JP2015092534A - シリコーン熱伝導性シート - Google Patents

Abstract

【課題】高い放熱性を確保しつつ、面圧縮に対する反力を小さくすることができるシリコーン熱伝導性シートを提供する。【解決手段】シリコーン熱伝導性シート１０は、熱伝導性充填材が混合されたシリコーン硬化物から形成されたシリコーン熱伝導性シートであって、厚さ方向に貫通した複数の孔２０が設けられる。複数の孔２０は、シリコーン熱伝導性シート１０に略均一に分布されるように配置される。【選択図】図１

Description

本発明は、シリコーン熱伝導性シートに関し、特に携帯電話等の各種電子機器で放熱シートとして使用されるシリコーン熱伝導性シートに関する。

近年、電子機器の高性能化及び小型化に伴い、電子機器に設けられるＬＳＩ等の各種電子部品の高密度化及び高機能化が進んでおり、電子部品自体が大量の熱を発生するようになってきている。この発熱は、電子部品の品質劣化、効率低下、誤動作、破損などの要因になるため、従来、適切に放熱する部材が設けられている。放熱部材としては、ヒートシンクなどの金属部材が挙げられ、また、場合によっては、電子部品を覆う筐体自体も放熱部材の一部として利用されることもある。
従来、放熱を効率的に行うために、発熱部材である電子部品と、放熱部材との間が熱伝導性シートにより埋められることがある。この熱伝導性シートとしては、例えば、シリコーン樹脂に熱伝導性充填材を混合したシリコーン熱伝導性シートが使用されている（例えば、特許文献１参照）。

特許第５２３３３２５号公報

しかしながら、シリコーン熱伝導性シートは、放熱性に優れるものの柔軟性に劣るため、面圧縮に対する反力が大きく、高い圧縮率で使用することが難しい。したがって、例えば、携帯電話等の小型化された電子機器では、シリコーン熱伝導性シートを小さい隙間に配置することが難しい等の不具合が生じることがある。
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、高い放熱性を確保しつつ、面圧縮に対する反力を小さくすることができるシリコーン熱伝導性シートを提供することである。

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、シリコーン熱伝導性シートに複数の孔を設けることで上記課題を解決できることを見出し、以下の本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、以下の（１）〜（７）を提供する。
（１）熱伝導性充填材が混合されたシリコーン硬化物から形成されたシリコーン熱伝導性シートであって、厚さ方向に貫通した複数の孔が設けられるシリコーン熱伝導性シート。（２）開口面積率が、１７〜２４％である上記（１）に記載のシリコーン熱伝導性シート。
（３）前記孔の径が０．１〜１０ｍｍである上記（１）又は（２）に記載のシリコーン熱伝導性シート。
（４）厚みが、０．０５〜２ｍｍである上記（１）〜（３）のいずれかに記載のシリコーン熱伝導性シート。
（５）アスカーＣ硬度が２〜２５である上記（１）〜（４）のいずれかに記載のシリコーン熱伝導性シート。
（６）アスカーＣ硬度が５〜１５である上記（５）に記載のシリコーン熱伝導性シート。
（７）熱伝導率が０．３〜７．０Ｗ／ｍ・Ｋである上記（１）〜（６）のいずれかに記載のシリコーン熱伝導性シート。

本発明によれば、高い放熱性を確保しつつ、面圧縮に対する反力が小さくなるシリコーン熱伝導性シートを提供することができる。

本発明の第１の実施形態に係るシリコーン熱伝導性シートを示す平面図である。 本発明の第２の実施形態に係るシリコーン熱伝導性シートを示す平面図である。 本発明の第３の実施形態に係るシリコーン熱伝導性シートを示す平面図である。 本発明の第４の実施形態に係るシリコーン熱伝導性シートを示す平面図である。 本発明の第５の実施形態に係るシリコーン熱伝導性シートを示す平面図である。 熱伝導性能評価試験の試験方法を示す模式図である。

