JP6707132B2 - 感光性組成物、転写フィルム、硬化膜、並びに、タッチパネル及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 151
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims description 89
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 55
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 32
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 99
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 91
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 75
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 73
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 57
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 52
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 48
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical class C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 35
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 29
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 claims description 20
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- CCGKOQOJPYTBIH-UHFFFAOYSA-N ketene group Chemical group C=C=O CCGKOQOJPYTBIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 11
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 7
- IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 1-vinylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C=C)=CC=CC2=C1 IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XIRPMPKSZHNMST-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2-phenylbenzene Chemical group C=CC1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 XIRPMPKSZHNMST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UVHXEHGUEKARKZ-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylanthracene Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(C=C)=CC=CC3=CC2=C1 UVHXEHGUEKARKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- KXYAVSFOJVUIHT-UHFFFAOYSA-N 2-vinylnaphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC(C=C)=CC=C21 KXYAVSFOJVUIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000013518 transcription Methods 0.000 claims 1
- 230000035897 transcription Effects 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 306
- 239000010408 film Substances 0.000 description 253
- -1 methacryloyl group Chemical group 0.000 description 63
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 52
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 29
- 238000011161 development Methods 0.000 description 28
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 28
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 description 23
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 22
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 21
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 21
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 20
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000002585 base Substances 0.000 description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 19
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 15
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 15
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 13
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 11
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 11
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 10
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 10
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 10
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 10
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 9
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 9
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 9
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 9
- 239000002981 blocking agent Substances 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 8
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 7
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 7
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 7
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 6
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 6
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 5
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 5
- ZQMHJBXHRFJKOT-UHFFFAOYSA-N methyl 2-[(1-methoxy-2-methyl-1-oxopropan-2-yl)diazenyl]-2-methylpropanoate Chemical compound COC(=O)C(C)(C)N=NC(C)(C)C(=O)OC ZQMHJBXHRFJKOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 5
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 5
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 5
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 5
- 229920002818 (Hydroxyethyl)methacrylate Polymers 0.000 description 4
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N epsilon-caprolactam Chemical compound O=C1CCCCCN1 JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 4
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 4
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- HWCKGOZZJDHMNC-UHFFFAOYSA-M tetraethylammonium bromide Chemical compound [Br-].CC[N+](CC)(CC)CC HWCKGOZZJDHMNC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000007877 V-601 Substances 0.000 description 3
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 3
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 3
- 150000001244 carboxylic acid anhydrides Chemical class 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 3
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 3
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 3
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 3
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 3
- QVEIBLDXZNGPHR-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,4-dione;diazide Chemical group [N-]=[N+]=[N-].[N-]=[N+]=[N-].C1=CC=C2C(=O)C=CC(=O)C2=C1 QVEIBLDXZNGPHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 3
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000003536 tetrazoles Chemical group 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- QYGBYAQGBVHMDD-XQRVVYSFSA-N (z)-2-cyano-3-thiophen-2-ylprop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C(\C#N)=C/C1=CC=CS1 QYGBYAQGBVHMDD-XQRVVYSFSA-N 0.000 description 2
- RTTZISZSHSCFRH-UHFFFAOYSA-N 1,3-bis(isocyanatomethyl)benzene Chemical compound O=C=NCC1=CC=CC(CN=C=O)=C1 RTTZISZSHSCFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HTQNYBBTZSBWKL-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-trihydroxbenzophenone Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 HTQNYBBTZSBWKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PUBNJSZGANKUGX-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=C(C)C=C1 PUBNJSZGANKUGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PCKZAVNWRLEHIP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-[4-[[4-(2-hydroxy-2-methylpropanoyl)phenyl]methyl]phenyl]-2-methylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(C(=O)C(C)(O)C)=CC=C1CC1=CC=C(C(=O)C(C)(C)O)C=C1 PCKZAVNWRLEHIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IEVADDDOVGMCSI-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxybutyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCC(O)COC(=O)C(C)=C IEVADDDOVGMCSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl methacrylate Chemical compound CC(O)COC(=O)C(C)=C VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 2h-tetrazol-5-amine Chemical compound NC1=NN=NN1 ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WXYSZTISEJBRHW-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[4-[1,1-bis(4-hydroxyphenyl)ethyl]phenyl]propan-2-yl]phenol Chemical compound C=1C=C(C(C)(C=2C=CC(O)=CC=2)C=2C=CC(O)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 WXYSZTISEJBRHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYIUODUDSPAJQ-UHFFFAOYSA-N 7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-ylmethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1C(COC(=O)C(=C)C)CCC2OC21 FYYIUODUDSPAJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical group OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 235000005811 Viola adunca Nutrition 0.000 description 2
