JP6805495B2 - 防塵体の剥離方法、防塵体の剥離装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板に接着された防塵体の剥離方法、剥離装置に関するものである。

フォトマスクなどのガラス基板は、パターンに塵等の異物が付着してしまうのを防止するために、枠体に固定された防塵用シート（ペリクルフィルム）から構成される防塵体がその基板上に固定されている。
この防塵体は、フォトマスクのパターン面と防塵用シート間に塵等の異物が浸入してしまうのを防ぐために、枠体とガラス基板とが隙間なく接着剤により接着されている。この防塵体は、防塵体の交換や、貼り直し等の理由によりガラス基板から外される場合がある。この場合、枠体を固定している接着剤を加熱して軟化させてから、ガラス基板の面に対して垂直方向に防塵体を引き剥がすことが考えられる。しかし、この方法では、接着剤の一部がガラス基板上に残ってしまったり、剥離の際に軟化した接着剤が飛び散ってガラス基板に付着したりしてしまう場合があった。このように、ガラス基板側に接着剤が残ったり、付着したりしてしまうと、別な防塵体を貼付する前に、ガラス基板から接着剤を除去する工程が必要となり、貼り換え作業の工程が増えてしまう問題があった。

ここで、このような防塵体をガラス基板から剥離する方法については様々な技術が提案されている（例えば、特許文献１）。特許文献１の発明は、加熱により接着剤を軟化させ、接着面と平行にガラス基板と防塵体とを相対的に回動することによって、ガラス基板から防塵体を剥離している。そのため、剥離の際に接着剤が飛び散ってしまうのを防ぐことができるが、剥離後にガラス基板側に接着剤が残ってしまう場合があり、ガラス基板の洗浄が必要になる場合があった。

特開２００８−３０４８８６号公報

本発明の課題は、接着剤が基板上に残存してしまうのを抑制することができる防塵体の剥離方法及び剥離装置を提供することである。

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。

第１の発明は、枠体（３）に防塵用シート（４）が固定された防塵体（２）を基板（１）から剥離する防塵体の剥離方法であって、前記基板を保持する基板保持工程と、前記枠体の第１部分（３ａ）及び第２部分（３ｂ）を保持する枠体保持工程と、前記枠体保持工程によって保持された前記枠体の前記第１部分を前記基板から引き剥がす第１剥離工程と、前記第１剥離工程よりも後に、前記枠体保持工程によって保持された前記枠体の前記第２部分を前記基板から引き剥がす第２剥離工程と、を備える防塵体の剥離方法である。
第２の発明は、第１の発明の防塵体（２）の剥離方法において、前記第１剥離工程は、前記枠体（３）の前記第１部分（３ａ）を前記基板（１）に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がし、前記第２剥離工程は、前記枠体の前記第２部分（３ｂ）を前記基板に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がすこと、を特徴とする防塵体の剥離方法である。
第３の発明は、第１の発明又は第２の発明の防塵体（２）の剥離方法において、前記第１剥離工程は、前記枠体（３）の複数の角部のうち一の角部近傍を保持し、前記第２剥離工程は、前記枠体の複数の角部のうち他の角部近傍を保持すること、を特徴とする防塵体の剥離方法である。
第４の発明は、第１の発明から第３の発明までのいずれかの防塵体（２）の剥離方法において、前記枠体保持工程は、前記枠体（３）の第３部分（３ｃ）を更に保持し、前記第２剥離工程は、前記第２部分（３ｂ）と同時に前記第３部分を前記基板から引き剥がすこと、を特徴とする防塵体の剥離方法である。
第５の発明は、枠体（３）に防塵用シート（４）が固定された防塵体（２）を基板（１）から剥離する防塵体の剥離装置（１０）であって、前記基板を保持する基板保持部（１１）と、前記枠体の第１部分（３ａ）を保持し、前記基板から引き剥がす第１剥離部（２０Ａ）と、前記枠体の第２部分（３ｂ）を保持し、前記基板から引き剥がす第２剥離部（２０Ｂ）と、前記第１剥離部及び前記第２剥離部を制御する制御部（３０）とを備え、前記制御部は、前記第１剥離部によって前記枠体の前記第１部分を前記基板から引き剥がした後に、前記第２剥離部によって前記枠体の前記第２部分を前記基板から引き剥がすこと、を特徴とする防塵体の剥離装置である。