以下、本発明について実施形態を用いてより詳細に説明する。
［シリコーン熱伝導性シート］
本発明のシリコーン熱伝導性シートは、熱伝導性充填材が混合されたシリコーン硬化物から形成されたものであって、厚さ方向に貫通した複数の孔が設けられるものである。
本発明のシリコーン硬化物は、通常、シリコーン成分と、熱伝導性充填材とを含有する熱伝導性シリコーン組成物の硬化物である。
以下、本発明のシリコーン熱伝導性シートについてより詳細に説明する。

（シリコーン成分）
本発明で用いるシリコーン成分とは、分子中にシロキサン結合（Si-O-Si）を有する化合物をいう。シリコーン成分は、より具体的には、通常、主剤としてのオルガノポリシロキサン（（ａ）成分）と、主剤を架橋するためのオルガノハイドロジェンポリシロキサン（（ｂ）成分）を含有する。
主剤としてのオルガノポリシロキサン（（ａ）成分）は、オルガノハイドロジェンポリシロキサン（（ｂ）成分）に架橋される化合物ならばよいが、通常、ケイ素原子に結合したアルケニル基を、１分子中に２個以上有するオルガノポリシロキサンである。

オルガノポリシロキサン（（ａ）成分）は、その分子構造は限定されず、例えば、直鎖状、分岐鎖状、一部分岐を有する直鎖状が挙げられるが、特に好ましくは直鎖状である。前記アルケニル基としては、例えば、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基等の炭素原子数２〜８程度のものが挙げられ、中でもビニル基、アリル基等の低級アルケニル基が好ましく、特にはビニル基が好ましい。このアルケニル基は、分子鎖末端のケイ素原子、また分子鎖途中のケイ素原子の何れに結合していてもよいが、得られる硬化物の柔軟性を良いものとするため、分子鎖末端のケイ素原子にのみ結合して存在することが好ましい。

（ａ）成分中のアルケニル基以外のケイ素原子に結合する基としては、例えば、非置換又は置換の１価炭化水素基であり、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基などのアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、ビフェニリル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基、メチルベンジル基等のアラルキル基、並びにこれらの基の炭素原子に結合している水素原子の一部又は全部が、フッ素、塩素、臭素等のハロゲン原子、シアノ基などで置換された基であって、例えば、クロロメチル基、２−ブロモエチル基、３−クロロプロピル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基、クロロフェニル基、フルオロフェニル基、シアノエチル基、３，３，４，４，５，５，６，６，６−ノナフルオロヘキシル基等の炭素原子数が１〜１０、特に炭素原子数が１〜６のものが挙げられる。これらの中でも好ましくは、メチル基、エチル基、プロピル基、クロロメチル基、ブロモエチル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基、シアノエチル基等の炭素原子数１〜３の非置換又は置換のアルキル基、及びフェニル基、クロロフェニル基、フルオロフェニル基等の非置換又は置換のフェニル基である。また、アルケニル基以外のケイ素原子に結合する基は全てが同一であっても異なっていてもよい。耐溶剤性などの特殊な特性を要求されない限り、コスト、その入手のし易さ、化学的安定性、環境負荷などの理由により全てメチル基が選ばれることが多い。

オルガノポリシロキサン（（ａ）成分）の２５℃における動粘度は、通常、１０〜１００，０００ｍｍ²／ｓ、好ましくは５００〜５０，０００ｍｍ²／ｓの範囲である。なお、本発明において、動粘度は、オストワルド粘度計により測定した２５℃における値である。
（ａ）成分のオルガノポリシロキサンは、１種単独でも、２種以上を組み合わせて使用してもよい。

上記オルガノハイドロジェンポリシロキサン（（ｂ）成分）は、ケイ素原子に結合した水素原子（即ち、ＳｉＨ基）を１分子中に好ましくは２個以上、より好ましくは２〜１００個有するものであり、（ａ）成分の架橋剤として機能する成分である。すなわち、（ｂ）成分中のケイ素原子に結合した水素原子が、後述の白金系触媒の作用により、（ａ）成分中のアルケニル基とヒドロシリル化反応により付加して、架橋結合を有する３次元網状構造を有する架橋硬化物が形成される。
（ｂ）成分中のケイ素原子に結合した有機基としては、例えば、アルケニル基以外の非置換又は置換の１価炭化水素基等が挙げられ、具体的には、（ａ）成分の項で説明したアルケニル基以外のケイ素原子に結合した有機基と同種のものが挙げられる。その中でも、合成面及び経済性の点から、上記有機基は、全てメチル基であることが好ましい。
（ｂ）成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの構造は、特に限定されず、直鎖状、分岐状及び環状のいずれであってもよいが、好ましくは直鎖状である。

（ｂ）成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの構造は、特に限定されず、直鎖状、分岐状及び環状のいずれであってもよいが、好ましくは直鎖状である。
（ｂ）成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、例えば、下記一般式（１）：

（式中、Ｒ¹は独立にアルケニル基以外の非置換又は置換の１価炭化水素基あるいは水素原子であるが、少なくとも２個は水素原子であり、ｎは１以上の整数である。）
で表される。

上記一般式（１）において、Ｒ¹で表されるアルケニル基以外の非置換又は置換の１価炭化水素基は、（ａ）成分の項で前述したアルケニル基以外のケイ素原子に結合した有機基の中の１価炭化水素基と同種のものが例示できる。
また、ｎは好ましくは２〜１００、より好ましくは５〜５０の整数である。
（ｂ）成分の添加量は、（ｂ）成分のＳｉＨ基が（ａ）成分中のアルケニル基１モルに対して例えば０．５〜５．０モルとなる量、望ましくは０．８〜４．０モルとなる量である。

また、上記熱伝導性シリコーン組成物は、通常、上記の（ａ）、（ｂ）成分のヒドロシリル化反応を進行させるための公知の白金系触媒を含有する。その具体例としては、例えば、白金、ロジウム、パラジウム等の白金族金属単体、塩化白金、塩化白金酸、塩化白金酸塩、アルコール変性塩化白金酸、これらの各種コンプレックス、白金族金属を各種担体に担持させたものなどが挙げられる。なお、白金系触媒は、１種単独でも２種以上を組み合わせても使用することができる。
上記白金系触媒の配合量は、熱伝導性シリコーン組成物を硬化させるために必要な有効量であればよく、特に制限されないが、通常、（ａ）成分に対する白金族金属元素の質量換算で、０．１〜１，０００ｐｐｍ、望ましくは０．５〜５００ｐｐｍとするのがよい。

また、熱伝導性シリコーン組成物は、シリコーン熱伝導性シートの各種性能を改質するために、上記（ａ）及び（ｂ）成分以外のシリコーン成分を含有することが好ましく、そのシリコーン成分としては、シリコーンレジン、表面処理剤（ウェッター）、ケイ素原子に結合したアルケニル基を有さないその他のオルガノポリシロキサン等が挙げられる。

シリコーンレジンは、シリコーン硬化物に粘着性を付与させるために添加されるものである。シリコーンレジンは、Ｒ² ₃ＳｉＯ_1/2単位（Ｍ単位）と、ＳｉＯ_4/2単位（Ｑ単位）の共重合体であり、Ｍ単位とＱ単位の比Ｍ／Ｑ（モル比）が好ましくは０．５〜１．５、より好ましくは０．６〜１．４、更に好ましくは０．７〜１．３である。Ｍ／Ｑが上記範囲となることで、シリコーン熱伝導性シートに粘着力を付与しやすくなる。
上記Ｍ単位中のＲ²は、脂肪族不飽和結合を含有しない非置換又は置換の１価炭化水素基であり、その１価炭化水素基としては、上記（ａ）成分の項で前述したアルケニル基以外のケイ素原子に結合した有機基の中の１価炭化水素基と同種のものが例示できる。Ｒ²の１価炭化水素基は、全てがメチル基であることが好ましい。
シリコーンレジンの含有量は、（ａ）成分１００容量部に対して、５０〜５００容量部、好ましくは６０〜３５０容量部、更に好ましくは７０〜２００容量部である。