- 240000009038 Viola odorata Species 0.000 description 2
- 235000013487 Viola odorata Nutrition 0.000 description 2
- 235000002254 Viola papilionacea Nutrition 0.000 description 2
- SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N [(e)-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethylideneamino] acetate Chemical compound C=1C=C2N(CC)C3=CC=C(C(\C)=N\OC(C)=O)C=C3C2=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1C SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N 0.000 description 2
- VEBCLRKUSAGCDF-UHFFFAOYSA-N ac1mi23b Chemical compound C1C2C3C(COC(=O)C=C)CCC3C1C(COC(=O)C=C)C2 VEBCLRKUSAGCDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 2
- 125000002843 carboxylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- VEZUQRBDRNJBJY-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone oxime Chemical compound ON=C1CCCCC1 VEZUQRBDRNJBJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 2
- 238000000113 differential scanning calorimetry Methods 0.000 description 2
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 2
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 2
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 2
- WHIVNJATOVLWBW-UHFFFAOYSA-N n-butan-2-ylidenehydroxylamine Chemical compound CCC(C)=NO WHIVNJATOVLWBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 2
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 2
- ODLMAHJVESYWTB-UHFFFAOYSA-N propylbenzene Chemical compound CCCC1=CC=CC=C1 ODLMAHJVESYWTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003217 pyrazoles Chemical class 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 2
- JRMUNVKIHCOMHV-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium bromide Chemical compound [Br-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC JRMUNVKIHCOMHV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000003852 triazoles Chemical group 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical compound O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGUHFDPGDQDVGX-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-thiadiazole Chemical group C1=CSN=N1 UGUHFDPGDQDVGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ALVZNPYWJMLXKV-UHFFFAOYSA-N 1,9-Nonanediol Chemical compound OCCCCCCCCCO ALVZNPYWJMLXKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGGLDBIZIQMEGH-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-4-ethenylbenzene Chemical compound BrC1=CC=C(C=C)C=C1 WGGLDBIZIQMEGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UAJRSHJHFRVGMG-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-4-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC=C(C=C)C=C1 UAJRSHJHFRVGMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 1
- LTMRRSWNXVJMBA-UHFFFAOYSA-L 2,2-diethylpropanedioate Chemical compound CCC(CC)(C([O-])=O)C([O-])=O LTMRRSWNXVJMBA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- PUGOMSLRUSTQGV-UHFFFAOYSA-N 2,3-di(prop-2-enoyloxy)propyl prop-2-enoate Chemical class C=CC(=O)OCC(OC(=O)C=C)COC(=O)C=C PUGOMSLRUSTQGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BEWCNXNIQCLWHP-UHFFFAOYSA-N 2-(tert-butylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCNC(C)(C)C BEWCNXNIQCLWHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)C WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 2-[2,2-bis(hydroxymethyl)butoxymethyl]-2-ethylpropane-1,3-diol Chemical compound CCC(CO)(CO)COCC(CC)(CO)CO WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KIZQNNOULOCVDM-UHFFFAOYSA-M 2-hydroxyethyl(trimethyl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)CCO KIZQNNOULOCVDM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MWDGNKGKLOBESZ-UHFFFAOYSA-N 2-oxooctanal Chemical compound CCCCCCC(=O)C=O MWDGNKGKLOBESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLLXMBCBJGATSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethenol Chemical group OC=CC1=CC=CC=C1 XLLXMBCBJGATSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethyl-1h-pyrazole Chemical compound CC=1C=C(C)NN=1 SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFQCJVVJRNPSET-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethyl-4-nitro-1h-pyrazole Chemical compound CC1=NNC(C)=C1[N+]([O-])=O OFQCJVVJRNPSET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RISOHYOEPYWKOB-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-3,5-dimethyl-1h-pyrazole Chemical compound CC1=NNC(C)=C1Br RISOHYOEPYWKOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCCOC(=O)C=C NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 4H-1,2,4-triazole Chemical compound C=1N=CNN=1 NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKVUYEYANWFIJX-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1h-pyrazole Chemical compound CC1=CC=NN1 XKVUYEYANWFIJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGDIJTMOHORACQ-UHFFFAOYSA-N 9-prop-2-enoyloxynonyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCCCCOC(=O)C=C PGDIJTMOHORACQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000301850 Cupressus sempervirens Species 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 description 1
- 102000006835 Lamins Human genes 0.000 description 1
- 108010047294 Lamins Proteins 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical group C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000066057 Unithema Species 0.000 description 1
- WYGWHHGCAGTUCH-ISLYRVAYSA-N V-65 Substances CC(C)CC(C)(C#N)\N=N\C(C)(C#N)CC(C)C WYGWHHGCAGTUCH-ISLYRVAYSA-N 0.000 description 1
- XRMBQHTWUBGQDN-UHFFFAOYSA-N [2-[2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)butoxymethyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)butyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(CC)COCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C XRMBQHTWUBGQDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZENGILVLUJGJX-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde oxime Chemical compound CC=NO FZENGILVLUJGJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUVYSBJZBYRDHP-UHFFFAOYSA-N acetic acid;methoxymethane Chemical compound COC.CC(O)=O TUVYSBJZBYRDHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXAJQJMDEXJWFB-UHFFFAOYSA-N acetone oxime Chemical compound CC(C)=NO PXAJQJMDEXJWFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 125000005577 anthracene group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001110 calcium chloride Substances 0.000 description 1
