートエリア１６では、出入口２８を通ることでサプライエリア１７からサポートエリア１６に入ることができ、サポートエリア１６からサプライエリア１７に出ることができる。なお、各側壁１１の間に取り付けられた開閉扉（ドア）によってサポートエリア１６がサプライエリア１７に繋がっていてもよく、各側壁１１の間に取り付けられた開閉扉（ドア）によってサポートエリア１６がガウニングエリア１８に繋がっていてもよい。

サポートエリア１６は、空気をサポートエリア１６からガウニングエリア１８に給気する１つのファンフィルターユニット２９（フィルター及び送風機構を有して空気をガウニングエリアの内部に給気する清浄空気給気手段）を備えている。サポートエリア１６は、ファンフィルターユニット２７及びファンフィルターユニット２９並びにファンフィルターユニット３１の稼働中においてその内部気圧が陽圧（３０Ｐａ）に保持されている。ファンフィルターユニット２９は、サポートエリア１６を区画する側壁パネル１１であってガウニングエリア１８に対向する側壁パネル１１の上部に設置されている。

ファンフィルターユニット２９は、コントローラー（制御盤）に接続され、コントローラーによってその発停（ＯＮ／ＯＦＦ）やファンの出力設定が行われる。ファンフィルターユニット２９にはＨＥＰＡフィルターが着脱可能に設置され、ファンフィルターユニット２９を通過する空気に含まれる不純物（塵埃や微粒子、ＰＭ２．５等）がＨＥＰＡフィルターによって除去される。空気は、サポートエリア１６から出入口２８を通ってサプライエリア１７に流入し、サポートエリア１６からファンフィルターユニット２９を通ってガウニングエリア１８に流入する。ファンフィルターユニット２９の設置数について特に制限はなく、ガウニングエリア１８の容積や床面積、ガウニングエリア１８の要求清浄度によってその設置数が決定される。

なお、サポートエリア１６は、ファンフィルターユニット２９ではなく、フィルターユニット（フィルター）又はファンユニット（送風機構を有して空気をガウニングエリア に給気する給気手段）を備えていてもよい。その場合、フィルターユニットやファンユニットは、サポートエリア１６を区画する側壁パネル１１であってガウニングエリア１８に対向する側壁パネル１１の上部に設置される。フィルターユニットにはＨＥＰＡフィルターが着脱可能に設置され、フィルターユニットを通過する空気に含まれる不純物（塵埃や微粒子、ＰＭ２．５等）がＨＥＰＡフィルターによって除去される。空気は、サポートエリア１６からフィルターユニットやファンユニットを通ってガウニングエリア１８に流入する。フィルターユニットやファンユニットの設置数について特に制限はなく、ガウニングエリア１８の容積や床面積、ガウニングエリア１８の要求清浄度によってそれらの設置数が決定される。

クリーンルーム１０Ａは、ファンフィルターユニット２９（清浄空気給気手段）（又はフィルターユニット、ファンユニット）がサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）を区画する側壁パネル１１に設置されているから、ファンフィルターユニット２９を利用して必要な清浄度を備えた空気をサポートエリア１６からガウニングエリア１８（空気清浄度低要求エリア１４）に流入させることができるとともに、ファンフィルターユニット２９（又はフィルターユニット、ファンユニット）のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、ファンフィルターユニット２９（又はフィルターユニット、ファンユニット）を低所（床面高さ付近）において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、ファンフィルターユニット２９（又はフィルターユニット、ファンユニット）のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことができる。

サプライエリア１７（空気清浄度低要求エリア１４）は、ワークエリア１５、サポートエリア１６、ガウニングエリア１８の前方に位置している。サプライエリア１７は、建造物の床、各側壁パネル１１、各天井パネル１２によって囲繞（区画）され、従作業を行うことが可能な容積（大きさ）及び床面積を有する。サプライエリア１７は、クリーンルーム１０Ａの外部空気及びクリーンルーム１０Ａの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気がサプライエリア１７からメンテナンスエリア１９に向かって流動することで、空気が通流する流路（擬似ダクト）として機能する。

サプライエリア１７は、エリア１７とガウニングエリア１８とを区画する各側壁１１の間に取り付けられた開閉扉３０（ドア）を介してガウニングエリア１８に繋がっている。サプライエリア１７では、開閉扉３０（ドア）を開放することでガウニングエリア１８からサプライエリア１７に入ることができ、サプライエリア１７からガウニングエリア１８に出ることができる。サプライエリア１７は、２つのファンフィルターユニット３１（還流手段）（フィルター及び送風機構を有して空気をメンテナンスエリアの内部に給気する清浄空気還流手段）を備えている。それらファンフィルターユニット３１は、空気をサプライエリア１７からメンテナンスエリア１９に流入（還流）させる。サプライエリアは、ファンフィルターユニット２７及びファンフィルターユニット２９並びにファンフィルターユニット３１の稼働中においてその内部気圧が陽圧（３０Ｐａ）に保持されている。

それらファンフィルターユニット３１（還流手段）は、サプライエリア１７を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９に対向する側壁パネル１１の上部に設置されている。ファンフィルターユニット３１は、コントローラー（制御盤）に接続され、コントローラーによってその発停（ＯＮ／ＯＦＦ）やファンの出力設定が行われる。ファンフィルターユニット３１には、ＨＥＰＡフィルターが着脱可能に設置されている。ファンフィルターユニット３１では、そこを通過する空気に含まれる不純物（塵埃や微粒子、ＰＭ２．５等）がＨＥＰＡフィルターによって除去される。ファンフィルターユニット３１の設置数について特に制限はなく、クリーンルーム１０Ａの容積や床面積によってその設置数が決定される。

還流手段としては、ファンフィルターユニット３１ではなく、側壁パネル１１に開口する還流口であってもよく、又は、ＨＥＰＡフィルターが着脱可能に設置されたフィルターユニット（フィルター）であってもよく、或いは、ファンユニット（送風機構を有して空気をメンテナンスエリアに給気する空気還流手段）であってもよい。還流手段が還流口やフィルターユニット、ファンユニットである場合、還流口やフィルターユニット、ファンユニットは、サプライエリア１７を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９に対向する側壁パネル１１の上部に設置される。空気は還流口やフィルターユニット、ファンユニットを通ってメンテナンスエリア１９に流入する。フィルターユニットを通過する空気に含まれる不純物（塵埃や微粒子。ＰＭ２．５等）がＨＥＰＡフィルターによって除去され、清浄な空気がフィルターユニットを通ってメンテナンスエリア１９に流入する。

サプライエリア１７には、２つのパスボックス３２と１つのバランスダンパー３３（排気口）とが設置されている。パスボックス３２は、サプライエリア１７を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９の反対側に位置する側壁パネル１１に設置されている。パスボックス３２は、サプライエリア１７の内側に開閉するドア３４及びクリーンルーム１０Ａの外部（建造物の内部）に開閉するドア３５を有し、それらドア３４，３５を利用して各種の実験材料（実験用細胞や実験用菌等）をクリーンルーム１０Ａの外部からサプライエリア１７に搬入し、各種の成果物（培養細胞や培養菌等）をサプライエリア１７からクリーンルーム１０Ａの外部に搬出する。

バランスダンパー３３（排気口）は、サプライエリア１７を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９の反対側に位置する側壁パネル１１の上部に設置されている。バランスダンパー３３は、サポートエリア１６から流入した空気の一部をサプライエリア１７の外部（建造物の内部）に排気する。バランスダンパー３３の設置数について特に制限はなく、サプライエリア１７から排気する空気の排気量によってその設置数が決定される。なお、バランスダンパー３３（排気口）がワークエリア１５を囲繞（区画）する側壁パネル１１やサポートエリア１６を囲繞（区画）する側壁パネル１１に設置されていてもよい。また、排気口がバランスダンパー３３ではなく排気開口であってもよい。

メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）は、ワークエリア１５及びサプライエリア１７の側方に位置し、ワークエリア１５とサプライエリア１７とを繋いでいる。メンテナンスエリア１９は、建造物の床、各側壁パネル１１、各天井パネル１２によって囲繞（区画）され、メンテナンス作業を行うことが可能な容積（大きさ）及び床面積を有する。メンテナンスエリア１９は、クリーンルーム１０Ａの外部空気及びクリーンルーム１０Ａの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気がメンテナンスエリア１９からワークエリア１５に向かって流動することで、空気が通流する流路（擬似ダクト）として機能する。