また、上記表面処理剤（ウェッター）は、熱伝導性充填材の濡れ性を向上させ、熱伝導性充填材を（ａ）成分からなるマトリックス中に均一に分散させるための成分である。表面処理剤（ウェッター）としては、アルコキシシラン、分子鎖片末端がトリアルコキシシリル基で封鎖されたジメチルポリシロキサン等が挙げられる。なお、これら化合物におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる。
表面処理剤（ウェッター）は、（ａ）成分１００容量部に対して、好ましくは０．０１〜５０容量部、より好ましくは０．１〜３０容量部である。
さらに、上記したその他のオルガノポリシロキサンとしては、動粘度１０〜１００，０００ｍｍ²／ｓ程度の両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン等が挙げられる。

＜熱伝導性充填材＞
熱伝導性充填材としては、金属粉末、金属酸化物粉末、金属窒化物粉末、炭素系の粉末、セラミック粉末などを用いる。より具体的には、アルミニウム粉末、銅粉末、銀粉末、ニッケル粉末、金粉末、金属ケイ素粉末、酸化アルミニウム粉末、酸化亜鉛粉末、酸化マグネシウム粉末、酸化鉄粉末、酸化チタン粉末、酸化ジルコニウム粉末、窒化アルミニウム粉末、窒化ホウ素粉末、窒化ケイ素粉末、ダイヤモンド粉末、カーボン粉末、フラーレン粉末、カーボングラファイト粉末などが挙げられるが、一般に熱伝導性充填剤とされる物質であれば如何なる充填剤でもよく、これらは１種単独であるいは２種以上混ぜ合わせてもよい。これらの中では、酸化アルミニウム粉末が好適に使用される。
熱伝導性充填剤としては、平均粒径が好ましくは０．１〜１００μｍ、より好ましくは０．５〜５０μｍのものを用いることができる。充填剤は平均粒径の異なる粒子を２種以上用いることも可能である。なお、本発明において、平均粒径は体積平均粒径であり、マイクロトラック粒度分布測定装置ＭＴ３３００ＥＸ（日機装株式会社製）による測定値である。
熱伝導性充填剤の配合量は、（ａ）成分１００容量部に対して５０〜１，０００容量部、好ましくは１００〜５００容量部である。熱伝導性充填剤の配合量を上記範囲とすることで、シリコーン熱伝導性シートの成形性、熱伝導性を良好なものとしやすくなる。

熱伝導性シリコーン組成物は、シリコーン成分、熱伝導性充填材以外の成分も適宜含有してもよい。その成分としては、アセチレン化合物、窒素化合物、有機りん化合物、硫黄化合物、オキシム化合物、有機クロロ化合物等の付加反応抑制剤；カーボンブラック、二酸化チタン、ベンガラなどの着色剤；金属酸化物又は金属水酸化物などの難燃性付与剤が挙げられる。更に、熱伝導性充填剤の沈降防止剤としての沈降性シリカ又は焼成シリカなどの微粉末シリカ、チクソ性向上剤等も挙げられる。
シリコーン熱伝導性シートは、特に限定されるわけではないが、上記成分を均一に混合した熱伝導性シリコーン組成物を、表面離型処理を施した基材上に薄膜状に成形し、硬化させることにより得ることができる。
また、上記熱伝導性シリコーン組成物としては、例えば、特許第５２３３３２５号公報に記載したものも使用可能である。

上記シリコーン熱伝導性シートのアスカーＣ硬度は、２〜２５であることが好ましい。シリコーン熱伝導性シートは、硬度が上記範囲内であると、後述するように開口面積率を所定の範囲に調整することと相俟って、圧縮強度をより適切なものとしつつ、放熱性も良好にすることが可能になる。このような観点から、アスカーＣ硬度は、より好ましくは５〜２０、さらに好ましくは５〜１５である。
また、シリコーン熱伝導性シートの熱伝導率は、０．３〜７．０Ｗ／ｍ・Ｋであることが好ましく、１．０〜５．０Ｗ／ｍ・Ｋであることがより好ましい。シリコーン熱伝導性シートの熱伝導率が上記範囲内であれば、シートに複数の孔を設けても、シリコーン熱伝導性シートの良好な熱伝導性が確保され、電子部品の熱をより効率的に放熱することが可能になる。

