JPH02304439A - ペクリルの剥離方法 - Google Patents

ペクリルの剥離方法

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JPH02304439A
JPH02304439A JP1124461A JP12446189A JPH02304439A JP H02304439 A JPH02304439 A JP H02304439A JP 1124461 A JP1124461 A JP 1124461A JP 12446189 A JP12446189 A JP 12446189A JP H02304439 A JPH02304439 A JP H02304439A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pellicle
photomask
peeling
org
vessel
Prior art date
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Pending
Application number
JP1124461A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Ariyoshi
有吉　寛
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
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Publication date
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  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体や液晶を製造する露光装置に用いられ
るホトマスク面にダストが付着するのを防ぐペリクル付
きホトマスクからペリクルを取り外すペリクルの剥離方
法に関するものである。
（従来の技術） ・従来のペリクル、およびその剥離方法を第２図および
第３図により説明する。
第２図は、ペリクルの断面図で、ペリクル１は。
外壁面に取外し用溝２ａを形成した支持枠２の上端面に
有機薄膜３を貼付したもので、ホトマスク４の上に粘着
剤５で固定される。
ペリクル付きホトマスクの使用中に、有機薄膜３が破損
したり１表面に風が吹き飛ばせないごみや金属粉が付着
し、事故が発生した場合、ペリクルを交換する必要があ
る。
次に、従来のペクリルの剥離方法について、第３図によ
り説明する。Ｔ字状の剥離用治具６の頭部の一端を、支
持枠２の取外し用溝２ａに差し入れ、他の一端のホトマ
スク４に当て、柄を矢印Ａの方向に倒し、ホトマスク４
から剥ぎ取っていた。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述の剥離方法では、支持枠２を剥離す
る際に、剥離用治具６がホトマスク４のパターン面を支
点にしてこれらねるため、パターン部や透明基板に修正
不可能な傷をつけるという問題があった。
本発明は上記の問題を解決するもので、ホトマスフに傷
を付けないペリクルの剥離方法を提供するものである。
（１１題を解決するための手段） 上記の課題を解決するため１本発明は、引張りばね装置
を用いて剥離方向に引張り力を掛けながら、ペリクル付
きホトマスクを有機溶剤又は界面活性剤水溶液に浸漬す
るものである。
（作　用） 上記の構成により、剥離治具がホトマスクのパターン面
に直接当らないので、傷を付けなくなる。
また、粘着剤が有機溶剤又は界面活性剤水溶液で溶解す
るので、ペリクルは、ホトマスクから簡単に剥離する。
（実施例） 本発明の一実施例を第１図（ａ）および（ｂ）により説
明する。
第１図（ａ）および（ｂ）は、本発明によるペリクルの
剥離方法を示す側面断面図である。第１図（ａ）におい
て、本発明による剥離用治具は、上部が開口し、開口の
周辺上端にＯリング７を装着した段部８ａが形成された
容器８と、両端に支持枠２の取外し用溝２ａに両側から
嵌合する鉤形のフック９と、上記の容器８の底面および
上記のフック９の中央部にそれぞれ設けられた掛は金８
ｂおよび９ａに１両端を係合した引張りコイルばね１０
とから構成”されている。
このように構成された剥離用治具を用いて、ペリクル１
を剥離するには、まず、容器８に有機溶剤又は界面活性
剤水溶液１１を入れ、次に、支持枠２の取外し用溝２ａ
にフック９を嵌合して取り付けた後、容器８の底面の掛
は金８ｂに一端を固定した引張りコイルばね１０にフッ
ク９の掛は金９ａを引き掛け、ホトマスク４のマスク面
が、０リング７に当るように容器８の上に載せる。有機
溶剤又は界面活性剤水溶液１１は、ペリクル１に排除さ
れて液面が上り、ホトマスク４のマスク面を浸す。
ペリクル１をホトマスク４に貼り付けていた粘着剤５が
、膨潤あるいは溶解し粘着力が弱まると、支持枠２は、
引張りコイルばね１０の引張り力で、ホトマスク４から
剥離する（第１図（ｂ））。
（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、ホトマスクのパ
ターン面を傷付けることなくペリクルを、剥離すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）および（ｂ）は、本発明によるペリクルを
剥離方法を示す断面図、第２図は、ペリクル付きホトマ
スクの断面図、第３図は、従来のペリクルを剥離方法を
示す断面図である。 １　・・・ペリクル、　２　・・・支持枠、２ａ・・・
取外し用溝、　３　・・・有機薄膜、　４・・・ホトマ
スク、　５・・・粘着剤、　６　・・′剥離用治具、　
７・・・Ｏリング、　８　・・・容器、　８ａ・・・段
部、　８ｂ、９ａ・・・掛は金、　９　・・・　フック
、１０・・・引張りコイルばね、１１・・・有機溶剤又
は界面活性剤水溶液。 特許出願人　松下電子工業株式会社 代　理　人　　　星　　野　　恒　　司　□　゛。 第１図 （ａ） ８ｂ掛１１金 （ｂ） ム

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体製造や液晶製造の露光工程で用いられるホトマス
    クに装着されたペリクルを、引離し力を加えてホトマス
    クより剥離するペリクルの剥離方法において、引張りば
    ね装置を用いて引離し力を加えながらペリクル付きホト
    マスクを有機溶剤又は界面活性剤水溶液に浸漬するペリ
    クルの剥離方法。
JP1124461A 1989-05-19 1989-05-19 ペクリルの剥離方法 Pending JPH02304439A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20040005355A (ko) * 2002-07-10 2004-01-16 주식회사 하이닉스반도체 펠리클 분리형 프레임구조
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JP2017122865A (ja) * 2016-01-08 2017-07-13 大日本印刷株式会社 防塵体の剥離方法、防塵体の剥離装置

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