メンテナンスエリア１９は、ワークエリア１５の側壁パネル１１に設置されたファンフィルターユニット２７を介してワークエリア１５に繋がり、サプライエリア１７の側壁パネル１１に設置されたファンフィルターユニット３１を介してサプライエリア１７に繋がっている。メンテナンスエリア１９のワークエリア１５に隣接する後端箇所には、開閉カーテン３６が設置されている。開閉カーテン３６を開放することでメンテナンスエリア１７に入ることができ、メンテナンスエリア１７からクリーンルーム１０Ａの外部（建造物の内部）出ることができる。なお、開閉カーテン３６ではなく、開閉扉（ドア）がメンテナンスエリア１９の後端箇所に設置されていてもよい。

メンテナンスエリア１９には、１つのバランスダンパー３７（外気流入口）が設置され、クリーンルーム１０Ａの外部空気及びクリーンルーム１０Ａの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気を空調する空調機３８（床置きＰＡＣ）が設置されている。バランスダンパー３７（外気流入口）は、メンテナンスエリア１９に設置された開閉カーテン３６の上方の側壁パネル１１に設置されている。バランスダンパー３７は、メンテナンスエリア１７の外部（建造物の内部）からメンテナンスエリア１７の内部に外気（外部空気）を流入させる。バランスダンパー３７の設置数について特に制限はなく、メンテナンスエリア１７に流入させる外気（外部空気）の給気量によってその設置数が決定される。なお、外気流入口が外気流入開口であってもよく、メンテナンスエリア１７に空調機３８（床置きＰＡＣ）が設置されていなくてもよい。

メンテナンスエリア１９には、外気（外部空気）が通流するフィルターユニット（フィルター）が設置されていてもよく、又は、外気（外部空気）をメンテナンスエリアに給気するファンユニット（送風機構を有して外部空気をメンテナンスエリア に給気する外部空気給気手段）が設置されていてもよく、或いは、外気（外部空気）をメンテナンスエリアに給気するファンフィルターユニット（フィルター及び送風機構を有して外部空気をメンテナンスエリア に給気する清浄外部空気給気手段）が設置されていてもよい。

フィルターユニットやファンユニット、ファンフィルターユニットは、メンテナンスエリア１９を区画する側壁パネル１１の上部に設置される。フィルターユニットやファンフィルターユニットにはＨＥＰＡフィルターが着脱可能に設置され、フィルターユニットやファンフィルターユニットを通過する空気に含まれる不純物（塵埃や微粒子、ＰＭ２．５等）がＨＥＰＡフィルターによって除去される。空気は、フィルターユニットやファンユニット、ファンフィルターユニットを通ってメンテナンスエリア１７に流入する。フィルターユニットやファンユニット、ファンフィルターユニットの設置数について特に制限はなく、メンテナンスエリア１７に流入させる外気（外部空気）の給気量、メンテナンスエリア１７の要求清浄度によってそれらの設置数が決定される。

ガウニングエリア１８（空気清浄度低要求エリア１４）は、サポートエリア１６の側方であってサプライエリア１７の後方に位置している。ガウニングエリア１８は、建造物の床、各側壁パネル１１、各天井パネル１２によって囲繞（区画）され、第１更衣を行うことが可能な容積（大きさ）及び床面積を有する。ガウニングエリア１８は、クリーンルーム１０Ａの外部空気及びクリーンルーム１０Ａの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気がガウニングエリア１８からクリーンルーム１０Ａの外部（建造物の内部）に向かって流動することで、空気が通流する流路（擬似ダクト）として機能する。

ガウニングエリア１８は、各側壁パネル１１の間に取り付けられた開閉扉３９（ドア）を介して外部（建造物の内部）に繋がっている。ガウニングエリア１８では、開閉扉３９（ドア）を開放することで外部からガウニングエリア１８に入ることができ、ガウニングエリア１８から外部に出ることができる。ガウニングエリア１８は、ファンフィルターユニット２９の稼働中においてその内部気圧が陽圧（１５Ｐａ）に保持されている。

ガウニングエリア１８には、１つのバランスダンパー４０（排気口）が設置されている。バランスダンパー４０（排気口）は、ガウニングエリア１８を区画する側壁パネル１１であってサポートエリア１６の反対側に位置する側壁パネル１１の上部に設置されている。バランスダンパー４０は、サポートエリア１６からガウニングエリア１８に流入した空気をガウニングエリア１８の外部（建造物の内部）に排気する。バランスダンパー４０の設置数について特に制限はなく、ガウニングエリア１８から排気する空気の排気量によってその設置数が決定される。排気口がバランスダンパー３９ではなく排気開口であってもよい。

図８は、ユニット型クリーンルーム１０Ａにおける空気（外気及び還気）の流動を説明する上面図である。コントローラーにおいてファンフィルターユニット２７，２９，３１を起動（ＯＮ）させ、リモコン（図示せず）によって空調機３８（床置きＰＡＣ）を起動（ＯＮ）させる。空調機３８（床置きＰＡＣ）を起動させると、空調機３８によって設定温度及び設定湿度の空調された空気が作られ、空調機３８の吹き出し口から空調された空気がメンテナンスエリア１９に給気される。

ファンフィルターユニット２７が起動すると、図８に矢印Ｌ１で示すように、ファンフィルターユニット２７によって空気が強制的にメンテナンスエリア１９からワークエリア１５に給気される。それにともなって、図８に矢印Ｌ２で示すように、外気（外部空気）がバランスダンパー３７を通ってメンテナンスエリア１９に流入し、還気（クリーンルーム１０Ａの内部空気）と外気（クリーンルーム１０Ａの外部空気）とがメンテナンスエリア１９において混合される。

ファンフィルターユニット３１が起動すると、図８に矢印Ｌ３で示すように、ファンフィルターユニット３１によって空気が強制的にサプライエリア１７からメンテナンスエリア１９に給気される。ファンフィルターユニット２９が起動すると、図８に矢印Ｌ４で示すように、ファンフィルターユニット２９によって空気が強制的にサポートエリア１６からガウニングエリア１８に給気される。

メンテナンスエリア１９からワークエリア１５に給気された外気及び還気からなる空気は、ワークエリア１５に流入した後、図８に矢印Ｌ５で示すように、出入口２６を通ってワークエリア１５からサポートエリア１６に流入する。サポートエリア１６に流入した空気の大部分は、図８に矢印Ｌ６で示すように、出入口２８を通ってサポートエリア１６からサプライエリア１７に流入する。サポートエリア１６に流入した空気の一部は、図８に矢印Ｌ７で示すように、ファンフィルターユニット２９によってサポートエリア１６からガウニングエリア１８に流入し、バランスダンパー４０を通ってガウニングエリア１８から外部（建造物の内部）に排気される。

サプライエリア１７に流入した空気の大部分は、図８に矢印Ｌ８で示すように、ファンフィルターユニット３１によってサプライエリア１７からメンテナンスエリア１９に流入し、メンテナンスエリア１９から再びワークエリア１５に流入する。サプライエリア１７に流入した空気の一部は、図８に矢印Ｌ９で示すように、バランスダンパー３３を通ってサプライエリア１７から外部（建造物の内部）に排気される。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ（ユニット型クリーンルーム１０Ｂを含む）では、空調機３８によって適温度、適湿度に空調された清浄度が高い空気がワークエリア１５に流入し、ワークエリア１５において主作業を行うことで空気の清浄度や適温度、適湿度が低下し、清浄度や適温度、適湿度が低下した空気がサポートエリア１６に流入する。サポートエリア１６において第２更衣が行われることで空気の清浄度や適温度、適湿度が更に低下し、清浄度や適温度、適湿度が低下した空気がサプライエリア１７に流入する。

サプライエリア１７において従作業を行うことで空気の清浄度や適温度、適湿度が一層低下し、清浄度や適温度、適湿度が低下した空気がファンフィルターユニット３１に流入する。ファンフィルターユニット３１によって空気に含まれる不純物が除去され、清浄度が回復した空気がファンフィルターユニット３１からメンテナンスエリア１９に給気される。メンテナンスエリア１９に設置された空調機３８によって空気が空調され、空気の温度や湿度が適温度、適湿度に回復し、その空気がファンフィルターユニット２７に流入する。

メンテナンスエリア１９においてメンテナンス作業を行うことで、メンテナンスエリア１９を通流する空気の清浄度が低下するが、ファンフィルターユニット２７によって空気に含まれる不純物が除去され、清浄度が回復した空気がファンフィルターユニット２７からワークエリア１５に給気される。サポートエリア１６において清浄度が低下した空気は、ガウニングエリア１８に繋がるファンフィルターユニット２９に流入する。ファンフィルターユニット２９によって空気に含まれる不純物が除去され、清浄度が回復した空気がファンフィルターユニット２９からガウニングエリア１８に流入する。