シリコーン熱伝導性シートの厚みは、０．０５〜２ｍｍであることが好ましい。厚みを０．０５ｍｍ以上とすることで、シリコーン熱伝導性シートの機械強度が高くなり、破れが生じたりすることが防止される。また、２ｍｍ以下とすることで、柔軟性が高められ、シリコーン熱伝導性シートが小型の電子機器等の内部に配置されやすくなる。これら観点から、シリコーン熱伝導性シートの厚みは、０．０５〜１ｍｍがより好ましく、０．１〜０．５ｍｍがさらに好ましい。
なお、本発明において使用可能なシリコーン熱伝導性シートの市販品としては、信越化学工業株式会社製のＴＣ−ＳＰ−１．７、ＴＣ−ＳＰＡ−３．０、ＴＣ−ＣＡＳ−１０、ＴＣ−ＣＡＢ−１０、ＴＣ−ＣＡＤ−１０、ＴＣ−ＣＡＴ−２０、デクセリアルズ株式会社製のＥＸ３００５０、ＥＸ３０１００、ＥＸ３０１５０、ＥＸ３０２００、Ｅ１１００Ｓ、Ｅ１２００Ｓ等が挙げられる。

＜複数の孔＞
シリコーン熱伝導性シートに設けられる孔の形状は、特に限定されないが、円形、楕円形、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形が例示され、この中では円形が好ましい。
また、孔の径は、特に限定されないが、通常、０．１〜１０ｍｍ程度であるが、好ましくは０．５〜８ｍｍ、より好ましくは１〜７ｍｍである。なお、孔の径とは、孔が円形の場合は直径、孔が楕円形の場合は長径、孔が多角形の場合は外接円の直径のことをいう。

複数の孔は、シリコーン熱伝導性シートに略均一に分布されるように配置されることが好ましい。図１〜５は、本発明の実施形態に係るシリコーン熱伝導性シートを示す図である。
図１〜５に示すように、シリコーン熱伝導性シート１０には、厚さ方向に貫通する複数の孔２０が所定の配列で設けられている。複数の孔２０は、例えば、図１〜５に示すように、等間隔に並べられて形成された孔２０の列が複数列設けられ、その複数の列が互いに平行となるように配置される。この際、各列の各孔２０は、図１、３、５に示すように、他の列の各孔２０と列方向において同一位置に配置され、碁盤目状に並べてられてもよい。また、図２に示すように、孔が碁盤目状に並べられるとともに、その碁盤目状に並べられた４つの孔２０の中心に１つの孔２０がさらに設けられるように配置されてもよい。
さらには、図４に示すように、奇数列の各孔２０が、他の奇数列の各孔２０と列方向において同一位置になり、かつ偶数列において隣接する２つの孔２０の間に位置するように配置されてもよい。なお、以上の説明においては、横方向に並べられた複数の孔２０が各列を形成するものとし、図１〜５の横方向が列方向となる。
なお、孔の数は、図１〜５では４〜９個であるが、通常、シリコーン熱伝導性シートの大きさに応じて増減するものであり、特に限定されるものではない。

＜開口面積率＞
シリコーン熱伝導性シートは、複数の孔が設けられることで、開口面積率が例えば１５〜３０％となるものであるが、その開口面積率は１７〜２４％であることが好ましい。
シリコーン熱伝導性シートは、開口面積率が１７〜２４％となることで、熱伝導性を大きく損なうことなく、面圧縮に対する反力が小さくなり、小型の電子機器内部に容易に設置されるものとなる。以上の観点から開口面積率は、１８〜２２％であることがより好ましい。
なお、開口面積率とは、シリコーン熱伝導性シートの孔部分も含めた面積全体に対する、孔部分の面積の割合を百分率で示すものである。なお、開口面積率が、シリコーン熱伝導性シートの両面で互いに異なる場合、本発明では、その平均値をシリコーン熱伝導性シートの開口面積率とする。

