JP5185582B2 - 熱伝導性シート - Google Patents
熱伝導性シート Download PDFInfo
- Publication number
- JP5185582B2 JP5185582B2 JP2007235740A JP2007235740A JP5185582B2 JP 5185582 B2 JP5185582 B2 JP 5185582B2 JP 2007235740 A JP2007235740 A JP 2007235740A JP 2007235740 A JP2007235740 A JP 2007235740A JP 5185582 B2 JP5185582 B2 JP 5185582B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- conductive sheet
- resin
- graphite
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
この問題を解決するために、従来から、熱伝導性シートや高熱伝導性炭素材料が利用されてきた。ここで、熱伝導性シートとは、発熱部材と放熱部材との間に挟むことにより、密着性を向上させるとともに、熱の伝導効率を向上させるものであり、密着力を上げる柔軟性とシートの厚み方向に対する高い熱伝導特性が求められている。
また、高熱伝導性炭素シートも知られているが、この高熱伝導性炭素繊維シートでは、面方向の熱伝導特性は非常に高いものの、肝心の厚み方向に対しては熱伝導特性が低かった。
そのため、厚み方向に対しての熱伝導性に優れるシートについての研究・開発も行われてきており、例えば、グラファイトシートが複数枚積層された放熱シートであって、グラファイト結晶のa−b面が方熱シートのシート面に対して垂直であることを特徴とする放熱シートが知られている(特許文献1参照)。このようなシートを製造するための方法として、グラファイト結晶のa−b面に対して平行であるグラファイトシートのシート面に接着剤を塗布して、接着剤が塗布された複数枚のグラファイトシートを積層し、さらに加圧して積層体を得たのちに、これをグラファイトシートのシート面に対して垂直な方向に切断する方法も知られている(同特許文献1参照)。
すなわち、本発明にかかる熱伝導性シートは、鱗片状黒鉛とバインダー樹脂を含む混合物をシ−ト状に押出成形し、得られたシートを積層一体化したのち、積層方向に切断してシート化することにより、前記鱗片状黒鉛が厚み方向に配向した熱伝導性シートを得るにあたり、前記バインダー樹脂としてポリテトラフルオロエチレンを用い、前記鱗片状黒鉛の充填量をバインダー樹脂100重量部に対し100〜1200重量部とすることを特徴とする。
バインダー樹脂としてポリテトラフルオロエチレンを用いるようにすれば、耐熱性、耐薬品性、難燃性を付与することができるため、より好ましい。
積層方向に切断することにより得られるシートに、オイル、樹脂溶液およびゾルゲル溶液からなる群より選ばれる少なくとも1種を含浸するようにするか、または、積層方向に切断することにより得られるシートの表面を、オイル、樹脂溶液、樹脂、ゴムおよびゾルゲル溶液からなる群より選ばれる少なくとも1種でコーティングするようにすれば、さらに高い熱伝導特性を発揮させることができ、好ましい。
〔鱗片状黒鉛〕
鱗片状黒鉛は、最終的に得られる熱伝導性シートに優れた異方性を発揮させる。
前記鱗片状黒鉛は、特に限定するわけではないが、長さ5〜500μm、厚み0.1〜10μmのものを用いることができる。
〔バインダー樹脂〕
バインダー樹脂は、鱗片状黒鉛同士を結合させ、成形性を付与し、シート同士や他の材料との密着性を付与する役割を有する。
上記の中でも、フッ素樹脂が好ましく、特にポリテトラフルオロエチレンが好ましい。
〔他の材料〕
本発明にかかる熱伝導性シートには、本発明の効果を害しない範囲において、他の材料を用いても良い。具体的には、例えば、銅、アルミニウムなどの金属、ダイヤモンド、カーボンナノチューブなどの炭素材料、シリコンゴム、クロロプレンゴムなどのゴム、PET、PVAなどの樹脂、センダスト、パーマロイなどのような磁性合金金属やフェライト、低融点ガラスなどのガラス、炭化珪素、窒化硼素などのセラミックス、二酸化珪素、二酸化チタンなどの無機薄膜、ヒ化ガリウム、窒化ガリウムなどの半導体薄膜などが挙げられる。
〔熱伝導性シートの製造〕
本発明にかかる熱伝導性シートの製造方法では、上述した鱗片状黒鉛とバインダー樹脂を必須に用い、適宜他の材料も用いて、これらを含む混合物をシ−ト状に押出成形し、得られたシートを積層一体化したのち、積層方向に切断してシート化する。なお、ここでいう「シート」には、厚みの薄いフィルムも含まれる。
具体的には、例えば、図1に示す工程A〜Dを経て、本願発明にかかる熱伝導性シートを製造することができる。
前記ディスパージョン液に使用される分散媒としては、特に限定されるわけではないが、例えば、水、有機溶媒などが挙げられ、特に水を用いることが環境上好ましい。有機溶媒を用いる場合には、例えば、アセトンなどを単独で用いても良いし、2種以上併用しても良い。
また、前記分散媒の使用量としては、特に限定するわけではないが、例えば、バインダー樹脂100重量部に対して、10〜500重量部とすることが好ましい。分散媒の使用量が10重量部未満ではバインダー樹脂をフィラー(鱗片状黒鉛)表面に均一化することが困難となるおそれがあり、500重量部を超えるとゲル状の混合物を得ることが困難となるおそれがある。より好ましくは、20〜300重量部である。
