JP6750019B2 - 熱伝導シート及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、以上の事情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、熱伝導性板状フィラーの使用量を抑制しつつ、熱伝導シートの熱伝導率の向上を実現した熱伝導シート及びその製造方法を提供することである。
[1]熱伝導性板状フィラーを含有する熱伝導性樹脂層を含む樹脂層を複数積層した構造を有し、その積層面に対する垂直面をシート面とした熱伝導シートであって、前記熱伝導性板状フィラーの長軸が、前記シート面に対して60°以上の角度で配向している熱伝導シート。
[2]前記熱伝導性樹脂層の幅が、前記熱伝導性板状フィラーの厚みの1〜2000倍である、上記[1]に記載の熱伝導シート。
[3]前記熱伝導性板状フィラーの含有量が、前記熱伝導性樹脂層を構成する樹脂100質量部に対し、50〜700質量部である上記[1]又は[2]に記載の熱伝導シート。
[4]厚み方向の熱伝導率が3W/m・K以上である、上記[1]〜[3]の何れかに記載の熱伝導シート。
[5]アスカーC硬度が70以下である、上記[1]〜[4]の何れかに記載の熱伝導シート。
[6]30%圧縮強度が、1500kPa以下である、上記[1]〜[5]の何れかに記載の熱伝導シート。
[7]前記樹脂層の全てが熱伝導性樹脂層である、上記[1]〜[6]の何れかに記載の熱伝導シート。
[8]前記樹脂層として、前記熱伝導性樹脂層と熱伝導性板状フィラーを含有しない非熱伝導性樹脂層を含む、上記[1]〜[6]の何れかに記載の熱伝導シート。
[9]前記非熱伝導性樹脂層が、内部に複数の気泡を含有する発泡樹脂層である、上記[8]に記載の熱伝導シート。
[10]前記熱伝導性樹脂層が、内部に熱伝導性板状フィラーと複数の気泡を含有する熱伝導性発泡樹脂層である、上記[1]〜[9]の何れかに記載の熱伝導シート。
[11]前記樹脂層が、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリオレフィン系樹脂、ニトリルゴム、アクリルゴム、シリコーン樹脂、ジエン系ゴム、及び水素化ジエン系ゴムからなる群から選択された少なくとも一種を用いた樹脂層である、上記[1]〜[10]の何れかに記載の熱伝導シート。
[12]前記樹脂層が、常温で液状の樹脂を含む、上記[1]〜[11]の何れかに記載の熱伝導シート。
[13]前記樹脂層を構成する樹脂が、常温で液状の樹脂のみからなる、上記[1]〜[12]の何れかに記載の熱伝導シート。
[14]前記熱伝導性板状フィラーが、窒化ホウ素、薄片化黒鉛の少なくとも何れかである上記[1]〜[13]の何れかに記載の熱伝導シート。
[15]上記[1]〜[14]の何れかに記載の熱伝導シートの製造方法であって、前記熱伝導性樹脂層の製造方法が、樹脂と熱伝導性板状フィラーを混練して熱伝導性樹脂組成物を作製する混練工程と、前記熱伝導性樹脂組成物を積層してn層構造の積層体を作製する積層工程を含み、前記積層工程後の積層体の厚み(Dμm)、前記熱伝導性板状フィラーの厚み(dμm)が、下記式を満足する熱伝導シートの製造方法。
0.0005≦d/(D/n)≦1
[16]混練工程で作製した熱伝導性樹脂組成物をxi分割して積層し、xi層構造の積層体を作製後、熱プレスを行って、厚み(Dμm)とし、その後、更に、分割と積層と前記厚みへの熱プレスを繰り替えして、前記n層構造の積層体を作製する、上記[15]に記載の熱伝導シートの製造方法。
[17]多層形成ブロックを備える押出機を用い、前記多層形成ブロックを調製して、共押出し成形により、前記n層構造で、かつ、前記厚さDμmの積層体を得る、上記[15]に記載の熱伝導シートの製造方法。
[18]前記積層工程の後に、積層方向に対して平行にスライスする工程を含む、上記[15]〜[17]の何れかに記載の熱伝導シートの製造方法。
