JP5093807B2 - 静圧気体軸受スピンドル - Google Patents
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Description
また、この発明に従った静圧気体軸受スピンドルは、回転軸と、軸受スリーブと、シール機構部と、排気部材とを備える。回転軸では先端に固定部が形成されている。軸受スリーブは、回転軸の外周面の一部を取り囲み、回転軸の外周面と間隙を介して対向するとともに間隙に気体を供給することで静圧気体軸受を構成する。シール機構部は、軸受スリーブより固定部側に配置され、回転軸の外周面の一部を取り囲む。シール機構部と回転軸の外周面とが対向する領域では、シール機構部の表面と回転軸の外周面との少なくともいずれか一方に、回転軸の外周面を周回する環状溝が複数形成される。排気部材は、環状溝に管路を介して接続される。管路は、複数の環状溝と排気部材とを接続するように途中で分岐点を有している。複数の環状溝のうちの1つから排気部材までの管路における管路抵抗は、環状溝の1つより固定部側に位置する複数の環状溝のうちの他の1つから排気部材までの管路における管路抵抗より小さい。
図1は、本発明の一実施の形態である静圧気体軸受スピンドルの実施の形態1を示す断面模式図である。図2は、図1に示した静圧気体軸受スピンドルにおける差動排気シール機構の構成を説明するための部分断面模式図である。図1および図2を参照して、本発明の実施の形態1における静圧気体軸受スピンドルを説明する。
図10は、本発明の一実施の形態である静圧気体軸受スピンドルの実施の形態2を示す断面模式図である。図10を参照して、本発明の実施の形態1における静圧気体軸受スピンドルを説明する。
Claims (8)
- 先端に固定部が形成された回転軸と、
前記回転軸の外周面の一部を取り囲み、前記回転軸の前記外周面と間隙を介して対向するとともに前記間隙に気体を供給することで静圧気体軸受を構成する軸受スリーブと、
前記軸受スリーブより前記固定部側に配置され、前記回転軸の外周面の一部を取り囲むシール機構部とを備え、
前記シール機構部と前記回転軸の外周面とが対向する領域では、前記シール機構部の表面と前記回転軸の外周面との少なくともいずれか一方に、前記回転軸の外周面を周回する環状溝が複数形成され、さらに、
前記環状溝に管路を介して接続される排気部材を備え、
前記管路は、前記複数の環状溝と前記排気部材とを接続するように途中で分岐点を有しており、
前記複数の環状溝のうちの1つから前記分岐点までの前記管路の部分における管路抵抗は、前記複数の環状溝のうちの他の1つから前記分岐点までの前記管路の部分における管路抵抗とは異なっている、静圧気体軸受スピンドル。 - 前記複数の環状溝のうちの1つから前記分岐点までの前記管路の部分における管路抵抗は、前記環状溝の1つより前記固定部側に位置する前記複数の環状溝のうちの他の1つから前記分岐点までの前記管路の部分における管路抵抗より小さい、請求項1に記載の静圧気体軸受スピンドル。
- 先端に固定部が形成された回転軸と、
前記回転軸の外周面の一部を取り囲み、前記回転軸の前記外周面と間隙を介して対向するとともに前記間隙に気体を供給することで静圧気体軸受を構成する軸受スリーブと、
前記軸受スリーブより前記固定部側に配置され、前記回転軸の外周面の一部を取り囲むシール機構部とを備え、
前記シール機構部と前記回転軸の外周面とが対向する領域では、前記シール機構部の表面と前記回転軸の外周面との少なくともいずれか一方に、前記回転軸の外周面を周回する環状溝が複数形成され、さらに、
前記環状溝に管路を介して接続される排気部材を備え、
前記管路は、前記複数の環状溝と前記排気部材とを接続するように途中で分岐点を有しており、
前記複数の環状溝のうちの1つから前記排気部材までの前記管路における管路抵抗は、前記環状溝の1つより前記固定部側に位置する前記複数の環状溝のうちの他の1つから前記排気部材までの前記管路における管路抵抗より小さい、静圧気体軸受スピンドル。 - 前記回転軸および前記シール機構部を少なくとも内部に保持する真空チャンバをさらに備え、
前記排気部材は前記真空チャンバの外部に配置され、
前記管路の分岐点は、前記真空チャンバの外部、前記真空チャンバの内部および前記シール機構部の内部のうちの少なくともいずれか1つに配置される、請求項1〜3のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。 - 前記シール機構部と前記回転軸の外周面とが対向する領域では、前記シール機構部の表面と前記回転軸の外周面との少なくともいずれか一方に、前記回転軸の外周面を周回する他の環状溝が形成され、
前記他の環状溝に他の管路を介して接続される他の排気部材を備える、請求項1〜4のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。 - 前記環状溝は、前記シール機構部の表面と前記回転軸の外周面との両方において対向するように形成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。
- 前記回転軸の外周面において、前記軸受スリーブと対向する領域にはフランジ状部が形成され、
前記フランジ状部の表面と前記軸受スリーブとはフランジ状部間隙を介して対向するとともに、前記フランジ状部間隙に気体を供給することで静圧気体スラスト軸受を構成する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。 - 前記分岐点から前記排気部材までの前記管路の部分における管路抵抗は、前記環状溝から前記分岐点までの前記管路の部分における管路抵抗よりも小さい、請求項1〜7のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。
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