本発明によれば、接着剤が基板上に残存してしまうのを抑制することができる。

防塵体が貼付されたガラス基板を示す図である。 防塵体の詳細を説明する図である。 第１実施形態の防塵体の剥離装置の全体構成を示す図である。 第１実施形態の剥離装置の動作を説明するフローチャートである。 第１実施形態の防塵体の剥離装置によって防塵体を剥離する状態を示す図である。

（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図は、模式的に示した図であり、各部の大きさ、形状は、理解を容易にするために、適宜誇張している。
本明細書中に記載する各部材の寸法等の数値及び材料名等は、実施形態としての一例であり、これに限定されるものではなく、適宜選択して使用してよい。
本明細書中において、形状や幾何学的条件を特定する用語、例えば、平行や直交等の用語については、厳密に意味するところに加え、同様の機能を奏し、平行や直交と見なせる程度の誤差を有する状態も含むものとする。
図１は、防塵体２が貼付されたガラス基板１を示す図である。
図２は、防塵体２の詳細を説明する図である。図２（ａ）は、防塵体２の斜視図であり、図２（ｂ）は、防塵体２の防塵用シート４側から見た平面図である。図２（ｃ）は、防塵体２の側面図である。

ガラス基板１は、電子回路等のパターンＰがその表面上に描かれたフォトマスクであり、その外形は矩形状に形成されている。本実施形態のガラス基板１は、石英や、ソーダライムガラス等が用いられる。
防塵体２は、ガラス基板１に設けられたパターンＰを塵等の異物から保護するために設けられており、図１に示すように、ガラス基板１のパターンＰを覆うようにして貼付されている。本実施形態の防塵体２は、図２に示すように、枠体３、防塵用シート４、接着層５等から構成される。

枠体３は、防塵体２の骨格となる枠部材であり、ガラス基板１に設けられたパターンＰを囲むようにして配置される。枠体３は、防塵用シート４のシート面がガラス基板１のパターンＰに接触してしまうのを防ぐために設けられている。本実施形態の枠体３は、アルミニウム等の金属部材により厚み方向から見た形状が矩形状に形成されており、枠材３Ａ〜３Ｄにより構成されている。
枠体３の一方の開口部には、その開口部を塞ぐようにして防塵用シート４が貼付されている。また、他方の開口部の縁上には、防塵体２をガラス基板１に接着する接着層５が設けられている。

また、本実施形態の枠体３は、枠材３Ａ〜３Ｄのうち、互いの対向する枠材３Ａ及び枠材３Ｂの外側の側面に、未貫通の円形状の穴（３ａ〜３ｄ）が２つずつ設けられている。具体的には、枠材３Ａの一方の端部に穴３ａが形成され、枠材３Ａの他方の端部に穴３ｃが形成されている。また、同様に、枠材３Ｂの一方の端部に穴３ｂが、枠材３Ｂの他方の端部に穴３ｄが形成されている。
この穴３ａ〜３ｄは、防塵体２をガラス基板１から剥離する場合に用いられる（詳細は後述する）。各穴３ａ〜３ｄは、各枠材の両端部近傍、すなわち、枠体３の角部近傍に設けられている。ここで、枠体３の角部近傍とは、枠体の角部だけでなく、角部から２５ｍｍ以内で離れた領域も含むものをいう。
なお、各穴３ａ〜３ｄは、防塵体２をガラス基板１から剥離するために専用に設けてもよく、また、他の工程等で使用する既存の穴や切り欠き等を流用するようにしてもよい。

