JP2018098349A - 熱伝導シート、熱伝導シートの製造方法及び放熱装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 27
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 155
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 61
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 53
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 53
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 41
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 claims description 36
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 35
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 14
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 12
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 11
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 10
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 9
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 7
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 7
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 claims description 6
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 claims description 4
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 3
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 3
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 46
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 25
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 23
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 19
- -1 acrylate ester Chemical class 0.000 description 13
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 11
- 235000021317 phosphate Nutrition 0.000 description 11
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 7
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 5
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 4
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 4
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- 229920002978 Vinylon Polymers 0.000 description 2
- BQPNUOYXSVUVMY-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-diphenoxyphosphoryloxyphenyl)propan-2-yl]phenyl] diphenyl phosphate Chemical compound C=1C=C(OP(=O)(OC=2C=CC=CC=2)OC=2C=CC=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OP(=O)(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 BQPNUOYXSVUVMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIAWCKFOFPPVGF-UHFFFAOYSA-N 2-ethyladamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1C(CC)C2C3 LIAWCKFOFPPVGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMMZCWZIJXAGKW-UHFFFAOYSA-N 2-methylpent-2-ene Chemical compound CCC=C(C)C JMMZCWZIJXAGKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 244000025254 Cannabis sativa Species 0.000 description 1