工程Bによる積層ののち、工程Cで圧着して積層体6を得る。前記圧着は、例えば、2〜30MPaの圧力を加えることで行うことができる。
なお、本発明におけるこの積層一体化では、必須の材料として含まれるバインダー樹脂が優れた接着性を示すために、各シート間に接着剤などを介在させることを要しない。
前記熱伝導性シート8は、特に限定されないが、例えば、縦20〜300mm、横20〜300mm、厚み5〜5000μmのシートとすることが好ましい。厚みが5μm未満ではシート強度が弱くなり過ぎ、破断や亀裂が生じるおそれがあり、厚みが5000μmを超えると熱伝導距離が長くなり過ぎ、伝熱効果が低下するため、実用性に欠けるおそれがある。より好ましくは厚み50〜2000μm、さらに好ましくは厚み100〜1000μmである。
また、前記の如く積層方向に切断して得られるシートの表面をオイル、樹脂溶液、樹脂、ゴム、ゾルゲル溶液などでコーティングすることにより、より熱伝導性に優れた熱伝導性シートを得ることができるため好ましい。前記コーティング方法としては、特に限定するわけではないが、例えば、スピンコートやドクターブレードなどが挙げられる。
前記オイルとしては、特に限定するわけではないが、例えば、流動パラフィン、シリコーンオイル、フッ素オイルなどを挙げることができる。
前記樹脂としては、特に限定するわけではないが、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの反応硬化型液状樹脂などを挙げることができる。
前記ゴムとしては、特に限定するわけではないが、例えば、シリコーンRTVゴムなどの反応硬化型ゴムなどを挙げることができる。
前記ゾルゲル溶液としては、特に限定するわけではないが、例えば、シランアルコキシド溶液、チタンアルコキシド溶液などを挙げることができる。
なお、本発明にかかる熱伝導性シートは導電性を有しているため、電気導電性のある個所、すなわち、基板上の電気的導通がとられている配線の上や、MPUのリード端子のような箇所に直接貼付できない。そこでシート表面に絶縁性を保持させるため、熱伝導性シートの片面または両面に、絶縁シートを積層するようにしても良い。前記絶縁シートとしては、特に限定されないが、フッ素樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂、シリカ、酸化チタンなどのセラミックスなどが挙げられ、その用途や目的に応じて、その1種または2種以上を適宜選択すれば良い。前記絶縁性シートの厚みとしては5〜100μmとすることができる。
実施例における、測定方法および評価方法を以下に示す。
<熱伝導特性の測定方法>
熱伝導特性は、熱伝導率と熱抵抗により評価した。具体的には、以下のようにして測定した。
図2に示すように、試料をヒーター側とヒートシンク側の2枚の銅板で圧縮しながらヒーターに電力をかけて加熱し、熱平衡に達した時のそれぞれの銅板の温度、試料の圧縮力、試料厚みを測定した。そして、熱伝導率を下記式(1)により、熱抵抗を下記式(2)により算出した。
熱伝導率(W/m・K)=W×t/s×(T1−T2) (1)
熱抵抗(℃/W)=(T1−T2)/W (2)
上式において、T1(℃)はヒーター側温度、T2(℃)はヒートシンク側温度、Wはヒーターの発熱量(W)=ヒーターの印加電圧(V)×電流(A)、t(m)は試料厚み(圧縮時)、s(m2)は伝熱面積である。
バインダー樹脂としてポリテトラフルオロエチレンを用い、ポリテトラフルオロエチレン100部を水467部で希釈することにより、ポリテトラフルオロエチレンのディスパージョン液567部を調製した。前記ディスパージョン液と、鱗片状黒鉛SP20(日本黒鉛社製)400部を撹拌混合し、ゲル状物を得た。このゲル状物を30℃の温度で押出成形することによりシート化し、幅100mm、厚み500μmの連続シートを得た。
前記連続シートを幅50mmに切断するとともに押出方向で適当な長さに切断することにより、帯状に裁断し、帯状の各シートを80枚重ね合わせたのち、5MPaの圧力で脱水しながら積層一体化し、これを積層方向に切断することにより、本願発明にかかる熱伝導性シートを得た。
〔実施例2〕
実施例1で得られた熱伝導性シートに流動パラフィンを含浸させて、実施例2にかかる熱伝導性シートを得た。
得られたシートは、縦30mm、横50mm、厚み883μmであった。
〔比較例1〕
実施例1と同様にして、押出成形によって得られたシート(積層一体化以降の処理は行わず)を比較例1とした。
〔比較例2〕
厚み50μmのアルミ箔を比較例2とした。
〔比較例3〕
厚み860μmである市販の熱伝導性シート「ラムダゲル」(商品名、ジェルテック社製)を比較例3とした。
〔評価〕
上記熱伝導性の評価に基づき熱伝導率と熱抵抗を測定した。結果を表1に示す。なお、前記熱伝導性の評価に際しては、測定装置の銅板の寸法に合わせて、各実施例、比較例において最終的に得られたシートを、表1に記載している寸法に切断したものを用いた。
2 鱗片状黒鉛
3 ロール
4 押出成形後のシート
5 圧縮金型
6 積層体
7 カッター
8 熱伝導性シート
Claims (3)
- 鱗片状黒鉛とバインダー樹脂を含む混合物をシ−ト状に押出成形し、得られたシートを積層一体化したのち、積層方向に切断してシート化することにより、前記鱗片状黒鉛が厚み方向に配向した熱伝導性シートを得るにあたり、前記バインダー樹脂としてポリテトラフルオロエチレンを用い、前記鱗片状黒鉛の充填量をバインダー樹脂100重量部に対し100〜1200重量部とすることを特徴とする、熱伝導性シートの製造方法。
