JP6752782B2 - グラフェンを含む黒鉛生成物のプラズマ合成のための装置および方法 - Google Patents
グラフェンを含む黒鉛生成物のプラズマ合成のための装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6752782B2 JP6752782B2 JP2017517434A JP2017517434A JP6752782B2 JP 6752782 B2 JP6752782 B2 JP 6752782B2 JP 2017517434 A JP2017517434 A JP 2017517434A JP 2017517434 A JP2017517434 A JP 2017517434A JP 6752782 B2 JP6752782 B2 JP 6752782B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- reaction chamber
- plasma
- carbon
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/182—Graphene
- C01B32/184—Preparation
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/02—Particle separators, e.g. dust precipitators, having hollow filters made of flexible material
- B01D46/023—Pockets filters, i.e. multiple bag filters mounted on a common frame
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
- B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/122—Incoherent waves
- B01J19/126—Microwaves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/122—Incoherent waves
- B01J19/129—Radiofrequency
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/182—Graphene
- C01B32/184—Preparation
- C01B32/186—Preparation by chemical vapour deposition [CVD]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
- H05H1/461—Microwave discharges
- H05H1/4622—Microwave discharges using waveguides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J2219/0869—Feeding or evacuating the reactor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J2219/0873—Materials to be treated
- B01J2219/0875—Gas
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J2219/0873—Materials to be treated
- B01J2219/0892—Materials to be treated involving catalytically active material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2204/00—Structure or properties of graphene
- C01B2204/04—Specific amount of layers or specific thickness
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Description
単層および多層グラフェンフレークを大規模に生成するための現在存在する唯一の商用候補は、有機または酸性媒体における超音波処理による黒鉛剥離である[18]。これは、いくつかの改質および剥離処理を受ける黒鉛から開始する「トップダウン」手法である。これは、高価な試薬を使用すること、長い超音波処理および遠心分離を伴い、長い熱的後処理を必要とする。その上、残留溶媒が完全に除去されずにグラフェンの表面上に留まる場合があり、数重量パーセントだけその重量を増大させる。また、様々な官能基不純物が黒鉛シート中の炭素原子に共有結合されるようになり、材料の機械的、電気的および熱的特性を深刻に劣化させる。これは連続プロセスではなくバッチプロセスであり、たった1重量パーセントのグラフェン収量に最良でも約6時間がかかることも付け加えておくべきである[19]。
2.高品質のフレーク、すなわち、単層ナノプレートレット含量の高い試料。
3.プロセス条件の調節を通じてフレークサイズ、厚さ、構造に関して材料を制御可能であり、それによって、材料の電気的および物理的特性が制御されること。
4.電力消費が低いこと、および、触媒または添加剤を使用することなく、メタンおよび二酸化炭素のような広く利用可能なガスを含む、自由に利用可能な原料を使用することによって、生成が単純であること。
1 導波路
2 誘電体管
3 渦ファインダ
4 渦反射器
5 ガス注入
6 圧縮ノズル
7 反応室
8 スプリットバタフライ弁
9 炭素回収
10 開環帯
11 フィルタチャンバ
12 フィルタキャンドル
13 ガス出口
14 ガス入口
15 仕切弁
16 パージバイパス
17 仕切弁
18 装置全体
19 プラズマノズル
プロセスガス(すなわち、選択された炭素原料ガスおよび緩衝ガス)をプラズマノズル内へと注入するステップ。
プラズマノズル内でプロセスガス中に複数の渦を形成するステップ。
原料ガスを分解するためにプロセスガスにマイクロ波場を通過させるステップ。
ノズルを出るときにプラズマのアフターグロー中にグラフェン材料を形成するステップ。
ガスに、グラフェン材料を形成するように設計された反応室を通過させるステップ。
たとえば、修正高温ガスろ過システム内で合成材料を回収するステップ。
限定ではないが、CH4、C2H6、C2H4またはC3H8、C4H15のような炭素源、および、限定ではないが、N2、ArまたはHeのような通常は不活性の緩衝ガス。
