JP6717442B2 - 磁気センサおよび電流センサ - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1に係る磁気センサを示す概略断面図である。図1を参照して、実施の形態1に係る磁気センサ100について説明する。
中点電位Vout2=Vdd×R4/(R3+R4)・・・(式2)
磁気センサ素子1が感磁方向に引張された場合においては、第1磁気抵抗素子E1、第2磁気抵抗素子E2、第3磁気抵抗素子E3および第4磁気抵抗素子E4の各磁気抵抗素子には、図5に示すように、バイアス磁場の方向と平行な方向に応力Bstressが作用する。これにより、磁性体の磁化Mの向きは、バイアス磁場Bbiasと平行な方向からバイアス磁場Bbiasおよび応力Bstressを合成した方向に移動する。この結果、第1磁気抵抗素子E1、第2磁気抵抗素子E2、第3磁気抵抗素子E3および第4磁気抵抗素子E4の各磁気抵抗素子の抵抗も変化することとなる。
図9は、実施の形態2に係る磁気抵抗素子を構成する複数の磁気抵抗素子のパターン、ならびに、磁気センサ素子が引張された場合における各磁気抵抗素子に作用する力および各磁気抵抗素子の磁化方向等を示す概略図である。図9を参照して、実施の形態2に係る磁気センサについて説明する。
図13は、実施の形態3に係る磁気抵抗素子部を構成する複数の磁気抵抗素子のパターン、ならびに、磁気抵抗素子が引張された場合における各磁気抵抗素子に作用する力および各磁気抵抗素子の磁化方向等を示す概略図である。図13を参照して、実施の形態3に係る磁気抵抗素子について説明する。
図17は、比較例に係る磁気抵抗素子部を構成する複数の磁気抵抗素子のパターン、ならびに、磁気センサ素子が引張された場合における各磁気抵抗素子に作用する力および各磁気抵抗素子の磁化方向等を示す概略図である。
図21は、変形例に係る磁気センサ素子が感磁方向に圧縮された場合に作用する力を示す図である。図21を参照して変形例に係る磁気センサについて説明する。
実施の形態1から3および変形例においては、第1磁気抵抗素子E1から第4磁気抵抗素子E4が直線状の形状を有する場合を例示して説明したが、これに限定されず、長い短冊状パターンと、短い短冊状パターンとを交互に直交させて接続することで形成されるミアンダ形状を有していてもよい。
(電流センサ)
図22は、実施の形態4に係る電流センサの斜視図である。図23は、実施の形態4に係る電流センサの平面図である。図24は、実施の形態4に係る電流センサの正面図である。
Claims (7)
- 基板と、
所定の感磁方向を有するように前記基板上に設けられ、前記感磁方向と直交する方向にバイアス磁場が印加される磁気抵抗素子部と、を備え、
前記磁気抵抗素子部は、負の磁歪定数を有する磁性膜を含み、
前記基板に対して前記感磁方向と平行な方向に引張応力を作用させた場合に、前記バイアス磁場の方向と平行な方向に前記磁性膜の応力誘起異方性が発現する、磁気センサ。 - 基板と、
所定の感磁方向を有するように前記基板上に設けられ、前記感磁方向と直交する方向にバイアス磁場が印加される磁気抵抗素子部と、を備え、
前記磁気抵抗素子部は、正の磁歪定数を有する磁性膜を含み、
前記基板に対して前記感磁方向と平行な方向に圧縮応力を作用させた場合に、前記バイアス磁場の方向と平行な方向に前記磁性膜の応力誘起異方性が発現する、磁気センサ。 - 前記基板は、長手方向を有する長手形状を有し、
前記感磁方向は、前記長手方向と平行である、請求項1または2に記載の磁気センサ。 - 前記磁気抵抗素子部は、第1磁気抵抗素子、第2磁気抵抗素子、第3磁気抵抗素子、および第4磁気抵抗素子を含み、
前記第1磁気抵抗素子、前記第2磁気抵抗素子、前記第3磁気抵抗素子、および前記第4磁気抵抗素子は、前記バイアス磁場の方向と平行な方向に沿って、前記第3磁気抵抗素子、前記第4磁気抵抗素子、前記第2磁気抵抗素子および前記第1磁気抵抗素子の順に列状に並んで配置されるとともに、直列に電気的に接続され、
前記第1磁気抵抗素子および前記第2磁気抵抗素子間を接続する接続部から前記第1磁気抵抗素子と前記第2磁気抵抗素子との中点電位を検出し、
前記第3磁気抵抗素子および前記第4磁気抵抗素子間を接続する接続部から前記第3磁気抵抗素子と前記第4磁気抵抗素子との中点電位を検出する、請求項1から3のいずれか1項に記載の磁気センサ。 - 前記磁気抵抗素子部は、行列状に配置された第1磁気抵抗素子、第2磁気抵抗素子、第3磁気抵抗素子、および第4磁気抵抗素子を含み、
前記第1磁気抵抗素子、前記第2磁気抵抗素子、前記第3磁気抵抗素子、および前記第4磁気抵抗素子によってフルブリッジ回路が構成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の磁気センサ。 - 前記第1磁気抵抗素子および前記第2磁気抵抗素子は、前記バイアス磁場の方向と平行な方向に沿って列状に並んで配置されるとともに、第1ハーフブリッジ回路を構成し、
前記第3磁気抵抗素子および前記第4磁気抵抗素子は、前記バイアス磁場の方向と平行な方向に沿って列状に並んで配置されるとともに、第2ハーフブリッジ回路を構成し、
前記第1ハーフブリッジ回路および前記第2ハーフブリッジ回路によって前記フルブリッジ回路が構成され、
前記第1磁気抵抗素子および前記第2磁気抵抗素子間を接続する接続部から前記第1磁気抵抗素子と前記第2磁気抵抗素子との中点電位を検出し、
前記第3磁気抵抗素子および前記第4磁気抵抗素子間を接続する接続部から前記第3磁気抵抗素子と前記第4磁気抵抗素子との中点電位を検出する、請求項5に記載の磁気センサ。 - 測定対象の電流が流れるバスバーと、
請求項1から6のいずれか1項に記載の磁気センサと、を備える電流センサ。
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