- 積層方向に切断してシート化したのち、このシートにオイル、樹脂溶液およびゾルゲル溶液からなる群より選ばれる少なくとも1種を含浸する、請求項1に記載の熱伝導性シートの製造方法。
- 積層方向に切断してシート化したのち、このシートの表面をオイル、樹脂溶液、樹脂、ゴムおよびゾルゲル溶液からなる群より選ばれる少なくとも1種でコーティングする、請求項1に記載の熱伝導性シートの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007235740A JP5185582B2 (ja) | 2007-09-11 | 2007-09-11 | 熱伝導性シート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007235740A JP5185582B2 (ja) | 2007-09-11 | 2007-09-11 | 熱伝導性シート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009066817A JP2009066817A (ja) | 2009-04-02 |
JP5185582B2 true JP5185582B2 (ja) | 2013-04-17 |
Family
ID=40603606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007235740A Expired - Fee Related JP5185582B2 (ja) | 2007-09-11 | 2007-09-11 | 熱伝導性シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5185582B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101084954B1 (ko) | 2010-01-15 | 2011-11-17 | 주식회사 한국카본 | 배열 지향성을 가진 방열 시트 및 그 제조방법 |
JP2012015273A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Hitachi Chem Co Ltd | 熱伝導シート、熱伝導シートの製造方法、及び熱伝導シートを用いた放熱装置 |
CN101941262B (zh) * | 2010-08-19 | 2014-01-01 | 浙江三元电子科技有限公司 | 一种高性能导热片的生产工艺 |
JP6069112B2 (ja) * | 2013-06-19 | 2017-02-01 | デクセリアルズ株式会社 | 熱伝導性シート及び熱伝導性シートの製造方法 |
JP2015061924A (ja) * | 2014-12-02 | 2015-04-02 | 日立化成株式会社 | 熱伝導シート、熱伝導シートの製造方法、及び熱伝導シートを用いた放熱装置 |
JP6705329B2 (ja) * | 2016-07-27 | 2020-06-03 | 日本ゼオン株式会社 | 複合シートおよび熱圧着方法 |
JP6750019B2 (ja) * | 2016-08-08 | 2020-09-02 | 積水化学工業株式会社 | 熱伝導シート及びその製造方法 |
CN107502254A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-12-22 | 苏州格优碳素新材料有限公司 | 一种导热不干胶、导热膜及其制备方法和应用 |
KR20210092744A (ko) * | 2018-11-20 | 2021-07-26 | 세키수이 폴리머텍 가부시키가이샤 | 열전도성 시트 및 그 제조방법 |
CN113150558B (zh) | 2021-05-12 | 2021-11-26 | 广东思泉新材料股份有限公司 | 一种定向导热片及其制备方法、及半导体散热装置 |
US11615999B1 (en) | 2022-07-22 | 2023-03-28 | GuangDong Suqun New Material Co., Ltd | Oriented heat conducting sheet and preparation method thereof, and semiconductor heat dissipating device |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002026202A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-25 | Three M Innovative Properties Co | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
JP4746803B2 (ja) * | 2001-09-28 | 2011-08-10 | 株式会社ファインラバー研究所 | 熱伝導性電磁波シールドシート |
JP2003321554A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Polymatech Co Ltd | 熱伝導性成形体及びその製造方法 |