- 235000012766 Cannabis sativa ssp. sativa var. sativa Nutrition 0.000 description 1
- 235000012765 Cannabis sativa ssp. sativa var. spontanea Nutrition 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004594 Masterbatch (MB) Substances 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N TOTP Chemical compound CC1=CC=CC=C1OP(=O)(OC=1C(=CC=CC=1)C)OC1=CC=CC=C1C YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006127 amorphous resin Polymers 0.000 description 1
- 229910021383 artificial graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 235000009120 camo Nutrition 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 235000005607 chanvre indien Nutrition 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000853 cresyl group Chemical group C1(=CC=C(C=C1)C)* 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011487 hemp Substances 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000007561 laser diffraction method Methods 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 125000005487 naphthalate group Chemical group 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 150000003013 phosphoric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- LMHHRCOWPQNFTF-UHFFFAOYSA-N s-propan-2-yl azepane-1-carbothioate Chemical compound CC(C)SC(=O)N1CCCCCC1 LMHHRCOWPQNFTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- STCOOQWBFONSKY-UHFFFAOYSA-N tributyl phosphate Chemical compound CCCCOP(=O)(OCCCC)OCCCC STCOOQWBFONSKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQWPFSLDHJDLRL-UHFFFAOYSA-N triethyl phosphate Chemical compound CCOP(=O)(OCC)OCC DQWPFSLDHJDLRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N trimethyl phosphate Chemical compound COP(=O)(OC)OC WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N triphenyl phosphate Chemical compound C=1C=CC=CC=1OP(OC=1C=CC=CC=1)(=O)OC1=CC=CC=C1 XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOWVWXQNQNCRRS-UHFFFAOYSA-N tris(2,4-dimethylphenyl) phosphate Chemical compound CC1=CC(C)=CC=C1OP(=O)(OC=1C(=CC(C)=CC=1)C)OC1=CC=C(C)C=C1C KOWVWXQNQNCRRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Laminated Bodies (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
例えば、バインダ樹脂が熱可塑性樹脂からなり、シート面に関してほぼ垂直な方向に熱伝導フィラ(窒化ホウ素)が配向した熱伝導シート(例えば、特許文献1参照)が提案されている。
<1> 熱伝導フィラ(A)と、熱可塑性材料(B)とを含有する熱伝導シート部と、前記熱伝導シート部の少なくとも一方の表面における外周部を覆う外枠部と、を備え、前記外枠部は、前記熱伝導シート部の成分が入りこみ、入りこんだ成分を保持する開口部を有する熱伝導シート。
<2> 前記開口部は、前記外枠部の厚み方向への貫通孔である<1>に記載の熱伝導シート。
<3> 前記熱伝導シート部の厚みAに対する前記外枠部の厚みBの比率(B/A)は、0.01〜0.5である<1>又は<2>に記載の熱伝導シート。
<4> 前記外枠部の厚みは、1μm〜100μmである<1>〜<3>のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
<5> 前記開口部の孔径が10μm〜2000μmである<1>〜<4>のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