防塵用シート４は、ガラス基板１の表面に設けられたパターンＰに異物が付着してしまうのを防ぐために設けられた、いわゆるペリクルフィルムである。防塵用シート４は、光透過性を有するニトロセルロースや、酢酸セルロース、フッ素系樹脂などから構成されている。防塵用シート４は、上述したように、枠体３の一方の開口部を塞ぐようにして貼付されている。
接着層５は、防塵体２をガラス基板１に対して固定する接着剤の層である。接着層５は、例えば、アクリル系接着剤や、スチレン系接着剤、シリコン系接着剤等が用いられている。接着層５は、枠体３の他方の開口部の縁上に隙間なく設けられている。

次に、ガラス基板１に貼付された防塵体２を剥離する剥離装置１０について説明する。
図３は、本実施形態の防塵体２の剥離装置１０の全体構成を示す図である。図３（ａ）は、防塵体２が接着されたガラス基板１が保持された剥離装置１０の斜視図である。また、図３（ｂ）は、剥離装置１０の基板保持台１１に対するガラス基板１の配置状態を説明する図である。
なお、図３では、説明を明確にするために、ＸＹＺの直交座標系を用いて剥離装置１０の鉛直方向をＺ方向とし、奥行き方向をＹ方向とし、鉛直方向及び奥行き方向に直交する前後方向をＸ方向とする。ここで、鉛直方向のうち鉛直上側を＋Ｚ側とし、鉛直下側を−Ｚ側とし、また、奥行き方向のうち奥側を＋Ｙ側とし、手前側を−Ｙ側とし、更に、前後方向のうち前側を−Ｘ側とし、後側を＋Ｘ側とする。

剥離装置１０は、ガラス基板１に貼付された防塵体２を剥離する装置である。本実施形態の剥離装置１０は、ガラス基板１を保持するとともに、ガラス基板１に貼付される防塵体２を複数箇所で保持して、保持した箇所のうちの一か所から徐々に防塵体２をガラス基板１から引き剥がす装置である（詳細は、後述する）。剥離装置１０は、図３（ａ）に示すように、基板保持台１１、防塵体剥離部２０（２０Ａ〜２０Ｄ）、制御部３０等から構成されている。

基板保持台１１は、ガラス基板１を載置して、保持する平板状の台であり、剥離装置１０の不図示のフレームに固定されている。基板保持台１１は、その中央部に矩形状の貫通孔１１ａが設けられている。この貫通孔１１ａは、ガラス基板１が、防塵体２が接着される側の面を下側（−Ｚ側）にして基板保持台１１上に配置された場合に、防塵体２が基板保持台１１に干渉してしまうのを防止するために設けられている。そのため、貫通孔１１ａの前後方向（Ｘ方向）及び奥行き方向（Ｙ方向）における形状は、防塵体２の外形よりも大きい寸法で形成されている。
本実施形態の基板保持台１１は、載置されるガラス基板１が貫通孔１１ａから落下してしまうのを抑制するために、図３（ｂ）に示すように、略８角形状に形成されており、ガラス基板１の角部に対応する位置に、その角部を保持する保持部１１ｂが設けられている。

防塵体剥離部２０は、基板保持台１１に保持されたガラス基板１の防塵体２を保持して、ガラス基板１から防塵体２を引き剥がす部分である。本実施形態の防塵体剥離部２０は、４台（２０Ａ〜２０Ｄ）設けられており、防塵体２の枠体３に設けられた４つの穴３ａ〜３ｄを介して、防塵体２を４点で保持する。
本実施形態では、防塵体剥離部２０Ａは、剥離装置１０の前側（−Ｘ側）であって手前側（−Ｙ側）に配置されており、防塵体剥離部２０Ｂは、剥離装置１０の後側（＋Ｘ側）であって手前側（−Ｙ側）に配置されている。また、防塵体剥離部２０Ｃは、剥離装置１０の前側（−Ｘ側）であって奥側（＋Ｙ側）に配置されており、防塵体剥離部２０Ｄは、剥離装置１０の後側（＋Ｘ側）であって奥側（＋Ｙ側）に配置されている。以下、防塵体剥離部２０Ａについて説明するが、防塵体剥離部２０Ｂ〜２０Ｄについても同様である。