図９は、他の一例として示すユニット型クリーンルーム１０Ｂの上面図であり、図１０は、ユニット型クリーンルーム１０Ｂにおける空気（外気及び還気）の流動を説明する上面図である。このユニット型クリーンルーム１０Ｂが図１のそれと異なるところは、サプライエリア１７とガウニングエリア１８とを区画する側壁パネル１１の間に開閉扉３０（ドア）が設置されておらず、それらエリア１７，１８を区画する各側壁パネル１１の間に出入口４１（開口）が作られている点、ガウニングエリア１８を区画する側壁パネル１１の間に開閉扉３９（ドア）が設置されておらず、エリア１８を区画する各側壁パネル１１の間に出入口４２（開口）が作られている点にある。このユニット型クリーンルーム１０Ｂのその他の構成は図１のユニット型クリーンルーム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１のクリーンルーム１０Ａの説明を援用することで、このクリーンルーム１０Ｂのその他の構成の説明は省略する。

サプライエリア１７とガウニングエリア１８とを区画する各側壁パネル１１の間には、作業者が通行可能な開口面積（大きさ）を有する出入口４１（開口）が作られている。サプライエリア１７は、出入口４１（開口）を介してガウニングエリア１８に繋がっている。サプライエリア１７では、出入口４１（開口）を通ることでガウニングエリア１８からサプライエリア１７に入ることができ、サプライエリア１７からガウニングエリア１８に出ることができる。

ガウニングエリア１８を区画する各側壁パネル１１の間には、作業者が通行可能な開口面積（大きさ）を有する出入口４２（開口）が作られている。ガウニングエリア１８は、出入口４２（開口）を介して外部（建造物の内部）に繋がっている。ガウニングエリア１８では、出入口４２（開口）を通ることで外部からガウニングエリア１８に入ることができ、ガウニングエリア１８から外部に出ることができる。

クリーンルーム１０Ｂでは、ファンフィルターユニット２７やファンフィルターユニット２９、ファンフィルターユニット３１によってワークエリア１５→サポートエリア１６→サプライエリア１７→メンテナンスエリア１９の順に（通流）循環する一方向へ流れる気流が発生し、ワークエリア１５→サポートエリア１６→ガウニングエリア１８の順に通流する一方向へ流れる気流が発生する。

空調機３８（床置きＰＡＣ）が起動すると、空調機３８によって設定温度及び設定湿度に空調された空気が作られ、空調機３８の吹き出し口から空調された空気がメンテナンスエリア１９に給気される。ファンフィルターユニット２７が起動すると、図１０に矢印Ｌ１で示すように、ファンフィルターユニット２７によって空気が強制的にメンテナンスエリア１９からワークエリア１５に給気される。それにともなって、図１０に矢印Ｌ２で示すように、外気がバランスダンパー３７を通ってメンテナンスエリア１９に流入し、還気と外気とがメンテナンスエリア１９において混合される。

ファンフィルターユニット３１が起動すると、図１０に矢印Ｌ３で示すように、ファンフィルターユニット３１によって空気が強制的にサプライエリア１７からメンテナンスエリア１９に給気される。ファンフィルターユニット２９が起動すると、図１０に矢印Ｌ４で示すように、ファンフィルターユニット２９によって空気が強制的にサポートエリア１６からガウニングエリア１８に給気される。

メンテナンスエリア１９からワークエリア１５に給気された外気及び還気からなる空気は、ワークエリア１５に流入した後、図１０に矢印Ｌ５で示すように、出入口２６を通ってワークエリア１５からサポートエリア１６に流入する。サポートエリア１６に流入した空気の大部分は、図１０に矢印Ｌ６で示すように、出入口２８を通ってサポートエリア１６からサプライエリア１７に流入する。

サプライエリア１７に流入した空気の大部分は、ファンフィルターユニット３１によってサプライエリア１７からメンテナンスエリア１９に流入し、図１０に矢印Ｌ７で示すように、メンテナンスエリア１９から再びワークエリア１５に流入する。サプライエリア１７に流入した空気の一部は、図１０に矢印Ｌ８で示すように、バランスダンパー３３を通ってサプライエリア１７から外部（建造物の内部）に排気される。

サポートエリア１６に流入した空気の一部は、ファンフィルターユニット２９によってサポートエリア１６からガウニングエリア１８に流入し、図１０に矢印Ｌ９で示すように、出入口４２を通ってガウニングエリア１８から外部（建造物の内部）に排気されるとともに、図１０に矢印Ｌ１０で示すように、バランスダンパー４０を通ってガウニングエリア１８から外部（建造物の内部）に排気される。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂは、それを形成するワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度高要求エリア１３及び空気清浄度低要求エリア１４）がクリーンルーム１０Ａ，１０Ｂの外部空気及びクリーンルーム１０Ａ，１０Ｂの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気を通流させる流路（疑似ダクト）として機能し、各エリア１５～１９への専用ダクトを別途設置する必要はなく、ダクトレスのクリーンルーム１０Ａ，１０Ｂであるから、専用ダクトを設置する場合の天井高を確保する必要はなく、高い天井高を有する建造物のみならず、通常の天井高の天井を有する建造物に施設することができる。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂは、建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された側壁パネル１１（仕切板）や天井パネル１２（仕切板）によってワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度高要求エリア１３及び空気清浄度低要求エリア１４）を施設することができるから、ダクト材料に関する各種複数の資材を必要とせず、ダクト工事を省略してその施設作業を短時間に行うことができ、原価の低減や工期を短縮することができる。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂは、それを一度施設した後に、あらたな側壁パネル１１及びあらたな天井パネル１２の設置（増設）や既設の側壁パネル１１及び既設の天井パネル１２の取り外しによって、ワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度高要求エリア１３及び空気清浄度低要求エリア１４）のレイアウトを自由に変更することができるとともに、それらエリア１５～１９の数を増やすことや減らすことができ、クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂの利用者の作業内容の変更に伴うレイアウト変更要求やエリア１５～１９の分割要求、エリア１５～１９の拡張要求、エリア１５～１９の増設要求、エリア１５～１９の減少要求に迅速に対応することができる。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂは、ファンフィルターユニット２７（フィルター及び送風機構を有する清浄空気給気手段）を利用してワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度高要求エリア１３及び空気清浄度低要求エリア１４）に向かって空気を順に通流させて流路内を陽圧にすることが可能であるから、クリーンルームの内外の圧力差によって建造物の内部の空気のワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９への流入を防ぐことができ、建造物の内部の空気がワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９の空気に混入するコンタミネーションを起こすことはなく、それらエリア１５～１９の清浄状態を保持することができる。

ユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂ（ダクトレスのユニット型クリーンルーム）は、ユニット型クリーンルーム施設方法によって建造物の内部における所定の箇所に施設（施工）される。ユニット型クリーンルーム施設方法は、レイアウト設計工程、エリア施設工程、清浄空気給気手段設置工程、還流手段設置工程、排気口設置工程、外気取入手段設置工程、空調機設置工程の各工程によってクリーンルーム１０Ａ，１０Ｂを施設する。また、ユニット型クリーンルーム施設方法は、レイアウト改変工程によってワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９のレイアウトを改変する。

更に、ユニット型クリーンルーム施設方法は、エリア数増加工程によってワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９のエリア数を増やし、エリア数減少工程によってワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９のエリア数を減らす。

レイアウト設計工程は、建造物の内部における所定の箇所に施設するワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度高要求エリア１３～空気清浄度低要求エリア１４）のレイアウトを設計要求に応じて設計する。レイアウト設計工程では、設計要求に応じて側壁パネル１１の設置数や設置箇所を計画し、設計要求に応じて天井パネル１２の設置数や設置箇所を計画することにより、それらエリア１５～１９の施設前（施工前）において各エリア１５～１９のレイアウトを自由に設計することができる。

エリア施設工程では、レイアウト設計工程によって設計されたレイアウトに基づいて側壁パネル１１や天井パネル１２、開閉扉３０，３９を建造物の内部における所定の箇所に気密に設置し、それら側壁パネル１１やそれら天井パネル１２、開閉扉３０，３９によって区画されてクリーンルーム１０Ａ，１０Ｂの外部空気及びクリーンルーム１０Ａ，１０Ｂの内部空気からなる空気又は外部空気と内部空気とのいずれか一方からなる空気が通流する流路としての機能を備えたワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度高要求エリア１３～空気清浄度低要求エリア１４）を施設する。なお、エリア施設工程においてレイアウトの設計変更が行われる場合がある。