(i)第1の端部において、中心軸に位置する出口開口部を有し、
(ii)第1の端部の反対の第2の端部において開いており、
(iii)マイクロ波エネルギーに対して透過性である、細長い導管を利用すること。
高温ガスフィルタの上部にある第2の出口13に配置されている、通常開高温弁17と、
軸方向において、第1の出口(開環帯10)とフィルタキャンドル12の基部との間で高温ガスフィルタ導管の円筒壁上に位置付けられている、第3の出口上に位置する通常閉高温弁15と
を含む。
以下の実施例においては、kW単位の電力レベルに対する参照は、各ノズル内でプラズマを生成するために使用された、マイクロ波電力レベルを参照する。
実施例1:緩衝ガスとしての窒素(N 2 )および炭素源としての純粋なメタンの使用ならびに関連するTEM分析
この実施例は、フレークサイズおよび厚さに対するパラメータの影響を示している。
A−最大150nmサイズ、一般的に1〜5層の厚さのグラフェンおよび黒鉛粒子。
B−最大300nmサイズ、一般的に1〜12層の厚さのグラフェンおよび黒鉛粒子。
C−最大1μmサイズ、一般的に25〜60層の厚さのグラフェンおよび黒鉛粒子。
図11−36L/min Ar、5.2L/min NG、5kW、バッグフィルタ。
図12−15L/min Ar、22L/min NG、6kW、HGF
図13−6L/min Ar、22L/min NG、6kW、バッグフィルタ
Claims (20)
- グラフェンを含む黒鉛生成物のプラズマ合成のための装置であって、
反応室に結合されているプラズマノズルと、
前記プラズマノズルに炭素含有種を含むプロセスガスを供給するための手段と、
使用時に前記プラズマノズル内でプラズマを発生させ、それによって前記炭素含有種の分解を引き起こすように、使用時に前記プラズマノズル内で前記プロセスガスに無線周波数放射を供給する手段とを備え、
前記プラズマノズルは、使用時に、前記プラズマのアフターグローが前記反応室内へと延伸し、前記分解された炭素含有種も前記反応室内に入り、前記分解された炭素含有種が前記アフターグロー内で再結合し、それによって、グラフェンを含む黒鉛生成物が形成されるように配置され、
前記反応室は、前記アフターグローを前記プラズマノズルから出るときに冷却する手段を備える
装置。 - 前記プラズマノズルは、使用時に、1つ以上の渦が前記プラズマノズル内で前記プロセスガス中に形成されるように成形および構成されており、一つの前記渦または前記渦のそれぞれは、前記無線周波数放射に晒され、
任意選択で、前記プラズマノズルは、
前記プロセスガスの流れを受け入れ使用時に第1の渦を形成する1つまたは複数の入口と、
前記反応室と連通している開放端と、
前記開放端に対向する渦反射端とを備え、
前記ノズルは、前記開放端に向かって内部が先細りになっており、
これにより、使用時に、前記渦反射端によって第2の渦が形成され、前記第2の渦が前記渦反射端から反射されることによって第3の渦が発生する
請求項1に記載の装置。 - 前記無線周波数放射を供給するための手段は、マイクロ波発振器と、使用時に前記放射を前記プラズマノズルへと方向付けるように構成されている導波路を備える
請求項1または2に記載の装置。 - 前記反応室は、湾曲した側面と、黒鉛生成物がそれを通じて出るための、一端または両端にある開口部とを有する円筒形である
請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。 - 前記アフターグローを前記プラズマノズルから出るときに冷却する手段は、水冷手段またはガス冷却手段を含む
請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。 - 前記プラズマノズルの、前記反応室との接合部分の弦中心角は0°よりも大きく、
任意選択で、前記角度は50°から180°の間であり、
例えば、前記角度は150°から170°の間である
請求項1〜5のいずれかに記載の装置。 - 前記反応室に結合されている複数の前記プラズマノズルをさらに備え、
任意選択で、各プラズマノズルの前記反応室との接合部分の弦中心角は0°から180°の間であり、
例えば、前記角度は50°から170°の間、または70°から160の間である
請求項1〜5のいずれかに記載の装置 - 前記プラズマノズルまたは各プラズマノズルと前記反応室との間の接合部分周りにガスを送達するための手段をさらに備える
請求項1〜7のいずれか一項に記載の装置。 - 前記反応室の壁から黒鉛生成物を取り除くための手段、および/または
前記反応室に結合されているガスろ過システムをさらに備え、
任意選択で、前記ガスろ過システムは、前記反応室の上に取り付けられ、
任意選択で、前記ガスろ過システムは、1つまたは複数のフィルタキャンドルを備える細長いチャンバおよび、前記フィルタキャンドルから黒鉛生成物を除去するために、前記細長いチャンバを通じてガスを吹き付けるための手段をさらに備える
請求項1〜8のいずれかに記載の装置。 - グラフェンを含む黒鉛生成物を合成する方法であって、
反応室に結合したプラズマノズルにプロセスガスを供給する工程であって、前記プロセスガスが炭素含有種を含む工程と、
前記プラズマノズル内でプラズマを発生させ、それによって炭素含有種の分解を引き起こすように、プラズマノズル内でプロセスガスに無線周波数放射を供給する工程とを含み、
前記プラズマノズルは、前記プラズマのアフターグローが前記反応室内へと延伸し、前記分解された炭素含有種も前記反応室内に入り、前記分解された炭素含有種が前記アフターグロー内で再結合し、それによって、グラフェンを含む黒鉛生成物が形成されるように構成され、
前記アフターグローを前記プラズマノズルから出るときに冷却する手段を適用する工程をさらに含む
方法。 - 前記プラズマノズル内で前記プロセスガス中に1つ以上の渦を形成する工程と、1つの前記渦または前記渦のそれぞれを、前記無線周波数放射に晒す工程とをさらに含む
請求項10に記載の方法。 - 前記無線周波数放射はマイクロ波放射を含む
請求項10または11に記載の方法。 - 前記アフターグローを前記プラズマノズルから出るときに冷却する手段は、水冷手段またはガス冷却手段を含む
請求項10〜12のいずれか一項に記載の方法。 - 実質的に大気圧において前記プラズマを生成する工程をさらに含む
請求項10〜13のいずれか一項に記載の方法。 - 前記炭素含有種は、天然ガス、または、CH4、C2H6、C2H4、C3H8またはC4H10のうちの1つまたは複数を含み、
任意選択で、前記プロセスガスは、アルゴン、窒素またはヘリウムといった緩衝ガスを含み、
任意選択で、前記プロセスガス中の炭素含有種と緩衝ガスとの比は、50:50またはそれ以下であり、例えば約20:80であり、
または、前記緩衝ガスは、二酸化炭素を含む