- 229910001628 calcium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000012295 chemical reaction liquid Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N choline Chemical compound C[N+](C)(C)CCO OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001231 choline Drugs 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000010227 cup method (microbiological evaluation) Methods 0.000 description 1
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000010511 deprotection reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- NFKGQHYUYGYHIS-UHFFFAOYSA-N dibutyl propanedioate Chemical compound CCCCOC(=O)CC(=O)OCCCC NFKGQHYUYGYHIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- BEPAFCGSDWSTEL-UHFFFAOYSA-N dimethyl malonate Chemical compound COC(=O)CC(=O)OC BEPAFCGSDWSTEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 239000005400 gorilla glass Substances 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N hexamethylphosphoric triamide Chemical compound CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N hexane Substances CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000005053 lamin Anatomy 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000011254 layer-forming composition Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- GXHFUVWIGNLZSC-UHFFFAOYSA-N meldrum's acid Chemical group CC1(C)OC(=O)CC(=O)O1 GXHFUVWIGNLZSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229940043265 methyl isobutyl ketone Drugs 0.000 description 1
- 125000000325 methylidene group Chemical group [H]C([H])=* 0.000 description 1
- SQDFHQJTAWCFIB-UHFFFAOYSA-N n-methylidenehydroxylamine Chemical compound ON=C SQDFHQJTAWCFIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWAHZAIDMVNENC-UHFFFAOYSA-N octahydro-1h-4,7-methanoinden-5-yl methacrylate Chemical compound C12CCCC2C2CC(OC(=O)C(=C)C)C1C2 NWAHZAIDMVNENC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTLDLKLSNZMTTA-UHFFFAOYSA-N octahydro-1h-4,7-methanoindene-1,5-diyldimethanol Chemical compound C1C2C3C(CO)CCC3C1C(CO)C2 OTLDLKLSNZMTTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 1
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940086066 potassium hydrogencarbonate Drugs 0.000 description 1
- 235000011118 potassium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000017550 sodium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid group Chemical group S(O)(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 210000004243 sweat Anatomy 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004154 testing of material Methods 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPSKDVINWQNWFE-UHFFFAOYSA-M tetrapropylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCC[N+](CCC)(CCC)CCC LPSKDVINWQNWFE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- JJJPTTANZGDADF-UHFFFAOYSA-N thiadiazole-4-thiol Chemical compound SC1=CSN=N1 JJJPTTANZGDADF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 238000004383 yellowing Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
例えば、青紫色レーザ露光システムを使用したときに高感度であり、長期保存時の現像性の劣化及びロール端面からの感光層のしみ出しがなく、保護フィルム及び支持体の離型性に優れ、基板へのラミネーション時の基板表面凹凸への埋め込み性に優れ、現像後に優れた絶縁性、耐熱性、耐薬品性、耐湿性、表面硬度、などを有する硬化膜が得られる感光性フィルムとして、支持体と、この支持体上に感光層とを少なくとも有してなり、この感光層が特定の成分を含む感光性組成物からなり、青紫色レーザ(波長=405±5nm)に1〜 100mJ/cm2の感度を有し、30℃における溶融粘度が1×105〜1×107Pa・sであり、80℃における溶融粘度が1×102〜1×103Pa・sである感光性フィルムが知られている(例えば、特開2007−256669号公報参照)。
また、耐熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性、及び電気特性に優れた高性能な硬化膜を得ることができ、プリント配線板、高密度多層板及び半導体パッケージ等の製造に好適に用いられる感光性ソルダーレジスト組成物として、カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基及びビニル基を有する化合物とを反応して得られるエラストマーと、重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、着色剤と、熱硬化促進剤と、を含有する感光性ソルダーレジスト組成物が知られている(例えば、特開2007−002030号公報参照)。この特開2007−002030号公報には、支持体と、上記感光性ソルダーレジスト組成物からなる感光層と、を有する感光性フィルムも開示されている。
また、高感度及び高解像度であり、感度の経時安定性、膜硬化性、及び耐熱衝撃性が良好で、高精細な永久パターンを効率よく形成可能な感光性樹脂組成物として、(A)バインダー、(B)重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含み、(A)バインダーが、特定のモノマーの共重合体におけるカルボキシル基の一部に特定のエポキシ化合物を付加させて得られる共重合体変性樹脂を含有し、(C)光重合開始剤がオキシム誘導体を含有する感光性樹脂組成物が知られている(例えば、特開2008−250074号公報参照)。この特開2008−250074号公報には、支持体と、上記感光性樹脂組成物からなる感光層と、を有する感光性フィルムも開示されている。
この点に関し、特開2007−256669号公報、特開2007−002030号公報、及び特開2008−250074号公報に記載の感光性組成物を硬化させた硬化膜では、WVTRを低減できない場合がある。
<1> ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位、ラジカル重合性基を有する構造単位、並びに、1級水酸基及びアミノ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する構造単位を含む重合体(P)であって、ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位の量が、重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して30mol%以上である重合体(P)と、
ラジカル重合開始剤と、
を含有する感光性組成物。
<2> 重合体(P)において、ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位の量が、重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して40mol%以上である<1>に記載の感光性組成物。
<3> 重合体(P)において、ラジカル重合性基を有する構造単位の量が、重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して10mol%以上である<1>又は<2>に記載の感光性組成物。
<4> 重合体(P)において、1級水酸基及びアミノ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する構造単位の量が、重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して10mol%以上である<1>〜<3>のいずれか1つに記載の感光性組成物。
<5> 重合体(P)が、更に、酸基を有する構造単位を含む<1>〜<4>のいずれか1つに記載の感光性組成物。
<6> 更に、2官能以上のラジカル重合性モノマーを含有する<1>〜<5>のいずれか1つに記載の感光性組成物。
<7> 更に、一分子中に2つ以上の熱反応性基を有する化合物を含有する<1>〜<6>のいずれか1つに記載の感光性組成物。
<8> 熱反応性基が、イソシアネート基、ケテン基、ブロック化イソシアネート基、及びブロック化ケテン基からなる群から選ばれる少なくとも1種である<7>に記載の感光性組成物。
<9> タッチパネル用保護膜の形成に用いられる<1>〜<8>のいずれか1つに記載の感光性組成物。
<1>〜<9>のいずれか1つに記載の感光性組成物の固形分を含有する感光性層と、
を備える転写フィルム。
<11> タッチパネル用保護膜の形成に用いられる<10>に記載の転写フィルム。
<12> <1>〜<9>のいずれか1つに記載の感光性組成物の固形分の硬化物である硬化膜。
<13> <12>に記載の硬化膜を備えるタッチパネル。
タッチパネル用基板のタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された側の面の上に、<9>に記載の感光性組成物又は<11>に記載の転写フィルムを用いて感光性層を形成することと、
タッチパネル用基板上に形成された感光性層をパターン露光することと、
パターン露光された感光性層を現像することにより、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方の少なくとも一部を保護するタッチパネル用保護膜を得ることと、
を含むタッチパネルの製造方法。
本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する上記複数の物質の合計量を意味する。
本明細書において、「工程」との語は、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸及びメタクリル酸の両方を包含する概念であり、「(メタ)アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートの両方を包含する概念であり、「(メタ)アクリロイル基」は、アクリロイル基及びメタクリロイル基の両方を包含する概念である。
本明細書において、「光」は、γ線、β線、電子線、紫外線、可視光線、赤外線といった活性エネルギー線を包含する概念である。
本明細書において、「透明」とは、波長400nm〜800nmにおける最低透過率が80%以上(好ましくは90%以上、より好ましくは95%以上)であることを意味する。
本明細書において、重合体における構造単位の比は、特に断りが無い限り、モル比を表す。
本実施形態の感光性組成物は、ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位(以下、「ビニルベンゼン誘導体単位」ともいう)、ラジカル重合性基を有する構造単位(以下、「ラジカル重合性基含有単位」ともいう)、並びに、1級水酸基及びアミノ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する構造単位(以下、「1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位」ともいう)を含む重合体(P)であって、ビニルベンゼン誘導体単位の量が、重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して30mol%以上である重合体(P)と、ラジカル重合開始剤と、を含有する。
なお、言うまでもないが、カルボキシル基(即ち、−C(=O)OH基)の構造中に含まれる水酸基は、1級水酸基には該当しない。
1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位に含まれ得るアミノ基は、第1級炭素原子に直接結合するアミノ基であることが好ましい。
かかる効果が奏される理由は明らかではないが、ビニルベンゼン誘導体単位による硬化膜の疎水化と、ラジカル重合性基含有単位並びに1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位による硬化膜の緻密化と、が相まって、硬化膜のWVTRが低減されるため、と推測される。
本実施形態の感光性組成物において、重合体(P)中の1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位を、1級水酸基もアミノ基も有さず2級水酸基(即ち第2級炭素原子に直接結合する水酸基)を有する構造単位に変更した場合には、硬化膜のWVTRが上昇する(例えば、後述の比較例5〜7における重合体R5〜R7参照)。
WVTRの低減が求められる硬化膜の一例として、タッチパネル用保護膜が挙げられる。
以下、タッチパネル及びタッチパネル用保護膜について説明する。
かかる電子機器では、画像表示領域に表示された指示画像を参照しながら、タッチパネルの上記指示画像に対応する箇所に、指又はタッチペンなどで触れることにより、情報の入力を行う。