清浄空気給気手段設置工程は、ワークエリア１５→サポートエリア１６→サプライエリア１７→メンテナンスエリア１９の順に空気を通流（循環）させるとともに、空気の一部をワークエリア１５→サポートエリア１６→ガウニングエリア１８の順に通流させる（空気を空気清浄度高要求エリア１３～空気清浄度低要求エリア１４に向かって順に通流させる）ファンフィルターユニット２７（フィルター及び送風機能を備えた清浄空気給気手段）をワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）に設置し、ファンフィルターユニット２９をサポートエリア１６に設置する。清浄空気給気手段設置工程では、ファンフィルターユニット２７をメンテナンスエリア１９に対向するワークエリア１５の側壁パネル１１の上部に設置し、ファンフィルターユニット２９をガウニングエリア１８に対向するサポートエリア１６の側壁パネル１１の上部に設置する。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）をメンテナンスエリア１９に対向するワークエリア１５の側壁パネル１１に設置し、ファンフィルターユニット２９をガウニングエリア１８に対向するサポートエリア１６の側壁パネル１１に設置することで、ファンフィルターユニット２７，２９を利用して空気をワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９に通流させることができるとともに、ファンフィルターユニット２７，２９のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、メンテナンスエリアにおいてファンフィルターユニット２７，２９を低所（床面高さ付近）において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、ファンフィルターユニット２７，２９のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことが可能なユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂを施設することができる。

還流手段設置工程は、空気をメンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）からワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）に還流させるファンフィルターユニット３１（還流手段）をサプライエリア１８（空気清浄度低要求エリア１４）に設置する。還流手段設置工程では、ファンフィルターユニット３１（還流手段）（フィルター及び送風機構を有して空気をワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）に還流させる清浄空気還流手段）をサプライエリア１７を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９に対向する側壁パネル１１の上部に設置する。

還流手段設置工程では、空気をワークエリア１５に還流させる還流口（還流開口）、空気をワークエリア１５に還流させるフィルターユニット（所定のフィルター）、空気をワークエリア１５に還流させるファンユニット（送風機構を有して空気をワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）に還流させる空気還流手段）、ファンフィルターユニット３１（清浄空気還流手段）のうちの少なくとも１つをメンテナンスエリア１９に対向するサプライエリア１７の側壁パネル１１に設置すればよい。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、還流口（還流開口）やフィルターユニット（所定のフィルター）、ファンユニット（給気手段）、ファンフィルターユニット３１（清浄空気給気手段）のうちの少なくとも１つをメンテナンスエリア１９に対向するサプライエリア１７の側壁パネル１１に設置することで、還流口やフィルターユニット、ファンユニット、ファンフィルターユニット３１を利用して空気をメンテナンスエリア１９からワークエリア１５に還流させることができるとともに、還流口やフィルターユニット、ファンユニット、ファンフィルターユニット３１のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、メンテナンスエリア１９において還流口やフィルターユニット、ファンユニット、ファンフィルターユニット３１を低所（床面高さ付近）において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、還流口やフィルターユニット、ファンユニット、ファンフィルターユニット３１のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことが可能なユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂを施設することができる。

排気口設置工程は、空気を外部に排気するバランスダンパー３３，４０（排気口）をサプライエリア１７（空気清浄度低要求エリア１４）及びガウニングエリア１８（空気清浄度低要求エリア１４）であってそれらエリア１７，１８を区画する側壁パネル１１の上部に設置する。排気口設置工程では、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）とサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）とサプライエリア１７（空気清浄度低要求エリア１４）とガウニングエリア１８（空気清浄度低要求エリア１４）とのうちの少なくとも１つのエリア１５～１８であってそれらエリア１５～１８を区画する側壁パネル１１の上部にバランスダンパー３３，４０（排気口）を設置すればよい。排気口設置工程では、それらエリア１５～１８にバランスダンパー３３，４０ではなく排気開口を設置することもできる。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ワークエリア１５とサポートエリア１６とサプライエリア１７とガウニングエリア１８とのうちの少なくとも１つのエリア１５～１８であってそのエリア１５～１８を区画する側壁パネル１１にバランスダンパー３３，４０（排気口）を設置することで、バランスダンパー３３，４０を利用してワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８の空気を外部（建造物の内部）に排気することができるとともに、バランスダンパー３３，４０のメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、バランスダンパー３３，４０を低所（床面高さ付近）において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、バランスダンパー３３，４０のメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことが可能なユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂを施設することができる。

外気取入手段設置工程は、外気（クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂの外部空気）をメンテナンスエリア１９に流入させるバランスダンパー３７（外気流入口）をメンテナンスエリア１９を区画する側壁パネル１１のうちの開閉カーテン３６の上方の側壁パネル１１に設置する。外気取入手段設置工程では、メンテナンスエリア１９を区画する側壁パネル１１のいずれかのパネル１１にバランスダンパー３７を設置すればよい。

外気取入手段設置工程では、バランスダンパー３７（外気流入口）、外気をメンテナンスエリアに流入させる外気流入開口、外気が通流するフィルターユニット（所定のフィルター）、外気をメンテナンスエリアに流入させるファンユニット（送風機構を有して外気をメンテナンスエリアに給気する給気手段）、外気をメンテナンスエリアに流入させるファンフィルターユニット（フィルター及び送風機構を有して外気をメンテナンスエリアに給気する清浄空気給気手段）のうちの少なくとも１つをメンテナンスエリア１９を区画する側壁パネル１１に設置すればよい。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、メンテナンスエリア１９に外気を流入させることで、還気に外気を加えることができ、新鮮な空気を取り入れることが可能なクリーンルーム１０Ａ，１０Ｂ（ユニット型クリーンルーム）を施設することができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、バランスダンパー３７（外気流入口）や外気流入開口、フィルターユニット（所定のフィルター）、ファンユニット（給気手段）、ファンフィルターユニット（清浄空気給気手段）をメンテナンスエリア１９を区画する側壁パネル１１に設置することで、バランスダンパー３７や外気流入開口、フィルターユニット、ファンユニット、ファンフィルターユニットによって外気をメンテナンスエリア１９に流入させることができるとともに、バランスダンパー３７や外気流入開口、フィルターユニット、ファンユニット、ファンフィルターユニットのメンテナンスを行う場合、メンテナンス作業者が脚立に上る必要や天井内に入る必要はなく、メンテナンスエリア１９においてバランスダンパー３７や外気流入開口、フィルターユニット、ファンユニット、ファンフィルターユニットを低所（床面高さ付近）において正面にした状態でメンテナンス作業を行うことができ、メンテナンス作業における手間と時間とを低減することができるとともに、バランスダンパー３７や外気流入開口、フィルターユニット、ファンユニット、ファンフィルターユニットのメンテナンス作業を容易かつ安全に行うことが可能なユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂを施設することができる。

空調機設置工程は、外気及び還気からなる空気を空調する空調機３８（床置きＰＡＣ）をメンテナンスエリア１９に設置する。メンテナンスエリア１９に空調機３８を設置しない場合は、空調機設置工程を省くことができる。ユニット型クリーンルーム施設方法は、空調機３８によって設定温度及び設定湿度に空調された空気をメンテナンスエリア１９からワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８に順に通流させることができ、それらエリア１５～１８の温度環境や湿度環境を最適に保持することができるとともに、それらエリア１５～１８に良好な作業環境を作ること可能なユニット型クリーンルーム１０Ａ，１０Ｂを施設することができる。

図１１は、レイアウトの改変前のユニット型クリーンルーム１０Ｃの上面図であり、図１２は、レイアウトの改変後のユニット型クリーンルーム１０Ｃの上面図である。図１１，１２では、空気の流れを矢印で示している。図１１，１２に示すユニット型クリーンルーム１０Ｃは、図１及び図８のそれらと同様に、各側壁パネル１１（側壁を形成する仕切板）及び各天井パネル１２（天井を形成する仕切板）によって区画されたワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）及びサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）を有する。

ワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９は、それらエリア１５～１９が一連に繋がって一棟のユニット型クリーンルーム１０Ｃを形成している。それらエリア１５～１９の内部の気圧は、陽圧に保持されている。図１１のユニット型クリーンルーム１０Ｃでは、２つ（２エリア）のワークエリア１５及び２つ（２エリア）のサポートエリア１６が作られている。メンテナンスエリア１９には、開閉扉４３（ドア）が設置されている。開閉扉４３を開放することで、外部（建造物の内部）からメンテナンスエリア１９に入ることができ、メンテナンスエリア１９から外部（建造物の内部）に出ることができる。メンテナンスエリア１９を区画する側壁パネルには、エリア１９に外気を給気するファンユニット４５が設置されている。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルーム１０Ｃを施設した後に、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１５、サプライエリア１６、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）のうちの少なくとも１つのエリア１５～１９における側壁パネル１１の設置位置を変更し、それらエリア１５～１９のうちの少なくとも１つのエリア１５～１９のレイアウトを改変する（レイアウト改変工程）。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルーム１０Ｃを施設した後に、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）のうちの少なくとも１つのエリア１５～１９にあらたな側壁パネル１１を設置し、それらエリア１５～１９のうちの少なくとも１つのエリア１５～１９のレイアウトを改変する（レイアウト改変工程）。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルーム１０Ｃを施設した後に、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）のうちの少なくとも１つのエリア１５～１９から既設の側壁パネル１１を取り外し、それらエリア１５～１９のうちの少なくとも１つのエリア１５～１９のレイアウトを改変する（レイアウト改変工程）。

図１２に示すユニット型クリーンルーム１０Ｃは、図１１のユニット型クリーンルーム１０Ｃからサポートエリア１６を区画（区分）する側壁パネル１１を取り外し（既設の側壁パネル１１の取り外し）、ガウニングエリア１８を区画する側壁パネル１１（側壁パネル１１の上部にガラリ４４が設置されている）及び開閉扉３０（ドア）を前方に移動させている（側壁パネル１１や開閉扉３０（ドア）の設置位置の変更）。既設の側壁パネル１１の取り外しによって２つ（２エリア）のサポートエリア１６が繋がり、１つ（１エリア）のサポートエリア１６にレイアウトが改変され、サポートエリア１６の容積（大きさ）や床面積が拡大している。側壁パネル１１や開閉扉３０（ドア）の設置位置の変更によってサプライエリア１７やガウニングエリア１８のレイアウトが改変され、サプライエリア１７の容積（大きさ）や床面積が縮小し、ガウニングエリア１８の容積（大きさ）や床面積が拡大している。

なお、図１２のユニット型クリーンルーム１０Ｃにおいてサポートエリア１６にあらたな側壁パネル１１を設置し（あらたな側壁パネル１１の設置）、ガウニングエリア１８を区画する側壁パネル１１及び開閉扉３０（ドア）を後方に移動させ（側壁パネル１１や開閉扉３０（ドア）の設置位置の変更）、図１２に示すユニット型クリーンルーム１０Ｃから図１１に示すユニット型クリーンルーム１０Ｃに改変することで、サポートエリア１６やサプライエリア１７、ガウニングエリア１８のレイアウトが改変され、１つ（１エリア）のサポートエリア１６が２つに分割されるとともに、サプライエリア１７の容積（大きさ）や床面積が縮小し、ガウニングエリア１８の容積（大きさ）や床面積が拡大する。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルーム１０Ｃを施設した後に、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）における側壁パネル１１の設置位置を変更することで、クリーンルーム１０Ｃの利用者の作業内容の変更に伴うそれらエリア１５～１９のレイアウト変更要求に応じて各エリア１５～１９のレイアウトを自由に改変することができる。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルーム１０Ｃを施設した後に、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）にあらたな側壁パネル１１を設置することで、あらたな側壁パネル１１によってそれらエリア１５～１９を分割することができ、クリーンルーム１０Ｃの利用者の作業内容の変更に伴うそれらエリア１５～１９の分割要求に応じてエリア１５～１９のレイアウトを自由に分割（改変）することができる。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルーム１０Ｃを施設した後に、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）から既設の側壁パネル１１を取り外すことで、それらエリア１５～１９の容積や床面積を拡張することができ、クリーンルーム１０Ｃの利用者の作業内容の変更に伴うそれらエリア１５～１９の拡張要求に応じてエリア１５～１９のレイアウトを自由に拡張（改変）することができる。

図１３は、エリア数増加後のユニット型クリーンルーム１０Ｄの上面図である。図１３では、空気の流れを矢印で示している。図１３に示すユニット型クリーンルーム１０Ｄは、図１及び図８のそれらと同様に、各側壁パネル１１（側壁を形成する仕切板）及び各天井パネル１１（天井を形成する仕切板）によって区画されたワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）及びサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）を有する。

ワークエリア１５やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９は、それらエリア１５～１９が一連に繋がって一棟のクリーンルーム１０Ｄを形成している。それらエリア１５～１９の内部の気圧は、微陽圧に保持されている。図１３のクリーンルーム１０Ｄでは、３つ（３エリア）のワークエリア１５及び３つ（３エリア）のサポートエリア１６が作られている。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、図１１のユニット型クリーンルーム１０Ｃから図１２のユニット型クリーンルーム１０Ｃにレイアウトを改変した後に、建造物の内部における所定の箇所にあらたな側壁パネル１１及び天井パネル１２を設置し、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）のうちの少なくとも１つのエリア１５～１９の数（エリア数）を増加させる（エリア数増加工程）。

ユニット型クリーンルーム１０Ｄは、図１３に示すように、図１２のユニット型クリーンルーム１０Ｃにあらたなワークエリア１５を区画するあらたな側壁パネル１１及びあらたな天井パネル１２を設置してあらたなワークエリア１５を作り、２つ（２エリア）のワークエリア１５を３つ（３エリア）のワークエリア１５にエリア数を増やし、あらたなサポートエリア１６を区画するあらたな側壁パネル１１及びあらたな天井パネル１２を設置してあらたなサポートエリア１６を作り、１つ（２エリア）のサポートエリア１６を３つ（３エリア）のサポートエリア１６にエリア数を増やしている。更に、サプライエリア１７を区画する既設の側壁パネル１１及び既設の天井パネル１２にあらたな側壁パネル１１及びあらたな天井パネル１２を設置してサプライエリア１７の容積及び床面積を増やし、メンテナンス１９を区画する既設の側壁パネル１１及び既設の天井パネル１２にあらたな側壁パネル１１及びあらたな天井パネル１２を設置してメンテナンス１９の容積及び床面積を増やしている。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、ユニット型クリーンルーム１０Ｃを施設した後に、建造物の所定の箇所にあらたな側壁パネル１１やあらたな天井パネル１２を設置することで、既設のエリア１５～１９に繋がるあらたなワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）を施設（増設）することができ、クリーンルーム１０Ｃの利用者の作業内容の変更に伴う建造物の内部におけるエリア１５～１９のエリア数の増設要求に応じてワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）の数やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）の数（エリア数）を自由に増やすことができる。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、図１３のユニット型クリーンルーム１０Ｄを施設した後に、建造物の内部における所定の箇所から既設の側壁パネル１１及び既設の天井パネル１２の一部を取り外し、ワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）のうちの少なくとも１つのエリア１５～１９の数を減少させる（エリア数減少工程）。

ユニット型クリーンルーム１０Ｄからワークエリア１５を区画する既設の側壁パネル１１及び既設の天井パネル１２の一部を取り外して既設のワークエリア１５の一部を解体し、３つ（３エリア）のワークエリア１５を２つ（２エリア）のワークエリア１５にエリア数を減らし、ユニット型クリーンルーム１０Ｄからサポートエリア１６を区画する既設の側壁パネル１１及び既設の天井パネル１２の一部を取り外して既設のサポートエリア１７の一部を解体し、３つ（３エリア）のサポートエリア１６を２つ（２エリア）のサポートエリア１６にエリア数を減らす。更に、サプライエリア１７を区画する側壁パネル１１から既設の天井パネル１２の一部を取り外してサプライエリア１７の容積及び床面積を減らし、メンテナンスエリア１９を区画する側壁パネル１１から既設の天井パネル１２の一部を取り外してメンテナンスエリア１９の容積及び床面積を減らし、図１２のユニット型クリーンルーム１０Ｃに戻すことができる。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、クリーンルーム１０Ｄ（ユニット型クリーンルーム）を施設した後に、建造物の内部における所定の箇所から既設の側壁パネル１１及び既設の天井パネル１２の一部を取り外すことで、建造物の内部における所定の箇所に施設された複数のワークエリア１５（複数の空気清浄度高要求エリア１３）や複数のサポートエリア１６、複数のサプライエリア１７、複数のガウニングエリア１８、複数のメンテナンスエリア１９（複数の空気清浄度低要求エリア１４）の数を減らすことができ、クリーンルーム１０Ｄの利用者の作業内容の変更に伴うエリア１５～１９のエリア数の減少要求に応じてのワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）やサポートエリア１６、サプライエリア１７、ガウニングエリア１８、メンテナンスエリア１９（空気清浄度低要求エリア１４）の数（エリア数）を自由に減らすことができる。