本発明は、熱伝導性板状フィラーを含有する熱伝導性樹脂層を含む樹脂層を複数積層した構造を有し、その積層面に対する垂直面をシート面とした熱伝導シートであって、前記熱伝導性板状フィラーの長軸が、前記シート面に対して60°以上の角度で配向している熱伝導シートである。熱伝導率の向上の観点から、全ての樹脂層が熱伝導性樹脂層であることが好ましい。実施形態1は、全ての樹脂層が熱伝導性樹脂層である場合の一実施形態を示すものである。
熱伝導性樹脂層7は、樹脂8中に熱伝導性板状フィラー6を分散させた構造を有する樹脂層2である。
より好ましくは、樹脂8としては、アクリロニトリルブタジエンゴム又はポリプロピレン系樹脂が用いられる。さらに好ましくは、樹脂8としては、ポリプロピレン系樹脂、すなわちプロピレンの単独重合体やエチレンとプロピレンとの共重合体などが用いられる。
中でも、エチレンとプロピレンとの共重合体は安価であり、熱成形加工が可能である。従って、エチレンとプロピレンとの共重合体は、熱伝導シート1のコストを低減でき、かつ熱伝導シート1をより容易に製造することができる。
液状の樹脂としては、例えば上記した樹脂の液状のものを用いることができ、好適な具体例として、液状アクリロニトリルブタジエンゴム、液状エチレンプロピレン共重合体、液状天然ゴム、液状ポリイソプレンゴム、液状ポリブタジエンゴム、液状水素化ポリブタジエンゴム、液状スチレン−ブタジエンブロック共重合体、液状水素化スチレン−ブタジエンブロック共重合体、液状シリコーン樹脂などが挙げられる。
窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。
酸化物としては、例えば、酸化鉄、酸化ケイ素(シリカ)、酸化アルミニウム(アルミナ)(酸化アルミニウムの水和物(ベーマイトなど)を含む。)、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化セリウム、酸化ジルコニウムなどが挙げられる。また、酸化物として、チタン酸バリウムなどの遷移金属酸化物などや、さらには、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズなどが挙げられる。
水酸化物としては、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムなどが挙げられる。
金属としては、例えば、銅、金、ニッケル、錫、鉄、または、それらの合金が挙げられる。
炭素系材料としては、例えば、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンド、フラーレン、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ナノホーン、カーボンマイクロコイル、ナノコイルなどが挙げられる。
熱伝導シート1の厚み方向の熱伝導率を高める観点から、熱伝導性板状フィラー6の長軸が、前記シート面に対して70°以上の角度で配向していることが好ましく、80°以上の角度で配向していることがより好ましく、80°以上の角度で略垂直に配向していることがさらに好ましい。
上記角度を求める方法は特に限定されないが、熱伝導性樹脂層7において、上記熱伝導性板状フィラー6の最も配向している方向、通常成形時の樹脂流動方向と平行な方向に、厚み方向の中央部分の薄膜切片を作製し、該薄膜切片を走査型電子顕微鏡(SEM)により倍率3000倍で熱伝導性板状フィラーを観察し、観察された熱伝導性板状フィラーの長軸と、熱伝導性樹脂層7においてシート面を構成する面とのなす角度を測定することにより、求めることができる。本明細書において、60°以上の角度とは、上記のように測定された値の平均値が60°以上の角度であることを意味し、配向角度が60°未満の熱伝導性板状フィラー6の存在を否定するものではない。なお、なす角度が90°を超える場合は、その補角を測定値とする。
一方、このレベルの熱伝導性を実現するにあたり、上記範囲を超える過剰な熱伝導性板状フィラー7の使用は不要である。熱伝導性板状フィラー7の使用量が多くなるほど、熱伝導シートの柔軟性が失われるが、熱伝導性板状フィラー7の使用量を上記範囲とすることにより、高い熱伝導率を有する熱伝導シートを、熱伝導シートの柔軟性を失うことなく、実現することができる。すなわち、柔軟性と高い熱伝導性を両立させた熱伝導シートを得ることができる。
