JP6760287B2 - ポリアミック酸溶液組成物およびポリイミドフィルム - Google Patents
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Description
1. テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸と、溶媒とを含有するポリアミック酸溶液組成物であって、
テトラカルボン酸成分が、分子内に有する2つの環状酸無水物構造を連結する結合の少なくとも1つが自由回転可能な結合であり、無水フタル酸構造を含まないテトラカルボン酸二無水物(a1)の1種類以上と、脂環式構造を有し、2つの環状酸無水物構造がいずれも脂環式構造と少なくとも1つの炭素−炭素結合を共有しており、分子内に自由回転可能な結合を持たないテトラカルボン酸二無水物(a2)の1種類以上とからなり、
ジアミン成分が、9,9−ジフェニルフルオレン構造を有するジアミンの1種類以上を5〜50モル%含む、ポリアミック酸溶液組成物。
2. テトラカルボン酸二無水物(a1)の炭素数が8〜50であり、テトラカルボン酸二無水物(a2)の炭素数が8〜30である、前記項1に記載のポリアミック酸溶液組成物。
3. テトラカルボン酸二無水物(a1)が、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、ジシクロへキシル−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、N,N’−(1,4−フェニレン)ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)、及びN,N’−(オキシビス(1,4−フェニレン))ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)から選ばれる化合物である、前記項1または2に記載のポリアミック酸溶液組成物。
4. テトラカルボン酸二無水物(a2)が、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、及びデカヒドロ−1,4:5,8−ジメタノナフタレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物から選ばれる化合物である、前記項1〜3のいずれかに記載のポリアミック酸溶液組成物。
5. 前記項1〜4のいずれかに記載のポリアミック酸溶液組成物をキャリア基板上に塗布し、加熱処理して、キャリア基板上にポリイミドフィルムを形成する工程、
前記ポリイミドフィルム上に回路を形成する工程、及び、
前記回路が表面に形成されたポリイミドフィルムを前記キャリア基板から剥離する工程
を含むことを特徴とするフレキシブルデバイスの製造方法。
テトラカルボン酸成分が、分子内に有する2つの環状酸無水物構造を連結する結合の少なくとも1つが自由回転可能な結合であり、無水フタル酸構造を含まないテトラカルボン酸二無水物(a1)の1種類以上と、脂環式構造を有し、2つの環状酸無水物構造がいずれも脂環式構造と少なくとも1つの炭素−炭素結合を共有しており、分子内に自由回転可能な結合を持たないテトラカルボン酸二無水物(a2)の1種類以上とからなり、
ジアミン成分が、9,9−ジフェニルフルオレン構造を有するジアミンの1種類以上を5〜50モル%含む、ポリイミドフィルム。
7. テトラカルボン酸二無水物(a1)の炭素数が8〜50であり、テトラカルボン酸二無水物(a2)の炭素数が8〜30である、前記項6に記載のポリイミドフィルム。
8. テトラカルボン酸二無水物(a1)が、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、ジシクロへキシル−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、N,N’−(1,4−フェニレン)ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)、及びN,N’−(オキシビス(1,4−フェニレン))ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)から選ばれる化合物である、前記項6または7に記載のポリイミドフィルム。
9. テトラカルボン酸二無水物(a2)が、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、及びデカヒドロ−1,4:5,8−ジメタノナフタレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物から選ばれる化合物である、前記項6〜8のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
10. ガラス転移温度(Tg)が300℃以上であり、伸度が10%以上であり、厚さ方向の位相差(Rth)が100nm以下である、前記項6〜9のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
11. 前記項6〜10のいずれかに記載のポリイミドフィルムを基板として用いたフレキシブルデバイス。
(nx、ny、nzはそれぞれポリイミドフィルムのX軸、Y軸、Z軸の屈折率を表し、dはポリイミドフィルムの厚さを表す。ここで、X軸は面内で最大の屈折率を示す方向であり、Y軸は面内でX軸と直交する方向であり、Z軸はこれらの軸と直交する厚さ方向である。)
HTAC(PPD):N,N’−(1,4−フェニレン)ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)
H−BPDA:ビシクロヘキシル−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物
CpODA:ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物
DNDA:デカヒドロ−1,4:5,8−ジメタノナフタレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物
H−PMDA:1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物
CBDA:1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物
BAFL:9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン
ODA:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル
CHDA:1,4−ジアミノシクロヘキサン
BAPB:4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル
1,2−DMZ:1,2−ジメチルイミダゾール
ポリアミック酸溶液の固形分濃度は、ポリアミック酸溶液を350℃で30分間乾燥し、乾燥前の重量W1と乾燥後の重量W2とから次式によって求めた値である。
(光透過率)
分光光度計U−2910(株式会社日立ハイテクノロジーズ製)を用いて、ポリイミドフィルムの365nm及び400nmにおける透過率を測定した。
位相差測定装置KOBRA−WR(王子計測機器株式会社製)を用いて、測定波長590nm、入射角40°で厚さ方向の位相差Rthを測定した。
(ガラス転移温度(Tg))
膜厚10μmのポリイミドフィルムを幅4mmの短冊状に切り取って試験片とし、TMA/SS6100(エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製)を用い、チャック間長15mm、荷重2g、昇温速度20℃/minで400℃まで昇温した。得られたTMA曲線の変曲点より、Tgを算出した。
(伸度)