防塵体剥離部２０Ａは、図３（ａ）に示すように、駆動部材２１Ａ、保持部材２２Ａ、駆動部２３Ａ等から構成されている。
駆動部材２１Ａは、その上端部に設けられる保持部材２２Ａを鉛直方向に移動させる部材であり、その下端部側に駆動部２３Ａが配置されている。本実施形態では、駆動部材２１Ａには、不図示の歯車（ラックギア）が設けられており、駆動部２３Ａに設けられる不図示の回転モータに接続される歯車（ピニオンギア）が係合することにより、いわゆるラック・アンド・ピニオンの機構が構成されており、回転モータの回転運動を鉛直方向の直動運動に変換している。

保持部材２２Ａは、防塵体２の枠体３に設けられた穴に挿入され、防塵体２を保持する円柱状の部材である。本実施形態では、保持部材２２Ａは、枠体３の穴３ａに挿入され、保持部材２２Ｂは、枠体３の穴３ｂに挿入され、保持部材２２Ｃは、枠体３の穴３ｃに挿入され、保持部材２２Ｄは、枠体３の穴３ｄに挿入される。
各保持部材の円柱状の外径は、枠体の各穴の直径よりも若干小さい寸法で形成されている。
なお、各保持部材は、各駆動部材に対して一体に形成されていてもよく、また、別体で形成されていてもよく、更に、各駆動部材に対して取り外し可能に固定されるようにしてもよい。

駆動部２３Ａは、駆動部材２１Ａを鉛直方向（Ｚ方向）に駆動させる駆動源であり、本実施形態では、不図示の回転モータと、その回転モータの回転軸に設けられた歯車（ピニオンギア）等から構成される。駆動部２３Ａは、上述したように、回転モータに設けられた歯車が、駆動部材２１Ａの不図示の歯車に係合しており、回転モータが回転することによって、駆動部材２１Ａを鉛直方向に移動させる。駆動部２３Ａは、制御部３０に電気的に接続されており、制御部３０から送信される駆動信号に基づいて駆動される。

制御部３０は、防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄに接続され、各防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄの駆動部２３Ａ〜２３Ｄを統括制御する制御回路であり、例えばＣＰＵ等から構成される。制御部３０は、不図示の記憶部に記憶された各種プログラムを適宜読み出して実行することにより、前述したハードウェアと協働し、本発明に係る各種機能を実現している。

次に、剥離装置１０の動作（防塵体の剥離方法）について説明する。
図４は、本実施形態の剥離装置の動作を説明するフローチャートである。
図５は、本実施形態の防塵体の剥離装置によって防塵体を剥離する状態を示す図である。図５は、図３（ａ）に対応する図である。
最初に、剥離装置１０の基板保持台１１上に、防塵体２が固定されたガラス基板１を載置する。ここで、ガラス基板１は、図５に示すように、防塵体２が固定された側の面を鉛直下側（−Ｚ側）に向けて、防塵体２が貫通孔１１ａ内に配置されるようにして、基板保持台１１上に配置される（基板保持工程）。本実施形態では、ガラス基板１は、防塵体２の枠体３に設けられた穴３ａが奥行き方向（Ｙ方向）の手前側（−Ｙ側）であって前後方向（Ｘ方向）の前側（−Ｘ側）に、穴３ｂが手前側（−Ｙ側）であって後側（＋Ｘ側）に、穴３ｃが奥側（＋Ｙ側）であって前側に、穴３ｂが奥側であって後側にそれぞれ位置するようにして配置される。
それから、各防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄに設けられた保持部材２２Ａ〜２２Ｄを、それぞれ、防塵体２の枠体３に設けられた穴３ａ〜３ｄに挿入して、保持部材により防塵体２の枠体３を保持させる（枠体保持工程）。