実施形態2は、樹脂層として、熱伝導性板状フィラーを含有する熱伝導性樹脂層と、熱伝導性板状フィラーを含有しない非熱伝導性樹脂層とを含む熱伝導シートの一実施態様を示すものである。図3は、実施形態2の熱伝導シートの模式的断面図である発熱体と放熱体の間に実装された状態で使用される点は上記の実施形態1と同様であるが、図面においては、省略する。
また、熱伝導性樹脂層7は、内部に熱伝導性板状フィラー6と複数の気泡を含有する熱伝導性発泡樹脂層であってもよい。複数の気泡含有させることにより、熱伝導シート1の柔軟性を向上させることができる。
本発明の熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率は、シートの放熱性を良好とする観点から、好ましくは3W/m・K以上であり、より好ましくは5W/m・K以上であり、さらに好ましくは8W/m・K以上である。また、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率は、通常、100W/m・K以下であり、好ましくは70W/m・K以下である。熱伝導率は、実施例に記載の方法で測定することができる。
本発明の熱伝導シートのアスカーC硬度は、好ましくは70以下であり、より好ましくは50以下であり、さらに好ましくは40以下である。また、熱伝導シートのアスカーC硬度は、例えば1以上、好ましくは5以上である。このような値であると、熱伝導シートの柔軟性が良好である。アスカーC硬度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
本発明の熱伝導シートの30%圧縮強度は、好ましくは1500kPa以下であり、より好ましくは1000kPa以下であり、さらに好ましくは500kPa以下である。また、熱伝導シートの30%圧縮強度は、例えば10kPa以上であり、好ましくは50kPa以上である。このような値であると、熱伝導シートの柔軟性が良好である。30%圧縮強度は、実施例に記載の方法で測定することができる。
本発明の熱伝導シートの製造方法としては、特に限定されないが、例えば、樹脂と熱伝導性板状フィラーを混練して熱伝導性樹脂組成物を作製する混練工程と、前記熱伝導性樹脂組成物を積層してn層構造の積層体を作製する積層工程を含み、前記積層工程後の積層体の厚み(Dμm)、前記熱伝導性板状フィラーの厚み(dμm)が、0.0005≦d/(D/n)≦1、を満足する熱伝導性シートの製造方法を挙げることができる。
本発明の熱伝導シート1の製造方法の1実施形態について説明する。
以下の説明において、「熱伝導性板状フィラーの厚さ(d)」とは、板状のフィラーの最大面をXY平面とした時に、XZもしくはYZ平面を構成する辺の最小寸法を意味する。また、「積層体の厚み(D)」とは積層面に対する垂直方向における積層体の寸法を意味する。
さらに必要に応じて、(スライス工程)を用いることも可能である。
熱伝導性板状フィラーと樹脂を混練して、熱伝導性樹脂組成物を作製する。
前記の混練は、例えば樹脂8と熱伝導性板状フィラー6とを、プラストミル等の二軸スクリュー混練機や二軸押出機等を用いて、加熱下において混練することが好ましく、これにより、熱伝導性板状フィラー6が樹脂8中に均一に分散された熱伝導性樹脂組成物を得ることができる。
積層工程では、前記混練工程で得た熱伝導性樹脂組成物を積層してn層構造の積層体を作製する。
前記積層工程後の積層体の厚み(Dμm)、前記熱伝導性板状フィラーの厚み(dμm)は、0.0005≦d/(D/n)≦1を満足し、好ましくは0.02≦d/(D/n)≦1を満足する。
この方法では、分割と積層の繰り替しによって、下記式を満足する積層体を作製することができる。
(上記式において、xiは変数、n≧1)
また、この方法では、分割と積層の繰り返しにとって、好ましくは下記式を満足する積層体を作製することができる。
(上記式において、xiは変数、n≧1)
前記積層工程で得た積層体を必要に応じて所望の高さになるよう積層し、圧力を掛けて合着した後、積層方向に対して平行方向にスライスすることにより、熱伝導性シートを作製する。
アクリロニトリルブタジエンゴム(1)(JSR株式会社製「N280」、液状)85質量部、アクリロニトリルブタジエンゴム(2)(JSR株式会社製「N231L」、固体状)15質量部、厚さ1μmの窒化ホウ素250質量部を溶融混練後、プレスすることにより厚さ0.5mmの1次シートを得た。次に積層工程として、得られた樹脂組成物シートを4等分して重ねあわせて総厚さ2mmの4層からなるシートを準備し、再度プレスすることにより、厚さ0.5mm、1層あたりの厚さ0.125mmの2次シートを得た。さらに同様のプロセスを繰り返すことにより、厚さ0.5mm、1層あたりの厚さ31μmのn次シートを得た。このn次シートを縦25mm、横25mmにカットし、25枚重ね合わせ、プレスにより貼り合わせて、積層面に垂直な面がシート面となるよう向きを調整し、熱伝導シートを得た。本熱伝導シートを、後述する評価方法に基づいて評価した結果を表1に示す。
エチレン−プロピレン共重合体(1)(三井化学株式会社製「PX−068」、液状)92質量部、エチレン−プロピレン共重合体(2)(JSR株式会社製「JSR EP21」、固体状)8質量部、厚さ2μmの薄片化黒鉛(ブリヂストンケービージー社製、 WGNP)100質量部を溶融混練後、プレスすることにより厚さ0.5mmの1次シートを得た。得られた樹脂組成物シートを4等分して重ねあわせて総厚さ2mmの4層からなるシートを準備し、再度プレスすることにより、厚さ0.5mm、1層あたりの厚さ0.125mmの2次シートを得た。さらに同様のプロセスを繰り返すことにより、厚さ0.5mm、1層あたりの厚さ31μmのn次シートを得た。このn次シートを縦25mm、横25mmにカットし、25枚重ね合わせ、プレスにより貼り合わせて、積層面に垂直な面がシート面となるよう向きを調整し、熱伝導シートを得た。本熱伝導シートを、後述する評価方法に基づいて評価した結果を表1に示す。
アクリロニトリルブタジエンゴム(1)(JSR株式会社製「N280」、液状)85質量部、アクリロニトリルブタジエンゴム(2)(JSR株式会社製「N231L」、固体状)15質量部、厚さ1μmの窒化ホウ素300質量部を溶融混練後、これを多層成型ブロック製造用押出機で押出し、1層あたりの厚みが1000μm(熱伝導性樹脂層の幅が1000μm)であり、これが10層積層された多層成形ブロックを得た。該多層成形ブロックを積層面に垂直な面をシート面となるよう向きを調整し、熱伝導シートを得た。本熱伝導シートを、後述する評価方法に基づいて評価した結果を表1に示す。
シリコーン樹脂(信越化学工業株式会社製「KF-96H-10万cs」、液状)100質量部、厚さ1μmの窒化ホウ素260質量部を溶融混練後、これを多層成型ブロック製造用押出機で押出し、1層あたりの厚みが1000μm(熱伝導性樹脂層の幅が1000μm)であり、これが10層積層された多層成形ブロックを得た。該多層成形ブロックを積層面に垂直な面をシート面となるよう向きを調整し、熱伝導シートを得た。本熱伝導シートを、後述する評価方法に基づいて評価した結果を表1に示す。
水素化ブタジエンゴム(株式会社クラレ製「L−1203」、液状)100質量部、厚さ1μmの窒化ホウ素260質量部を溶融混練後、これを多層成型ブロック製造用押出機で押出し、1層あたりの厚みが1000μm(熱伝導性樹脂層の幅が1000μm)であり、これが10層積層された多層成形ブロックを得た。該多層成形ブロックを積層面に垂直な面をシート面となるよう向きを調整し、熱伝導シートを得た。本熱伝導シートを、後述する評価方法に基づいて評価した結果を表1に示す。
3mmの1次シートを、縦25mm、横25mmにカットし、25枚重ね合わせた後、プレスを行わなかった点を除き、実施例1と同一の方法で比較例1の熱伝導シートを得た。