タッチパネルでは、湿気(即ち水蒸気)により、電極等が腐食する場合がある。更に、タッチパネル用保護膜の厚さは、例えば、一般的なプリント配線基板用の保護膜の厚さと比較して薄い場合がある。従って、タッチパネル用保護膜には、電極等の腐食を抑制するために、WVTRの低減が求められる場合がある。
従って、本実施形態の感光性組成物は、電極等(即ち、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方)を備えるタッチパネルの電極等を保護するタッチパネル用保護膜を、感光性組成物の硬化膜として形成する用途に特に好適である。
本実施形態の感光性組成物は、ビニルベンゼン誘導体単位、ラジカル重合性基含有単位、並びに、1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位を含む重合体(P)を含有する。
ビニルベンゼン誘導体単位、ラジカル重合性基含有単位、並びに、1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位のうちの少なくとも2つは、同じ構造単位であってもよい。本実施形態による効果がより発現しやすくなる観点から、ビニルベンゼン誘導体単位、ラジカル重合性基含有単位、並びに、1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位は、それぞれ、別個の構造単位であることが好ましい。
重合体(P)は、上述した各単位以外のその他の構造単位を含んでいてもよい。
重合体(P)は、ビニルベンゼン誘導体単位(即ち、ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位)を少なくとも1種含む。
ビニルベンゼン誘導体単位としては、下記式(1)で表される単位(以下、「単位(1)」ともいう)が好ましい。
式(1)中、R1は、置換基を表す。nが2以上である場合には、2つのR1が互いに結合して縮環構造を形成していてもよい。nが2以上の場合、R1は同一でも異なってもよい。
R1の好ましい態様の一つであるアルキル基の炭素数としては、1〜20が好ましく、1〜12がより好ましく、1〜6がより好ましく、1〜3が更に好ましく、1又は2が更に好ましく、1が特に好ましい。
R1の好ましい態様の一つであるアリール基の炭素数としては、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましく、6〜10が更に好ましく、6が特に好ましい。
R1の好ましい態様の一つであるアルコキシ基の炭素数としては、1〜20が好ましく、1〜12がより好ましく、1〜6がより好ましく、1〜3が更に好ましく、1又は2が更に好ましく、1が特に好ましい。
式(1)において、nが2である場合において2つのR1が互いに結合することにより形成され得る縮環構造としては、ナフタレン環構造又はアントラセン環構造が好ましい。
重合体(P)は、ラジカル重合性基含有単位(即ち、ラジカル重合性基を有する構造単位)を少なくとも1種含む。
ラジカル重合性基としては、エチレン性二重結合を有する基(以下、「エチレン性不飽和基」ともいう)が好ましく、(メタ)アクリロイル基がより好ましい。
アルキレン基又はアリーレン基は、それぞれ、置換基(例えば、1級水酸基以外の水酸基、ハロゲン原子、等)によって置換されていてもよい。
Lで表される2価の連結基は、分岐構造を有していてもよい。
また、(L−5)において、n及びmは、それぞれ独立に、1〜6の整数を表す。
エポキシ基含有モノマーとしては、総炭素数が5〜24であるエポキシ基含有(メタ)アクリレートが好ましく、総炭素数が5〜12であるエポキシ基含有(メタ)アクリレートがより好ましく、グリシジル(メタ)アクリレート又は3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートが特に好ましい。
水酸基含有モノマー単位を形成するための水酸基含有モノマーとしては、総炭素数が4〜24であるヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートが好ましく、総炭素数が4〜12であるヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートがより好ましく、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートが特に好ましい。
同様に、本明細書中において、モノマー名の直後に「単位」の語を付した用語(例えば「水酸基含有モノマー単位」)は、そのモノマー(例えば水酸基含有モノマー)に由来する構造単位を意味する。
(メタ)アクリル酸単位に対してグリシジル(メタ)アクリレートが付加された構造単位、
(メタ)アクリル酸単位に対して(メタ)アクリル酸が付加された構造単位、
(メタ)アクリル酸単位に対して3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートが付加された構造単位、
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート単位に対して2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレートが付加された構造単位、
ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート単位に対して2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレートが付加された構造単位、
ヒドロキシスチレン単位に対して2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレートが付加された構造単位、
等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸単位に対して(メタ)アクリル酸グリシジルが付加された構造単位又は(メタ)アクリル酸単位に対して(メタ)アクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチルが付加された構造単位が更に好ましく、
メタクリル酸単位に対してメタクリル酸グリシジルが付加された構造単位又はメタクリル酸単位に対してメタクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチルが付加された構造単位が特に好ましい。
重合体(P)は、1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位(即ち、1級水酸基及びアミノ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する構造単位)を少なくとも1種含む。
1級水酸基及び/又はアミノ基含有単位としては、下記式(3)で表される単位(以下、「単位(3)」ともいう)が好ましい。
感度向上の観点から、Yは、1級水酸基であることが好ましい。
*−NRa1Ra2 … (a)
式(a)中、*は、結合位置を表し、Ra1及びRa2は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又はアリール基を表す。
Ra1及びRa2におけるアルキル基の炭素数としては、それぞれ独立に、1〜20が好ましく、1〜12がより好ましく、1〜6が特に好ましい。
Ra1及びRa2におけるアリール基の炭素数としては、それぞれ独立に、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましく、6〜10が更に好ましく、6が特に好ましい。
アルキレン基又はアリーレン基は、それぞれ、置換基(例えば、1級水酸基以外の水酸基、ハロゲン原子、等)によって置換されていてもよい。
Xで表される2価の連結基は、分岐構造を有していてもよい。
なお、Yが1級水酸基である場合、X中、Yとの結合部分は、1級水酸基の定義からみて当然に、アルキレン基である。
Xで表される2価の連結基としては、以下の基が特に好ましい。
中でも、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、又は2−(t−ブチルアミノ)エチル(メタ)アクリレートが好ましく、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、又は2−(t−ブチルアミノ)エチルメタクリレートが特に好ましい。
重合体(P)は、酸基を有する構造単位(以下、「酸基含有単位」ともいう)を少なくとも1種含むことが好ましい。
重合体(P)が酸基含有単位を含む場合には、本実施形態の感光性組成物はアルカリ可溶性を有する。これにより、本実施形態の感光性組成物の固形分を含む膜(例えば、後述の感光性層)を露光し、現像して硬化膜を形成する際の現像性が向上する。
また、重合体(P)が酸基含有単位を少なくとも1種含む場合には、硬化膜の塩水湿熱耐性も向上する。ここで、塩水湿熱耐性とは、汗などの塩分を含む液体に曝された場合における湿熱耐性を意味する(以下、同様である)。
R5としては、水素原子又は炭素数1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基、又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基が特に好ましい。
酸価としては、特開2004−149806号公報の段落0063又は特開2012−211228号公報の段落0070等に記載の計算方法により算出した理論酸価の値を用いることができる。
重合体(P)は、上述した構造単位以外のその他の構造単位を含んでいてもよい。
その他の構造単位は、ラジカル重合性基、酸基、1級水酸基、及びアミノ基のいずれも有しないアルキル(メタ)アクリレート単位が挙げられる。
その他の構造単位としてのアルキル(メタ)アクリレート単位の総炭素数は、好ましくは4〜24であり、より好ましくは4〜20である。
アルキル(メタ)アクリレート単位は、環状構造及び分岐構造からなる群から選ばれる少なくとも1種の構造を有していてもよい。
−条件−
・GPC:HLC(登録商標)−8020GPC(東ソー(株)製)
・カラム:TSKgel(登録商標)、Super MultiporeHZ−H(東ソー(株)製、4.6mmID×15cm)を3本
・溶離液:THF(テトラヒドロフラン)
・試料濃度:0.45質量%
・流速:0.35ml/min
・サンプル注入量:10μl
・測定温度:40℃
・検出器:示差屈折計(RI)
重合体(P)の含有量は、感光性組成物の固形分量に対し、10質量%〜95質量%であることが好ましく、10質量%〜60質量%であることがより好ましく、20質量%〜50質量%であることが特に好ましい。
本実施形態の感光性組成物において、含有されるポリマーの総含有量に対する重合体(P)の含有量は、60質量%〜100質量%が好ましく、80質量%〜100質量%がより好ましく、90質量%〜100質量%が特に好ましい。
本実施形態の感光性組成物は、ラジカル重合開始剤を少なくとも1種含有する。
ラジカル重合開始剤としては特に制限はなく、公知のラジカル重合開始剤を用いることができる。
ラジカル重合開始剤としては、
オキシムエステル構造を有するラジカル重合開始剤(以下、「オキシム系重合開始剤」ともいう)、
α−アミノアルキルフェノン構造を有するラジカル重合開始剤(以下、「α−アミノアルキルフェノン系重合開始剤」ともいう)、
α−ヒドロキシアルキルフェノン構造を有するラジカル重合開始剤(以下、「α−ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤」ともいう)、
アシルフォスフィンオキサイド構造を有するラジカル重合開始剤(以下、「アシルフォスフィンオキサイド系重合開始剤」ともいう)、
等が挙げられる。
ラジカル重合開始剤の含有量は、感光性組成物の固形分量に対し、0.1質量%以上が好ましく、0.5質量%以上がより好ましく、1.0質量%以上が更に好ましい。
また、ラジカル重合開始剤の含有量は、感光性組成物の固形分量に対し、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましい。
本実施形態の感光性組成物は、硬化膜の強度をより向上させる観点から、ラジカル重合性モノマーを少なくとも1種含有することが好ましい。
ラジカル重合性モノマーは、2官能以上のラジカル重合性モノマーを含むことが好ましい。
ラジカル重合性基としては、エチレン性不飽和基(即ち、エチレン性二重結合を有する基)が好ましく、(メタ)アクリロイル基がより好ましい。
ラジカル重合性モノマーとしては、(メタ)アクリレートが好ましい。
2官能のラジカル重合性モノマーとしては、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメナノールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、等が挙げられる。
2官能のラジカル重合性モノマーとしては、より具体的には、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(A−DCP 新中村化学工業(株)製)、トリシクロデカンジメナノールジメタクリレート(DCP 新中村化学工業(株)製)、1,9−ノナンジオールジアクリレート(A−NOD−N 新中村化学工業(株)製)、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート(A−HD−N 新中村化学工業(株)製)等が挙げられる。
3官能以上のラジカル重合性モノマーとしては、例えば、ジペンタエリスリトール(トリ/テトラ/ペンタ/ヘキサ)(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール(トリ/テトラ)(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート骨格の(メタ)アクリレート化合物、等が挙げられる。
(メタ)アクリレート化合物のカプロラクトン変性化合物(日本化薬(株)製KAYARAD(登録商標) DPCA-20、新中村化学工業(株)製A−9300−1CL等)、(メタ)アクリレート化合物のアルキレンオキサイド変性化合物(日本化薬(株)製KAYARAD RP−1040、新中村化学工業(株)製ATM−35E、A−9300、ダイセル・オルネクス製 EBECRYL(登録商標) 135等)、
エトキシル化グリセリントリアクリレート(新中村化学工業(株)製A−GLY−9E等)、等も挙げられる。
3官能以上のウレタン(メタ)アクリレートとしては、例えば、8UX−015A(大成ファインケミカル(株)製)、UA−32P(新中村化学工業(株)製)、UA−1100H(新中村化学工業(株)製)、等が挙げられる。
酸基としては、例えば、リン酸基、スルホン酸基、及びカルボキシル基が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。
酸基を有するラジカル重合性モノマーとしては、例えば、
酸基を有する3〜4官能のラジカル重合性モノマー(ペンタエリスリトールトリ及びテトラアクリレート[PETA]骨格にカルボン酸基を導入したもの(酸価=80〜120mgKOH/g))、
酸基を有する5〜6官能のラジカル重合性モノマー(ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート[DPHA]骨格にカルボン酸基を導入したもの(酸価=25〜70mgKOH/g))、等が挙げられる。
これら酸基を有する3官能以上のラジカル重合性モノマーは、必要に応じ、酸基を有する2官能のラジカル重合性モノマーと併用してもよい。
カルボキシル基を含有する2官能以上のラジカル重合性モノマーは特に制限されず、公知の化合物の中から適宜選択できる。
カルボキシル基を含有する2官能以上のラジカル重合性モノマーとしては、例えば、アロニックス(登録商標)TO−2349(東亞合成(株)製)、アロニックスM−520(東亞合成(株)製)、又はアロニックスM−510(東亞合成(株)製)を好ましく用いることができる。
本実施形態の感光性組成物がラジカル重合性モノマーを含有する場合、感光性組成物に含有されるすべてのラジカル重合性モノマーのうち、分子量が最小のものの分子量は、250以上が好ましく、280以上がより好ましく、300以上がさらに好ましい。
