JP6733016B1 - 無電解銅めっき浴 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の無電解銅めっき浴は、還元剤であるヒドラジン化合物と、アミン系錯化剤と、アミノカルボン酸系錯化剤とを含有するめっき浴である。本発明の無電解銅めっき浴は、ナトリウムやカリウムなどのアルカリ金属塩を用いない浴組成での建浴も可能であり、半導体ウエハの製造においても好適に用いることができる。
本発明の無電解銅めっき浴においては、還元剤として、上記従来のホルムアルデヒドの代わりに、ヒドラジン化合物が使用される。このヒドラジン化合物としては、例えば、ヒドラジン一水和物、塩化ヒドラジニウム、硫酸ヒドラジニウム、ジメチルヒドラジン、アセトヒドラジド、及びカルボヒドラジド等が挙げられる。
上述のごとく、本発明の無電解銅めっき浴においては、還元剤として、弱酸性からアルカリ性の条件で用いることができるヒドラジン化合物を用いるため、本発明のめっき浴のpHは5以上であり、5〜10が好ましく、6〜8がより好ましい。pHを5以上とすることにより、被めっき物である基材に対してダメージを与えることなく、めっき処理を施すことができる。
上述のヒドラジン化合物を中性(pH5〜10)において還元剤として用いた場合、錯体化された銅イオンとヒドラジン化合物の酸化還元電位の差、すなわち、めっき反応の駆動力(還元力)が、アルカリ(pH>10)の場合よりも弱まってしまい、めっき反応が進行しにくくなる。
銅表面上にてめっき反応を行う場合、下地としての銅が清浄な状態(すなわち、表面の銅が酸化されていない状態)でなければ反応は進行しない。
本発明の無電解銅めっき浴においては、上述のアミン系錯化剤の代わりに、または併用して、アミン系化合物を使用することができる。
また、本発明においては、安定的なめっき処理を行うとの観点から、カルボン酸系錯化剤を使用することが好ましい。本発明の無電解銅めっき浴に、上述のアミン系錯化剤と、アミノカルボン酸系錯化剤に加え、カルボン酸系錯化剤を加えることにより、浴安定性保持時間が長くなるため、浴安定性を更に向上させることができる(後述の実施例22〜36を参照)。
めっき浴の温度としては、特に限定されないが、20〜90℃が好ましく、30〜80℃がより好ましく、40〜60℃が特に好ましい。めっき浴の温度が20℃未満であると、析出速度が遅くなり、めっき処理時間が長くなるため、好ましくない。また、浴温が90℃を超えると、析出速度が速くなりすぎるため、粗雑な皮膜となり、めっき後の皮膜の熱収縮により基材に反りが発生することがあるため好ましくない。また、ノジュールやザラが発生しやすく、皮膜物性が低下する場合があり、さらに、めっき浴が不安定になるとともに、還元剤の自然消耗が多くなりコストアップにつながる。
本発明のめっき浴は、必要に応じて、無電解銅めっき浴に配合される公知の各種添加剤を更に含有することができる。添加剤としては、例えば、水溶性銅塩、界面活性剤や安定剤等が挙げられる。
上述の無電解銅めっき浴を用いた無電解銅めっき方法としては、公知の方法を用いることができる。より具体的には、例えば、銅または銅合金からなる基材に対して硫酸洗処理を行った後、上述の無電解銅めっき浴を用いて無電解銅めっき処理を行う。なお、無電解銅めっき処理時の温度は、上述の無電解銅めっき浴の浴温に制御して行う。
(めっき浴の調製)
還元剤であるヒドラジン一水和物と、アミン系錯化剤またはアミン化合物と、アミノカルボン酸系錯化剤と、カルボン酸系錯化剤と、銅塩である硫酸銅五水和物と、界面活性剤であるポリエチレングリコールと、含窒素芳香族化合物である2,2‘−ジピリジルとを、表1〜3に示す濃度となるように混合して攪拌することにより、実施例1〜36、比較例1〜7のめっき浴を調製した。なお、めっき浴の温度を50℃、pHを5〜10(中性)に設定した。
表1〜3に示すように、被めっき物である基材として、銅スパッタ処理を施したシリコンウエハ(サイズ:20mm×20mm、厚み:2mm)を用意した。なお、この基材に対して、前処理である酸洗浄を、25℃で1分間行った。
銅スパッタ処理を施したシリコンウエハにおいて、銅の析出によるシリコンウエハの外観の色調変化を目視にて観察し、上述のめっき処理により形成しためっき皮膜の析出性について評価した。より具体的には、めっきされた基材を目視し、未析出の有無(均一な析出か否か)により評価を行った。以上の結果を表1〜3に示す。
建浴後のめっき液浴を目視にて観察し、浴分解に伴う銅の析出の有無を評価した。より具体的には、めっき槽の底における銅の堆積の有無、またはめっき槽に対して、銅皮膜が形成されたか否かを目視により観察した。以上の結果を表1〜3に示す。
Claims (4)
- 還元剤としてヒドラジン化合物を含み、ホルムアルデヒドを含有しないpH5〜10の無電解銅めっき浴であって、
アミン系錯化剤またはアンモニアと、
アミノカルボン酸系錯化剤と
を少なくとも含有し、
前記アミン系錯化剤が、ジアミン化合物、トリアミン化合物、及び芳香族アミン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする無電解銅めっき浴。 - 前記アミノカルボン酸系錯化剤が、エチレンジアミン四酢酸、ニトリロ三酢酸、ジエチレントリアミンペンタ酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、1,3−プロパンジアミン四酢酸、1,3ジアミノー2−ヒドロキシプロパン四酢酸、ヒドロキシエチルイミノニ酢酸、ジヒドロキシエチルグリシン、グリコールエーテルジアミノ四酢酸、ジカルボキシメチルグルタミン酸、エチレンジアミン−N,N'−ジコハク酸、及びNNN'N'−テトラキス−(2−ヒドロキシプロピル)エチレンジアミンからなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載の無電解銅めっき浴。
- カルボン酸系錯化剤を更に含有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の無電解銅めっき浴。
- 前記カルボン酸系錯化剤が、モノカルボン酸、ジカルボン酸、及びオキシカルボン酸からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項3に記載の無電解銅めっき浴。
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