JP4260713B2 (ja) * | 2004-09-14 | 2009-04-30 | 日東電工株式会社 | 充填剤含有ポリテトラフルオロエチレン多孔質体の製造方法 |
JP2006328213A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 熱伝導性シート |
JP5225558B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2013-07-03 | テクノポリマー株式会社 | 熱伝導性樹脂組成物及び成形品 |
-
2007
- 2007-09-11 JP JP2007235740A patent/JP5185582B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009066817A (ja) | 2009-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5185582B2 (ja) | 熱伝導性シート | |
Loeblein et al. | High-density 3D-boron nitride and 3D-graphene for high-performance nano–thermal interface material | |
US20160279900A1 (en) | Electromagnetic-wave-absorbing heat dissipation sheet | |
JP5322894B2 (ja) | 絶縁性熱伝導シートの製造方法、絶縁性熱伝導シート及び放熱部材 | |
Can-Ortiz et al. | Nonlinear electrical conduction in polymer composites for field grading in high-voltage applications: A review | |
JP6930523B2 (ja) | 熱伝導シートおよびその製造方法、ならびに放熱装置 | |
Wang et al. | Flexible TPU/MWCNTs/BN composites for frequency-selective electromagnetic shielding and enhanced thermal conductivity | |
CN111725162A (zh) | 导热片、导热片的制造方法、放热部件和半导体装置 | |
JP7389014B2 (ja) | 絶縁放熱シート | |
KR101238667B1 (ko) | 그래핀 탄소섬유발열지를 이용한 양면 함침형 면상발열체의 제조방법 | |
JP5516034B2 (ja) | 絶縁性の高い熱伝導シート及びこれを用いた放熱装置 | |
Yu et al. | Flexible boron nitride composite membranes with high thermal conductivity, low dielectric constant and facile mass production | |
JP6881429B2 (ja) | 積層体およびその製造方法、ならびに二次シートおよび二次シートの製造方法 | |
US20140020933A1 (en) | Thermally conductive printed circuit boards | |
WO2013051246A1 (ja) | 放熱部材およびその製造方法 | |
WO2021022055A9 (en) | Thermal interface materials | |
JP2017092345A (ja) | 熱伝導シート、及びその製造方法、並びに半導体装置 | |
TWM425495U (en) | Flexible high thermal conductive copper substrate | |
Lv et al. | Three-dimensional printing to fabricate graphene-modified polyolefin elastomer flexible composites with tailorable porous structures for Electromagnetic interference shielding and thermal management application | |
JP2017034219A (ja) | 混合グラファイトを用いた放熱材 | |
CN114600567A (zh) | 散热片及其制备方法 | |
Wang et al. | Carbon nanotube/graphene composites as thermal interface materials for electronic devices | |
CN109334155B (zh) | 石墨烯-铜复合散热膜及其制备方法和应用 | |
KR102075360B1 (ko) | 열확산 시트 및 그 제조방법 | |
KR102068493B1 (ko) | 열확산 시트 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100722 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5185582 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |