JPS63174802A - 回転駆動装置 - Google Patents

回転駆動装置

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JPS63174802A
JPS63174802A JP62004996A JP499687A JPS63174802A JP S63174802 A JPS63174802 A JP S63174802A JP 62004996 A JP62004996 A JP 62004996A JP 499687 A JP499687 A JP 499687A JP S63174802 A JPS63174802 A JP S63174802A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、真空中で用いて好適な回転駆動装置に関する
。
［従来技術］ 従来、気体軸受を用いた回転駆動装置は、高い回転精度
と耐久性が得られるために高精度の加工装置あるいは測
定装置等に用いられている。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、真空チャンバ等の真空中で用いる場合に
は、軸受からの気体流出を防止してチャンバ内の真空度
を低下させないようにしなければならない。
ところが従来の気体流出防止方法は、ゴム等の弾性体を
用いた接触式シールや粘性の高い磁性流体を用いた磁性
流体シール等が用いられており、いずれの場合も回転部
との間にゴム、磁性流体等の接触部分があり、気体軸受
による高い回転精度を低下させてしまうという欠点があ
った。このために真空中で用いることのできる高精度の
回転駆動装置を得ることは非常に困難であった。
本発明は、前記従来例の欠点を除去し、真空中で使用可
能な高精度かつ高耐久性の回転駆動装置を提供すること
を目的とする。
［問題点を解決するための手段および作用］上記問題点
を解決するため本発明では、気体軸受を用いた回転駆動
装置において、気体軸受からの流出気体を非接触でシー
ルするようにして、高回転精度および高耐久性を失わず
に真空中でも使用できるようにしている。
［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る回転駆動装置を示す。
同図において、１は軸で、ロータ２とロータ２の両端の
円板状のスラスト受３．４からなる。スラスト受３の上
面３ｂは回転力取出部となり、この部分に回転を必要と
する物品を載置しあるいは取り付けられるようになって
いる。５は気体軸受で、軸受ハウジング６、円筒状の多
孔質軸りで、カバー１０、カバー１０に固定した固定子
１１およびスラスト受け４に取り付けた回転子１２から
なり１１！［ｋｌを回転させる。１３は気体シールで、
シールハウジング１４、スラスト受け３の外周面３ａを
微小な隙間を介して取り巻く隔壁１５．１６．１７、気
体排出部１８、気体吸引用みぞ１９．２０、排気孔２１
および吸引排気孔２２．２３からなっている。
気体軸受５に静圧支持された回転軸１と気体軸受５の軸
受ハウジング６に取り付けたモータ９と、軸受ハウジン
グ６に取り付けた気体シール１３とで回転駆動装置Ａを
構成している。
回転駆動装置Ａは、気体シール１３のシールハウジング
１４が筐体Ｂに取り付けられており、筺体Ｂとともに真
空チャンバＣの真空中に配置されている。
筺体Ｂは気密構造となっており、シールハウジング１４
との合わせ面には気体の洩れを防止する処誼が施しであ
る。本実施例ではＯリング３４により気体の洩れを防止
している。
本装置の駆動に際しては、真空チャンバＣ外の気体供給
装置２４から管路２５を通して供給された気体は、軸受
７とロータ２との間および軸受８ａ。
８ｂとスラスト受け３．４との間の微小隙間に噴出して
、軸１をラジアル方向およびスラスト方向に支持する。
軸受ハウジング６の排気口２６およびモータカバー１０
の排気口１０ａから筐体Ｂの内部に流出した気体は、管
路２７を通ってチャンバＣの外部の大気中へ排出される
。
一方、スラスト軸受８ａとスラスト受け３との間から気
体排出部１８へ流出した気体は排気孔２１から管路２８
を通ってチャンバの外部の大気中へ排気される。ここで
、排気部１８内の気体はチャンバ内の真空中へ流出しよ
うとするが、隔壁１５とスラスト受３との間の隙間が微
小であるので管路抵抗が大きく、気体吸引用みぞ１９に
流入する流量は極めて僅かである。さらに、チャンバＣ
外の吸引ポンプ３１により吸引排気孔２２と管路２９を
通し、流体吸引用みぞ１９の排気を行なって、この部分
の圧力を減少させている。さらに、隔壁１６による管路
抵抗と、チャンバＣ外の吸引ポンプ３２により吸引孔２
３および管路３０を通して行なう気体吸引用みぞ２０の
排気と、隔壁１７による管路抵抗とによりチャンバＣ内
へ流出する流量を非常に僅かにおさえている。
軸１は、外部の駆動装置３３によりモータ９を駆動させ
て回転させる。ここで、モータ９の固定子１１と回転子
１２は非接触であり、さらに気体シール１３が軸１と非
接触であるために、気体軸受５の高い回転精度が真空中
でも損なわれることがなく、高い精度の回転駆動が行な
われる。
また、筺体Ｂの内部が大気圧となるために、モータ９の
磁気シールドを行なう場合においても、特に真空を考慮
したシールド方法あるいは材料を用いる必要がない。
［実施例の変形例］ 上述実施例では気体軸受５として多孔質気体軸受を用い
たが、他のオリフィス絞りや自戒絞・り等を用いた気体
軸受でも良い。
また、上述実施例ではモータの回転検出装置を省略して
説明したが、モータ９にエンコーダ等の角度検出装置を
取り付けて回転角度の制御を行なうようにすれば高精度
角度割出しテーブルとして用いることができる。また、
タコジェネレータ等の回転速度検出装置を取り付ければ
回転数が制御できる回転駆動装置となる。
さらに、上述実施例では回転駆動装置Ａを気密構造の筐
体Ｂに取り付けているが、気密構造の筐体に取り付けず
に、軸受ハウジング６とシールハウジング１４および軸
受ハウジング６、とモータカバー１０のそれぞれの合わ
せ面の気体洩れ防止を施した後、排気口２６．１０ａか
らチャンバＣ外へ通じる管路を取り付けて用いても良い
。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、高い回転精度と
耐久性の回転駆動装置をその性能を損なわずに真空中で
も用いることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例に係る回転駆動装置を示す
縦断面図である。 に回転軸、 ５：気体軸受、 ９：モータ、 １３：気体シール、 Ａ：回転駆動装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、回転軸を支持する気体軸受と、該回転軸を回転させ
    る駆動手段と、上記気体軸受からの流出気体を非接触で
    シールする手段とを具備することを特徴とする回転駆動
    装置。 ２、前記シール手段が、前記回転軸に近接する複数の隔
    壁と該隔壁間の空間に連結した排気手段とを有するもの
    である特許請求の範囲第１項記載の回転駆動装置。 ３、前記回転軸、気体軸受および駆動手段が真空室に配
    置されており、前記シール手段が該真空室内への前記流
    出気体の漏洩を防止するものである特許請求の範囲第１
    項記載の回転駆動装置。 ４、前記気体軸受の軸受面の端部が、前記真空室外に連
    通している特許請求の範囲第３項記載の回転駆動装置。 ５、前記駆動手段および気体軸受が前記真空室に対して
    気密な筐体内に設置されており、該筺体内部を介して前
    記軸受面の端部が該真空室外に連通している特許請求の
    範囲第４項記載の回転駆動装置。
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