本実施形態の感光性組成物がラジカル重合性モノマーを含有する場合、感光性組成物に含有されるすべてのラジカル重合性モノマーのうち、分子量300以下のラジカル重合性モノマーの含有量の割合は、感光性組成物に含有されるすべての重合性化合物に対して、30質量%以下が好ましく、25質量%以下がより好ましく、20質量%以下がさらに好ましい。
また、この場合、3官能以上のラジカル重合性モノマーの含有量は、感光性組成物に含まれる全てのラジカル重合性モノマーに対し、10質量%〜90質量%が好ましく、15質量%〜80質量%がより好ましく、20質量%〜70質量%がさらに好ましい。
また、この場合、2官能以上のラジカル重合性モノマーの含有量は、2官能のラジカル重合性モノマーと3官能以上のラジカル重合性モノマーとの総含有量に対し、50質量%以上100質量%未満であることが好ましく、60質量%〜95質量%であることがより好ましく、70質量%〜95質量%であることが特に好ましい。
但し、本実施形態の感光性組成物が2官能以上のラジカル重合性モノマーを含有する場合、感光性組成物に含有されるラジカル重合性モノマーにおいて、2官能以上のラジカル重合性モノマーが主成分であることが好ましい。
具体的には、本実施形態の感光性組成物が2官能以上のラジカル重合性モノマーを含有する場合において、2官能以上のラジカル重合性モノマーの含有量は、感光性組成物に含有されるラジカル重合性モノマーの総含有量に対し、60質量%〜100質量%が好ましく、80質量%〜100質量%がより好ましく、90質量%〜100質量%が特に好ましい。
本実施形態の感光性組成物は、硬化膜のWVTRをより低減させる観点から、一分子中に2つ以上の熱反応性基を有する化合物を含有することが好ましい。
一分子中に2つ以上の熱反応性基を有する化合物は、熱により反応して架橋構造を形成する。以下、一分子中に2つ以上の熱反応性基を有する化合物を、「熱架橋性化合物」ともいう。
本実施形態の感光性組成物が熱架橋性化合物を含有する場合には、上記感光性組成物は、感光性(即ち、光硬化性)だけでなく、更に、熱硬化性をも有する。
本実施形態の感光性組成物が光硬化性及び熱硬化性の両方を有する場合には、光硬化により強度に優れた硬化膜を形成でき、硬化膜形成後の熱硬化により、硬化膜の強度を更に向上させ、かつ、硬化膜のWVTRをより低減させることができる。
即ち、熱架橋性化合物は、イソシアネート基、ケテン基、ブロック化イソシアネート基、及びブロック化ケテン基からなる群から選ばれる少なくとも1種である熱反応性基を、一分子中に合計で2つ以上有することが特に好ましい。一分子中の熱反応性基の数の上限には特に制限は無いが、一分子中の熱反応性基の数は、例えば30以下とすることができ、10以下がより好ましい。
熱架橋性化合物が一分子中に親水性基を有することにより、現像性が向上する。
一分子中に親水性基を有する熱架橋性化合物としては特に制限されず、公知の化合物を用いることができる。
一分子中に親水性基を有する熱架橋性化合物の合成方法も特に制限されない。
一分子中に親水性基を有する熱架橋性化合物における親水性基として、ノニオン型親水性基又はカチオン型親水性基が好ましい。
ノニオン型親水性基は特に限定されず、例えば、メタノール、エタノール、ブタノール、エチレングリコール、及びジエチレングリコールのうちいずれかのアルコールの水酸基に、エチレンオキサイド又はプロピレンオキサイドを付加した構造の基が挙げられる。
熱により酸と反応する化合物である熱架橋性化合物は、加熱により、系内に存在する酸基(例えば、重合体(P)が酸基含有単位を含む場合における重合体(P)中の酸基)と反応する。これにより、系内の極性が減少するため親水性が低下する。
熱により酸と反応する化合物である熱架橋性化合物としては、熱反応性基として、ブロック剤により一時的に不活性化されている基(例えば、ブロック化イソシアネート基、ブロック化ケテン基、等)を有し、かつ、所定の解離温度においてブロック剤由来の基が解離することにより酸と反応可能となる化合物であることが好ましい。
熱により酸と反応する化合物である熱架橋性化合物は、25℃における酸との反応性よりも、25℃を超えて加熱した後における酸との反応性の方が高い化合物であることが好ましい。
この態様であると、電極(金属又は金属化合物)を保護する保護膜を感光性組成物によって形成する場合において、熱架橋性化合物による電極の錆びが抑制される。
ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物(即ち、イソシアネート基を有する化合物)のイソシアネート基をブロック剤で保護(マスク)した構造を有する化合物が好ましい。
ここで、ブロックイソシアネート化合物の解離温度とは、「示差走査熱量計(セイコーインスツルメンツ(株)製、DSC6200)により、DSC(Differential Scanning Calorimetry)分析にて測定した場合に、ブロックイソシアネートの脱保護反応に伴う吸熱ピークの温度」のことをいう。
中でも、保存安定性の観点から、オキシム系化合物及びピラゾール系化合物が好ましく、オキシム系化合物がより好ましい。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物は、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート化して合成される。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物のうち、ブロック剤としてオキシム系化合物を用いたオキシム構造を有する化合物は、オキシム構造を有さない化合物と比較して、解離温度を好ましい範囲に制御しやすく、かつ、現像残渣を少なくしやすいため、好ましい。
ブロックイソシアネート化合物の具体例として、以下の化合物が挙げられる。ただし、ブロックイソシアネートは以下の化合物に限定されない。なお、以下の化合物の構造中、「*」は、結合位置を示す。
ブロックイソシアネート化合物の市販品としては、例えば、イソホロンジイソシアネートのメチルエチルケトンオキシムブロック化体であるタケネート(登録商標)B870N(三井化学(株)製)、及びヘキサメチレンジイソシアネート系ブロックイソシアネート化合物であるデュラネート(登録商標)MF−K60B、TPA−B80E、X3071.04(いずれも旭化成ケミカルズ(株)製)が挙げられる。
ブロックケテン化合物としては、ケテン化合物(即ち、ケテン基を有する化合物)のケテン基をブロック剤で保護した構造を有する化合物、光又は熱によりケテン基が発生する化合物、等が挙げられる。
ブロックケテン化合物を形成するためのブロック剤の具体例は、前述した、ブロックイゾシアネート化合物を形成するためのブロック剤の具体例と同様である。
ブロックケテン化合物として、より具体的には、ナフトキノンジアジド構造を有する化合物、メルドラム酸構造を有する化合物、等が挙げられる。
ブロックケテン化合物の市販品としては、例えば、4−{4−[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エチル]−α,α−ジメチルベンジル}フェノールのナフトキノンジアジドスルホン酸エステルである東洋合成(株)のTAS−200が挙げられる。また、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノンのナフトキノンジアジドスルホン酸エステルも購入可能である。
本実施形態の感光性組成物は、塗布による感光性層の形成の観点から、溶媒を少なくとも1種含有してもよい。
溶媒としては、有機溶媒が好ましい。
有機溶媒としては、例えば、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(別名:1−メトキシ−2−プロピルアセテート)、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム、n−プロパノール、2−プロパノールなどを挙げることができる。本実施形態の感光性組成物は、これらの化合物の混合物である混合溶媒を含有してもよい。
溶媒としては、メチルエチルケトンとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶媒、又はジエチレングリコールエチルメチルエーテルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶媒が好ましい。
粘度は、例えば、VISCOMETER TV−22(TOKI SANGYO CO.LTD製)を用いて測定する。
本実施形態の感光性組成物が溶媒を含有する場合、感光性組成物の表面張力(25℃)は、塗布性の観点から、5mN/m〜100mN/mが好ましく、10mN/m〜80mN/mがより好ましく、15mN/m〜40mN/mが特に好ましい。
表面張力は、例えば、Automatic Surface Tensiometer CBVP-Z(協和界面科学(株)製)を用いて測定する。
また、溶媒として、必要に応じて沸点が180℃〜250℃である有機溶媒(高沸点溶媒)を使用することもできる。
本実施形態の感光性組成物は、上述した成分以外のその他の成分を含有していてもよい。
その他の成分としては、例えば、後述の金属酸化抑制剤、特許第4502784号の段落0017及び特開2009−237362号公報の段落0060〜0071に記載の界面活性剤、公知のフッ素系界面活性剤、特許第4502784号の段落0018に記載の熱重合防止剤、及び特開2000−310706号公報の段落0058〜0071に記載のその他の添加剤が挙げられる。
本実施形態の感光性組成物は、その他の成分として、フッ素系界面活性剤であるメガファックF−551(DIC(株)製)を含有することが好ましい。
金属酸化物粒子の金属には、B、Si、Ge、As、Sb、Te等の半金属も含まれる。硬化膜の透明性の観点から、粒子(例えば金属酸化物粒子)の平均一次粒子径は、1〜200nmが好ましく、3〜80nmがより好ましい。平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子200個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。
粒子の含有量は、感光性組成物の固形分量に対して、0質量%〜35質量%が好ましく、0質量%〜10質量%がより好ましく、0質量%〜5質量%が更に好ましく、0質量%〜1質量%が更に好ましく、0質量%(即ち、感光性組成物に粒子が含まれないこと)が特に好ましい。
具体的には、本実施形態の感光性組成物における着色剤の含有量は、感光性組成物の固形分量に対し、1質量%未満が好ましく、0.1質量%未満がより好ましい。
本実施形態の転写フィルムは、仮支持体と、本実施形態の感光性組成物の固形分を含有する感光性層と、を備える。
本実施形態の転写フィルムは、基材上への硬化膜の形成に好適である。本実施形態の転写フィルムを用いて基材上に硬化膜の形成する場合には、例えば、硬化膜を形成しようとする基材に対し、本実施形態の転写フィルムの感光性層を転写し、上記基材上に転写された感光性層に対し、露光及び現像等の処理を施すことにより、基材上に硬化膜を形成する。
本実施形態の転写フィルムによれば、本実施形態の感光性組成物による効果と同様の効果、即ち、WVTRが低減された硬化膜を形成できるという効果が奏される。
従って、本実施形態の転写フィルムは、硬化膜として、タッチパネル用保護膜を形成する用途に特に好適である。
即ち、本実施形態の感光性組成物が溶媒を含有する場合には、転写フィルムにおける感光性層は、少なくとも、上記感光性組成物の溶媒以外の成分(即ち、固形分)を含有する。この場合、感光性層は、更に、溶媒を含有してもよい。感光性層が溶媒を含有する場合としては、例えば、溶媒を含有する感光性組成物を塗布し、乾燥させて感光性層を形成する場合において、乾燥後においても感光性層中に溶媒が残存した場合が挙げられる。
また、本実施形態の感光性組成物が溶媒を含有しない場合には、転写フィルムにおける感光性層は、上記感光性組成物の全成分を含有する。
この態様は、透明電極パターン(例えば、ITO(Indium Tin Oxide)からなる透明電極パターン)を備えるタッチパネル用基板に対し、転写フィルムの感光性層及び高屈折率層を転写することによりタッチパネル用保護膜を形成した場合において、透明電極パターンがより視認されにくくなる(即ち、透明電極パターンの隠蔽性がより向上する)。
高屈折率層は、波長550nmにおける屈折率が1.50以上である層であればよく、その他には特に制限はない。
透明電極パターンが視認される現象、及び、透明電極パターンの隠蔽性については、特開2014−10814号公報及び特開2014−108541号公報を適宜参照できる。
図1に示されるように、転写フィルム10は、保護フィルム16/高屈折率層20A/感光性層18A/仮支持体12の積層構造(即ち、仮支持体12と、感光性層18Aと、高屈折率層20Aと、保護フィルム16と、がこの順に配置された積層構造)を有する。
但し、本実施形態の転写フィルムは、転写フィルム10であることには限定されず、例えば、高屈折率層20A及び保護フィルム16は省略されていてもよい。また、仮支持体12と感光性層18Aとの間に、後述する熱可塑性樹脂層及び中間層の少なくとも一方を備えていてもよい。
高屈折率層20Aは、感光性層18Aからみて仮支持体12が存在する側とは反対側に配置された層であり、波長550nmにおける屈折率が1.50以上である層である。
転写フィルム10は、ネガ型材料(ネガ型フィルム)である。
転写フィルム10の製造方法は、例えば、仮支持体12上に感光性層18Aを形成する工程と、感光性層18A上に高屈折率層20Aを形成する工程と、高屈折率層20A上に保護フィルム16を形成する工程と、をこの順に含む。
転写フィルム10の製造方法は、高屈折率層20Aを形成する工程と保護フィルム16を形成する工程との間に、WO2016/009980号公報の段落0056に記載されている、アンモニアを揮発させる工程を含んでもよい。
本実施形態の転写フィルムは、仮支持体(例えば仮支持体12)を備える。
仮支持体は、フィルムであることが好ましく、樹脂フィルムであることがより好ましい。
仮支持体としては、可撓性を有し、かつ、加圧下、又は、加圧及び加熱下において、著しい変形、収縮又は伸びを生じないフィルムを用いることができる。
このようなフィルムとして、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリイミドフィルム、及びポリカーボネートフィルムが挙げられる。
中でも、2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
本実施形態の転写フィルムは、本実施形態の感光性組成物の固形分を含有する感光性層(例えば感光性層18A)を備える。
感光性層は、感光性(即ち、光硬化性)を有するが、更に、熱硬化性を有していてもよい。感光性層に熱硬化性を付与する手段としては、例えば、本実施形態の感光性組成物に、上述した熱架橋性化合物を含有させる手段が挙げられる。感光性層が光硬化性及び熱硬化性の両方を有する場合には、硬化膜の強度をより向上させ、かつ、硬化膜のWVTRをより低減させることができる。
感光性層は、更に、アルカリ可溶性(例えば、弱アルカリ水溶液に対する溶解性)を有することが好ましい。感光性層にアルカリ可溶性を付与する手段としては、例えば、重合体(P)に上述した酸基含有単位を含ませる手段が挙げられる。
また、感光性層は、透明層であることが好ましい。感光性層を透明層とする手段としては、本実施形態の感光性組成物中における着色剤の含有量を、1質量%未満とする手段が挙げられる。
感光性層の膜厚を上記範囲とすることで、透過率が低下しにくくなる。
感光性層の膜厚を上記範囲とすることで、感光性層が波長10nm〜100nmの電波(短波)を吸収しにくくなり、感光性層の黄着色化が抑制される。
感光性層の屈折率を制御する方法は、特に制限されない。
感光性層の屈折率を制御する方法としては、例えば、所望の屈折率を有する重合体(P)を選択する方法、金属酸化物粒子又は金属粒子を添加することにより制御する方法、金属塩と重合体(P)との複合体を用いて制御する方法、等が挙げられる。
感光性層はタッチパネルの画像表示部分に適用することが好ましく、その場合、感光性層は高透明性及び高透過性を有することが好ましい。
感光性層の形成方法の一例として、仮支持体上に、溶媒を含有する態様の本実施形態の感光性組成物を塗布し、必要に応じ乾燥させることにより形成する方法が挙げられる。
塗布の方法としては、公知の方法を用いることができ、例えば、印刷法、スプレー法、ロールコート法、バーコート法、カーテンコート法、スピンコート法、ダイコート法(即ち、スリットコート法)等が挙げられ、ダイコート法が好ましい。
乾燥の方法としては、自然乾燥、加熱乾燥、減圧乾燥等の公知の方法を、単独で、又は複数組み合わせて適用することができる。
本実施形態の転写フィルムは、更に、感光性層からみて仮支持体とは反対側に、波長550nmにおける屈折率が1.50以上である高屈折率層(例えば高屈折率層20A)を備えることが好ましい。
高屈折率層は、図1に示されるように、感光性層に隣接して配置されることが好ましい。
高屈折率層は、波長550nmにおける屈折率が1.50以上である層であること以外は特に制限はない。
高屈折率層の上記屈折率は、1.55以上が好ましく、1.60以上がより好ましい。
高屈折率層の屈折率の上限は特に制限されないが、2.10以下が好ましく、1.85以下がより好ましく、1.78以下が更に好ましく、1.74以下が特に好ましい。
転写後の光硬化により、強度に優れた硬化膜を形成する観点からは、高屈折率層は光硬化性を有することが好ましい。
また、熱硬化により、硬化膜の強度をより向上させることができ、かつ、硬化膜のWVTRをより低減させることができる観点から、高屈折率層は熱硬化性を有することが好ましい。
高屈折率層は熱硬化性及び光硬化性を有することが好ましい。
高屈折率層は、アルカリ可溶性(例えば、弱アルカリ水溶液に対する溶解性)を有することが好ましい。
また、高屈折率層は、透明層であることが好ましい。
また、高屈折率層の膜厚は、20nm以上が好ましく、55nm以上がより好ましく、60nm以上が更に好ましく、70nm以上が特に好ましい。
高屈折率層の膜厚は、55nm〜100nmが更に好ましく、60nm〜100nmが更に好ましく、70nm〜100nmが特に好ましい。
高屈折率層は、転写後において、透明電極パターン(好ましくはITOパターン)と感光性層との間に挟まれることにより、透明電極パターン及び感光性層とともに積層体(例えば図2中のタッチパネル30)を形成する場合がある。この場合、透明電極パターンと高屈折率層との屈折率差、及び、高屈折率層と感光性層との屈折率差を小さくすることにより、光反射がより低減される。これにより、透明電極パターンの隠蔽性がより向上する。
例えば、透明電極パターン、高屈折率層、及び感光性層をこの順に積層した場合において、透明電極パターン側からみた時に、この透明電極パターンが視認されにくくなる。
透明電極パターンの屈折率が、例えばIn及びSnの酸化物(ITO)を用いて形成した場合のように1.8〜2.0の範囲である場合は、高屈折率層の屈折率は、1.60以上が好ましい。この場合の高屈折率層の屈折率の上限は特に制限されないが、2.1以下が好ましく、1.85以下がより好ましく、1.78以下が更に好ましく、1.74以下が特に好ましい。
透明電極パターンの屈折率が、例えばIn及びZnの酸化物(IZO;Indium Zinc Oxide)を用いて形成した場合のように2.0を超える場合は、高屈折率層の屈折率は、1.70以上1.85以下が好ましい。
この態様であると、高屈折率層の屈折率を1.50以上(より好ましくは1.55以上、特に好ましくは1.60以上)に調整し易い。
屈折率が1.50以上である無機粒子、屈折率が1.50以上である樹脂、及び、屈折率が1.50以上である重合性モノマーの各々の好ましい態様については後述する。
高屈折率層の成分については、特開2014−108541号公報の段落0019〜0040及び0144〜0150に記載されている硬化性透明樹脂層の成分、特開2014−10814号公報の段落0024〜0035及び0110〜0112に記載されている透明層の成分、国際公開第2016/009980号の段落0034〜段落0056に記載されているアンモニウム塩を有する組成物の成分、等を参照することができる。
高屈折率層が金属酸化抑制剤を含有する場合には、高屈折率層を基材(即ち、転写対象物)上に転写する際に、高屈折率層と直接接する部材(例えば、基材上に形成された導電性部材)を表面処理することができる。この表面処理は、高屈折率層と直接接する部材に対し金属酸化抑制機能(保護性)を付与する。
「窒素原子を含む芳香環」としては、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環、チアゾール環、チアジアゾール環、又は、これらのいずれか1つと他の芳香環との縮合環が好ましく、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環又はこれらのいずれか1つと他の芳香環との縮合環であることがより好ましい。
縮合環を形成する「他の芳香環」は、単素環でも複素環でもよいが、単素環が好ましく、ベンゼン環又はナフタレン環がより好ましく、ベンゼン環がさらに好ましい。
金属酸化抑制剤としては市販品を用いてもよく、市販品としては、例えばベンゾトリアゾールを含む城北化学工業(株)製BT120を好ましく用いることができる。
高屈折率層に含有され得るその他の成分としては、本実施形態の感光性組成物に含有され得るその他の成分と同様のものが挙げられる。
高屈折率層は、その他の成分として、界面活性剤を含有することが好ましい。
高屈折率層の形成方法の一例として、仮支持体上に形成された上述の感光性層上に、水系溶媒を含有する態様の高屈折率層形成用組成物を塗布し、必要に応じ乾燥させることにより形成する方法が挙げられる。
塗布及び乾燥の方法の具体例は、それぞれ、感光性層を形成する際の塗布及び乾燥の具体例と同様である。
高屈折率層形成用組成物は、例えば、バインダーポリマー、重合性モノマー、粒子、及び水系溶媒を含有する。
また、高屈折率層形成用組成物としては、国際公開第2016/009980号の段落0034〜段落0056に記載されている、アンモニウム塩を有する組成物も好ましい。
本実施形態の転写フィルムは、更に、感光性層からみて仮支持体とは反対側に、保護フィルム(例えば、図1中の保護フィルム16)を備えていてもよい。
本実施形態の転写フィルムが高屈折率層を備える場合には、保護フィルムは、好ましくは、高屈折率層からみて仮支持体とは反対側(即ち、感光性層とは反対側)に配置される(例えば、図1参照)。
保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、及びポリカーボネートフィルムが挙げられる。
保護フィルムとしては、例えば、特開2006−259138号公報の段落0083〜0087及び0093に記載のものを用いてもよい。
本実施形態の転写フィルムは、更に、仮支持体(例えば図1中の仮支持体12)と感光性層(例えば図1中の感光性層18A)との間に、熱可塑性樹脂層(不図示)を備えていてもよい。
転写フィルムが熱可塑性樹脂層を備える場合には、転写フィルムを基材に転写して積層体を形成した場合に、積層体の各要素に気泡が発生しにくくなる。この積層体を画像表示装置に用いた場合には、画像ムラなどが発生し難くなり、優れた表示特性が得られる。
熱可塑性樹脂層は、アルカリ可溶性を有することが好ましい。
熱可塑性樹脂層は、転写時において、基材表面の凹凸を吸収するクッション材として機能する。
基材表面の凹凸には、既に形成されている、画像、電極、配線なども含まれる。熱可塑性樹脂層は、凹凸に応じて変形し得る性質を有していることが好ましい。
熱可塑性樹脂層の厚さが3μm以上であると、基材表面の凹凸に対する追従性が向上するので、基材表面の凹凸をより効果的に吸収できる。
熱可塑性樹脂層の厚さが30μm以下であると、プロセス適性がより向上する。例えば、仮支持体に熱可塑性樹脂層を塗布形成する際の乾燥(溶媒除去)の負荷がより軽減され、また、転写後の熱可塑性樹脂層の現像時間が短縮される。
塗布及び乾燥の方法の具体例は、それぞれ、感光性層を形成する際の塗布及び乾燥の具体例と同様である。
溶媒としては、熱可塑性樹脂層を形成する高分子成分を溶解するものであれば特に制限されず、有機溶媒(例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、n−プロパノール、及び2−プロパノール)が挙げられる。
本実施形態の転写フィルムは、更に、仮支持体(例えば図1中の仮支持体12)と感光性層(例えば図1中の感光性層18A)との間に、中間層(不図示)を備えていてもよい。
本実施形態の転写フィルムが熱可塑性樹脂層を備える場合、中間層は、好ましくは、熱可塑性樹脂層と感光性層との間に配置される。
中間層の成分としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、セルロース、又は、これらのうちの少なくとも2種を含む混合物である樹脂が挙げられる。
また、中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載されているものを用いることもできる。
上記の場合、例えば、まず、仮支持体上に熱可塑性樹脂層形成用組成物を塗布し、乾燥させて熱可塑性樹脂層を形成する。次いで、この熱可塑性樹脂層上に中間層形成用組成物を塗布し、乾燥させて中間層を形成する。その後、中間層上に、有機溶媒を含有する態様の本実施形態の感光性組成物を塗布し、乾燥させて感光性層を形成する。この場合の有機溶媒は、中間層を溶解しない有機溶媒であることが好ましい。
本実施形態の硬化膜は、本実施形態の感光性組成物の固形分の硬化物である。
即ち、本実施形態の硬化膜は、WVTRが低減された硬化膜である。
本実施形態の硬化膜は、本実施形態の感光性組成物の固形分の硬化物である限りにおいて特に限定はないが、タッチパネル用保護膜であることが好ましい。
本実施形態の硬化膜が、タッチパネル用保護膜である場合には、基材として、例えば、基板(例えばガラス基板又は樹脂基板)上にタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された構造を有するタッチパネル用基板が用いられる。
一般的には、膜の厚さが薄い程、膜のWVTRが高くなる傾向がある。
しかし、本実施形態の硬化膜は、厚さが薄い場合(例えば、厚さが10μm以下)であっても、WVTRが十分に低減される。従って、本実施形態の硬化膜は、タッチパネル用保護膜に好適である。
また、本実施形態の硬化膜の厚さが2μm以上であると、硬化膜の製造適性に特に優れる。
製法Aは、
基材上に、本実施形態の感光性組成物又は本実施形態の転写フィルムを用いて感光性層を形成する工程(以下、「感光性層形成工程」ともいう)と、
基材上に形成された感光性層をパターン露光する工程(以下、「露光工程」ともいう)と、
パターン露光された感光性層を現像することにより、感光性組成物の固形分の硬化物である硬化膜を形成する工程(以下、「現像工程」ともいう)と、
を含む。
製法Aにおける感光性層形成工程は、基材上に、本実施形態の感光性組成物又は本実施形態の転写フィルムを用いて感光性層を形成する。
また、基材は、透明な基板であることが好ましく、透明な樹脂基板であることがより好ましい。透明の意味については、前述のとおりである。
基材の屈折率は、1.50〜1.52が好ましい。
ガラス基板としては、例えば、コーニング社のゴリラガラス(登録商標)などの強化ガラスを用いることができる。
樹脂基板としては、光学的に歪みがないもの及び透明度が高いものの少なくとも一方を用いることが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネート(PC)、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリイミド(PI)、ポリベンゾオキサゾール(PBO)、シクロオレフィンポリマー(COP)等の樹脂からなる基板が挙げられる。
透明な基板の材質としては、特開2010−86684号公報、特開2010−152809号公報、及び特開2010−257492号公報に記載されている材質が好ましく用いられる。
また、感光性層形成工程における基材としては、基板(例えばガラス基板又は樹脂基板)上にタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された構造を有するタッチパネル用基板を用いることもできる。
本実施形態の転写フィルムを用いる方法では、本実施形態の転写フィルムを基材にラミネートし、本実施形態の転写フィルムの感光性層を基材上に転写することにより、基材上に感光性層を形成する。
ラミネート(感光性層の転写)は、真空ラミネーター、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターを用いて行うことができる。
保護フィルム/感光性層/中間層/熱可塑性樹脂層/仮支持体の積層構造を有する転写フィルムを用いる場合には、まず、転写フィルムから保護フィルムを剥離して感光性層を露出させ、次いで、露出した感光性層と基材とが接するようにして、転写フィルムと基材とを貼り合わせ、加熱及び加圧を施す。これにより、転写フィルムの感光性層が、基材上に転写され、仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性層/基材の積層体が形成される。その後、必要に応じ、積層体から、少なくとも仮支持体を剥離する。
この方法の好適な例として、溶媒を含有する態様の本実施形態の感光性組成物を基材上に塗布し、乾燥させることにより、基材上に感光性層を形成する。
塗布及び乾燥の方法の具体例は、それぞれ、仮支持体上に感光性層を形成する際の塗布及び乾燥の具体例と同様である。乾燥後であって露光前の感光性層に対し、必要に応じ、熱処理(いわゆるプリベーク)を施してもよい。
製法Aにおける露光工程は、基材上に形成された感光性層をパターン露光する工程である。
ここで、パターン露光とは、パターン状に露光することを意味する。
パターン露光は、マスクを介した露光でもよいし、レーザー等を用いたデジタル露光でもよい。
また、露光工程では、パターン露光後であって現像前に、感光性層に対し熱処理(いわゆるPEB(Post Exposure Bake))を施してもよい。
製法Aにおける現像工程は、パターン露光された感光性層を現像することにより、感光性組成物の固形分の硬化物である硬化膜を得る工程である。
現像液としては、アルカリ性水溶液を用いることが好ましい。
アルカリ性水溶液に含有され得るアルカリ性化合物としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、コリン(2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド)、等が挙げられる。
アルカリ性水溶液の25℃におけるpHとしては、8〜13が好ましく、9〜12がより好ましく、10〜12が特に好ましい。
アルカリ性水溶液中におけるアルカリ性化合物の含有量は、アルカリ性水溶液全量に対し、0.1質量%〜5質量%が好ましく、0.1質量%〜3質量%がより好ましい。
有機溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、及びN−メチルピロリドンを挙げることができる。有機溶媒の濃度は、0.1質量%〜30質量%が好ましい。
現像液は、公知の界面活性剤を含んでもよい。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。
現像液の液温度は20℃〜40℃が好ましい。
シャワー現像を行う場合、パターン露光後の感光性層に現像液をシャワー状に吹き付けることにより、未硬化部分を除去する。感光性層と熱可塑性樹脂層及び中間層の少なくとも一方とを備える転写フィルムを用いた場合には、これらの層の基材上への転写後であって感光性層の現像の前に、感光性層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワー状に吹き付け、熱可塑性樹脂層及び中間層の少なくとも一方(両方存在する場合には両方)を予め除去することが好ましい。
また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付けつつブラシなどで擦ることにより、現像残渣を除去することが好ましい。
現像液の液温度は20℃〜40℃が好ましい。
基材が樹脂基板である場合には、ポストベークの温度は、100℃〜160℃が好ましく、140℃〜150℃がより好ましい。
また、感光性層がカルボキシル基含有アクリル樹脂を含む場合には、ポストベークにより、カルボキシル基含有アクリル樹脂の少なくとも一部をカルボン酸無水物に変化させることができる。これにより、塩水湿熱耐性に優れた硬化膜が得られる。
現像工程がポスト露光する段階及びポストベークする段階を含む場合、好ましくは、ポスト露光、ポストベークの順序で実施する。
本実施形態のタッチパネルは、本実施形態の硬化膜(即ち、本実施形態の感光性組成物の固形分の硬化物である硬化膜)を備える。
本実施形態のタッチパネルの好ましい態様は、基板上にタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方(以下、「電極等」ともいう)が配置された構造を有するタッチパネル用基板と、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方の少なくとも一部を保護するタッチパネル用保護膜と、を備え、タッチパネル用保護膜が本実施形態の硬化膜である態様である。
本実施形態のタッチパネルは、WVTRが低減された本実施形態の硬化膜(例えばタッチパネル用保護膜)を備えるので、水蒸気による電極等の腐食が抑制される。
第1高屈折率層の好ましい態様は、転写フィルムに備えられ得る高屈折率層の好ましい態様と同様である。第1高屈折率層は、第1高屈折率層形成用組成物の塗布及び乾燥によって形成されてもよいし、高屈折率層を備える転写フィルムの高屈折率層を転写することによって形成されてもよい。
第1高屈折率層を備える態様のタッチパネルは、好ましくは、高屈折率層を備える態様の本実施形態の転写フィルムを用い、転写フィルムにおける感光性層及び高屈折率層を転写することによって形成する。この場合、転写フィルムにおける感光性層からタッチパネル用保護膜が形成され、転写フィルムにおける高屈折率層から第1高屈折率層が形成される。
第2高屈折率層の好ましい態様は、転写フィルムに備えられ得る高屈折率層の好ましい態様と同様である。
本実施形態のタッチパネルの好ましい製造方法は、
基板上にタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された構造を有するタッチパネル用基板を準備する工程と、
タッチパネル用基板のタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された側の面の上に、本実施形態の感光性組成物又は本実施形態の転写フィルムを用いて感光性層を形成する工程と、
タッチパネル用基板上に形成された感光性層をパターン露光する工程と、
パターン露光された感光性層を現像することにより、感光性組成物の固形分の硬化物であり、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方の少なくとも一部を保護するタッチパネル用保護膜を得る工程と、
を含む。
本実施形態のタッチパネルの製造方法は、必要に応じ、その他の工程を含んでいてもよい。
タッチパネル用基板を準備する工程は、予め製造されていたタッチパネル用基板を単に準備する工程であってもよいし、タッチパネル用基板を製造する工程であってもよい。
タッチパネル用基板における基板としては、上述したガラス基板又は樹脂基板を用いることができる。
タッチパネル用基板におけるタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方は、基板上に配置された他の層(例えば上述の第2高屈折率層)上に形成されていてもよい。
タッチパネル用基板における、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方は、例えば、通常のフォトエッチング(即ち、フォトリソグラフィー及びエッチング)の手法によって形成できる。
本実施形態のタッチパネルの製造方法は、上述した工程以外のその他の工程(例えば、洗浄工程など)を含んでいてもよい。その他の工程としては、通常のフォトリソ工程に設けられることがある工程(例えば、洗浄工程など)を特に制限無く適用できる。
図2は、本実施形態のタッチパネルの第1具体例であるタッチパネル30の概略断面図である。
図2に示されるように、タッチパネル30は、基板32と、第2高屈折率層36と、タッチパネル用電極としての電極パターン34と、第1高屈折率層20と、タッチパネル用保護膜としての保護膜18と、がこの順序で配置された構造を有する。
保護膜18は、図1に示した転写フィルム10の感光性層18Aが転写され次いで硬化されることによって形成された層であり、第1高屈折率層20は、図1に示した転写フィルム10の高屈折率層20Aが転写され次いで硬化されることによって形成された層である。
タッチパネル30では、保護膜18及び第1高屈折率層20が、電極パターン34の全体を覆っている。しかし本実施形態のタッチパネルはこの態様には限定されない。保護膜18及び第1高屈折率層20は、電極パターン34の少なくとも一部を覆っていればよい。
第2高屈折率層36及び第1高屈折率層20は、第1領域40及び第2領域42の両方を、他の層を介して被覆するよりも、直接被覆することが好ましい。「他の層」としては、例えば、絶縁層、電極パターン34以外の電極パターン、等が挙げられる。
第2高屈折率層36と接触する箇所における電極パターン34の端部の形状が、図2に示される如きテーパー形状である場合は、テーパー形状に沿って(即ち、テーパー角と同じ傾きで)、第1高屈折率層20が積層されていることが好ましい。
電極パターン34は、例えば、以下の方法により形成できる。
第2高屈折率層36が形成された基板32の上に、スパッタリングにより電極用薄膜(例えばITO膜)を形成する。この電極用薄膜の上に、エッチング用感光性レジストを塗布することにより、又は、エッチング用感光性フィルムを転写することにより、エッチング保護層を形成する。次いで、露光及び現像により、このエッチング保護層に所望するパターンを形成する。次いで、エッチングにより、電極用薄膜のうちエッチング保護層に覆われていない部分を除去する。これにより、電極用薄膜を所望の形状のパターン(即ち、電極パターン34)とする。続いて、剥離液によりエッチング保護層を除去する。
第1高屈折率層20及び保護膜18は、例えば以下のようにして、電極パターン34が形成された基板32の上に形成される。
まず、図1に示した転写フィルム10(即ち、保護フィルム16/高屈折率層20A/感光性層18A/仮支持体12の積層構造を有する転写フィルム10)を準備する。
次に、転写フィルム10から保護フィルム16を取り除く。
次に、保護フィルム16が取り除かれた転写フィルム10を、第2高屈折率層36及び電極パターン34が順次設けられた基板32の上にラミネートする。ラミネートは、保護フィルム16が取り除かれた転写フィルム10の高屈折率層20Aと、電極パターン34と、が接する向きで行う。このラミネートにより、仮支持体12/感光性層18A/高屈折率層20A/電極パターン34/第2高屈折率層36/基板32の積層構造を有する積層体が得られる。
次に、積層体から仮支持体12を取り除く。
次に、仮支持体12が取り除かれた積層体をパターン露光することにより、感光性層18A及び高屈折率層20Aをパターン状に硬化させる。感光性層18A及び高屈折率層20Aのパターン状に硬化は、それぞれ別個のパターン露光によって別個に行ってもよいが、1回のパターン露光によって同時に行うことが好ましい。
次に、現像によって感光性層18A及び高屈折率層20Aの未露光部分(未硬化部分)を除去することにより、感光性層18Aのパターン状の硬化物である保護膜18(パターン形状については不図示)、及び、高屈折率層20Aのパターン状の硬化物である第1高屈折率層20(パターン形状については不図示)をそれぞれ得る。パターン露光後の感光性層18A及び高屈折率層20Aの現像は、それぞれ別個の現像によって別個に行ってもよいが、1回の現像によって同時に行うことが好ましい。
図3は、本実施形態のタッチパネルの第3具体例であるタッチパネル90の概略断面図である。
図3に示されるように、タッチパネル90は、基板32の両面にタッチパネル用電極を備えている。詳細には、タッチパネル90は、基板32の一方の面に第1透明電極パターン70を備え、他方の面に第2透明電極パターン72を備えている。
タッチパネル90では、第1透明電極パターン70及び第2透明電極パターン72のそれぞれに、取り出し配線となる導電性部材56が接続されている。
タッチパネル90では、基板32の一方の面において、第1透明電極パターン70及び導電性部材56を覆うように保護膜18が形成されており、基板32の他方の面において、第2透明電極パターン72及び導電性部材56を覆うように保護膜18が形成されている。
基板32の一方の面及び他方の面には、それぞれ、第1具体例における第1高屈折率層及び第2高屈折率層が設けられていてもよい。
タッチパネル90は、指又はタッチペンなどで触れる領域に対応する表示領域74、及び額縁部分に相当する非表示領域75を有する。
本実施形態のタッチパネル(例えば、第1〜第2具体例のタッチパネル)は、画像表示装置に備えられる。
画像表示装置の構造としては、例えば、『最新タッチパネル技術』(2009年7月6日発行(株)テクノタイムズ)、三谷雄二監修、『タッチパネルの技術と開発』、シーエムシー出版(2004,12)、FPD International 2009 Forum T−11講演テキストブック、Cypress Semiconductor Corporation アプリケーションノートAN2292に開示されている構造を適用することができる。
以下において、「部」及び「%」は、それぞれ、「質量部」及び「質量%」を意味する。
モノマーとしての、メタクリル酸(MAA)(20.1g;35mol%)、スチレン(St)(24.4g;35mol%)、及びヒドロキシエチルメタクリレート(HEMA)(26.1g;30mol%)を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)(18g)に溶解させることにより、滴下液Aを調製した。
また、開始剤としてのV−601(ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)、和光純薬工業(株)製)(2.4g;モノマー全量に対して1.65mol%)をPGMEA(37.1g)に溶解させることにより、滴下液Bを得た。
500mLフラスコに、PGMEA(15g)と、プロピレングリコールモノメチルエーテル(MFG)(60g)と、を仕込み、次いでフラスコ中の液体の温度を加熱浴によって90℃に昇温させた。そこに、滴下液Aと滴下液Bとを同時に3hかけて滴下し、さらに後反応として1h撹拌した。そこに、開始剤としてのV−601(0.6g)をPGMEA(3g)に溶解させた溶液を添加し、1h撹拌した。次に、フラスコを加熱浴から出し、次いでフラスコ中の反応液をPGMEA(44.7g)で希釈しながら冷却した。
次に、フラスコ中の反応液を100℃に昇温させ、そこに、付加触媒としてのテトラエチルアンモニウムブロミド(TEAB)(0.45g)及び重合禁止剤としてのハイドロキノンモノメチルエーテル(MEHQ)(0.2g)をPGMEA(6g)に溶解させた溶液を添加した。
得られた液体に対し、グリシジルメタクリレート(GMA)(14.3g;15mol%)を1hかけて滴下し、次いで後反応を6h行い、次いで冷却することにより、重合体P1の溶液(重合体濃度35質量%、希釈剤PGMEA)を得た。
表1中、ラジカル重合性基を有する構造単位以外の構造単位については、各構造単位を形成するためのモノマーの略称で示している。
ラジカル重合性基を有する構造単位については、モノマーとモノマーとの付加構造の形式で示している。例えば、MAA−GMAは、メタクリル酸に由来する構造単位に対してグリシジルメタクリレートが付加した構造単位を意味する。
モノマーの種類及び量を変更することにより、重合体に含まれる各構造単位及び各構造単位の含有量を、表1に示すように変更したこと以外は重合体P1の合成と同様にして、重合体P2〜P12及びR1〜R6を合成した。但し、重合体P5及びP6の合成においては、更に、開始剤の種類、開始剤の量、付加触媒の種類、及び付加触媒の量の組み合わせを、下記表1に示すように変更した。いずれの重合体も、重合体溶液として合成し、かつ、重合体溶液における重合体濃度が35質量%となるように、希釈剤(PGMEA)の量を調整した。
ここで、重合体R1〜R6は、比較用の重合体である。
・略称の意味は以下のとおりである。
St:スチレン(和光純薬工業(株))に由来する構造単位
VN:ビニルナフタレン(和光純薬工業(株))に由来する構造単位
MAA−GMA:メタクリル酸に由来する構造単位に対してグリシジルメタクリレートが付加した構造単位
MAA−M100:メタクリル酸に由来する構造単位に対してCYM−M100((株)ダイセル;3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート)が付加した構造単位
AA−GMA:アクリル酸に由来する構造単位に対してグリシジルメタクリレートが付加した構造単位
MAA:メタクリル酸(和光純薬工業(株))に由来する構造単位
AA:アクリル酸(和光純薬工業(株))に由来する構造単位
HEMA:ヒドロキシエチルメタクリレート(和光純薬工業(株))に由来する構造単位(1級水酸基を有する構造単位)
4HBA:4−ヒドロキシブチルアクリレート(和光純薬工業(株))に由来する構造単位(1級水酸基を有する構造単位)
BAMA:2−(t−ブチルアミノ)エチルメタクリレート(アルドリッチ社)に由来する構造単位(アミノ基を有する構造単位)
2HPMA:2−ヒドロキシプロピルメタクリレート(和光純薬工業(株))に由来する構造単位(2級水酸基を有する構造単位)
2HBMA:2−ヒドロキシブチルメタクリレート(和光純薬工業(株))に由来する構造単位(2級水酸基を有する構造単位)
MMA:メチルメタクリレート(和光純薬工業(株))
nBMA:ノルマルブチルメタクリレート(和光純薬工業(株))
DCPMA:ジシクロペンタニルメタクリレート(ファンクリル513M、日立化成(株))
V−601:ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)(和光純薬工業(株))
V−65:2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(和光純薬工業(株))
TEAB:テトラエチルアンモニウムブロミド(和光純薬工業(株))
TBAB:テトラブチルアンモニウムブロミド(和光純薬工業(株))
特開2007−256669号公報の段落0277に記載された方法と同様の方法により、比較用重合体である下記重合体R7(Mw7800)を合成した。但し、重合体R7も、重合体溶液として合成し、かつ、重合体溶液における重合体濃度が35質量%となるように、希釈剤(PGMEA)の量を調整した。
<感光性組成物の調製>
下記表2に示す組成の感光性組成物を調製した。表2中、重合体の量は、重合体溶液(重合体濃度35質量%)の量を意味する。
−透湿度測定用試料の作製−
仮支持体としての厚さ75μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、スリット状ノズルを用い、各実施例及び各比較例の感光性組成物のいずれか1つを塗布し、次いで乾燥させることにより、厚さ10μmの感光性層を形成し、試料作製用転写フィルムを得た。
次に、試料作製用転写フィルムを、住友電工製PTFE(四フッ化エチレン樹脂)メンブレンフィルターFP−100−100上にラミネートし、仮支持体/厚さ10μmの感光性層/メンブレンフィルターの層構造を有する積層体Aを形成した。ラミネートの条件は、メンブレンフィルター温度40℃、ラミロール温度110℃、線圧3N/cm、搬送速度2m/分とした。
次に、積層体Aから仮支持体を剥離した。
以上の操作を4回繰り返すことにより、合計膜厚40μmの感光性層/メンブレンフィルターの積層構造を有する積層体Bを形成した。
得られた積層体Bの感光性層を、i線によって露光量300mJ/cm2にて露光した後、145℃、30分間のポストベークを行うことにより、感光性層を硬化させて硬化膜を形成した。