ガラス基板１が基板保持台１１に対して適正に配置されるとともに、各保持部材により防塵体２の枠体３が適正に保持されたら、剥離装置１０の不図示の電源を投入し、剥離装置１０による防塵体２の剥離作業を開始する。
まず、図４に示すように、ステップ（以下、Ｓという）１において、制御部３０は、４台の防塵体剥離部２０のうち、防塵体剥離部２０Ａの駆動部２３Ａのみを駆動させて、所定の速度で駆動部材２１Ａを鉛直下側（−Ｚ方向）へ移動させる（第１剥離工程）。

ここで、駆動部材２１Ａに設けられた保持部材２２Ａは、枠体３の角部近傍に設けられた穴３ａに挿入されているので、駆動部材２１Ａが鉛直下側（−Ｚ側）に移動することによって、防塵体２は、ガラス基板１に対して４つの角部のうち穴３ａの近傍の角部から徐々に引き剥がされる。
各駆動部材の駆動速度は、接着層５に用いられる接着剤の種類や特性等に応じて、適宜設定することができる。この駆動速度は、接着剤の飛び散りや、ガラス基板１への残存を抑制する観点から、１．０ｍｍ／分以下であることが望ましく、０．２ｍｍ／分以下であることが更に望ましい。本実施形態の各駆動部材の駆動速度は、０．２ｍｍ／分である。

Ｓ２において、制御部３０は、所定の時間（例えば、２．５分）が経過したか否かを判定する。所定の時間が経過していないものと判定した場合（Ｓ２：Ｎｏ）、制御部３０は、引き続き駆動部２３Ａのみを駆動させる。
所定の時間が経過したものと判定した場合（Ｓ２：Ｙｅｓ）、制御部３０は、Ｓ３において、防塵体剥離部２０Ｂの駆動部２３Ｂを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ｂを鉛直下側へ移動させる（第２剥離工程）。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｂの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。このとき、制御部３０は、駆動部２３Ａの駆動も継続している。

ここで、Ｓ３において駆動させる防塵体剥離部は、接着層５の接着剤を、ガラス基板１に残存させることなく、ガラス基板１から剥離させる観点から、最初に駆動させた防塵体剥離部２０Ａに最も近接した位置に配置される防塵体剥離部２０であることが望ましい。そのため、本実施形態では、防塵体剥離部２０Ａに最も近い位置に配置される防塵体剥離部２０Ｂが、Ｓ３において駆動される。
また、上述のＳ２における所定の時間は、各駆動部材の駆動速度に応じて適宜設定することができ、例えば、防塵体剥離部によって剥がされる防塵体とガラス基板との距離を基準にして設定することができる。本実施形態では、防塵体剥離部２０Ａの駆動により防塵体２の穴３ａの位置とガラス基板１との距離が０．５ｍｍとなった時に、防塵体剥離部２０Ｂを駆動させるようにしている。本実施形態では、各駆動部材の駆動速度が上述のように０．２ｍｍ／分であるので、所定の時間は、２．５分に設定される。

続いて、Ｓ４において、制御部３０は、Ｓ２と同様に、所定の時間（例えば、２．５分）が経過したか否かを判定する。所定の時間が経過していないものと判定した場合（Ｓ４：Ｎｏ）、制御部３０は、駆動部２３Ａ及び駆動部２３Ｂを引き続き駆動させる。
所定の時間が経過したものと判定した場合（Ｓ４：Ｙｅｓ）、制御部３０は、Ｓ５において、防塵体剥離部２０Ｃの駆動部２３Ｃを駆動させて、０．２ｍｍ／分の速度で駆動部材２１Ｃを鉛直下側へ移動させる。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｃの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。なお、このとき、制御部３０は、駆動部２３Ａ及び駆動部２３Ｂの駆動も継続する。