図１４は、天井パネル１２を取り外した状態で示す他の一例のユニット型クリーンルーム１０Ｅの上面図であり、図１５は、側壁パネル１１に設置されたデフレクター板４３の一例を示す斜視図である。図１６は、側壁パネル１１に設置されたデフレクター板４３の側面図であり、図１７は、デフレクター板４３を取り付けたユニット型クリーンルーム１０Ｅにおける空気（外気及び還気）の流動を説明する上面図である。

図１４に示すユニット型クリーンルーム１０Ｅが図１のそれと異なるところは、ワークエリア１５にデフレクター板４３（整流板）が設置されている点にあり、その他の構成は、図１のユニット型クリーンルーム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１のユニット型クリーンルーム１０Ａの説明を援用することで、ユニット型クリーンルーム１０Ｅにおけるその他の構成の説明は省略する。なお、デフレクター板４３は、既述のユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄに設置することもできる。

デフレクター板４３（整流板）は、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変える。デフレクター板４３は、それらファンフィルターユニット２７の吹き出し口を覆うように、ワークエリア１５を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９に対向する側壁パネル１１の上部に設置されている。デフレクター板４３は、図１５，１６に示すように、ワークエリア１５の内部であってファンフィルターユニット２７の吹き出し口の前に設置されている。

デフレクター板４３の四隅には、一方向（横方向）へ延びる長さ変更が可能な支持ロッド（支持材）４４が設置されている。ファンフィルターユニット２７の吹き出し口とデフレクター板４３との間には、所定のクリアランス（スペース）が設けられている。支持ロッド４４の長さを変更することで、ファンフィルターユニット２７の吹き出し口とデフレクター板４３との間のクリアランス（スペース）を変更することができ、ファンフィルターユニット２７の吹き出し口とデフレクター板４３との間のクリアランス（スペース）を変更することで、ファンフィルターユニット２７から給気される空気の拡散特性を調整することができる。

ファンフィルターユニット２７の吹き出し口からワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）に向かって一方向へ給気された空気は、図１７に矢印で示すように、デフレクター板４３に当たった後、デフレクター板４３の周縁からワークエリア１５に流入する。ワークエリア１５に給気される空気の流れは、デフレクター板４３によって一方向と交差する交差方向へ変わる。

ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）からワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）に向かって一方向へ空気を給気すると、給気の動圧が大きい場合、ワークエリア１５を通過した空気がサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）の側壁パネル１１において跳ね返り、サポートエリア１６の低清浄度空気を含む空気がワークエリア１５に逆流する場合があるが、ユニット型クリーンルーム１０Ｅは、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるデフレクター板４３（整流板）がワークエリア１５の側壁パネル１１に設置され、ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）によってワークエリア１５に向かって一方向へ給気された空気の流れがデフレクター板４３によって一方向と交差する交差方向へ変えられるから（空気の流れが拡散されるから）、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリア１５を通過した空気のサポートエリア１６の側壁パネル１１における跳ね返りを防ぐことができ、低清浄度空気を含む空気のワークエリア１５への逆流を防ぐことができる。

図１８は、天井パネル１２を取り外した状態で示す他の一例のユニット型クリーンルーム１０Ｆの上面図であり、図１９は、側壁パネル１１に設置されたパンチング板４５の一例を示す斜視図である。図２０は、パンチング板４５を取り付けたユニット型クリーンルーム１０Ｆにおける空気（外気及び還気）の流動を説明する上面図である。図１９では、パンチング板４５に穿孔された貫通孔４６の図示を部分的に省略している。

図１８に示すユニット型クリーンルーム１０Ｆが図１のそれと異なるところは、ワークエリア１５にパンチング板４５（整流板）が設置されている点にあり、その他の構成は、図１のユニット型クリーンルーム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１のユニット型クリーンルーム１０Ａの説明を援用することで、ユニット型クリーンルーム１０Ｆにおけるその他の構成の説明は省略する。なお、パンチング板４５は、既述のユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄに設置することもできる。

パンチング板４５（整流板）には、図１９に示すように、空気を通流させる複数の貫通孔４６が穿孔されている。それら貫通孔４６は、上下方向と横方向とへ等間隔離間して並び、パンチング板４５の略全域に形成されている。パンチング板４５は、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させる。パンチング板４５は、それらファンフィルターユニット２７の吹き出し口を塞ぐように、ワークエリア１５を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９に対向する側壁パネル１１の上部に設置されている。

パンチング板４５は、図１７，１８に示すように、ワークエリア１５の内部であってファンフィルターユニット２７の吹き出し口の前に設置されている。ファンフィルターユニット２７の吹き出し口からワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）に向かって一方向へ給気された空気は、図２０に矢印で示すように、パンチング板４５に穿孔された各貫通孔４６を通ってワークエリア１５に流入する。ワークエリア１５に給気される空気の流れは、パンチング板４５によって一方向を含むその他の方向へ分散される。

ユニット型クリーンルーム１０Ｆは、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるパンチング板４５（整流板）がワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）の側壁パネル１１に設置され、ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）によってワークエリア１５に向かって一方向へ給気された空気の流れがパンチング板４５によって一方向を含むその他の方向へ分散されるから（空気の流れが拡散されるから）、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリア１５を通過した空気のサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）の側壁パネル１１における跳ね返りを防ぐことができ、低清浄度空気を含む空気のワークエリア１５への逆流を防ぐことができる。

図２１は、側壁パネル１１に設置されたデフレクターパンチング板４７の一例を示す斜視図であり、図２２は、側壁パネル１１に設置されたデフレクターパンチング板４７の側面図である。図２１では、デフレクターパンチング板４７に穿孔された貫通孔４６の図示を部分的に省略している。デフレクターパンチング板４７（整流板）は、既述のユニット型クリーンルーム１０Ｅに設置される。デフレクターパンチング板４７は、既述のユニット型クリーンルーム１０Ｂ～１０Ｄに設置することもできる。

デフレクターパンチング板４７（整流板）には、図２１に示すように、空気を通流させる複数の貫通孔４６が穿孔されている。それら貫通孔４６は、上下方向と横方向とへ等間隔離間して並び、デフレクターパンチング板４７の略全域に形成されている。デフレクターパンチング板４７は、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるとともに、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させる。デフレクターパンチング板４７は、それらファンフィルターユニット２７の吹き出し口を覆うように、ワークエリア１５を区画する側壁パネル１１であってメンテナンスエリア１９に対向する側壁パネル１１の上部に設置されている。

デフレクターパンチング板４７は、図２１，２２に示すように、ワークエリア１５の内部であってファンフィルターユニット２７の吹き出し口の前に設置されている。デフレクターパンチング板４７の四隅には、一方向（横方向）へ延びる長さ変更が可能な支持ロッド（支持材）４４が設置されている。ファンフィルターユニット２７の吹き出し口とデフレクターパンチング板４７との間には、所定のクリアランス（スペース）が設けられている。支持ロッド４４の長さを変更することで、ファンフィルターユニット２７の吹き出し口とデフレクターパンチング板４７との間のクリアランス（スペース）を変更することができ、ファンフィルターユニット２７の吹き出し口とデフレクターパンチング板４７との間のクリアランス（スペース）を変更することで、ファンフィルターユニット２７から給気される空気の拡散特性を調整することができる。

ファンフィルターユニット２７の吹き出し口からワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）に向かって一方向へ給気された空気は、図２２に矢印で示すように、デフレクターパンチング板４７に穿孔された各貫通孔４６を通ってワークエリア１５に流入するとともに、デフレクターパンチング板４７に当たった後、デフレクターパンチング板４７の周縁からワークエリア１５に流入する。ワークエリア１５に給気される空気の流れは、デフレクターパンチング板４７によって一方向と交差する交差方向へ変わるとともに、一方向を含むその他の方向へ分散される。

デフレクターパンチング板４７を備えたユニット型クリーンルーム１０Ｅは、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるとともに一方向を含むその他の方向へ分散させるデフレクターパンチング板４７（整流板）がワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）の側壁パネル１１に設置され、ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）によってワークエリア１５に向かって一方向へ給気された空気の流れがデフレクターパンチング板４７によって一方向と交差する交差方向へ変えられるとともに一方向を含むその他の方向へ分散されるから（空気の流れが拡散されるから）、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリア１５を通過した空気のサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア）の側壁パネル１１における跳ね返りを防ぐことができ、低清浄度空気を含む空気のワークエリア１５への逆流を防ぐことができる。