以上により、合計膜厚40μmの硬化膜/メンブレンフィルターの積層構造を有する透湿度測定用試料を得た。
透湿度測定用試料を用い、JIS−Z−0208(1976)を参考にして、カップ法による透湿度測定を実施した。以下、詳細を説明する。
まず、透湿度測定用試料から直径70mmの円形試料を切り出した。次に、測定カップ内に乾燥させた20gの塩化カルシウムを入れ、次いで上記円形試料によって蓋をすることにより、蓋付き測定カップを準備した。
この蓋付き測定カップを、恒温恒湿槽内にて65℃、90%RHの条件で24時間放置した。上記放置前後での蓋付き測定カップの質量変化から、円形試料の水蒸気透過度(WVTR)(単位:g/m2・day)を算出した。
上記測定を3回実施し、3回の測定でのWVTRの平均値を算出した。WVTRの平均値に基づき、下記評価基準に従い、水蒸気透過度(WVTR)を評価した。下記評価基準において、A及びBであれば、実用に適する。
結果を表2に示す。
なお、上記測定では、上述のとおり、硬化膜/メンブレンフィルターの積層構造を有する円形試料のWVTRを測定した。しかし、メンブレンフィルターのWVTRが硬化膜のWVTRと比較して極めて高いことから、上記測定では、実質的には、硬化膜自体のWVTRを測定したことになる。
A:WVTRの平均値が100g/m2・day未満であり、硬化膜のWVTRが極めて低減されていた。
B:WVTRの平均値が100g/m2・day以上150g/m2・day未満であり、硬化膜のWVTRが低減されていた。
C:WVTRの平均値が150g/m2・day以上200g/m2・day未満であり、硬化膜のWVTRが高かった。
D:WVTRの平均値が200g/m2・day以上であり、硬化膜のWVTRが極めて高かった。
・各成分の量は、質量部を意味する。表2中の重合体の量は、重合体溶液(重合体濃度35質量%)の量を意味する。
・「−」は、該当する成分を含有しないことを意味する。
・熱架橋性化合物は、一分子中に2つ以上の熱反応性基を有する化合物である。
・各成分の略称の意味は以下のとおりである。
A−DCP:トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学(株);2官能モノマー)
TO−2349:カルボン酸含有モノマー(東亜合成(株);5官能モノマーと6官能モノマーとの混合物)
DPHA:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製、「KAYARAD DPHA」)
AD−TMP:ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート(新中村化学(株):4官能モノマー)
OXE−02:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)(BASF社;オキシム系光重合開始剤)
OXE−03:BASF社の光重合開始剤
Irg−907:2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン (BASF社;α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤)
Irg−379EG:2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(BASF社製;光重合開始剤)
TPA−B80E:デュラネートTPA−B80E(旭化成ケミカルズ;一分子中に2つ以上のブロック化イソシアネート基を有する化合物)
X3071.04:デュラネートX3071.04(旭化成ケミカルズ;一分子中に2つ以上のブロック化イソシアネート基を有する化合物)
B−830:タケネートB−830(三井化学;一分子中に2つ以上のブロック化イソシアネート基を有する化合物)
TAS−200:4−{4−[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エチル]−α,α−ジメチルベンジル}フェノールのナフトキノンジアジドスルホン酸エステル(東洋合成(株);一分子中に2つ以上のブロック化ケテン基を有する化合物)
F551:メガファックF−551(DIC社;含フッ素基・親油性基含有オリゴマー)
F552:メガファックF−552(DIC社;含フッ素基・親油性基含有オリゴマー)
F554:メガファックF−554(DIC社;含フッ素基・親油性基含有オリゴマー)
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
MEK:メチルエチルケトン
これら実施例に対し、
重合体中におけるビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位の含有量が30mol%未満である比較例1及び2、
重合体が、ラジカル重合性基を有する構造単位を含まない比較例3、並びに、
重合体が、1級水酸基及びアミノ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する構造単位を含まない比較例4〜7では、硬化膜のWVTRが高かった。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書に参照により取り込まれる。
Claims (6)
- 基板上にタッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された構造を有するタッチパネル用基板を準備することと、
前記タッチパネル用基板の前記タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方が配置された側の面の上に、感光性組成物又は転写フィルムを用いて感光性層を形成することと、
前記タッチパネル用基板上に形成された前記感光性層をパターン露光することと、
パターン露光された前記感光性層を現像することにより、前記タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方の少なくとも一部を保護するタッチパネル用保護膜を得ることと、
を含むタッチパネルの製造方法であって、
前記感光性組成物が、
タッチパネル用保護膜の形成に用いられる感光性組成物であって、
ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位、ラジカル重合性基を有する構造単位、並びに、1級水酸基及びアミノ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する構造単位を含む重合体(P)であって、前記ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位の量が、前記重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して30mol%以上である重合体(P)と、
ラジカル重合開始剤と、
一分子中に2つ以上の熱反応性基を有する化合物と、
を含有し、
前記ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位が、スチレンに由来する構造単位、1−ビニルナフタレンに由来する構造単位、2−ビニルナフタレンに由来する構造単位、ビニルビフェニルに由来する構造単位、及び、ビニルアントラセンに由来する構造単位からなる群から選択される少なくとも1種であり、
前記熱反応性基が、イソシアネート基、ケテン基、ブロック化イソシアネート基、及びブロック化ケテン基からなる群から選ばれる少なくとも1種であり、
着色剤を含有しないか、又は、着色剤の含有量が、感光性組成物の固形分量に対し、1質量%未満である感光性組成物であり、
前記転写フィルムが、
タッチパネル用保護膜の形成に用いられる転写フィルムであって、
仮支持体と、
前記感光性組成物の固形分を含有する感光性層と、
を備える転写フィルムである、
タッチパネルの製造方法。 - 前記重合体(P)において、前記ビニルベンゼン誘導体に由来する構造単位の量が、前記重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して40mol%以上である請求項1に記載のタッチパネルの製造方法。
- 前記重合体(P)において、前記ラジカル重合性基を有する構造単位の量が、前記重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して10mol%以上である請求項1又は請求項2に記載のタッチパネルの製造方法。
- 前記重合体(P)において、前記1級水酸基及びアミノ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する構造単位の量が、前記重合体(P)に含まれる全ての構造単位の合計量に対して10mol%以上である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のタッチパネルの製造方法。
- 前記重合体(P)が、更に、酸基を有する構造単位を含む請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のタッチパネルの製造方法。
- 前記感光性組成物が、更に、2官能以上のラジカル重合性モノマーを含有する請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のタッチパネルの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016134491 | 2016-07-06 | ||
JP2016134491 | 2016-07-06 | ||
PCT/JP2017/022522 WO2018008376A1 (ja) | 2016-07-06 | 2017-06-19 | 感光性組成物、転写フィルム、硬化膜、並びに、タッチパネル及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018008376A1 JPWO2018008376A1 (ja) | 2019-02-28 |
JP6707132B2 true JP6707132B2 (ja) | 2020-06-10 |
Family
ID=60912608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018526002A Active JP6707132B2 (ja) | 2016-07-06 | 2017-06-19 | 感光性組成物、転写フィルム、硬化膜、並びに、タッチパネル及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11604413B2 (ja) |
JP (1) | JP6707132B2 (ja) |
CN (1) | CN109416509B (ja) |
WO (1) | WO2018008376A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019151534A1 (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-08 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法 |
CN108415603B (zh) * | 2018-03-15 | 2021-02-23 | 业成科技(成都)有限公司 | 防漏红光的触控感光结构 |
JP7048723B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2022-04-05 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、電極保護膜、積層体、静電容量型入力装置、及び、タッチパネルの製造方法 |
JP7252318B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-04-04 | 富士フイルム株式会社 | 感光性樹脂組成物、転写フィルム、硬化膜、積層体、及び、タッチパネルの製造方法 |
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Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000298339A (ja) * | 1999-04-14 | 2000-10-24 | Dainippon Printing Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
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JP2004287230A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 着色パターン用硬化性樹脂組成物、カラーフィルター、及び、液晶パネル |
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JP6099198B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-03-22 | 日本化薬株式会社 | エネルギー線硬化型樹脂組成物及びその硬化物 |
JP2014213572A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | スリーエム イノベイティブプロパティズカンパニー | 硬化粘着シートを含む積層体の製造方法 |
CN105340023B (zh) * | 2013-06-27 | 2017-06-13 | 东丽株式会社 | 导电糊剂、导电图案的制造方法及触摸面板 |
JP6204133B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2017-09-27 | 株式会社日本触媒 | 硬化性樹脂組成物及びその用途 |
CN105849641B (zh) | 2013-12-27 | 2019-12-13 | 日立化成株式会社 | 感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法和印刷配线板的制造方法 |
JP6284913B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2018-02-28 | 富士フイルム株式会社 | タッチパネル電極保護膜形成用組成物、転写フィルム、積層体、タッチパネル用電極の保護膜及びその形成方法、静電容量型入力装置、並びに、画像表示装置 |
CN104497204B (zh) * | 2014-11-18 | 2017-12-19 | 惠晶显示科技(苏州)有限公司 | 一种碱溶性树脂及含碱溶性树脂的uv固化耐氢氟酸保护胶组合物 |
-
2017
- 2017-06-19 CN CN201780039804.4A patent/CN109416509B/zh active Active
- 2017-06-19 JP JP2018526002A patent/JP6707132B2/ja active Active
- 2017-06-19 WO PCT/JP2017/022522 patent/WO2018008376A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-01-03 US US16/238,673 patent/US11604413B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2018008376A1 (ja) | 2019-02-28 |
CN109416509B (zh) | 2022-07-29 |
US20190137874A1 (en) | 2019-05-09 |
US11604413B2 (en) | 2023-03-14 |
WO2018008376A1 (ja) | 2018-01-11 |
CN109416509A (zh) | 2019-03-01 |
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