それから、Ｓ６において、制御部３０は、所定の時間（例えば、２．５分）経過したか否かを判定する。所定の時間が経過していないものと判定した場合（Ｓ６：Ｎｏ）、制御部３０は、駆動部２３Ａ、駆動部２３Ｂ、駆動部２３Ｃを引き続き駆動させる。
所定の時間が経過したものと判定した場合（Ｓ６：Ｙｅｓ）、制御部３０は、Ｓ７において、防塵体剥離部２０Ｄの駆動部２３Ｄを駆動させて、０．２ｍｍ／分の速度で駆動部材２１Ｄを鉛直下側へ移動させる。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｃの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。
なお、このとき、制御部３０は、駆動部２３Ａ、駆動部２３Ｂ、駆動部２３Ｃの駆動も継続するため、剥離装置１０の全ての駆動部が駆動することとなる。各駆動部を継続して駆動させて、ガラス基板１から防塵体２が完全に剥離されたら、制御部３０による各駆動部の制御を停止させ、剥離作業が完了となる。

以上より、本実施形態の防塵体の剥離方法、剥離装置１０は、以下のような効果を奏する。
本実施形態の防塵体２の剥離方法及び剥離装置は、防塵体剥離部２０Ａに保持された枠体３の穴３ａが設けられる部分（第１部分）をガラス基板１から引き剥がす工程の後に、防塵体剥離部２０Ｂに保持された枠体３の穴３ｂが設けられる部分（第２部分）をガラス基板１から引き剥がす工程を行っている。これにより、ガラス基板１から防塵体２を一点から徐々に引き剥がすことができ、接着層５の接着剤が、ガラス基板１側に残ったり、引き剥がす際に接着剤が飛び散ったりしてしまうのを抑制することができ、ガラス基板１に接着剤が残存してしまうのを抑制することができる。

本実施形態の防塵体２の剥離方法及び剥離装置は、枠体３の穴３ａが設けられる部分をガラス基板１に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がし、また、枠体３の穴３ｂが設けられる部分をガラス基板１に対して１ｍｍ／分以下の速度で引き剥がす。これにより、接着層５の接着剤が、ガラス基板１側に残ったり、引き剥がす際に接着剤が飛び散ったりしてしまうのをより効率よく抑制することができる。

本実施形態の防塵体２の剥離方法及び剥離装置は、枠体３の角部近傍に設けられた各穴３ａ〜３ｄを各防塵体剥離部２０の各保持部材２２によって保持しているので、接着剤のガラス基板１への残存や、飛び散りを抑制した状態で、防塵体２をガラス基板１からより効率よく剥離することができる。

（第２実施形態）
次に、防塵体の剥離方法の第２実施形態について説明する。
なお、以下の説明において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
本実施形態の剥離装置１０は、制御部３０が設けられておらず、作業者が手動で各防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄの駆動部２３Ａ〜２３Ｄを操作する点で、上述の第１実施形態の剥離装置１０と相違している。
各防塵体剥離部２０Ａ〜２０Ｄの駆動部２３Ａ〜２３Ｄには、上述の第１実施形態の回転モータの代わりに不図示の回転ハンドルが設けられている、この回転ハンドルの回転軸にはピニオンギアが設けられ、そのピニオンギアが駆動部材２１に設けられるラックギアに係合しており、回転ハンドルを手動で回転させることによって、駆動部材２１を鉛直方向に所定の速度で駆動することができる。

次に、本実施形態の防塵体２の剥離方法について説明する。
上述の第１実施形態と同様に、まず、剥離装置１０の基板保持台１１上に、防塵体２が固定されたガラス基板１を載置して保持させる（基板保持工程）。
それから、各防塵体剥離部に設けられた保持部材２２Ａ〜２２Ｄを、それぞれ防塵体２の枠体３に設けられた各穴３ａ〜３ｄに挿入して、保持部材により防塵体２の枠体３を保持させる（枠体保持工程）。