膜厚約10μmのポリイミドフィルムをIEC450規格のダンベル形状に打ち抜いて試験片とし、ORIENTEC社製TENSILONを用いて、チャック間長30mm、引張速度2mm/分で、初期の弾性率、破断伸度を測定した。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを16.1910g(0.0809モル)と、BAFL12.0734g(0.0347モル)、CpODA11.0990g(0.0289モル)、HTAC(PPD)40.5803g(0.0866モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.17%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを16.1910g(0.0809モル)、BAFL12.0734g(0.0347モル)、CpODA11.0990g(0.0289モル)、HTAC(PPD)40.5803g(0.0866モル)、1,2−DMZ1.1105g(0.0116モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.17%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを19.5454g(0.0976モル)、BAFL8.5019g(0.0244モル)、CpODA23.4472g(0.0610モル)、HTAC(PPD)28.5761g(0.0610)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.12%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを20.8270g(0.1040モル)、BAFL9.0594g(0.0260モル)、DNDA19.6482g(0.0650モル)、HTAC(PPD)30.4499g(0.0650モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.06%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを22.2208g(0.1110モル)、BAFL9.6657g(0.0277モル)、H−PMDA15.5462g(0.0694モル)、HTAC(PPD)32.4877g(0.0694モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度14.99%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを22.7816g(0.1138モル)、BAFL9.9096g(0.0284モル)、CBDA13.9434g(0.0711モル)、HTAC(PPD)33.3075g(0.0711モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度14.97%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを22.2689g(0.1112モル)、BAFL9.6866g(0.0278モル)、CpODA26.7144g(0.0695モル)、H−BPDA21.2885g(0.0695モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.00%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを25.4806g(0.0692モル)、BAFL10.3278g(0.0296モル)、CpODA9.4942g(0.0247モル)、HTAC(PPD)34.7129g(0.0741モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.29%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを25.4806g(0.0692モル)、BAFL10.3278g(0.0296モル)、CpODA9.4942g(0.0247モル)、HTAC(PPD)34.7129g(0.0741モル)、1,2−DMZ0.9500g(0.0099モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.29%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを26.8733g(0.0729モル)、BAFL10.8922g(0.0313モル)、CpODA30.0393g(0.0782モル)、HTAC(PPD)12.2034g(0.0261モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.25%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを26.8733g(0.0729モル)、BAFL10.8922g(0.0313モル)、CpODA30.0393g(0.0782モル)、HTAC(PPD)12.2034g(0.0261モル)、1,2−DMZ1.0019g(0.0104モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.25%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを29.1944g(0.0792モル)、BAFL11.8339g(0.0340モル)、DNDA25.6636g(0.0849モル)、HTAC(PPD)13.2574g(0.0283モル)、1,2−DMZ1.0884g(0.0113モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.18%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを12.7165g(0.0635モル)、BAFL8.8504g(0.0254モル)、CHDA4.3506g(0.0381モル)、CpODA24.4081g(0.0635モル)、HTAC(PPD)29.7472g(0.0635モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.09%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを12.7165g(0.0635モル)、BAFL8.8504g(0.0254モル)、CHDA4.3506g(0.0381モル)、CpODA24.4081g(0.0635モル)、HTAC(PPD)29.7472g(0.0635モル)、1,2−DMZ1.2211g(0.0127モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.09%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを20.6338g(0.0560モル)、BAFL7.8051g(0.0224モル)、CHDA3.8368g(0.0336モル)、CpODA21.5253g(0.0560モル)、HTAC(PPD)26.2338g(0.0560モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.19%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを16.5499g(0.0450モル)、BAFL11.7389g(0.0337モル)、CHDA3.8471g(0.0337モル)、CpODA21.5829g(0.0562モル)、HTAC(PPD)26.3040g(0.0562モル)、1,2−DMZ1.0798g(0.0112モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.19%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを18.7162g(0.0508モル)、BAFL13.2756g(0.0381モル)、CHDA4.3506g(0.0381モル)、DNDA28.7922g(0.0953モル)、HTAC(PPD)14.8736g(0.0318モル)、1,2−DMZ1.2211g(0.0127モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.08%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、BAPBを26.8733g(0.0729モル)、BAFL10.8922g(0.0313モル)、CpODA30.0393g(0.0782モル)、HTAC(PPD)12.2034g(0.0261モル)、1,2−DMZ1.0019g(0.0104モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.25%のポリアミック酸溶液を得た。次に、このポリアミック酸溶液を200℃で2時間加熱してポリアミック酸のイミド化を行い、ポリイミド溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを18.3438g(0.0916モル)、BAFL7.9793g(0.0229モル)、HTAC(PPD)53.6387g(0.1145モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.17%のポリアミック酸溶液を得た。