<6> 前記熱伝導フィラ(A)は、鱗片状粒子、楕球状粒子及び棒状粒子からなる群より選択される少なくとも1種の黒鉛粒子を含有する<1>〜<5>のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
<7> 前記熱可塑性材料(B)は、熱可塑性ゴム成分及びテルペンフェノール樹脂を含有する<1>〜<6>のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
<8> 前記外枠部は、天然繊維、ガラス繊維及び高分子材料繊維の少なくとも一つから構成される不織布、金属材料から構成される多孔質材料、高分子材料から構成される多孔質材料、前記外枠部の厚み方向への貫通孔を有する金属材料ならびに前記外枠部の厚み方向への貫通孔を有する高分子材料からなる群より選択される少なくとも一つから形成されたものである<1>〜<7>のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
<9> 前記金属材料は、銅である<8>に記載の熱伝導シート。
<11> 鱗片状粒子、楕球状粒子及び棒状粒子からなる群より選択される少なくとも1種の黒鉛粒子を含有する熱伝導フィラ(A)と、熱可塑性材料(B)とを含有する組成物を準備する工程と、前記組成物をシート化してシートを得る工程と、前記シートの複数枚を重ねるか、前記シートの1枚を折り畳むか、又は前記シートの1枚を捲回させるかにより積層体を作製する工程と、前記積層体の側端面をスライスして熱伝導シート部を作製する工程と、作製した前記熱伝導シート部に、前記熱伝導シート部の少なくとも一方の表面における外周部を覆う外枠部を取り付ける工程と、を有し、前記外枠部は、前記熱伝導シート部の成分が入りこみ、入り込んだ熱伝導シート部の成分を保持する開口部を有する熱伝導シートの製造方法。
本開示において「工程」との語には、他の工程から独立した工程に加え、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の目的が達成されれば、当該工程も含まれる。
本開示において「〜」を用いて示された数値範囲には、「〜」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において組成物中の各成分の含有率は、組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率を意味する。
本開示において組成物中の各成分の粒子径は、組成物中に各成分に該当する粒子が複数種存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の粒子の混合物についての値を意味する。
本開示において「層」との語には、当該層が存在する領域を観察したときに、当該領域の全体に形成されている場合に加え、当該領域の一部にのみ形成されている場合も含まれる。
本開示において「積層」との語は、層を積み重ねることを示し、二以上の層が結合されていてもよく、二以上の層が着脱可能であってもよい。
本開示の熱伝導シートは、熱伝導フィラ(A)と、熱可塑性材料(B)とを含有する熱伝導シート部と、前記熱伝導シート部の少なくとも一方の表面における外周部を覆う外枠部と、を備え、前記外枠部は、前記熱伝導シート部の成分が入りこみ、入りこんだ成分を保持する開口部を有する。
なお、開口部に入りこんで保持される熱伝導シート部の成分としては、熱伝導フィラ(A)、熱可塑性材料(B)及びその他の成分の少なくとも一つが挙げられる。
熱伝導シート部は、熱伝導フィラ(A)と、熱可塑性材料(B)とを含有する。
熱伝導フィラ(A)は、熱伝導性を有するフィラであれば特に制限されない。熱伝導フィラ(A)としては、銀、銅、アルミニウム等の高熱伝導性金属の粒子、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化マグネシウム等のセラミックスの粒子、黒鉛粒子などが挙げられる。なお、熱伝導フィラ(A)としては、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。
熱伝導フィラ(A)の含有率が15体積%以上であると、熱伝導性がより向上する傾向にある。熱伝導フィラ(A)の含有率が50体積%以下であると、粘着性及び密着性の低下をより効果的に抑制できる傾向にある。
熱伝導フィラ(A)の含有率(体積%)=(Aw/Ad)/((Aw/Ad)+(Bw/Bd)+(Cw/Cd))×100
Aw:熱伝導フィラ(A)の質量組成(質量%)
Bw:熱可塑性材料(B)の質量組成(質量%)
Cw:その他の任意成分の質量組成(質量%)
Ad:熱伝導フィラ(A)の密度
Bd:熱可塑性材料(B)の密度
Cd:その他の任意成分の密度
かかる構成であることで、熱伝導シート部は、熱抵抗が小さく、熱伝導性に優れる。
装置:ブルカー・エイエックスエス株式会社製「D8DISCOVER」
X線源:波長1.5406nmのCuKα、40kV、40mA
ステップ(測定刻み幅):0.01°
ステップタイム:720sec
前述のように大粒子の方が効率的な熱伝導パスを形成でき、熱伝導性の点から好適であるが、大粒子かつ粒度分布が狭いと、大粒子どうしにより形成される空隙も大きくなる傾向にあるため、熱伝導シート部の面内で熱伝導性のバラツキが大きくなる傾向にある。このため、適度に小粒子を存在させて大粒子により生じた空隙に小粒子が充填できるよう、ある程度広い粒子径分布であるか、又は複数のピークが存在する多分散の粒子径分布であることが好ましい。粒子径分布の形状は、粒子形状等により大きく異なるため、定量的に一概に限定されないが、上記の理由から、熱伝導シート部の平均厚みに近い平均粒子径を有する大粒子と、大粒子により形成される空隙の大きさよりも小さい平均粒子径を有する小粒子とを含有し、且つ小粒子がその空隙に収まる量で含有されるような粒子径分布であることがより好ましい。
熱伝導シート部は、熱可塑性材料(B)を含有する。熱伝導シート部が熱可塑性材料(B)を含有することにより、熱伝導シート部は柔軟性に優れ、発熱体、放熱体等に対する密着性が良好な熱伝導シートが得られる傾向にある。
さらに、熱伝導シートが熱に曝された際、開口部に熱可塑性材料(B)等の熱伝導シート部の成分が入りこんで保持されているため、熱伝導シート部の成分のフローが抑制され、熱伝導シート部の成分が熱伝導シートの外側方向にフローしてしまう現象(ポンプアウト)が抑制される。
なお、熱可塑性ゴム成分のガラス転移温度は、示差走査熱量装置(DSC)を用いて測定することができる。
なお、熱可塑性ゴム成分の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により、標準ポリスチレンの検量線を用いて測定することができる。
熱伝導シート部は、熱伝導フィラ(A)及び熱可塑性材料(B)以外のその他の成分を、目的に応じて含有していてもよい。例えば、熱伝導シート部は、難燃性を付与する目的で、難燃剤を含有していてもよい。
これらの中でもビスフェノールAビス(ジフェニルホスフェート)が、耐加水分解性に優れ、かつ可塑効果により密着性を向上する効果に優れる点から好ましい。
熱伝導シート部の平均厚みは、マイクロメータを用いて3箇所の厚みを測定し、その算術平均値として与えられる。
外枠部は、熱伝導シート部の表面における外周部を覆い、かつ熱伝導シート部の成分が入りこみ、入り込んだ熱伝導シート部の成分を保持する開口部を有するものであれば特に限定されない。
外枠部の厚みは、マイクロメータを用いて3箇所の厚みを測定し、その算術平均値として与えられる。
開口部の中心間距離は、開口部が3つ以上設けられている場合、マイクロメータを用いて3箇所の中心間距離を測定し、その算術平均値として与えられる。
熱伝導シートの製造方法1として、前述の熱伝導シートを製造する方法について以下に説明する。
作製した前記熱伝導シート部に、前記熱伝導シート部の少なくとも一方の表面における外周部を覆う外枠部を取り付ける工程(「外枠部取り付け工程」ともいう)と、を有し、前記外枠部は、前記熱伝導シート部の成分が入りこみ、入り込んだ熱伝導シート部の成分を保持する開口部を有する。
また、熱伝導シートの製造方法は、熱伝導シート部作製工程後外枠部取り付け工程前に、熱伝導シート部を保護フィルムに貼り付けてラミネートする工程(ラミネート工程)をさらに有していてもよい。
熱伝導シート部を構成する組成物の調製は、熱伝導フィラ(A)、熱可塑性材料(B)、任意成分であるその他の成分等を均一に混合することが可能であれば、いずれの方法であってもよく、特に限定されない。また、組成物は市販のものを入手して準備してもよい。組成物の調製の詳細は、特開2008−280496号公報の段落[0033]を参照することができる。
熱伝導シート部作製工程は、先の工程で得られた組成物をシート化できれば、いずれの方法であってもよく、特に限定されない。例えば、圧延、プレス、押出、及び塗工からなる群から選択される少なくとも1つの成形方法を用いて実施することが好ましい。
ラミネート工程は、熱伝導シート部作製工程にて得られた熱伝導シート部を保護フィルムに貼り付けられれば、いずれの方法であってもよく、特に限定されない。
熱伝導シートの製造方法2として、熱伝導フィラ(A)が鱗片状粒子、楕球状粒子及び棒状粒子からなる群より選択される少なくとも1種の黒鉛粒子を含有する場合における熱伝導シートを製造する方法について以下に説明する。
また、熱伝導シートの製造方法は、スライシング工程後外枠部取り付け工程前に、スライシング工程にて得られたスライスシートを保護フィルムに貼り付けてラミネートする工程(ラミネート工程)をさらに有していてもよい。
さらに、かかる方法で製造された熱伝導シートは、熱伝導シートが熱に曝された際、開口部に熱伝導シート部の成分が入りこんで保持されているため、熱伝導シート部の成分のフローが抑制され、熱伝導シート部の成分が熱伝導シートの外側方向にフローしてしまう現象(ポンプアウト)が抑制される。
熱伝導シート部を構成する組成物の調製は、前述の黒鉛粒子を含有する熱伝導フィラ(A)、熱可塑性材料(B)及び任意成分であるその他の成分等を均一に混合することが可能であれば、いずれの方法であってもよく、特に限定されない。また、組成物は市販のものを入手して準備してもよい。組成物の調製の詳細は、特開2008−280496号公報の段落[0033]を参照することができる。
シート作製工程は、先の工程で得られた組成物をシート化できれば、いずれの方法であってもよく、特に限定されない。例えば、圧延、プレス、押出、及び塗工からなる群から選択される少なくとも1つの成形方法を用いて実施することが好ましい。シート作製工程の詳細は、特開2008−280496号公報の段落[0034]を参照することができる。
積層体作製工程は、先の工程で得られたシートの積層体を形成する。積層体は、例えば、独立した複数枚のシートを順に重ね合わせた形態に限らず、1枚のシートを切断せずに折り畳んだ形態であっても、又はシートの1枚を捲回させた形態であってもよい。積層体作製工程の詳細は、特開2008−280496号公報の段落[0035]〜[0037]を参照することができる。
スライシング工程は、先の工程で得られた積層体の側端面をスライスできれば、いずれの方法であってもよく、特に限定されない。熱伝導シートの厚み方向に貫通する黒鉛粒子によって極めて効率的な熱伝導パスが形成され、熱伝導性がより向上する点から、黒鉛粒子の質量平均粒子径の2倍以下の厚みでスライスすることが好ましい。スライシング工程の詳細は、特開2008−280496号公報の段落[0038]を参照することができる。
ラミネート工程は、スライシング工程にて得られたスライスシートを保護フィルムに貼り付けられれば、いずれの方法であってもよく、特に限定されない。
放熱装置は、発熱体と放熱体の間に、上述の熱伝導シートを介在させてなる。熱伝導シートを介して発熱体と放熱体とが積層されていることで、発熱体からの熱を放熱体に効率よく伝導することができる。また、発熱体から放熱体を取り外す際に容易に熱伝導シートを除去することができる。
下記材料をニーダー混練機(株式会社モリヤマ製、DS3−SGHM−E型加圧双腕型ニーダー)に投入し、100℃で30分混練し、組成物を得た。
・熱伝導フィラ(A)である鱗片状の膨張黒鉛粉末(日立化成株式会社製、長径の平均値500μm〜1000μm、密度2.165g/cm3):2154g
<熱可塑性材料(B)>
(B−1)成分・・・アクリル酸エステル共重合樹脂(アクリル酸ブチル/アクリル酸エチル/アクリロニトリル/アクリル酸共重合体、ナガセケムテックス株式会社製、商品名「HTR−280改2DR」、重量平均分子量53万、Tg=−39℃、密度1.06g/cm3):444g
(B−2)成分・・・テルペンフェノール(ヤスハラケミカル株式会社製、商品名「YSポリスターT80」、軟化点80℃、密度0.96g/cm3):333g
<その他の成分(C)>
・難燃剤として芳香族縮合リン酸エステル(大八化学工業株式会社製、商品名「CR−741」、密度1.26g/cm3):1067g
得られた組成物を押し出し成形機(株式会社パーカー製、商品名:HKS40−15型押し出し機)に投入し、幅20cm、厚み2mmの平板形状に押出して一次シートを得た。得られた一次シートを、50mm×200mmの型刃を用いてプレス打ち抜きし、打ち抜いたシートを積層し、高さが150mmになるよう、高さ150mmのスペーサを挟んで積層方向に90℃で2分間圧力をかけ、積層体を得た。次いで、この50mm×150mm×200mmの積層体の側端面を木工用スライサーでスライスし、縦150mm×横200mm×厚み0.2mmの熱伝導シート部(以下、「熱伝導シート(I)」ともいう)を得た。
熱伝導シート部の熱伝導性の評価として、熱抵抗を測定した。熱伝導シート(I)を、10mm角に切り抜き、発熱体であるトランジスタ(2SC2233)と放熱体である銅ブロックとの間に挟み、トランジスタを2MPaの圧力で押し付けながら電流を通じた際のトランジスタの温度:T1(℃)及び銅ブロックの温度:T2(℃)を測定し、測定値及び印加電力:W1(W)から、熱抵抗:X(K/W)を以下の式に基づき算出した。
X=(T1−T2)/W1
その結果、実施例1にて作製した熱伝導シート(I)の熱抵抗は0.08K/Wであった。
孔あき銅箔付き熱伝導シートについて、以下のようにしてフロー評価を行った。
フロー評価は30mm×30mmの大きさの孔あき銅箔付き熱伝導シートについて評価した。熱伝導シート(I)及び孔あき銅箔(1)(JX金属株式会社製、JIS:C1100)を30mm×30mmに打ち抜き、さらに、孔あき銅箔(1)については、内側を20×20mmに打ち抜き、外枠部を作製した。次に、熱伝導シート(I)の表面に、図1に示す外枠部2に対応する孔あき銅箔(1)を接触させた後、ロール成形機(日立機械エンジニアリング株式会社製、商品名:V2S−SR型シーティング熱ロール機)を用い、温度80℃、ロール間のギャップは熱伝導シート部の厚み(実施例1では0.2mm)に設定して、熱伝導シート(I)の外周部に外枠部を圧着させた。これにより、孔あき銅箔付き熱伝導シートを作製した。孔あき銅箔(1)は、厚み0.01mm、孔径100μm、孔の中心間距離154μmとなるように貫通孔を設けたものを用いた。
作製した孔あき銅箔付き熱伝導シートの上下に離型処理がなされているPETフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、品番:A31B、厚み38μm)を置き、120℃に熱した熱圧プレス機(株式会社井元製作所製、小型加熱プレス機、型式:IMC−18EE型)の熱板に挟み圧縮してフロー性を確認した。熱伝導シート部が0.2mmのときは最大圧力3MPaで5秒圧縮した。
圧縮前の熱伝導シート部の縦方向及び横方向において、圧縮後の熱伝導シート部の長さの最大値(mm)をそれぞれ測定し、圧縮前の熱伝導シート部の縦方向及び横方向の長さ(mm)に対する割合(%)をそれぞれ算出し、より値が高い方を変化率とした。変化率の数値が低いほどフローが抑制されていることを示す。
なお、圧縮後の熱伝導シート部の長さの最大値は標準ABSデジマチックキャリパ(株式会社ミツトヨ製、CD−15CPX)で測定した。
フロー評価の結果を表1に示す。
孔あき銅箔(1)の代わりに、厚み0.015mm、孔径200μm、孔の中心間距離430μmとなるように貫通孔を設けた孔あき銅箔(2)を用いたこと以外は実施例1と同様にしてフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
孔あき銅箔(1)の代わりに、厚み0.048mmであるポリフェニレンスルフィド不織布(日本バイリーン株式会社製、品番「PS−0020」、目付量19g/m2)を用いたこと以外は実施例1と同様にしてフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
孔あき銅箔(1)の代わりに、厚み0.033mmであるビニロン不織布(廣瀬製紙株式会社製、品番「VN1012」、目付量12g/m2)を用いたこと以外は実施例1と同様にしてフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
厚み0.2mmの熱伝導シート(I)の代わりに厚み0.5mmの熱伝導シート(II)を作製し、作製した熱伝導シート(II)を用いた点、及びフロー性評価の際、最大圧力3MPaで5秒圧縮する代わりに最大圧力1MPaで5秒圧縮した点以外は、実施例1と同様にしてフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
厚み0.2mmの熱伝導シート(I)の代わりに厚み0.5mmの熱伝導シート(II)を作製し、作製した熱伝導シート(II)を用いた点、及びフロー性評価の際、最大圧力3MPaで5秒圧縮する代わりに最大圧力1MPaで5秒圧縮した点以外は、実施例2と同様にしてフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
実施例1と同様の条件で熱伝導シート(I)を作製した。作製した熱伝導シート(I)に銅箔を圧着せずに、前述のフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
実施例1と同様の条件で熱伝導シート(I)を作製した。作製した熱伝導シート(I)の外周部に、孔無し銅箔(貫通孔を設ける前の銅箔、厚み0.012mm、JX金属株式会社製、JIS:C1100)を実施例1と同様の条件で圧着させ、銅箔付き熱伝導シートを作製した。そして、前述のフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
実施例5と同様の条件で熱伝導シート(II)を作製した。作製した熱伝導シート(II)に銅箔を圧着せずに、前述のフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
実施例5と同様の条件で熱伝導シート(II)を作製した。作製した熱伝導シート(II)の外周部に、孔無し銅箔(貫通孔を設ける前の銅箔、厚み0.012mm、JX金属株式会社製、JIS:C1100)を実施例5と同様の条件で圧着させ、銅箔付き熱伝導シートを作製した。そして、前述のフロー評価を行った。
フロー評価の結果を表1に示す。
さらに、比較例2及び比較例4の孔無し銅箔付き熱伝導シートでは、フローをある程度抑制する効果は得られているが、その効果は十分でなかった。
一方、実施例1〜実施例6の孔あき銅箔又は不織布である外枠部を備える熱伝導シートでは、変化率が、熱伝導シートの厚み及び圧縮圧力条件が同じ比較例1〜4とそれぞれ比較して小さく、フローを抑制することができた。
なお、実施例1〜実施例6のフロー評価後の試験片の外枠部の孔を上部から顕微鏡により観察した結果、熱伝導シートの成分が孔内に入りこんでいる状態が確認された。孔内に熱伝導シート部の成分が入りこむことにより、中心から外周部方向へかかるフロー力(圧力)が緩和され、さらに、アンカー効果により、フローが抑制されたと考えられる。
2 外枠部
3 開口部
10 熱伝導シート
Claims (12)
- 熱伝導フィラ(A)と、熱可塑性材料(B)とを含有する熱伝導シート部と、
前記熱伝導シート部の少なくとも一方の表面における外周部を覆う外枠部と、
を備え、
前記外枠部は、前記熱伝導シート部の成分が入りこみ、入りこんだ成分を保持する開口部を有する熱伝導シート。 - 前記開口部は、前記外枠部の厚み方向への貫通孔である請求項1に記載の熱伝導シート。
- 前記熱伝導シート部の厚みAに対する前記外枠部の厚みBの比率(B/A)は、0.01〜0.5である請求項1又は請求項2に記載の熱伝導シート。
- 前記外枠部の厚みは、1μm〜100μmである請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 前記開口部の孔径が10μm〜2000μmである請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 前記熱伝導フィラ(A)は、鱗片状粒子、楕球状粒子及び棒状粒子からなる群より選択される少なくとも1種の黒鉛粒子を含有する請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 前記熱可塑性材料(B)は、熱可塑性ゴム成分及びテルペンフェノール樹脂を含有する請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 前記外枠部は、天然繊維、ガラス繊維及び高分子材料繊維の少なくとも一つから構成される不織布、金属材料から構成される多孔質材料、高分子材料から構成される多孔質材料、前記外枠部の厚み方向への貫通孔を有する金属材料ならびに前記外枠部の厚み方向への貫通孔を有する高分子材料からなる群より選択される少なくとも一つから形成されたものである請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 前記金属材料は、銅である請求項8に記載の熱伝導シート。
- 熱伝導フィラ(A)と、熱可塑性材料(B)とを含有する組成物を準備する工程と、
前記組成物をシート化して熱伝導シート部を作製する工程と、
作製した前記熱伝導シート部に、前記熱伝導シート部の少なくとも一方の表面における外周部を覆う外枠部を取り付ける工程と、
を有し、
前記外枠部は、前記熱伝導シート部の成分が入りこみ、入り込んだ熱伝導シート部の成分を保持する開口部を有する熱伝導シートの製造方法。 - 鱗片状粒子、楕球状粒子及び棒状粒子からなる群より選択される少なくとも1種の黒鉛粒子を含有する熱伝導フィラ(A)と、熱可塑性材料(B)とを含有する組成物を準備する工程と、
前記組成物をシート化してシートを得る工程と、
前記シートの複数枚を重ねるか、前記シートの1枚を折り畳むか、又は前記シートの1枚を捲回させるかにより積層体を作製する工程と、
前記積層体の側端面をスライスして熱伝導シート部を作製する工程と、
作製した前記熱伝導シート部に、前記熱伝導シート部の少なくとも一方の表面における外周部を覆う外枠部を取り付ける工程と、
を有し、
前記外枠部は、前記熱伝導シート部の成分が入りこみ、入り込んだ熱伝導シート部の成分を保持する開口部を有する熱伝導シートの製造方法。 - 請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の熱伝導シートを、発熱体と放熱体の間に介在させてなる放熱装置。
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JP2018098349A true JP2018098349A (ja) | 2018-06-21 |
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JP (1) | JP6809192B2 (ja) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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