続いて、作業者は、４台の防塵体剥離部２０のうち、防塵体剥離部２０Ａの駆動部２３Ａの回転ハンドルを操作して、駆動部２３Ａのみを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ａを鉛直下側（−Ｚ方向）へ移動させる（第１剥離工程）。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ａの近傍の角部において、ガラス基板１から徐々に引き剥され始められる。
続いて、作業者は、所定の時間（例えば、２．５分）の経過を待った上で、駆動部２３Ａの回転ハンドルの操作を止め、防塵体剥離部２０Ｂの駆動部２３Ｂに設けられた回転ハンドルを操作して駆動部２３Ｂを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ｂを鉛直下側へ移動させる（第２剥離工程）。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｂの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。

続いて、作業者は、駆動部２３Ｂの駆動を開始してから所定の時間（例えば、２．５分）の経過を待った上で、駆動部２３Ｂの回転ハンドルの操作を止め、防塵体剥離部２０Ｃの駆動部２３Ｃに設けられた操作部を操作して駆動部２３Ｃを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ｃを鉛直下側へ移動させる。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｃの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。

それから、作業者は、駆動部２３Ｃの駆動を開始してから所定の時間（例えば、２．５分）の経過を待った上で、駆動部２３Ｃの回転ハンドルの操作を止め、防塵体剥離部２０Ｄの駆動部２３Ｄに設けられた操作部を操作して駆動部２３Ｄを駆動させて、所定の速度（０．２ｍｍ／分）で駆動部材２１Ｄを鉛直下側へ移動させる。これにより、防塵体２は、枠体３の穴３ｄの近傍の角部においても、ガラス基板１から引き剥され始められる。
以上の操作により、防塵体２の各角部は、ガラス基板１から剥離されることとなる。上述の作業により、防塵体２の一部が、まだガラス基板１から剥離されていない場合は、防塵体２がガラス基板１から完全に剥離されるまで、上述の駆動部２３Ａ、駆動部２３Ｂ、駆動部２３Ｃ、駆動部２３Ｄの各操作を順に繰り返す。

以上より、本実施形態の防塵体の剥離方法は、上述の第１実施形態の剥離方法と同様の効果、すなわち接着層５の接着剤が、ガラス基板１側に残ったり、引き剥がす際に接着剤が飛び散ったりしてしまうのを抑制することができ、ガラス基板１に接着剤が残存してしまうのを抑制することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。

（変形形態）
（１）上述の第１実施形態において、防塵体２の剥離方法、剥離装置１０は、防塵体剥離部２０Ａを駆動した後、防塵体剥離部２０Ｂ、防塵体剥離部２０Ｃを順次、駆動させる例を示したが、これに限定されるものでなく、防塵体剥離部２０Ｂの駆動と同時に防塵体剥離部２０Ｃを同時に駆動するようにしてもよい。これにより、防塵体２の枠体３の穴３ｂ及び穴３ｃ近傍の角部を同時に剥離することができ、剥離作業を効率よくすることができる。防塵体剥離部２０Ａに対する防塵体剥離部２０Ｂ及び防塵体剥離部２０Ｃの距離が同等である場合に、特に有効である。

（２）ガラス基板１に保持された防塵体２の接着層５を予め加熱した上で、上述の各実施形態に記載の防塵体の剥離方法を実行するようにしてもよい。これにより、接着層５を形成する接着剤を軟化させて、ガラス基板１からの防塵体２の剥離をより容易にすることができる。なお、接着層５の加熱は、例えば、ガラス基板１の防塵体２が接着された側とは反対側の面に、ヒーターを配置して、ガラス基板１を介して行うことができる。

（３）上述の各実施形態において、防塵体２の枠体３の４点を保持して剥離する例を示したが、これに限定されるものでなく、接着層５に用いられる接着剤の種類や、防塵体２のサイズ等に応じて２点や、３点、５点以上で保持して剥離するようにしてもよい。

（４）上述の第１実施形態において、剥離装置１０は、駆動部（２３Ａ）の動作開始後、所定の時間（例えば、２．５分）経過後に近接する駆動部（２３Ｂ）を駆動させる例を示したが、これに限定されるものでない。例えば、枠体３の角部近傍に変位センサを設け、ガラス基板１と防塵体２の枠体３の各角部との距離を測定可能にし、剥離装置１０は、その距離が所定の値（例えば、０．５ｍｍ）以上となった場合に、隣接する駆動部を駆動させるようにしてもよい。

（５）上述の各実施形態において、防塵体剥離部２０はラック・アンド・ピニオンの機構により、駆動部材２１を駆動する例を示したが、これに限定されるものでない。例えば、駆動部に空圧式や油圧式のシリンダを用いて、駆動部材２１を駆動するようにしてもよい。

１ ガラス基板
２ 防塵体
３ 枠体
３ａ〜３ｄ 穴
４ 防塵用シート
５ 接着層
１０ 剥離装置
１１ 基板保持台
２０Ａ〜２０Ｄ 防塵体剥離部
２１Ａ〜２１Ｄ 駆動部材
２２Ａ〜２２Ｄ 保持部材
２３Ａ〜２３Ｄ 駆動部
３０ 制御部

Claims (2)

1. 枠体に防塵用シートが固定された防塵体を基板から剥離する防塵体の剥離方法であって、
   前記防塵体を下側に向けて前記基板を保持する基板保持工程と、
   前記枠体の第１部分及び第２部分を保持する枠体保持工程と、
   前記枠体保持工程によって保持された前記枠体の前記第１部分を前記基板から下側に引き剥がす第１剥離工程と、
   前記第１剥離工程よりも後に、前記枠体保持工程によって保持された前記枠体の前記第２部分を前記基板から下側に引き剥がす第２剥離工程と、
   を備え、
   前記枠体保持工程は、前記枠体の第３部分を更に保持し、
   前記第２剥離工程は、前記第２部分と同時に前記第３部分を前記基板から下側に引き剥がし、
   前記第１剥離工程は、前記枠体の複数の角部のうち一の角部近傍を前記第１部分として保持し、
   前記第２剥離工程は、前記枠体の複数の角部のうち前記一の角部に隣り合う他の角部近傍を前記第２部分として保持するとともに、前記一の角部の前記他の角部とは反対側に隣り合う角部近傍を前記第３部分として保持すること、
   を特徴とする防塵体の剥離方法。
2. 枠体に防塵用シートが固定された防塵体を基板から剥離する防塵体の剥離装置であって、
   前記防塵体を下側に向けて前記基板を保持する基板保持部と、
   前記枠体の第１部分を保持し、前記基板から下側に引き剥がす第１剥離部と、
   前記枠体の第２部分を保持し、前記基板から下側に引き剥がす第２剥離部と、
   前記枠体の第３部分を保持し、前記基板から下側に引き剥がす第３剥離部と、
   前記第１剥離部、前記第２剥離部及び前記第３剥離部を制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記第１剥離部によって前記枠体の前記第１部分を前記基板から引き剥がした後に、前記第２剥離部によって前記枠体の前記第２部分を前記基板から引き剥がすと同時に前記第３剥離部によって前記枠体の前記第３部分を前記基板から引き剥がし、
   前記第１剥離部は、前記枠体の複数の角部のうち一の角部近傍を前記第１部分として保持し、
   前記第２剥離部は、前記枠体の複数の角部のうち前記一の角部に隣り合う他の角部近傍を前記第２部分として保持し、
   前記第３剥離部は、前記枠体の複数の角部のうち前記一の角部の前記他の角部とは反対側に隣り合う角部近傍を前記第３部分として保持すること、
   を特徴とする防塵体の剥離装置。

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