＜圧縮強度＞
シリコーン熱伝導性シートの２５％圧縮強度は、例えば２００ｋＰａ以下であればよいが、１５０ｋＰａ以下であることが好ましく、１２０ｋＰａ以下であることがより好ましい。
また、シリコーン熱伝導性シートの５０％圧縮強度は、例えば４００ｋＰａ以下であればよいが、３５０ｋＰａであることが好ましく、３００ｋＰａ以下であることがさらに好ましい。
シリコーン熱伝導性シートは、２５％圧縮強度が１５０ｋＰａ以下となるとともに、５０％圧縮強度が３５０ｋＰａ以下となることで、その柔軟性に優れ、かつ圧縮率が大きくなっても面圧縮に対する反力が小さくなり、放熱シートとして小型の電子機器において好適に使用されるようになる。また、落下した場合には、電子部品等に付与される衝撃を吸収することも可能になる。
また、圧縮強度の下限値は、特に限定されないが、シリコーン熱伝導性シートの２５％圧縮強度は、好ましくは１０ｋＰａ以上、より好ましくは４０ｋＰａ以上である。また、シリコーン熱伝導性シートの５０％圧縮強度は、好ましくは１００ｋＰａ以上、より好ましくは１８０ｋＰａ以上である。

本発明のシリコーン熱伝導性シートは、例えば、各種電子機器において放熱シートとして使用されるもので、好ましくは携帯電話において放熱シートとして使用されるものである。より詳細には、例えば、シリコーン熱伝導性シートは、発熱源である電子機器の電子部品と、放熱部材であるヒートシンクなどの金属部材、又は筐体の間の隙間に配置されるものである。
本発明のシリコーン熱伝導性シートは、高い放熱性を確保しつつ、面圧縮に対する反力も小さくなるものである。そのため、本発明のシリコーン熱伝導性シートは、携帯電話等の小型機器においても、発熱源と放熱部材との間で適度に圧縮され、隙間なく配置されるものとなる。また、落下した場合には、電子部品等に付与される衝撃を吸収することも可能になる。

次に、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。

［評価方法］
本発明においては、シリコーン熱伝導性シートの各物性や性能を以下の方法で評価したものである。
＜アスカーＣ硬度＞
アスカーＣ硬度計で測定した２５℃における硬度である。なお、シリコーン熱伝導性シートはその合計厚みが１０ｍｍになるように複数枚重ねて測定を行った。
＜熱伝導率＞
レーザーフラッシュ法により、アルバック理工株式会社製「ＴＣ−７０００」を用いて、熱伝導率を２５℃にて測定した。
＜圧縮強度＞
ＪＩＳ Ｋ６７６７−７．２．３（ＪＩＳ２００９）に準拠して、シリコーン熱伝導性シートの２５％圧縮強度、及び５０％圧縮強度を測定した。なお、シリコーン熱伝導性シートは、その合計厚みが１０ｍｍになるように複数枚重ねて測定を行った。
＜熱伝導性能評価試験＞
図６に示すように、断熱材３０の上に２５ｍｍ×２５ｍｍ×２ｍｍのヒーター３１（坂口電熱(株)製マイクロセラミックヒーター、型番「ＭＳ５」）を載せ、その上に３０ｍｍ×３０ｍｍの各実施例、比較例のシリコーン熱伝導性シート１０を重ねた。そして、さらにその上に５０ｍｍ×１００ｍｍ×２ｍｍのアルミニウム板３２を載せ、シリコーン熱伝導性シート１０を伝わった熱がアルミニウム板３２に拡散する構造を形成した。この状態でヒーター３１に１Ｗの電力を引加し、１５分後に温度が一定となったところでヒーター３１の温度［Ｔ］（℃）を測定し、その結果を表１に示す。なお、本試験では、値が小さい程、熱伝導性能が良いことを示す。

実施例１
商品名「ＴＣ−ＣＡＳ−１０」のシリコーンパッド（信越化学工業株式会社製、厚み：０．５ｍｍ、アスカーＣ硬度：１０、熱伝導率：１．８Ｗ／ｍ・Ｋ）を３０ｍｍ×３０ｍｍに切り出し、さらに直径６ｍｍの円形の孔を５個形成し、実施例１のシリコーン熱伝導性シートを得た。５個の孔は、図２に示すように、４個の孔を碁盤目状に並べ、１個の孔をその４個の孔の中心に配置した。

実施例２
図３に示すように、２個の孔を直線状に並べて形成した列を３列設けることで、碁盤目状に６個の孔をシリコーン熱伝導性シートに設けた点を除いて実施例１と同様に実施した。

実施例３
図４に示すように、２個の孔を直線状に並べてなる列（奇数列）を２列設けるとともに、その２列の間にさらに、３個の孔を直線状に並べてなる列（偶数列）を１列設け、奇数列の各孔が、列方向（横方向）において、偶数列の隣接する２つの孔の間に設けられるように配置するようにして、シリコーン熱伝導性シートに孔を７個設けた点を除いて実施例１と同様に実施した。

実施例４
図５に示すように、３個の孔を直線状に並べて形成した列を３列設けることで、碁盤目状に９個の孔をシリコーン熱伝導性シートに設けた点を除いて実施例１と同様に実施した。

実施例５
商品名「ＥＸ３００５０」のシリコーンパッド（デクセリアルズ株式会社製、厚み：０．５ｍｍ、アスカーＣ硬度：２５、熱伝導率：３．０Ｗ／ｍ・Ｋ）を使用する以外は実施例２と同様に実施した。

実施例６
商品名「ＥＸ３００５０」のシリコーンパッド（デクセリアルズ株式会社製、厚み：０．５ｍｍ、アスカーＣ硬度：２５、熱伝導率：３．０Ｗ／ｍ・Ｋ）を使用する以外は実施例４と同様に実施した。

比較例１
孔を設けなかった点を除いて、実施例１と同様に実施した。

比較例２
孔を設けなかった点を除いて、実施例５と同様に実施した。

実施例１〜６、比較例１，２のシリコーン熱伝導性シートの開口面積率、圧縮強度、及び熱伝導性能評価試験において温度が一定となったときのヒーター温度を表１に示す。

以上の結果から明らかなように、各実施例においては、シリコーン熱伝導性シートに、複数の孔を設けることで、シリコーン熱伝導性シートの圧縮強度が低下し、シリコーン熱伝導性シートの面圧縮に対する反力を小さくすることができた。そのため、各実施例のシリコーン熱伝導性シートは、小型の電子機器に放熱シートとして好適に使用可能である。また、実施例２、３、５では、開口面積率を１７〜２４％の範囲とすることで、熱伝導性能をほとんど低下させることなく、圧縮強度を顕著に下げることができた。

Claims (7)

1. 熱伝導性充填材が混合されたシリコーン硬化物から形成されたシリコーン熱伝導性シートであって、厚さ方向に貫通した複数の孔が設けられるシリコーン熱伝導性シート。
2. 開口面積率が１７〜２４％である請求項１に記載のシリコーン熱伝導性シート。
3. 前記孔の径が０．１〜１０ｍｍである請求項１又は２に記載のシリコーン熱伝導性シート。
4. 厚みが０．０５〜２ｍｍである請求項１〜３のいずれかに記載のシリコーン熱伝導性シート。
5. アスカーＣ硬度が２〜２５である請求項１〜４のいずれかに記載のシリコーン熱伝導性シート。
6. アスカーＣ硬度が５〜１５である請求項５に記載のシリコーン熱伝導性シート。
7. 熱伝導率が０．３〜７．０Ｗ／ｍ・Ｋである請求項１〜６のいずれかに記載のシリコーン熱伝導性シート。

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