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mlのガラス製の反応容器に、溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン420gを加え、ODAを20.8751g(0.1042モル)、BAFL9.0803g(0.0261モル)、CpODA50.0847g(0.1303モル)を加え、50℃で撹拌して、固形分濃度15.06%のポリアミック酸溶液を得た。
Claims (11)
- テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸と、溶媒とを含有するポリアミック酸溶液組成物であって、
テトラカルボン酸成分が、分子内に有する2つの環状酸無水物構造を連結する結合の少なくとも1つが自由回転可能な結合であり、無水フタル酸構造を含まないテトラカルボン酸二無水物(a1)の1種類以上と、脂環式構造を有し、2つの環状酸無水物構造がいずれも脂環式構造と少なくとも1つの炭素−炭素結合を共有しており、分子内に自由回転可能な結合を持たないテトラカルボン酸二無水物(a2)の1種類以上とからなり、
ジアミン成分が、9,9−ジフェニルフルオレン構造を有するジアミンの1種類以上を5〜50モル%、および4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス((アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、ビス(4−(4−アミノフェノキシ)ジフェニル)スルホン、ビス(4−(3−アミノフェノキシ)ジフェニル)スルホン、1,6−ビス(4−アミノフェノキシ)ナフタレン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ナフタレン、3,3’−ビフェニル−4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルからなる群より選ばれるジアミンを1種類以上含む、ポリアミック酸溶液組成物。 - テトラカルボン酸二無水物(a1)の炭素数が8〜50であり、テトラカルボン酸二無水物(a2)の炭素数が8〜30である、請求項1に記載のポリアミック酸溶液組成物。
- テトラカルボン酸二無水物(a1)が、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、ジシクロへキシル−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、N,N’−(1,4−フェニレン)ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)、及びN,N’−(オキシビス(1,4−フェニレン))ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)から選ばれる化合物である、請求項1または2に記載のポリアミック酸溶液組成物。
- テトラカルボン酸二無水物(a2)が、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、及びデカヒドロ−1,4:5,8−ジメタノナフタレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物から選ばれる化合物である、請求項1〜3のいずれかに記載のポリアミック酸溶液組成物。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のポリアミック酸溶液組成物をキャリア基板上に塗布し、加熱処理して、キャリア基板上にポリイミドフィルムを形成する工程、
前記ポリイミドフィルム上に回路を形成する工程、及び、
前記回路が表面に形成されたポリイミドフィルムを前記キャリア基板から剥離する工程
を含むことを特徴とするフレキシブルデバイスの製造方法。 - テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを重合して得られるポリイミドから主としてなるポリイミドフィルムであって、
テトラカルボン酸成分が、分子内に有する2つの環状酸無水物構造を連結する結合の少なくとも1つが自由回転可能な結合であり、無水フタル酸構造を含まないテトラカルボン酸二無水物(a1)の1種類以上と、脂環式構造を有し、2つの環状酸無水物構造がいずれも脂環式構造と少なくとも1つの炭素−炭素結合を共有しており、分子内に自由回転可能な結合を持たないテトラカルボン酸二無水物(a2)の1種類以上とからなり、
ジアミン成分が、9,9−ジフェニルフルオレン構造を有するジアミンの1種類以上を5〜50モル%、および4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス((アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、ビス(4−(4−アミノフェノキシ)ジフェニル)スルホン、ビス(4−(3−アミノフェノキシ)ジフェニル)スルホン、1,6−ビス(4−アミノフェノキシ)ナフタレン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ナフタレン、3,3’−ビフェニル−4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルからなる群より選ばれるジアミンを1種類以上含む、ポリイミドフィルム。 - テトラカルボン酸二無水物(a1)の炭素数が8〜50であり、テトラカルボン酸二無水物(a2)の炭素数が8〜30である、請求項6に記載のポリイミドフィルム。
- テトラカルボン酸二無水物(a1)が、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、ジシクロへキシル−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、N,N’−(1,4−フェニレン)ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)、及びN,N’−(オキシビス(1,4−フェニレン))ビス(1,3−ジオキソオクタヒドロイソベンゾフラン−5−カルボキシアミド)から選ばれる化合物である、請求項6または7に記載のポリイミドフィルム。
- テトラカルボン酸二無水物(a2)が、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、及びデカヒドロ−1,4:5,8−ジメタノナフタレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物から選ばれる化合物である、請求項6〜8のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
- ガラス転移温度(Tg)が300℃以上であり、伸度が10%以上であり、厚さ方向の位相差(Rth)が100nm以下である、請求項6〜9のいずれかに記載のポリイミドフィルム。
- 請求項6〜10のいずれかに記載のポリイミドフィルムを基板として用いたフレキシブルデバイス。
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