JP6522485B2 - 磁気センサの製造方法 - Google Patents
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Description
前記長尺パターンおよび前記エンハンス用長尺パターンは、いずれも第1平面上に位置されている。前記第1平面に平行な第2平面上に位置するフィードバックコイルをさらに備えていてもよい。
上記の磁気センサの製造方法は、前記長尺パターンを与える第1積層体と、前記エンハンス用長尺パターンを与える第2積層体とを、互いに接するように前記第1平面上に形成し、前記第1積層体と前記第2積層体との接触部を除去して前記第1積層体と前記第2積層体とを離間し、前記第1積層体から前記長尺パターンを形成し、前記第2積層体から前記エンハンス用長尺パターンを形成することを特徴とする。かかる製造方法によれば、長尺パターンとエンハンス用長尺パターンとを同一工程で製造することができ、生産性に優れる。
上記の製造方法において、前記第1積層体と前記第2積層体とを互いに接するように前記第1平面上に形成することは、前記第1平面上に前記第1積層体のパターンを形成し、前記第1平面上の前記第1積層体のパターンが形成されていない領域に前記第2積層体を形成することにより行われてもよい。また、前記第1平面上に前記第1積層体のパターンを形成することは、前記第1平面上形成された前記第1積層体上にレジスト層を形成し、前記レジスト層をマスクとして前記第1積層体を部分的に除去することにより行われてもよい。このような製造方法を採用することで、第1積層体と第2積層体とを適切にかつ効率的に製造することが可能である。
図1に示される磁界検出ブリッジ回路を備える磁気センサを基板上に製造した。磁界検出ブリッジ回路が有する4つの磁気検出部は、いずれも長尺パターンを複数備えるミアンダ形状を有し、このミアンダ形状を構成する長尺パターンに並ぶようにエンハンス用長尺パターンが設けられていた。4つの磁気検出部は、図5から図14に示される製造方法により製造された。この際、レジストパターンを変化させることにより、磁気センサにおける長尺パターンの幅を0.7μmから3.0μmの範囲で変化させた複数種類の磁界検出ブリッジ回路を作製した。これらの作製された磁界検出ブリッジ回路が備える磁気センサは、いずれも、エンハンス用長尺パターンの幅が2.0μmであり、長尺パターンとエンハンス用長尺パターンとの間隔が1.0μmであった。
エンハンス用長尺パターンを形成しなかったこと以外は実施例1と同様にして、長尺パターンの幅が異なる磁気検出部を有する磁界検出ブリッジ回路を備える複数種類の磁気センサを作製した。
10C・・・磁界検出ブリッジ回路
GMR1・・・第1の磁気検出部
GMR2・・・第2の磁気検出部
Vdd・・・電源端子
Out1・・・直列に接続された第1の磁気検出部GMR1と第2の磁気検出部GMR2との間に設けられた出力
Out2・・・直列に接続された第2の磁気検出部GMR2と第1の磁気検出部GMR1との間に設けられた出力
Gnd・・・磁界検出ブリッジ回路のグラウンド
Gnd1・・・第1の磁気検出部GMR1と第2の磁気検出部GMR2との直列接続における第2の磁気検出部GMR2側端部に設けられたグランド
Gnd2・・・第2の磁気検出部GMR1と第1の磁気検出部GMR2との直列接続における第1の磁気検出部GMR1側端部に設けられたグランド
Amp・・・増幅器
1・・・長尺パターン
2・・・折り返し部
2A・・・電極
3・・・エンハンス用長尺パターン
19,21・・・シード層
11・・・強磁性固定層
11a・・・第1の強磁性膜
11b・・・反平行結合膜
11c・・・第2の強磁性膜
12・・・非磁性中間層
13・・・軟磁性自由層(フリー磁性層)
14・・・反強磁性層
15,23・・・保護層
S・・・基板
SA・・・基板の面
22・・・磁性体層
Gap1・・・下地層
GA・・・下地層の面
30・・・フィードバックコイル
40・・・層間絶縁膜
40A・・・層間絶縁膜の基板Sに対向する側とは反対側の面
Claims (7)
- 幅方向を感度軸方向とする感磁体からなる複数の長尺パターンと、前記複数の長尺パターンを長手方向に電気的に直列に接続する複数の折り返し部とを備え、前記複数の長尺パターンは、前記長尺パターンの感度軸方向に互いに離間して配置されるミアンダ形状を有する磁気測定素子と、
前記複数の長尺パターンの少なくとも一つについて平面視で前記感度軸方向に沿うように並置され、前記複数の長尺パターンに対して電気的に独立した磁性体層を有するエンハンス用長尺パターンと、
を備える磁気センサの製造方法であって、
前記長尺パターンおよび前記エンハンス用長尺パターンは、いずれも第1平面上に位置し、
前記長尺パターンを与える第1積層体と、前記エンハンス用長尺パターンを与える第2積層体とを、互いに接するように前記第1平面上に形成し、
前記第1積層体と前記第2積層体との接触部を除去して前記第1積層体と前記第2積層体とを離間し、前記第1積層体から前記長尺パターンを形成し、前記第2積層体から前記エンハンス用長尺パターンを形成すること
を特徴とする磁気センサの製造方法。 - 前記第1平面に平行な第2平面上に位置するフィードバックコイルをさらに備える、請求項1に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記第1積層体と前記第2積層体とを互いに接するように前記第1平面上に形成することは、前記第1平面上に前記第1積層体のパターンを形成し、前記第1平面上の前記第1積層体のパターンが形成されていない領域に前記第2積層体を形成することにより行われる、請求項1または請求項2に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記第1平面上に前記第1積層体のパターンを形成することは、前記第1平面上形成された前記第1積層体上にレジスト層を形成し、前記レジスト層をマスクとして前記第1積層体を部分的に除去することにより行われる、請求項3に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記エンハンス用長尺パターンは、前記長尺パターンの感磁体の感磁部に前記磁性体層が対向するように配置される、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記エンハンス用長尺パターンを複数備え、
前記複数のエンハンス用長尺パターンは、前記複数の長尺パターンのそれぞれについて前記感度軸方向に沿った両方向に並ぶように配置される、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の磁気センサの製造方法。 - 前記磁気測定素子は、前記感磁体が、強磁性固定層と非磁性中間層と軟磁性自由層とを備える積層構造を有する磁気抵抗効果素子からなる、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の磁気センサの製造方法。
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