具体的には、アクリロニトリルブタジエンゴム(1)(JSR株式会社製「N280」、液状)85質量部、アクリロニトリルブタジエンゴム(2)(JSR株式会社製「N231L」、固体状)15質量部、厚さ1μmの窒化ホウ素250質量部を溶融混練後、プレスすることにより厚さ3mmの1次シートを得た。次にこの1次シートを縦25mm、横25mmにカットし、25枚重ね合わせ、プレスをすることなく、加熱により貼り合わせて、積層面に垂直な面がシート面となるよう向きを調整し、熱伝導シートを得た。本熱伝導シートを、後述する評価方法に基づいて評価した結果を表1に示す。
4.2mmの1次シートを、縦25mm、横25mmにカットし、25枚重ね合わせた後、プレスを行わなかった点を除き、実施例2と同一の方法で比較例2の熱伝導シートを得た。
具体的には、エチレン−プロピレン共重合体(1)(三井化学株式会社製「PX−068」、液状)92質量部、エチレン−プロピレン共重合体(2)(JSR株式会社製「JSR EP21」、固体状)8質量部、厚さ2μmの薄片化黒鉛(ブリヂストンケービージー社製、 WGNP)100質量部を溶融混練後、プレスすることにより厚さ4.2mmの1次シートを得た。この1次シートを縦25mm、横25mmにカットし、25枚重ね合わせ、プレスをすることなく加熱により貼り合わせて、積層面に垂直な面がシート面となるよう向きを調整し、熱伝導シートを得た。本熱伝導シートを、後述する評価方法に基づいて評価した結果を表1に示す。
(1)フィラー配向角度の測定
熱伝導シートの断面を走査型電子顕微鏡(株式会社日立製作所製 S−4700)で観察した。倍率3000倍の観察画像から、任意の20個のフィラーについて、シート面とのなす角を測定し、その平均値を配向角度とした。結果を表1に示す。
25mm角の熱伝導シートのセラミックヒーターと水冷式放熱板の間に挟み、加熱した。20分間経過した後、セラミックヒーターの温度T1と水冷式放熱板の温度T2を測定し、セラミックヒーターの印加電力W、熱伝導シートの厚さt、熱伝導シートの面積Sを下記式に代入して熱伝導率λを算出した。結果を表1に示す。
λ=t×W/{S×(T1‐T2)}
(3)アスカーC硬度
25mm角の熱伝導シートを、厚み10mm以上となるように積層し、アスカーゴム硬度計C型(高分子計器株式会社製)で23℃にて測定した。結果を表1に示す。
(4)30%圧縮強度
得られた熱伝導シートの圧縮強度を、エー・アンド・ディ社製「RTG−1250」を用いて測定した。サンプル寸法を2mm×15mm×15mmに調整し、測定温度を23℃、圧縮速度を1mm/minとして測定を行った。
各実施例の熱伝導シートは、アスカーC硬度及び30%圧縮強度の値が低く、良好な柔軟性も有していることが確認された。
(実施例6)
アクリロニトリルブタジエンゴム(1)(JSR株式会社製「N280」、液状)85質量部、アクリロニトリルブタジエンゴム(2)(JSR株式会社製「N231L」、固体状)15質量部、厚さ1μmの窒化ホウ素300質量部を溶融混練後、プレスすることにより厚さ0.5mmの1次シートを得た。得られたシートを16等分し、16個の厚さ0.5mmの熱伝導性樹脂層を作製した。次いで、以下の方法で得られた0.5mmの発泡体シートを16等分し、16個の厚さ0.5mmの発泡樹脂層を作製した後、前記熱伝導性樹脂層と発泡樹脂層とを交互に積層して接合し、積層面に垂直な面がシート面となるように向きを調整し、発泡樹脂層と熱伝導性樹脂層とからなる熱伝導シートを得た。接合には、接着剤(スリーエム社製、6004N)を用いた。本熱伝導シートを、上記した評価方法に基づいて評価した結果を表2に示す。
(発泡体シートの作製)
アクリロニトリルブタジエンゴム(2)(JSR株式会社製「N231L」、固体状)100質量部、アゾジカルボンアミド5質量部、及びフェノール系酸化防止剤0.1質量部を溶融混練後、プレスすることにより厚さ0.15mmの発泡性樹脂シートを得た。該発泡性樹脂シートの両面に加速電圧500keVにて電子線を1.5Mrad照射して発泡性樹脂シートを架橋させた。次にシートを250℃に加熱することによって発泡性樹脂シートを発泡させて、見かけ密度0.25g/cm3、厚さ0.5mmの発泡体シートを得た。
実施例6の熱伝導シートは、厚さの同じ熱伝導性樹脂層と発泡樹脂層とが交互に積層されたものであるため、熱伝導シート中の熱伝導性フィラーの体積%は、表1の比較例1の60%程度である。これにも関わらず、実施例6の熱伝導シートの熱伝導率は、比較例1とほぼ同等であり、アスカーC硬度、30%圧縮強度は、比較例1よりもはるかに低く、柔軟性に優れることが分かった。
2 樹脂層
3 発熱体
4 放熱体
5 シート面
6 熱伝導性板状フィラー
7 熱伝導性樹脂層
8 樹脂
9 非熱伝導性樹脂層
10 樹脂
11 独立気泡
12 発泡樹脂層
Claims (16)
- 熱伝導性板状フィラーを含有する熱伝導性樹脂層を含む樹脂層を複数積層した構造を有し、その積層面に対する垂直面をシート面とした熱伝導シートであって、前記樹脂層が、常温で液状の樹脂を含み、前記熱伝導性板状フィラーの長軸が、前記シート面に対して60°以上の角度で配向しており、23℃におけるアスカーC硬度が50以下である熱伝導シート。
- 前記熱伝導性樹脂層の幅が、前記熱伝導性板状フィラーの厚みの1〜2000倍である、請求項1に記載の熱伝導シート。
- 前記熱伝導性板状フィラーの含有量が、前記熱伝導性樹脂層を構成する樹脂100質量部に対し、50〜700質量部である請求項1又は2に記載の熱伝導シート。
- 厚み方向の熱伝導率が8W/m・K以上である、請求項1〜3の何れかに記載の熱伝導シート。
- 30%圧縮強度が、1500kPa以下である、請求項1〜4の何れかに記載の熱伝導シート。
- 前記樹脂層の全てが熱伝導性樹脂層である、請求項1〜5の何れかに記載の熱伝導シート。
- 前記樹脂層として、前記熱伝導性樹脂層と熱伝導性板状フィラーを含有しない非熱伝導性樹脂層を含む、請求項1〜5の何れかに記載の熱伝導シート。
- 前記非熱伝導性樹脂層が、内部に複数の気泡を含有する発泡樹脂層である、請求項7に記載の熱伝導シート。
- 前記熱伝導性樹脂層が、内部に熱伝導性板状フィラーと複数の気泡を含有する熱伝導性発泡樹脂層である、請求項1〜8の何れかに記載の熱伝導シート。
- 前記樹脂層が、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリオレフィン系樹脂、ニトリルゴム、アクリルゴム、シリコーン樹脂、ジエン系ゴム、及び水素化ジエン系ゴムからなる群から選択された少なくとも一種を用いた樹脂層である、請求項1〜9の何れかに記載の熱伝導シート。
- 前記樹脂層を構成する樹脂が、常温で液状の樹脂のみからなる、請求項1〜10の何れかに記載の熱伝導シート。
- 前記熱伝導性板状フィラーが、窒化ホウ素、薄片化黒鉛の少なくとも何れかである請求項1〜11の何れかに記載の熱伝導シート。
- 請求項1〜12の何れかに記載の熱伝導シートの製造方法であって、前記熱伝導性樹脂層の製造方法が、樹脂と熱伝導性板状フィラーを混練して熱伝導性樹脂組成物を作製する混練工程と、前記熱伝導性樹脂組成物を積層してn層構造の積層体を作製する積層工程を含み、前記積層工程後の積層体の厚み(Dμm)、前記熱伝導性板状フィラーの厚み(dμm)が、下記式を満足する熱伝導シートの製造方法。
0.0005≦d/(D/n)≦1 - 混練工程で作製した熱伝導性樹脂組成物をxi分割して積層し、xi層構造の積層体を作製後、熱プレスを行って、厚み(Dμm)とし、その後、更に、分割と積層と前記厚みへの熱プレスを繰り替えして、前記n層構造の積層体を作製する、請求項13に記載の熱伝導シートの製造方法。
- 多層形成ブロックを備える押出機を用い、前記多層形成ブロックを調製して、共押出し成形により、前記n層構造で、かつ、前記厚さDμmの積層体を得る、請求項13に記載の熱伝導シートの製造方法。
- 前記積層工程の後に、積層方向に対して平行にスライスする工程を含む、請求項13〜15の何れかに記載の熱伝導シートの製造方法。
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