請求項10〜14のいずれかに記載の方法。 - 前記反応室内の前記アフターグローは、3500℃よりも低い動作温度を有し、
任意選択で、前記反応室内の前記アフターグローは、1000℃よりも低い動作温度を有し、
任意選択で、前記反応室内の前記アフターグローは、約300℃の動作温度を有し、
任意選択で、使用時に前記アフターグロー内の炭素形成点における前記プラズマノズルのすぐ外の温度は、800℃〜1200℃の範囲内であり、
任意選択で、使用時に前記アフターグロー内の炭素形成点における前記プラズマノズルのすぐ外の温度は、900℃〜1000℃の範囲内である
請求項10〜15のいずれか一項に記載の方法。 - 前記プラズマノズルまたは各プラズマノズルと前記反応室との間の接合部分周りにガスを送達する工程をさらに含み、
任意選択で、前記ガスは、前記プラズマノズル/反応室接合部分の壁に沿ってプラズマノズル出口に向けて方向付けられるか、または
前記ガスは、前記プラズマノズルから、前記ノズル/反応室接合部分の前記壁に沿って、前記反応室の空隙に向けて方向付けられる
請求項10〜16のいずれか一項に記載の方法。 - 前記反応室にガスろ過を受けさせる工程をさらに含み、
任意選択で、前記ガスろ過の結果として集積される黒鉛生成物を除去するためにガスを吹き付ける工程をさらに含む
請求項10〜17のいずれか一項に記載の方法。 - 連続抽出プロセスを使用して前記黒鉛生成物を抽出する工程をさらに含み、
任意選択で、バッグフィルタを利用して前記黒鉛生成物を冷却する工程をさらに含む
請求項10〜18のいずれか一項に記載の方法。 - 前記炭素含有種は、前記プロセスガスが熱領域内に導入されることなく分解され、
および/または、前記黒鉛生成物の形成に触媒が使用されず、
および/または、前記黒鉛生成物の前記形成の間に外部加熱が適用されない
請求項10〜19のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB1410639.7 | 2014-06-13 | ||
GBGB1410639.7A GB201410639D0 (en) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | Apparatus and method for plasma synthesis of graphitic products including graphene |
PCT/GB2015/051745 WO2015189643A1 (en) | 2014-06-13 | 2015-06-12 | Apparatus and method for plasma synthesis of graphitic products including graphene |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017523121A JP2017523121A (ja) | 2017-08-17 |
JP2017523121A5 JP2017523121A5 (ja) | 2018-07-26 |
JP6752782B2 true JP6752782B2 (ja) | 2020-09-09 |
Family
ID=51266610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017517434A Active JP6752782B2 (ja) | 2014-06-13 | 2015-06-12 | グラフェンを含む黒鉛生成物のプラズマ合成のための装置および方法 |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11802052B2 (ja) |
EP (1) | EP3167694B9 (ja) |
JP (1) | JP6752782B2 (ja) |
CA (1) | CA2951878C (ja) |
DK (1) | DK3167694T5 (ja) |
GB (2) | GB201410639D0 (ja) |
IL (1) | IL249457B (ja) |
MY (1) | MY179001A (ja) |
PL (1) | PL3167694T5 (ja) |
SA (1) | SA516380482B1 (ja) |
TR (1) | TR201809765T4 (ja) |
WO (1) | WO2015189643A1 (ja) |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108883407A (zh) | 2015-12-16 | 2018-11-23 | 阿马斯坦技术有限责任公司 | 球状脱氢金属和金属合金颗粒 |
PT109387B (pt) * | 2016-05-13 | 2021-12-14 | Inst Superior Tecnico | Processo e sistema para a produção seletiva de nanoestruturas bidimensionais autónomas utilizando tecnologia plasma |
CN110072607A (zh) | 2016-10-06 | 2019-07-30 | 利腾股份有限公司 | 具有气固分离的微波反应器系统 |
US9812295B1 (en) | 2016-11-15 | 2017-11-07 | Lyten, Inc. | Microwave chemical processing |
US10793440B2 (en) * | 2016-12-21 | 2020-10-06 | Raymor Industries Inc. | Plasma processes for producing graphene nanosheets |
US9767992B1 (en) | 2017-02-09 | 2017-09-19 | Lyten, Inc. | Microwave chemical processing reactor |
US9997334B1 (en) | 2017-02-09 | 2018-06-12 | Lyten, Inc. | Seedless particles with carbon allotropes |
CA3200545A1 (en) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | Raymor Industries Inc. | Graphenic carbon nanoparticles having a low polyaromatic hydrocarbon concentration and processes of making same |