ユニット型クリーンルーム１０Ｅ，１０Ｆ（ダクトレスのユニット型クリーンルーム）は、ユニット型クリーンルーム施設方法によって建造物の内部における所定の箇所に施設（施工）される。ユニット型クリーンルーム施設方法は、レイアウト設計工程、エリア施設工程、清浄空気給気手段設置工程、還流手段設置工程、排気口設置工程、外気取入手段設置工程、空調機設置工程、整流板設置工程の各工程によってクリーンルーム１０Ｅ，１０Ｆを施設する。レイアウト設計工程やエリア施設工程、清浄空気給気手段設置工程、還流手段設置工程、排気口設置工程、外気取入手段設置工程、空調機設置工程は、既述のそれらと同一である。

整流板設置工程では、清浄空気給気手段によってワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）の一方向へ給気される空気の流れを拡散させる整流板（ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるデフレクター板４３、空気を通流させる複数の貫通孔４６が形成されてワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるパンチング板４５、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向と交差する交差方向へ変えるとともに、ワークエリア１５に給気される空気の流れを一方向を含むその他の方向へ分散させるデフレクターパンチング板４７のうちのいずれか）をメンテナンスエリア１９に対向するワークエリア１５の側壁パネル１１に設置する。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、メンテナンスエリア１９に対向するワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）の側壁パネル１１にデフレクター板４３を設置することで、ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）によってワークエリア１５の一方向へ給気される空気の流れがデフレクター板４３によって一方向と交差する交差方向へ変えられるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリア１５を通過した空気のサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）の側壁パネル１１における跳ね返りを防ぐことが可能であって、低清浄度空気を含む空気のワークエリア１５への逆流を防ぐことが可能なユニット型クリーンルーム１０Ｅ（ダクトレスのユニット型クリーンルーム）を施設することができる。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、メンテナンスエリア１９に対向するワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）の側壁パネル１１にパンチング板４４を設置することで、ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）によってワークエリア１５の一方向へ給気される空気の流れがパンチング板４４によって一方向を含むその他の方向へ分散されるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリア１５を通過した空気のサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）の側壁パネル１１における跳ね返りを防ぐことが可能であって、低清浄度空気を含む空気のワークエリア１５への逆流を防ぐことが可能なユニット型クリーンルーム１０Ｆ（ダクトレスのユニット型クリーンルーム）を施設することができる。

ユニット型クリーンルーム施設方法は、メンテナンスエリア１９に対向するワークエリア１５（空気清浄度高要求エリア１３）の側壁パネル１１にデフレクターパンチング板４７を設置することで、ファンフィルターユニット２７（清浄空気給気手段）によってワークエリア１５の一方向へ給気される空気の流れがデフレクターパンチング板４７によって一方向と交差する交差方向へ変えられるとともに一方向を含むその他の方向へ分散されるから、給気の動圧が一箇所に集中することはなく、給気の動圧が分散して動圧が低くなり、ワークエリア１５を通過した空気のサポートエリア１６（空気清浄度低要求エリア１４）の側壁パネル１１における跳ね返りを防ぐことが可能であって、低清浄度空気を含む空気のワークエリア１５への逆流を防ぐことが可能なユニット型クリーンルーム１０Ｅ（ダクトレスのユニット型クリーンルーム）を施設することができる。

１０Ａ クリーンルーム（ユニット型クリーンルーム）
１０Ｂ クリーンルーム（ユニット型クリーンルーム）
１０Ｃ クリーンルーム（ユニット型クリーンルーム）
１０Ｄ クリーンルーム（ユニット型クリーンルーム）
１０Ｅ クリーンルーム（ユニット型クリーンルーム）
１０Ｆ クリーンルーム（ユニット型クリーンルーム）
１１ 側壁パネル
１２ 天井パネル
１３ 空気清浄度高要求エリア
１４ 空気清浄度低要求エリア
１５ ワークエリア
１６ サポートエリア
１７ サプライエリア
１８ ガウニングエリア
１９ メンテナンスエリア
２０ バイオハザード対策用安全キャビネット（ＢＳＣ）
２１ 遠心分離器
２２ ＣＯ２インキュベーター
２３ ロッカー
２４ 防爆冷蔵庫
２５ ディープフリーザー
２６ 出入口
２７ ファンフィルターユニット（清浄空気給気手段）
２８ 出入口
２９ ファンフィルターユニット（清浄空気給気手段）
３０ 開閉扉（ドア）
３１ ファンフィルターユニット（清浄空気給気手段）
３２ パスボックス
３３ バランスダンパー３３（排気口）
３４ ドア
３５ ドア
３６ 開閉カーテン
３７ バランスダンパー（外気流入口）
３８ 空調機（床置きＰＡＣ）
３９ 開閉扉（ドア）
４０ バランスダンパー（排気口）
４１ バランスダンパー（排気口）
４２ 出入口
４３ デフレクター板（整流板）
４４ 支持ロッド（支持材）
４５ パンチング板（整流板）
４６ 貫通孔
４７ デフレクターパンチング板（整流板）

Claims (20)

1. 建造物の内部における所定の箇所に施設されるユニット型クリーンルームにおいて、
   前記ユニット型クリーンルームが、前記建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された各側壁パネルによって区画され、空気清浄度高要求エリアであって主作業を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのワークエリアと、空気清浄度低要求エリアであって前記主作業に対する補助作業及び第２更衣を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのサポートエリアと、前記空気清浄度低要求エリアであって前記主作業を除く従作業を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのサプライエリアとを有し、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとが、所定の開口面積の出入口を介してつながって一棟の前記ユニット型クリーンルームを作り、空気の清浄度要求が、前記ワークエリア→前記サポートエリア→前記サプライエリアの順に低くなり、
   前記ワークエリアが、前記ユニット型クリーンルームの外部空気及び該ユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気が通流する流路として機能するとともに、フィルター及び送風機構を有して前記空気をその内部に給気する清浄空気給気手段を備え、前記サポートエリアと前記サプライエリアとが、前記空気が通流する流路として機能し、前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも一方が、前記空気を前記ワークエリアに還流させる還流手段を備え、
   前記ユニット型クリーンルームでは、前記清浄空気給気手段を利用して前記空気を前記ワークエリアから前記サポートエリアに向かうとともに前記サポートエリアから前記サプライエリアに向かって順に通流させることが可能であり、前記清浄空気給気手段を利用して前記空気を前記ワークエリアから前記サポートエリアに向かうとともに前記サポートエリアから前記サプライエリアに向かって段階的に連続利用し、必要な清浄度及び必要な温度に空調された前記空気を前記ワークエリアから前記サポートエリアに向かうとともに前記サポートエリアから前記サプライエリアに向かって順に通流させるダクトレスのクリーンルームを前記建造物の内部における所定の箇所に施設することが可能であることを特徴とするユニット型クリーンルーム。
2. 前記清浄空気給気手段が、前記ワークエリアを区画する側壁パネルに設置されている請求項１に記載のユニット型クリーンルーム。
3. 前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも一方に備えられた還流手段が、還流口と所定のフィルターと送風機構を有して前記空気を前記ワークエリアに還流させる空気還流手段とフィルター及び送風機構を有して該空気を該ワークエリアに還流させる清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つであり、前記還流口と前記フィルターと前記空気還流手段と前記清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つが、前記サポートエリアと前記サプライエリアとを区画する側壁パネルに設置されている請求項１又は請求項２に記載のユニット型クリーンルーム。
4. 前記空気を外部に排気する排気口が、前記ワークエリアである空気清浄度高要求エリアと前記サポートエリア及び前記サプライエリアである空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置されている請求項１ないし請求項３いずれかに記載のユニット型クリーンルーム。
5. 前記ユニット型クリーンルームが、前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも一方に開閉扉又は所定の開口面積の出入口を介して繋がって第１更衣を行い、前記空気清浄度低要求エリアであって前記空気の清浄度要求が最も低い少なくとも１つのガウニングエリアを含む請求項１ないし請求項４いずれかに記載のユニット型クリーンルーム。
6. 前記空気を外部に排気する排気口が、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアと前記ガウニングエリアとのうちの少なくとも１つのエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置されている請求項５に記載のユニット型クリーンルーム。
7. 前記ユニット型クリーンルームが、前記側壁パネルによって区画されて前記ワークエリアと前記サプライエリアとを繋げ、前記空気清浄度低要求エリアであって前記ユニット型クリーンルームの外部空気が流入するとともに該ユニット型クリーンルームの内部空気が通流するメンテナンスエリアを含み、前記清浄空気給気手段が、前記メンテナンスエリアに対向する前記ワークエリアの側壁パネルに設置され、前記還流口と前記フィルターと前記空気還気手段と前記清浄空気還気手段とのうちの少なくとも１つが、前記メンテナンスエリアに対向する前記サプライエリアの側壁パネルに設置されている請求項１ないし請求項６いずれかに記載のユニット型クリーンルーム。
8. 前記ユニット型クリーンルームの外部空気を流入させる外気流入口と所定のフィルターと送風機構を有して前記外部空気を給気する外部空気給気手段とフィルター及び送風機構を有して該外部空気を給気する清浄外部空気給気手段とのうちの少なくとも１つが、前記メンテナンスエリアを区画する側壁パネルに設置されている請求項７に記載のユニット型クリーンルーム。
9. 前記ユニット型クリーンルームの外部空気及び該ユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気を空調する空調機が、前記メンテナンスエリアに設置されている請求項７又は請求項８に記載のユニット型クリーンルーム。
10. 前記ユニット型クリーンルームが、前記メンテナンスエリアに対向する前記ワークエリアの側壁パネルに設置されて前記清浄空気給気手段によって該空気清浄度高要求エリアの一方向へ給気される空気の流れを拡散させる整流板を含む請求項７ないし請求項９いずれかに記載のユニット型クリーンルーム。
11. 前記整流板が、前記ワークエリアに給気される空気の流れを前記一方向と交差する交差方向へ変えるデフレクター板と、前記空気を通流させる複数の貫通孔が形成されて前記ワークエリアに給気される空気の流れを前記一方向を含むその他の方向へ分散させるパンチング板と、前記ワークエリアに給気される空気の流れを前記一方向と交差する交差方向へ変えるとともに、前記空気を通流させる複数の貫通孔が形成されて前記ワークエリアに給気される空気の流れを前記一方向を含むその他の方向へ分散させるデフレクターパンチング板とのうちのいずれかである請求項１０に記載のユニット型クリーンルーム。
12. 建造物の内部における所定の箇所にダクトレスのユニット型クリーンルームを施設するユニット型クリーンルーム施設方法において、
    前記ダクトレスのユニット型クリーンルームが、前記建造物の内部における所定の箇所に気密に設置された複数の側壁パネルによって区画され、空気清浄度高要求エリアであって主作業を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのワークエリアと、空気清浄度低要求エリアであって前記主作業に対する補助作業及び第２更衣を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのサポートエリアと、前記空気清浄度低要求エリアであって前記主作業を除く従作業を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのサプライエリアとから形成され、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとが、所定の開口面積の出入口を介してつながって一棟の前記ユニット型クリーンルームを作り、空気の清浄度要求が、前記ワークエリア→前記サポートエリア→前記サプライエリアの順に低くなり、
    前記ユニット型クリーンルーム施設方法が、前記複数の側壁パネルを使用して前記建造物の内部における所定の箇所に施設する前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとのレイアウトを設計要求に応じて設計するレイアウト設計工程と、前記レイアウト設計工程によって設計されたレイアウトに基づいてそれら側壁パネルを前記建造物の内部における所定の箇所に気密に設置し、それら側壁パネルによって区画されて前記ユニット型クリーンルームの外部空気及び該ユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気が通流する流路としての機能を備えた前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとを施設するエリア施設工程と、前記空気を前記ワークエリアから前記サポートエリアに向かうとともに前記サポートエリアから前記サプライエリアに向かって順に通流させるフィルター及び送風機能を備えた清浄空気給気手段を該ワークエリアに設置する清浄空気給気手段設置工程と、前記空気を前記ワークエリアに還流させる還流手段を前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも一方に設置する還流手段設置工程と、前記空気を外部に排気する排気口を前記ワークエリアである空気清浄度高要求エリアと前記サポートエリア及び前記サプライエリアである空気清浄度低要求エリアとのうちの少なくとも一方のエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置する排気口設置工程とを有することを特徴とするユニット型クリーンルーム施設方法。
13. 前記ユニット型クリーンルーム施設方法が、前記ユニット型クリーンルームを施設した後に、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアにおける前記側壁パネルの設置位置を変更し、又は、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアにあらたな側壁パネルを設置し、或いは、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアから既設の側壁パネルを取り外すことで、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアのレイアウトを改変するレイアウト改変工程を含む請求項１２に記載のユニット型クリーンルーム施設方法。
14. 前記ユニット型クリーンルーム施設方法が、前記ユニット型クリーンルームを施設した後に、前記建造物の内部における所定の箇所にあらたな側壁パネルを設置し、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアの数を増加させるエリア数増加工程と、前記ユニット型クリーンルームを施設した後に、前記建造物の内部における所定の箇所から既設の側壁パネルを取り外し、前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアとのうちの少なくとも１つのエリアの数を減少させるエリア数減少工程とを含む請求項１２又は請求項１３に記載のユニット型クリーンルーム施設方法。
15. 前記ダクトレスのユニット型クリーンルームが、前記空気清浄度低要求エリアであって第１更衣を行う所定容積及び所定の床面積の少なくとも１つのガウニングエリアを含み、前記エリア施設工程が、前記建造物の内部における所定の箇所に前記ガウニングエリアを施設する請求項１２ないし請求項１４いずれかに記載のユニット型クリーンルーム施設方法。
16. 前記ダクトレスのユニット型クリーンルームが、前記側壁パネルによって区画されて前記ワークエリアと前記サプライエリアとを繋げ、前記空気清浄度低要求エリアであって前記ユニット型クリーンルームの外部空気が流入するとともに該ユニット型クリーンルームの内部空気が通流するメンテナンスエリアを含み、前記エリア施設工程が、前記建造物の内部における所定の箇所に前記メンテナンスエリアを施設し、前記清浄空気給気手段設置工程が、前記清浄空気給気手段を前記メンテナンスエリアに対向する前記ワークエリアの側壁パネルに設置し、前記還流手段設置工程が、還流口と所定のフィルターと送風機構を有して前記空気を前記ワークエリアに還流させる空気還流手段とフィルター及び送風機構を有して該空気を該ワークエリアに還流させる清浄空気還流手段とのうちの少なくとも１つを前記メンテナンスエリアに対向する前記サプライエリアの側壁パネルに設置し、前記排気口設置工程が、前記排気口を前記ワークエリアと前記サポートエリアと前記サプライエリアと前記ガウニングエリアとのうちの少なくとも１つエリアであってそのエリアを区画する側壁パネルに設置する請求項１５に記載のユニット型クリーンルーム施設方法。
17. 前記ユニット型クリーンルーム施設方法が、前記ユニット型クリーンルームの外部空気を前記メンテナンスエリアに流入させる外気流入口と所定のフィルターと送風機構を有して前記外部空気を該メンテナンスエリアに給気する外部空気給気手段とフィルター及び送風機構を有して該外部空気を該メンテナンスエリアに給気する清浄外部空気給気手段とのうちの少なくとも１つを前記メンテナンスエリアを区画する側壁パネルに設置する外気取入手段設置工程を含む請求項１６に記載のユニット型クリーンルーム施設方法。
18. 前記ユニット型クリーンルーム施設方法が、前記ユニット型クリーンルームの外部空気及び該ユニット型クリーンルームの内部空気からなる空気を空調する空調機を前記メンテナンスエリアに設置する空調機設置工程を含む請求項１６又は請求項１７に記載のユニット型クリーンルーム施設方法。
19. 前記ユニット型クリーンルーム施設方法が、前記清浄空気給気手段によって前記ワークエリアの一方向へ給気される空気の流れを拡散させる整流板を前記メンテナンスエリアに対向する前記ワークエリアの側壁パネルに設置する整流板設置工程を含む請求項１６ないし請求項１８いずれかに記載のユニット型クリーンルーム施設方法。
20. 前記整流板設置工程によって設置される整流板が、前記ワークエリアに給気される空気の流れを前記一方向と交差する交差方向へ変えるデフレクター板と、前記空気を通流させる複数の貫通孔が形成されて前記ワークエリアに給気される空気の流れを前記一方向を含むその他の方向へ分散させるパンチング板と、前記ワークエリアに給気される空気の流れを前記一方向と交差する交差方向へ変えるとともに、前記空気を通流させる複数の貫通孔が形成されて前記ワークエリアに給気される空気の流れを前記一方向を含むその他の方向へ分散させるデフレクターパンチング板とのうちのいずれかである請求項１９に記載のユニット型クリーンルーム施設方法。
    
    
    

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