JP2009216200A - 静圧気体軸受スピンドル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸1と、軸受スリーブと、シールカバー10と、吸引ポンプ29、30とを備える。軸受スリーブは、回転軸1の外周面の一部を取り囲み、回転軸1の外周面と間隙を介して対向するとともに間隙に気体を供給することでジャーナル軸受を構成する。シールカバー10と回転軸1の外周面とが対向する領域では、シールカバー10の表面と回転軸1の外周面との少なくともいずれか一方に、回転軸1の外周面を周回する環状溝17が複数形成される。吸引ポンプ29、30は、環状溝17に管路としての配管31、32を介して接続される。管路は、複数の環状溝17と吸引ポンプ29、30とを接続するように途中で分岐点40を有している。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一実施の形態である静圧気体軸受スピンドルの実施の形態1を示す断面模式図である。図2は、図1に示した静圧気体軸受スピンドルにおける差動排気シール機構の構成を説明するための部分断面模式図である。図1および図2を参照して、本発明の実施の形態1における静圧気体軸受スピンドルを説明する。
図10は、本発明の一実施の形態である静圧気体軸受スピンドルの実施の形態2を示す断面模式図である。図10を参照して、本発明の実施の形態1における静圧気体軸受スピンドルを説明する。
Claims (7)
- 先端に固定部が形成された回転軸と、
前記回転軸の外周面の一部を取り囲み、前記回転軸の前記外周面と間隙を介して対向するとともに前記間隙に気体を供給することで静圧気体軸受を構成する軸受スリーブと、
前記軸受スリーブより前記固定部側に配置され、前記回転軸の外周面の一部を取り囲むシール機構部とを備え、
前記シール機構部と前記回転軸の外周面とが対向する領域では、前記シール機構部の表面と前記回転軸の外周面との少なくともいずれか一方に、前記回転軸の外周面を周回する環状溝が複数形成され、さらに、
前記環状溝に管路を介して接続される排気部材を備え、
前記管路は、前記複数の環状溝と前記排気部材とを接続するように途中で分岐点を有している、静圧気体軸受スピンドル。 - 前記回転軸および前記シール機構部を少なくとも内部に保持する真空チャンバをさらに備え、
前記排気部材は前記真空チャンバの外部に配置され、
前記管路の分岐点は、前記真空チャンバの外部、前記真空チャンバの内部および前記シール機構部の内部のうちの少なくともいずれか1つに配置される、請求項1に記載の静圧気体軸受スピンドル。 - 前記複数の環状溝のうちの1つから前記排気部材までの前記管路における管路抵抗は、前記複数の環状溝のうちの他の1つから前記排気部材まで前記管路における管路抵抗とは異なっている、請求項1または2に記載の静圧気体軸受スピンドル。
- 前記シール機構部と前記回転軸の外周面とが対向する領域では、前記シール機構部の表面と前記回転軸の外周面との少なくともいずれか一方に、前記回転軸の外周面を周回する他の環状溝が形成され、
前記他の環状溝に他の管路を介して接続される他の排気部材を備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。 - 前記環状溝は、前記シール機構部の表面と前記回転軸の外周面との両方において対向するように形成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。
- 前記回転軸の外周面において、前記軸受スリーブと対向する領域にはフランジ状部が形成され、
前記フランジ状部の表面と前記軸受スリーブとはフランジ状部間隙を介して対向するとともに、前記フランジ状部間隙に気体を供給することで静圧気体スラスト軸受を構成する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。 - 前記複数の環状溝のうちの1つから前記排気部材までの前記管路における管路抵抗は、前記環状溝の1つより前記固定部側に位置する前記複数の環状溝のうちの他の1つから前記排気部材までの前記管路における管路抵抗より小さい、請求項1〜6のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008061609A JP5093807B2 (ja) | 2008-03-11 | 2008-03-11 | 静圧気体軸受スピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008061609A JP5093807B2 (ja) | 2008-03-11 | 2008-03-11 | 静圧気体軸受スピンドル |
Publications (2)
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JP2009216200A true JP2009216200A (ja) | 2009-09-24 |
JP5093807B2 JP5093807B2 (ja) | 2012-12-12 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5093807B2 (ja) |
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A977 | Report on retrieval |
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