US10920035B2 (en) | 2017-03-16 | 2021-02-16 | Lyten, Inc. | Tuning deformation hysteresis in tires using graphene |
WO2018169889A1 (en) | 2017-03-16 | 2018-09-20 | Lyten, Inc. | Carbon and elastomer integration |
CA3076487A1 (en) * | 2017-04-07 | 2018-10-11 | Nuionic Technologies Lp | Microwave enhancement of chemical reactions |
US9987611B1 (en) | 2017-08-08 | 2018-06-05 | H Quest Vanguard, Inc. | Non-thermal plasma conversion of hydrocarbons |
US11358113B2 (en) | 2017-08-08 | 2022-06-14 | H Quest Vanguard, Inc. | Non-thermal micro-plasma conversion of hydrocarbons |
US11358869B2 (en) | 2017-08-08 | 2022-06-14 | H Quest Vanguard, Inc. | Methods and systems for microwave assisted production of graphitic materials |
US10434490B2 (en) | 2017-08-08 | 2019-10-08 | H Quest Vanguard, Inc. | Microwave-induced non-thermal plasma conversion of hydrocarbons |
WO2019032554A1 (en) * | 2017-08-08 | 2019-02-14 | H Quest Vanguard, Inc. | NON-THERMAL PLASMA CONVERSION OF HYDROCARBONS |
WO2019126196A1 (en) | 2017-12-22 | 2019-06-27 | Lyten, Inc. | Structured composite materials |
WO2019136181A1 (en) | 2018-01-04 | 2019-07-11 | Lyten, Inc. | Resonant gas sensor |
US10644368B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-05-05 | Lyten, Inc. | Pressure barrier comprising a transparent microwave window providing a pressure difference on opposite sides of the window |
DE102018132896A1 (de) | 2018-12-19 | 2020-06-25 | Universität Duisburg-Essen | Verfahren zur Herstellung eines Graphen-Komposits |
EP3897951A4 (en) | 2018-12-21 | 2022-08-31 | Performance Nanocarbon, Inc. | IN SITU PRODUCTION AND FUNCTIONALIZATION OF CARBONATED MATERIALS BY GAS-LIQUID MASS TRANSFER AND THEIR USES |
JP7042492B2 (ja) * | 2018-12-26 | 2022-03-28 | シーズテクノ株式会社 | 基板上のグラフェン膜の直接成膜法及び走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー |
CN109824038B (zh) * | 2019-02-20 | 2022-03-25 | 南京大学 | 一种高效消除化学气相沉积法石墨烯褶皱的方法 |
CN110090604B (zh) * | 2019-04-24 | 2021-09-17 | 南京奥依菲光电科技有限公司 | 制备石墨烯包覆无机非金属微/纳米颗粒的工艺 |
US11342561B2 (en) | 2019-10-25 | 2022-05-24 | Lyten, Inc. | Protective polymeric lattices for lithium anodes in lithium-sulfur batteries |
US11309545B2 (en) | 2019-10-25 | 2022-04-19 | Lyten, Inc. | Carbonaceous materials for lithium-sulfur batteries |
US11398622B2 (en) | 2019-10-25 | 2022-07-26 | Lyten, Inc. | Protective layer including tin fluoride disposed on a lithium anode in a lithium-sulfur battery |
US11489161B2 (en) | 2019-10-25 | 2022-11-01 | Lyten, Inc. | Powdered materials including carbonaceous structures for lithium-sulfur battery cathodes |
WO2021118762A1 (en) | 2019-11-18 | 2021-06-17 | 6K Inc. | Unique feedstocks for spherical powders and methods of manufacturing |
US11623197B2 (en) * | 2020-01-23 | 2023-04-11 | Lyten, Inc. | Complex modality reactor for materials production and synthesis |
JP2023532457A (ja) | 2020-06-25 | 2023-07-28 | シックスケー インコーポレイテッド | 微細複合合金構造体 |
US11773014B2 (en) | 2020-08-04 | 2023-10-03 | Lyten, Inc. | Toughened carbon-containing glass materials |
WO2022067303A1 (en) | 2020-09-24 | 2022-03-31 | 6K Inc. | Systems, devices, and methods for starting plasma |
AU2021371051A1 (en) | 2020-10-30 | 2023-03-30 | 6K Inc. | Systems and methods for synthesis of spheroidized metal powders |
GB2620597A (en) | 2022-07-12 | 2024-01-17 | Levidian Nanosystems Ltd | Apparatus and method for producing graphene and hydrogen |
CN116281975A (zh) * | 2023-03-29 | 2023-06-23 | 福州大学 | 一种交流组合等离子体制备纳米材料的方法 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2794913B2 (ja) * | 1990-07-25 | 1998-09-10 | 住友電気工業株式会社 | 導電性グラファイト膜の形成方法 |
US5349154A (en) * | 1991-10-16 | 1994-09-20 | Rockwell International Corporation | Diamond growth by microwave generated plasma flame |
FR2701267B1 (fr) † | 1993-02-05 | 1995-04-07 | Schwob Yvan | Procédé pour la fabrication de suies carbonées à microstructures définies. |
AU2906401A (en) * | 1999-12-21 | 2001-07-03 | Bechtel Bwxt Idaho, Llc | Hydrogen and elemental carbon production from natural gas and other hydrocarbons |
RU2234457C2 (ru) * | 2001-06-01 | 2004-08-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственная компания "НеоТекПродакт" | Способ получения фуллеренсодержащей сажи и устройство для его осуществления |
GB0201600D0 (en) | 2002-01-24 | 2002-03-13 | Univ Cambridge Tech | Large- scale plasma synthesis of hollow nanostructures |
CA2385802C (en) * | 2002-05-09 | 2008-09-02 | Institut National De La Recherche Scientifique | Method and apparatus for producing single-wall carbon nanotubes |
EP1638676A2 (en) * | 2002-12-17 | 2006-03-29 | E.I. du Pont de Nemours and Company | Method of producing nanoparticles using a evaporation-condensation process with a reaction chamber plasma reactor system |
EP1673163A1 (en) * | 2003-10-15 | 2006-06-28 | Dow Corning Ireland Limited | Fonctionalisation of particles |
WO2005058755A1 (ja) * | 2003-12-17 | 2005-06-30 | Frontier Carbon Corporation | フラーレンの製造設備及びフラーレンの製造方法 |
SG111177A1 (en) * | 2004-02-28 | 2005-05-30 | Wira Kurnia | Fine particle powder production |
US7164095B2 (en) * | 2004-07-07 | 2007-01-16 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Microwave plasma nozzle with enhanced plume stability and heating efficiency |
JP4988164B2 (ja) * | 2005-03-08 | 2012-08-01 | 株式会社日清製粉グループ本社 | 微粒子の製造方法と装置 |
WO2006028140A1 (ja) | 2004-09-07 | 2006-03-16 | Nisshin Seifun Group Inc. | 微粒子の製造方法および装置 |
CA2500766A1 (en) † | 2005-03-14 | 2006-09-14 | National Research Council Of Canada | Method and apparatus for the continuous production and functionalization of single-walled carbon nanotubes using a high frequency induction plasma torch |
US20100072430A1 (en) * | 2005-10-14 | 2010-03-25 | Gergely John S | Compositions of carbon nanosheets and process to make the same |
US20100314788A1 (en) | 2006-08-18 | 2010-12-16 | Cheng-Hung Hung | Production of Ultrafine Particles in a Plasma System Having Controlled Pressure Zones |
GB0902784D0 (en) * | 2009-02-19 | 2009-04-08 | Gasplas As | Plasma reactor |
KR101252333B1 (ko) * | 2009-04-02 | 2013-04-08 | 서울대학교산학협력단 | 열플라즈마 화학기상증착법을 이용한 제어 가능한 그래핀 시트 제조방법 |
US20100301212A1 (en) | 2009-05-18 | 2010-12-02 | The Regents Of The University Of California | Substrate-free gas-phase synthesis of graphene sheets |
KR101085848B1 (ko) | 2009-11-20 | 2011-11-23 | (주)아이티네이드 | 유비쿼터스 컴퓨팅 네트워크에서의 멤버 관리방법 |
US8721843B2 (en) | 2010-10-15 | 2014-05-13 | Cedar Ridge Research, Llc | Method for producing graphene in a magnetic field |
GB2490355B (en) † | 2011-04-28 | 2015-10-14 | Gasplas As | Method for processing a gas and a device for performing the method |
KR101265939B1 (ko) * | 2011-06-10 | 2013-05-21 | 한국세라믹기술원 | 유도 열 플라즈마를 이용한 그래핀 제조방법 |
US20130022530A1 (en) * | 2011-07-19 | 2013-01-24 | Robert Angelo Mercuri | Production Of Exfoliated Graphite |
JP2013040151A (ja) | 2011-08-19 | 2013-02-28 | Tokyo Institute Of Technology | テトラフルオロエチレンの製造方法 |
US8486363B2 (en) † | 2011-09-30 | 2013-07-16 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Production of graphenic carbon particles utilizing hydrocarbon precursor materials |
US20140030447A1 (en) | 2012-01-17 | 2014-01-30 | Synos Technology, Inc. | Deposition of Graphene or Conjugated Carbons Using Radical Reactor |
US9514932B2 (en) | 2012-08-08 | 2016-12-06 | Applied Materials, Inc. | Flowable carbon for semiconductor processing |
KR101330230B1 (ko) * | 2013-02-05 | 2013-11-18 | 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 | 고밀도로 나노입자가 결정화되어 있는 그래핀―나노 융합체 |
US9478422B2 (en) * | 2013-02-25 | 2016-10-25 | Solan, LLC | Methods for fabricating refined graphite-based structures and devices made therefrom |
CN105684558B (zh) * | 2013-08-30 | 2019-03-22 | 独立行政法人产业技术综合研究所 | 微波等离子体处理装置 |
US9327232B2 (en) * | 2013-10-04 | 2016-05-03 | Marsulex Environmental Technologies Corporation | Circulating dry scrubber system and method |
GB2545643B (en) * | 2015-12-15 | 2022-06-15 | Levidian Nanosystems Ltd | Apparatus and method for plasma synthesis of carbon nanotubes |
-
2014
- 2014-06-13 GB GBGB1410639.7A patent/GB201410639D0/en not_active Ceased
-
2015
- 2015-06-12 CA CA2951878A patent/CA2951878C/en active Active
- 2015-06-12 US US15/318,377 patent/US11802052B2/en active Active
- 2015-06-12 PL PL15730237.3T patent/PL3167694T5/pl unknown
- 2015-06-12 GB GB1510364.1A patent/GB2527209B/en active Active
- 2015-06-12 JP JP2017517434A patent/JP6752782B2/ja active Active
- 2015-06-12 MY MYPI2016704585A patent/MY179001A/en unknown
- 2015-06-12 TR TR2018/09765T patent/TR201809765T4/tr unknown
- 2015-06-12 WO PCT/GB2015/051745 patent/WO2015189643A1/en active Application Filing
- 2015-06-12 EP EP15730237.3A patent/EP3167694B9/en active Active
- 2015-06-12 DK DK15730237.3T patent/DK3167694T5/da active
-
2016
- 2016-12-08 IL IL249457A patent/IL249457B/en unknown
- 2016-12-12 SA SA516380482A patent/SA516380482B1/ar unknown
-
2023
- 2023-09-25 US US18/473,674 patent/US20240010499A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB201510364D0 (en) | 2015-07-29 |
US20170113935A1 (en) | 2017-04-27 |
DK3167694T4 (da) | 2022-07-18 |
EP3167694B2 (en) | 2022-04-13 |
MY179001A (en) | 2020-10-26 |
JP2017523121A (ja) | 2017-08-17 |
DK3167694T3 (en) | 2018-08-06 |
EP3167694B1 (en) | 2018-05-02 |
IL249457B (en) | 2022-01-01 |
PL3167694T3 (pl) | 2018-10-31 |
PL3167694T5 (pl) | 2022-09-12 |
US11802052B2 (en) | 2023-10-31 |
EP3167694A1 (en) | 2017-05-17 |
TR201809765T4 (tr) | 2018-07-23 |
DK3167694T5 (da) | 2022-08-29 |
US20240010499A1 (en) | 2024-01-11 |
SA516380482B1 (ar) | 2023-01-31 |
GB2527209A (en) | 2015-12-16 |
GB201410639D0 (en) | 2014-07-30 |
IL249457A0 (en) | 2017-02-28 |
CA2951878A1 (en) | 2015-12-17 |
EP3167694B9 (en) | 2022-08-10 |
CA2951878C (en) | 2023-04-25 |
GB2527209B (en) | 2019-08-28 |
WO2015189643A1 (en) | 2015-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6752782B2 (ja) | グラフェンを含む黒鉛生成物のプラズマ合成のための装置および方法 | |
US10781103B2 (en) | Microwave reactor system with gas-solids separation | |
TWI796215B (zh) | 具有碳同素異形體之無晶種粒子 | |
US20210257189A1 (en) | Apparatus and method for plasma synthesis of carbon nanotubes | |
Zhang et al. | Preparation of few-layer graphene nanosheets by radio-frequency induction thermal plasma | |
EP3567130B1 (en) | Reactor for fabrication of graphene | |
TW201825392A (zh) | 用於生產石墨烯奈米片的電漿方法 | |
US20210053829A1 (en) | Microwave reactor system enclosing a self-igniting plasma | |
Salernitano et al. | Purification of MWCNTs grown on a nanosized unsupported Fe-based powder catalyst | |
Meškinis et al. | Direct graphene synthesis on Si (1 0 0) by inductively coupled plasma beam source | |
WO2022046297A1 (en) | Microwave reactor system enclosing a self-igniting plasma | |
WO2007097339A1 (ja) | 炭素系物質、単環式炭化水素化合物又は多環式炭化水素化合物の製造方法及び製造装置 | |
ES2933953T3 (es) | Reactor para fabricación de grafeno | |
Das et al. | Template free growth of cobalt catalyst-assisted horizontally aligned carbon nanorod arrays by MW-CVD utilizing mild oxidant in the plasma | |
Sathiskumar et al. | Facile and Large Scale Fabrication of Thick Walled Carbon Nanotubes by Using Waste Tire Pyrolysis Oil as Carbon Feedstock | |
ES2391189A1 (es) | Método de producción de nanotubos de carbono en ausencia de catalizadores metálicos. | |
Amirov et al. | Large-scale synthesis of graphene materials using hydrocarbons in a thermal plasma jet | |
ITRM20070614A1 (it) | Reattore termico con plasma a corrente continua per la deposizione, da fase vapore, di nanotubi, nanofibre e nanopareti di carbonio, e relativo procedimento. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180612 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180612 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190514 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190731 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20191011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200303 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200721 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200819 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6752782 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |