JP6742074B2 - 静圧気体軸受 - Google Patents

Description

本発明は、真空環境下で使用される静圧気体軸受に関する。

真空環境下で使用される軸受には、真空チャンバ内を汚染しないことが求められる。そのような軸受として、静圧気体軸受が知られている。静圧気体軸受は、スライダ内に設けられたエアパッドから圧縮気体を噴出することによって、スライダがガイド軸に対して滑らかに移動できるように構成されている。静圧気体軸受は、転がり軸受やリニアガイドのように、潤滑オイルや摺動面からの微細ごみの発生がないという利点がある。

スライダを板材の接合によって形成する場合、真空チャンバ内の真空度を大きく低下させることがないように、スライダ内に供給される圧縮気体が板材同士の接合面から漏れないようにすることが重要である。例えば、特許文献１には、天板、底板、側板で構成される可動体の板の隙間に気密保持性が高い溶剤を塗布することが記載されている。また、特許文献２には、天板、底板、側板をボルトで互いに締結してなる移動体の締結面に、シール剤として接着剤を封入し硬化させることが記載されている。

特開２００４−２８２１４号公報 特開２００２−３３３０２２号公報

特許文献１のように、板の隙間に溶剤を塗布した場合、溶剤の経年劣化によってシール効果が低下したり、劣化した溶剤が隙間から離脱して微細なごみになったりするという問題がある。また、特許文献２のように、板同士を接着剤で接着すると、保守や調整のために移動体を分解することが困難になるという問題がある。

本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、真空環境下で使用される静圧気体軸受において、スライダを構成する板状部材の接合面からの気体のリークを低減または防止する技術を提供することにある。

本発明のある態様は、ガイド軸と、ガイド軸を収容しつつ軸方向に移動可能な筒状のスライダと、を備える静圧気体軸受である。スライダは、複数の板状部材を締結することで構成されており、板状部材同士の接合面に、板状部材よりも弾性率が小さく柔らかい材料からなる膜が介在されている。

この態様によると、板状部材同士を締結したときに板状部材よりも柔らかい膜が潰れることによって接合面の隙間を埋めるため、接着剤や溶剤等を使用せずに、締結のみで接合面からの気体の漏れを減少または防止することができる。

板状部材がセラミックスで作成され、膜がアルミニウム蒸着によって形成されてもよい。これによると、板状部材の接合面への膜の形成を容易に行うことができる。

なお、以上の要素の任意の組み合わせや、本発明の要素や表現を装置、方法、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明によると、真空環境下で使用される静圧気体軸受において、スライダを構成する板状部材の接合面からの気体のリークを低減または防止することができる。

本発明の一実施形態に係る静圧気体軸受の概略斜視図である。 静圧気体軸受を構成するスライダの斜視図である。 静圧気体軸受の動作原理を説明する図である。 一実施例に係るスライダからの空気のリーク量を表す表である。

以下、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。

図１は、本発明の一実施形態に係る静圧気体軸受１０の概略斜視図である。静圧気体軸受１０は、一方向に延びるガイド軸１２と、ガイド軸１２を内部に収容しつつガイド軸１２に沿って軸方向に移動可能な筒状のスライダ２０と、で構成される。ガイド軸１２は、その両端が脚台１４によって支持されている。

スライダ２０は、ガイド軸１２に対してわずかな隙間を有するように取り付けられる。詳細に後述するように、スライダ２０の内部に設けられたエアパッドから圧縮気体（例えば空気）を噴出することで、スライダ２０はガイド軸１２に沿って滑らかに移動可能となっている。

静圧気体軸受１０は、例えば、電子ビーム露光装置などの真空チャンバ内で動作する装置において、可動ステージの駆動に使用される。電子ビーム露光装置とともに使用する場合、静圧気体軸受が磁性体であると電子ビームの軌道に影響を及ぼすおそれがあるため、ガイド軸１２、脚台１４およびスライダ２０は、非磁性体材料、例えばセラミックスで形成される。

静圧気体軸受１０は、例えば転がり軸受やリニアガイドを使用するスライダと比較して、潤滑オイル等の溶剤や摺動面からの微細ごみの発生がないので、真空環境下での使用に特に適している。

図２は、スライダ２０の斜視図である。スライダ２０は、断面が長方形の筒状であり、４枚の板状部材２０Ａ〜２０Ｄを組み合わせて構成される。板状部材同士は、複数のボルト２２によって締結されている。静圧気体軸受１０の組立時に、ガイド軸１２とスライダ２０の内面との間に所望の隙間が形成されるように、板状部材同士の締結には微細な調整が必要とされる。

各板状部材２０Ａ〜２０Ｄの内側、すなわちガイド軸１２に対する面には、エアパッド３０が複数形成されている。エアパッド３０は、図示しない給気系から供給される高圧の気体を噴出し、ガイド軸１２との間の微小な隙間に高圧の気体層を形成することによって、スライダ２０をガイド軸１２から浮上させる。

各板状部材２０Ａ〜２０Ｄの両端には、複数のエアパッド３０を取り囲むように、差動排気用の排気溝３４、３６が形成されている。排気溝３４、３６はそれぞれ排気ポンプ（図示せず）に接続されており、スライダ２０の内部空間の気体を外部に排気する。これにより、圧縮気体がガイド軸１２とスライダ２０との間の隙間から漏れ出さないようにして、真空チャンバ内の真空度の低下を防いでいる。なお、このようなスライダの構造は周知であるので、本明細書ではこれ以上の詳細な説明を省略する。

図３は、静圧気体軸受１０を組み込んだ気体圧アクチュエータの動作原理を説明する図である。図示するように、スライダ２０の内部に形成されたエアサーボ室４０を軸方向に関して二つのサーボ室４０Ａ、４０Ｂに区画する隔壁４２がガイド軸１２に固定されている。二つのサーボ室４０Ａ、４０Ｂには、各サーボ室に圧縮気体を出入り可能にするための給気系１７Ａ、１７Ｂがそれぞれ接続されている。給気系１７Ａ、１７Ｂは、サーボ弁１６Ａ、１６Ｂと、圧縮気体供給源１８Ａ、１８Ｂと、をそれぞれ備えている。

エアパッド３０に圧縮空気を供給すると、スライダ２０がガイド軸１２に対してわずかに浮上する。ここで、例えばサーボ室４０Ａに圧縮空気を供給するとともに、サーボ室４０Ｂから圧縮空気を排出すると、隔壁４２がピストンとして作用して、スライダ２０が図中の左方向に移動する。このようにして、サーボ弁１６Ａ、１６Ｂの開度を制御することによって、スライダ２０をガイド軸１２に対して任意の位置に移動させることができる。このような気体圧アクチュエータの動作原理は周知であるため、本明細書ではこれ以上の詳細な説明を省略する。

図２に戻り、スライダ２０を構成する各板状部材の材料であるセラミックスは硬度が高く、加工精度および加工コストの問題から、板状部材の接合面を完全な平滑面にすることはできない。そのため、板状部材の接合面からは、図２中に矢印で示すように、スライダ２０の内から外に向けて気体のリークが生じる。この気体のリーク量が大きいと、真空チャンバ内の真空度が低下して、所定の真空度を確保できなくなってしまう。

そこで、本実施形態では、スライダ２０を構成する板状部材２０Ａ〜２０Ｄの接合面に、板状部材の材料よりも弾性率が小さく柔らかい材料からなる膜２４を介在させている。こうすると、板状部材同士をボルト２２によって締結したときに、接合面の膜２４が潰れて接合面の微細な凹凸を埋めるため、接合面からの気体のリーク量を低減することができる。膜２４は、例えばアルミニウム蒸着によって形成することが望ましい。蒸着を用いることで、接合面への膜の形成を容易に行うことができる。

なお、膜の材料は、スライダの材料（本実施形態ではセラミックス）よりも弾性率が小さく柔らかい材料であり、かつ接合面に均一な膜を形成可能なものであれば、アルミニウムに限られない。また、蒸着以外の方法で膜を形成してもよい。例えば、チタン蒸着や亜鉛メッキによって板状部材の接合面に膜を形成してもよいし、アルミニウム薄膜や樹脂シートなどを板状部材の接合面に介在させてもよい。

（実施例）
上記実施形態の効果を確認するため、３種類の供試体Ａ〜Ｃに対して、スライダの板状部材の接合面からのリーク量を比較する試験を実施した。供試体Ａは、ボルト締結のみで組み立てたスライダである。供試体Ｂは、板状部材の接合面の表面粗さが供試体Ａよりも小さく、ボルト締結のみで組み立てたスライダである。供試体Ｃは、板状部材の接合面の表面粗さが供試体Ｂと同一であり、さらに接合面にアルミニウム蒸着膜を形成した後、ボルト締結によって組み立てたスライダである。

この試験では、上記のように構成された静圧気体軸受１０を真空チャンバ内に設置し、スライダ２０の内部空間に圧縮空気を付与したときの、板状部材の接合面からの空気リーク量を測定した。

図４は、この試験結果を示すグラフである。グラフの横軸は、スライダの内部空間の空気圧を表し、グラフの縦軸は、スライダの板状部材の接合面からの空気リーク量を表す。図４から理解できるように、板状部材の接合面にアルミニウム蒸着を施した供試体Ｃでは、ボルト締結のみの供試体Ａ、Ｂよりも、接合面からのリーク量が大幅に低減することが確認された。

さらに、スライダの組み立て後にボルトを緩めた後、再度ボルトを締め直したスライダについても、同様の試験を行った。この場合にも、図４と同様に、板状部材の接合面にアルミニウム蒸着を施した供試体Ｃは、供試体Ａ、Ｂよりも、接合面からのリーク量が大幅に低減することが確認された。

以上説明したように、本実施形態によれば、スライダを構成する板状部材同士の接合面に、板状部材の材料よりも弾性率が小さく柔らかい材料からなる膜を介在させることで、板状部材同士を締結したときに板状部材よりも柔らかい膜が潰れることによって接合面の隙間を埋めるため、接着剤や溶剤等を使用せずに、締結のみで接合面からの気体の漏れを減少または防止することができる。

接着剤を使用しないことで、一度スライダを組み立てた後でも、保守や調整のためにスライダを分解したり再組立したりすることが可能になる。また、溶剤を使用しないことで、溶剤の経年劣化によるシール効果の低下や微細ごみの発生といった問題も回避できる。

以上、実施の形態に係る静圧気体軸受の構成について説明した。この実施の形態は例示であり、その各構成要素の組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。

実施の形態では、静圧気体軸受が非磁性体、特にセラミックスで作成されることを述べたが、本発明は、磁性体で構成されている静圧気体軸受に対しても適用することができる。

実施の形態では、静圧気体軸受のガイド軸およびスライダが長方形の断面形状を有することを述べたが、本発明は、任意の断面形状を有するガイド軸およびスライダを備える静圧気体軸受に対しても適用することができる。

実施の形態では、静圧気体軸受が組み込まれた気体圧アクチュエータについて説明したが、本発明は、アクチュエータの有無にかかわらず任意の静圧気体軸受に適用することができる。

１０ 静圧気体軸受、 １２ ガイド軸、 ２０ スライダ、 ２０Ａ〜２０Ｄ 板状部材、 ２２ ボルト、 ２４ 膜。

Claims (2)

1. ガイド軸と、該ガイド軸を収容しつつ軸方向に移動可能な筒状のスライダと、を備える
   真空環境下で使用される静圧気体軸受であって、
   前記スライダは、複数の板状部材を締結することで構成されており、
   前記板状部材同士の接合面の全面に、板状部材よりも弾性率が小さく柔らかい材料から
   なるアルミニウム蒸着によって形成された膜が介在した状態で前記板状部材同士を締結す
   ることを特徴とする静圧気体軸受。
2. 前記板状部材がセラミックスで作成されることを特徴とする請求項１に記載の静圧気体
   軸受。

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