JP6704100B1 - X線発生装置およびx線撮影装置 - Google Patents

X線発生装置およびx線撮影装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6704100B1
JP6704100B1 JP2020508068A JP2020508068A JP6704100B1 JP 6704100 B1 JP6704100 B1 JP 6704100B1 JP 2020508068 A JP2020508068 A JP 2020508068A JP 2020508068 A JP2020508068 A JP 2020508068A JP 6704100 B1 JP6704100 B1 JP 6704100B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating member
insulating
ray
ray generator
generator according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020508068A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2021044525A1 (ja
Inventor
川瀬 順也
順也 川瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Anelva Corp
Original Assignee
Canon Anelva Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Anelva Corp filed Critical Canon Anelva Corp
Application granted granted Critical
Publication of JP6704100B1 publication Critical patent/JP6704100B1/ja
Publication of JPWO2021044525A1 publication Critical patent/JPWO2021044525A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/02Constructional details
    • H05G1/04Mounting the X-ray tube within a closed housing
    • H05G1/06X-ray tube and at least part of the power supply apparatus being mounted within the same housing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/20Sources of radiation

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

X線発生装置は、X線発生部と、前記X線発生部を収納する収納容器と、前記収納容器の内面と前記X線発生部の少なくとも一部との間に配置された絶縁部品と、を備える。前記絶縁部品は、第1絶縁部材と、第2絶縁部材とを含む。前記第1絶縁部材は、第1面を有する第1部分と第2面を有する第2部分とを含む。前記第1面と前記第2面により段差が形成される。前記第2部分は前記第1部分よりも厚さが薄い。前記第1面との間に段差を形成する第2面を有し前記第1部分よりも厚さが薄い第2部分とを含む。前記第2絶縁部材の接着面と前記第1絶縁部材の前記第2面とが接着材料によって結合されている。前記第2面の平面度は、前記第1面の平面度よりも良い。

Description

本発明は、X線発生装置およびX線撮影装置に関する。
特許文献1には、X線発生管を収納する絶縁性容器と、絶縁性容器を収容する接地された収納容器とを有し、絶縁性容器と収納容器との間に絶縁性液体が配置されたX線発生装置が記載されている。
X線発生部とそれを収納する収納容器との間に配置される絶縁部品は、例えば、箱形状、筒形状等のような形状を有しうる。このような絶縁部品を安価に製造する方法としては、複数の部材を接着材料によって結合する方法が有利である。しかし、そのような方法で製造された絶縁部品が組み込まれたX線発生装置では、接着材料を貫通するような放電が発生しうる。
特開2016−100290号公報
本発明は、接着材料を通した放電の発生を抑制するために有利な構造を有するX線発生装置を提供する。
本発明の1つの側面は、X線発生装置に係り、前記X線発生装置は、X線発生部と、前記X線発生部を収納する収納容器と、前記収納容器の内面と前記X線発生部の少なくとも一部との間に配置された絶縁部品と、を備え、前記絶縁部品は、第1絶縁部材と、第2絶縁部材とを含み、前記第1絶縁部材は、第1面を有する第1部分と第2面を有する第2部分とを含み、前記第1面と前記第2面により段差が形成され、前記第2部分は前記第1部分よりも厚さが薄く、前記第2絶縁部材の接着面と前記第1絶縁部材の前記第2面とが接着材料によって結合され、前記第2面の平面度は、前記第1面の平面度よりも良い。
一実施形態のX線発生装置の構成を示す模式図。 絶縁部品の基本構造を模式的に示す図。 第1実施形態の絶縁部品の構成を示す図。 第2実施形態の絶縁部品の構成を示す図。 第3実施形態の絶縁部品の構成を示す図。 第4実施形態の絶縁部品の構成を示す図。 第5実施形態の絶縁部品の構成を示す図。 第6実施形態の絶縁部品の構成を示す図。 第7実施形態の絶縁部品の構成を示す図。 一実施形態のX線撮像装置の構成を示す図。
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
図1には、一実施形態のX線発生装置100の構成が模式的に示されている。X線発生装置100は、X線発生部10と、X線発生部10を収容する収納容器20と、収納容器20の内面とX線発生部10の少なくとも一部との間に配置された絶縁部品50とを備えうる。X線発生部10は、X線発生管12と、ケーブル16を介してX線発生管12に電圧を供給する電圧供給部14とを含みうる。X線発生管12は、電子を放出する電子放出部を含む陰極121と、該電子放出部から放射された電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを含む陽極122とを有しうる。収納容器20は、接地され、X線発生管の陽極122は、収納容器20に対して電気的に接続されうる。電圧供給部14は、X線発生管12の陰極121に対してケーブル16を介して負電位を供給しうる。ケーブル16は、導電性部材と、該導電性部材を被覆する絶縁材とを含みうるが、該絶縁材を有しなくてもよい。収納容器20と絶縁部品50との間の空間、および、絶縁部品50とX線発生部10との間の空間には、絶縁性液体(例えば、絶縁油)が充填されうる。X線発生部10の陰極121と収納容器20とは、電気的に絶縁されている。
絶縁部品50は、X線発生部10を取り囲む容器を構成しうる。一例において、絶縁部品50は、第1開口を有する第1容器30と、第2開口を有する第2容器40とを含みうる。第2容器40は、その第2開口の中に第1容器30の一部分を収容し、かつ、第1容器30の第1開口を覆うように配置されうる。第1容器30は、複数の絶縁部材31、32、33を接着材料AMで結合することによって構成されうる。第2容器40は、複数の絶縁部材41、42を接着材料AMで結合することによって構成されうる。
絶縁部材31、32、33、41、42は、加熱加圧成形した樹脂含浸ガラス布積層体(例えば、積層板、積層管)であることが好ましい。樹脂含浸ガラス布積層体は、例えば、ガラス不織布にエポキシ樹脂またはフェノール樹脂等の樹脂を含浸させた部材(プリプレグ)を積層させたり、巻いたりした後に、加熱加圧成形を行うことによって構成されうる。絶縁部材31、32、33、41、42は、例えば、ガラスエポキシで構成されうる。絶縁部材31、32、33、41、42は、25℃における体積抵抗において1×10Ωm以上の絶縁性を有することが好ましい。絶縁部材31、32、33、41、42として例示される絶縁部材は、板状部材または筒状部材でありうる。板状部材は、ガラス不織布の延在方向に平行な2つの主面と、ガラス不織布の積層方向(ガラス不織布の延在方向に直交する方向)に平行な1以上の端面(四角形状の板状部材においては4つの端面)とを有しうる。筒状部材は、ガラス不織布の延在方向に沿った2つの主面(外面および内面)と、ガラス不織布の積層方向(ガラス不織布の延在方向に直交する方向)に平行な2つの端面とを有しうる。以下で参照される図2〜図9において、ガラス不織布の延在方向は、両方向矢印で示されている。
図2には、絶縁部品50の基本構造が模式的に示されている。絶縁部品50は、複数の絶縁部材として、第1絶縁部材1210と、第2絶縁部材1220とを含みうる。第1絶縁部材1210は、第1面1211を有する第1部分1215と、第1面1211との間に段差を形成する第2面1212を有し、第1部分1215よりも厚さが薄い第2部分1216とを含みうる。第1面は、例えば市販のガラエポの素材面であってよい。第2絶縁部材1220の接着面(図2の例では、端面1221)と第1絶縁部材1210の第2面1212とは、接着材料AMによって結合されている。第2面1212の平面度は、第1面1211の平面度よりも良い。第2絶縁部材1220の接着面(端面1221)の平面度は、第1絶縁部材1210の第1面1211の平面度よりも良いことが好ましい。ここで、面の平面度は、幾何学的に正しい平面からの当該面の乖離量の大きさを意味し、平面度が良いことは、平面度を示す大きさ(乖離量の大きさ)が小さいことを意味する。
以下、図3〜図8を参照しながら絶縁部品50のより具体的な構成例を説明する。図3には、第1実施形態の絶縁部品50の一部分の構成が示されている。ここでは、代表的に、絶縁部材41と絶縁部材42との結合構造を例示するが、この結合構造の例は、他の絶縁部材の結合構造にも適用可能である。第1実施形態では、絶縁部材41と絶縁部材42とを相互に区別するために、便宜的に、絶縁部材41を第1絶縁部材と呼び、絶縁部材42を第2絶縁部材と呼ぶ。
絶縁部品50は、第1絶縁部材41と、第2絶縁部材42とを含みうる。第1絶縁部材41は、第1面411を有する第1部分415と、第1面411との間に段差を形成する第2面412を有し第1部分415よりも厚さが薄い第2部分416とを含みうる。第2絶縁部材42の接着面(図3の例では、端面429)と第1絶縁部材41の第2面412とは、接着材料AMによって結合されている。第2面412の平面度は、第1面411の平面度よりも良い。第2絶縁部材42の接着面(端面429)の平面度は、第1絶縁部材41の第1面411の平面度よりも良いことが好ましい。典型的には、接着材料AMの絶縁性能は、第1絶縁部材41および第2絶縁部材42の絶縁性能より低い。接着材料AMは、少なくとも硬化後の状態が絶縁性の固体であればよく、例えば、エポキシ樹脂またはフェノール樹脂でありうる。
第1絶縁部材41の第1面411は、第1絶縁部材41の1つの主面を構成する。第1絶縁部材41は、樹脂含浸ガラス布積層体で構成されうる絶縁部材であり、反り、および/または、不均一な厚さを有する。一方、第1絶縁部材41の第2面412は、第1絶縁部材41を製作するための材料を加工することによって形成される。そのため、第2面412の平面度は、第1絶縁部材41の主面を構成する第1面411の平面度より良い。第2面412は、切り欠き面と呼ばれてもよい。また、第2絶縁部材42の接着面である端面429は、第2絶縁部材42を製作するための材料を切断することによって形成される。そのため、第2絶縁部材42の端面429の平面度は、第1絶縁部材41の主面を構成する第1面411の平面度より良い。
したがって、第1絶縁部材41の第2面412と第2絶縁部材42の接着面(端面429)とを接着材料AMによって結合した構成は、接着材料AMの厚さを薄くするため、および、接着材料AMに対する気泡の混入を抑制するために有利である。これは、絶縁部品50における接着材料AMを介した放電を抑制する効果を奏する。第1面411と第2面412との間に段差を有する構造は、沿面距離を長くするために有利であり、これは、絶縁性能を向上させるために寄与しうる。一方、第1絶縁部材41の第1面411と第2絶縁部材42の接着面とを接着材料で結合する比較例では、第1面411の平面度の悪さを補償するために接着材料AMの厚さを厚くする必要があり、これは絶縁性能の低下をもたらしうる。また、これは気泡の混入を誘発しうる。したがって、このような比較例では、接着材料AMを介した放電が発生しうる。
図4には、第2実施形態の絶縁部品50の一部分の構成が示されている。ここでは、代表的に、絶縁部材41と絶縁部材42との結合構造を例示するが、この結合構造の例は、他の絶縁部材の結合構造にも適用可能である。第2実施形態では、絶縁部材41と絶縁部材42とを相互に区別するために、便宜的に、絶縁部材41を第1絶縁部材と呼び、絶縁部材42を第2絶縁部材と呼ぶ。第2実施形態は、第1実施形態の変形例であり、第2実施形態として言及しない事項は、第1実施形態に従う。第1絶縁部材41は、第1部分415および第2部分416の他に、第2面412との間に段差を形成する第3面413を有し第2部分416よりも厚さが厚い第3部分417を有する。第2部分416は、第1絶縁部材41の凹部を構成するように第1部分415と第3部分417との間に配置されている。
図5には、第3実施形態の絶縁部品50の一部分の構成が示されている。ここでは、絶縁部材33が、接着材料AMによって結合された4つの絶縁部材33a、33b、33c、33dを有する構成を例示する。絶縁部材33aは、第1実施形態と同様に、第1面33a1を有する第1部分および第2面33a2を有する第2部分を含み、絶縁部材33bの接着面(端面)と絶縁部材33aの第2面33a2とが接着材料AMによって結合されている。絶縁部材33bは、第1実施形態と同様に、第1面を有する第1部分および第2面を有する第2部分を含み、絶縁部材33cの接着面(端面)と絶縁部材33bの第2面とが接着材料AMによって結合されている。絶縁部材33cは、第1実施形態と同様に、第1面を有する第1部分および第2面を有する第2部分を含み、絶縁部材33dの接着面(端面)と絶縁部材33cの第2面とが接着材料AMによって結合されている。絶縁部材33dは、第1実施形態と同様に、第1面を有する第1部分および第2面を有する第2部分を含み、絶縁部材33aの接着面(端面)と絶縁部材33dの第2面とが接着材料AMによって結合されている。
図6には、第4実施形態の絶縁部品50の一部分の構成が示されている。ここでは、絶縁部材33が、接着材料AMによって結合された4つの絶縁部材33a、33b、33c、33dを有する構成を例示する。絶縁部材33aは、第1実施形態と同様に、第1面33a1を有する1つの第1部分、および、第2面33a2を有する2つの第2部分を含み、絶縁部材33b、33dの接着面(端面)と絶縁部材33aの2つの第2面33a2とが接着材料AMによって結合されている。絶縁部材33cは、第1実施形態と同様に、第1面を有する1つの第1部分および第2面を有する2つの第2部分を含み、絶縁部材33b、33dの接着面(端面)と絶縁部材33cの2つの第2面とが接着材料AMによって結合されている。
第3、4実施形態は、絶縁部材42の構成に適用することもできる。例えば、図3に示された第1実施形態における絶縁部材42を、図5又は図6に示されるように4つの絶縁部材33a、33b、33c、33dを接着材料AMで結合して構成される枠状の絶縁部材で置き換えることができる。この場合、第2絶縁部材42としての枠状の絶縁部材の端面を第1絶縁部材41の第2面412に対して接着材料AMを介して強く押し当てることができる。これは、接着材料AMの厚さを薄くするため、および、接着材料AMに対する気泡の混入を抑制するために有利である。これは、絶縁部品50における接着材料AMを介した放電を抑制する効果を奏する。
図7には、第5実施形態の絶縁部品50の一部分の構成が示されている。ここでは、絶縁部材33が、接着材料AMによって結合された4つの絶縁部材33a、33b、33c、33dを有する構成を例示する。第5実施形態は、絶縁部材42の構成に適用することもできる。絶縁部材33aは、第2実施形態と同様に、第1面33a1を有する1つの第1部分、第2面33a2を有する2つの第2部分、および、第3面33a3を有する2つの第3部分を含み、絶縁部材33b、33dの接着面(端面)と絶縁部材33aの2つの第2面33a2とが接着材料AMによって結合されている。絶縁部材33cは、第2実施形態と同様に、第1面を有する1つの第1部分、第2面を有する2つの第2部分、および、第3面を有する2つの第3部分を含み、絶縁部材33b、33dの接着面(端面)と絶縁部材33cの2つの第2面とが接着材料AMによって結合されている。
図8には、第6実施形態の絶縁部品50の一部分の構成が示されている。ここでは、代表的に、絶縁部材31と絶縁部材32との結合構造を例示するが、この結合構造の例は、他の絶縁部材の結合構造にも適用可能である。第6実施形態では、絶縁部材31と絶縁部材32とを相互に区別するために、便宜的に、絶縁部材31を第1絶縁部材と呼び、絶縁部材32を第2絶縁部材と呼ぶ。
絶縁部品50は、第1絶縁部材31と、第2絶縁部材32とを含みうる。第1絶縁部材31は、ケーブル16を通す開口を有する板状部材でありうる。第2絶縁部材32は、円筒部材等の筒状部材でありうる。第1絶縁部材41は、第1面311を有する第1部分と、第1面311との間に段差を形成する第2面312を有し第1部分よりも厚さが薄い第2部分とを含みうる。第2絶縁部材42の接着面(図8の例では、端面329)と第1絶縁部材31の第2面312とは、接着材料AMによって結合されている。第2面312の平面度は、第1面311の平面度よりも良い。第2絶縁部材32の接着面(端面329)の平面度は、第1絶縁部材31の第1面311の平面度よりも良いことが好ましい。典型的には、接着材料AMの絶縁性能は、第1絶縁部材31および第2絶縁部材32の絶縁性能より低い。接着材料AMは、例えば、エポキシ樹脂またはフェノール樹脂でありうる。
第1絶縁部材31の第1面311は、第1絶縁部材31の1つの主面を構成する。第1絶縁部材31は、樹脂含浸ガラス布積層体で構成されうる絶縁部材であり、反り、および/または、不均一な厚さを有する。一方、第1絶縁部材31の第2面312は、第1絶縁部材31を製作するための材料を加工することによって形成される。そのため、第2面312の平面度は、第1絶縁部材31の主面を構成する第1面311の平面度より良い。また、第2絶縁部材32の接着面である端面329は、第2絶縁部材32を製作するための材料を切断することによって形成される。そのため、第2絶縁部材32の端面329の平面度は、第1絶縁部材31の主面を構成する第1面311の平面度より良い。
したがって、第1絶縁部材31の第2面312と第2絶縁部材32の接着面(端面329)とを接着材料AMによって結合した構成は、接着材料AMの厚さを薄くするため、および、接着材料AMに対する気泡の混入を抑制するために有利である。これは、絶縁部品50における接着材料AMを介した放電を抑制する効果を奏する。第1面311と第2面312との間に段差を有する構造は、沿面距離を長くするために有利であり、これは、絶縁性能を向上させるために寄与しうる。
図9には、第7実施形態の絶縁部品50の一部分の構成が示されている。ここでは、代表的に、絶縁部材31と絶縁部材32との結合構造を例示するが、この結合構造の例は、他の絶縁部材の結合構造にも適用可能である。第7実施形態では、絶縁部材31と絶縁部材32とを相互に区別するために、便宜的に、絶縁部材31を第1絶縁部材と呼び、絶縁部材32を第2絶縁部材と呼ぶ。第7実施形態は、第6実施形態の変形例である。
第7実施形態では、接着部材AMによって第1絶縁部材31の第2面312と結合される第2絶縁部材32の接着面は、第2絶縁部材32に設けられた切り欠き部327に設けられた面328である。面328の平面度は、第1絶縁部材31の第1面311の平面度よりも良いことが好ましい。また、面328の平面度は、第2絶縁部材32の端面329の平面度よりも良いことが好ましい。第7実施形態の当該構成は、第1乃至第5実施形態に適用されてもよい。つまり、接着面は、第2絶縁部材の端面ではなく、切り欠き部に配置されてもよい。
図10には、一実施形態のX線撮像装置200の構成が示されている。X線撮像装置200は、X線発生装置100と、X線発生装置100から放射され物体191を透過したX線192を検出するX線検出装置210とを備えうる。X線撮像装置200は、制御装置220および表示装置230を更に備えてもよい。X線検出装置210は、X線検出器212と、信号処理部214とを含みうる。制御装置220は、X線発生装置100およびX線検出装置210を制御しうる。X線検出器212は、X線発生装置100から放射され物体191を透過したX線192を検出あるいは撮像する。信号処理部214は、X線検出器212から出力される信号を処理して、処理された信号を制御装置220に供給しうる。制御装置220は、信号処理部214から供給される信号に基づいて、表示装置230に画像を表示させうる。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

Claims (14)

  1. X線発生部と、
    前記X線発生部を収納する収納容器と、
    前記収納容器の内面と前記X線発生部の少なくとも一部との間に配置された絶縁部品と、を備え、
    前記絶縁部品は、第1絶縁部材と、第2絶縁部材とを含み、前記第1絶縁部材は、第1面を有する第1部分と第2面を有する第2部分とを含み、前記第1面と前記第2面により段差が形成され、前記第2部分は前記第1部分よりも厚さが薄く、
    前記第2絶縁部材の接着面と前記第1絶縁部材の前記第2面とが接着材料によって結合され、
    前記第2面の平面度は、前記第1面の平面度よりも良い、
    ことを特徴とするX線発生装置。
  2. 前記接着面の平面度は、前記第1面の平面度よりも良い、
    ことを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。
  3. 前記第1絶縁部材は、前記第2面との間に段差を形成する第3面を有し前記第2部分よりも厚さが厚い第3部分を有し、前記第2部分は、前記第1絶縁部材の凹部を構成するように前記第1部分と前記第3部分との間に配置されている、
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線発生装置。
  4. 前記第1絶縁部材は、板状部材である、
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  5. 前記第2絶縁部材は、板状部材である、
    ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  6. 前記第2絶縁部材は、筒状部材である、
    ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  7. 前記第1絶縁部材は、樹脂を含浸させたガラス布積層体で構成され、前記第2面は、前記ガラス布積層体の積層方向に直交している、
    ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  8. 前記第2絶縁部材は、樹脂を含浸させたガラス布積層体で構成され、前記接着面は、前記第2絶縁部材を構成する前記ガラス布積層体の積層方向と平行である、
    ことを特徴とする請求項7に記載のX線発生装置。
  9. 前記X線発生部は、X線発生管を含み、前記X線発生管は、電子放出部を含む陰極、および、前記電子放出部から放射された電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを含む陽極を有する、
    ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  10. 前記X線発生部は、前記X線発生管に電圧を供給する電圧供給部を更に含む、
    ことを特徴とする請求項9に記載のX線発生装置。
  11. 前記接着材料は、エポキシ樹脂である、
    ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  12. 前記第2絶縁部材の前記接着面は、前記第2絶縁部材の端面である、
    ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  13. 前記第2絶縁部材は、切り欠き部を有し、前記第2絶縁部材の前記接着面は、前記切り欠き部に設けられた面である、
    ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  14. 請求項1乃至13のいずれか1項に記載のX線発生装置と、
    前記X線発生装置から放射され物体を透過したX線を検出するX線検出装置と、
    を備えることを特徴とするX線撮像装置。
JP2020508068A 2019-09-03 2019-09-03 X線発生装置およびx線撮影装置 Active JP6704100B1 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2019/034640 WO2021044525A1 (ja) 2019-09-03 2019-09-03 X線発生装置およびx線撮影装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6704100B1 true JP6704100B1 (ja) 2020-06-03
JPWO2021044525A1 JPWO2021044525A1 (ja) 2021-09-30

Family

ID=70858075

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020508068A Active JP6704100B1 (ja) 2019-09-03 2019-09-03 X線発生装置およびx線撮影装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11140763B2 (ja)
EP (1) EP4006950A4 (ja)
JP (1) JP6704100B1 (ja)
KR (1) KR102496079B1 (ja)
CN (1) CN114303222B (ja)
TW (1) TWI746143B (ja)
WO (1) WO2021044525A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7430296B1 (ja) 2022-03-31 2024-02-09 キヤノンアネルバ株式会社 X線発生装置およびx線撮像装置
JP7333884B1 (ja) * 2022-03-31 2023-08-25 キヤノンアネルバ株式会社 電気部品、x線発生装置およびx線撮像装置
JP7486694B1 (ja) 2023-01-25 2024-05-17 キヤノンアネルバ株式会社 X線発生装置およびx線撮像装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10228875A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Hitachi Medical Corp 金属外囲器回転陽極x線管
JP2003142567A (ja) * 2001-10-31 2003-05-16 Kyocera Corp ウエハ載置ステージ
JP2016100290A (ja) * 2014-11-26 2016-05-30 キヤノン株式会社 X線発生装置及びそれを用いたx線撮影システム

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19824008C2 (de) * 1998-05-29 2000-04-13 Juergen Ziehm Röntgenstrahler
EP2233607A1 (en) * 2000-12-12 2010-09-29 Konica Corporation Dielectric coated electrode, and plasma discharge apparatus using the electrode
US7145987B2 (en) * 2003-07-24 2006-12-05 Nikon Corporation X-ray-generating devices and exposure apparatus comprising same
JP2006202671A (ja) * 2005-01-24 2006-08-03 Ushio Inc 極端紫外光光源装置及び極端紫外光光源装置で発生するデブリの除去方法
KR101289502B1 (ko) * 2005-10-07 2013-07-24 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 X선관 및 비파괴 검사 장치
GB2517671A (en) 2013-03-15 2015-03-04 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target and rotary vacuum seal
JP6381269B2 (ja) * 2014-04-21 2018-08-29 キヤノン株式会社 ターゲットおよび前記ターゲットを備えるx線発生管、x線発生装置、x線撮影システム
JP6573380B2 (ja) * 2015-07-27 2019-09-11 キヤノン株式会社 X線発生装置及びx線撮影システム
JP6525941B2 (ja) * 2016-10-28 2019-06-05 キヤノン株式会社 X線発生装置及び、x線撮影システム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10228875A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Hitachi Medical Corp 金属外囲器回転陽極x線管
JP2003142567A (ja) * 2001-10-31 2003-05-16 Kyocera Corp ウエハ載置ステージ
JP2016100290A (ja) * 2014-11-26 2016-05-30 キヤノン株式会社 X線発生装置及びそれを用いたx線撮影システム

Also Published As

Publication number Publication date
TW202118353A (zh) 2021-05-01
JPWO2021044525A1 (ja) 2021-09-30
EP4006950A4 (en) 2022-11-16
CN114303222B (zh) 2022-07-08
US20210212188A1 (en) 2021-07-08
EP4006950A1 (en) 2022-06-01
WO2021044525A1 (ja) 2021-03-11
KR102496079B1 (ko) 2023-02-06
TWI746143B (zh) 2021-11-11
KR20220037526A (ko) 2022-03-24
US11140763B2 (en) 2021-10-05
CN114303222A (zh) 2022-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6704100B1 (ja) X線発生装置およびx線撮影装置
US9036788B2 (en) Radiation generating apparatus and radiation imaging apparatus
US9042520B2 (en) Electric field emission x-ray tube apparatus equipped with a built-in getter
JP2013033681A (ja) 放射線発生装置及びそれを用いた放射線撮影装置
US10998161B2 (en) Anode, and x-ray generating tube, x-ray generating apparatus, and radiography system using the same
JP2016143602A5 (ja)
JP6611490B2 (ja) X線発生装置及びこれを用いたx線撮影システム
JP6305142B2 (ja) 固定陽極型x線管装置及びその製造方法
JP2013160721A (ja) 電子線照射装置及び電子線透過ユニット
JP2016070890A (ja) 放射線撮影装置および放射線撮影システム
JP6659167B2 (ja) 電子銃を備えたx線発生管及びx線撮影装置
JP2018142459A (ja) 蓄電装置
JP2019040794A (ja) 蓄電モジュールの製造装置及び製造方法
JP2015230754A (ja) X線管装置
JP6683903B1 (ja) X線発生装置およびx線撮像装置
JP2017120715A (ja) X線発生装置及びx線撮影システム
JP7430296B1 (ja) X線発生装置およびx線撮像装置
CN104658841A (zh) X射线管
JP2012132734A (ja) X線センサー
JP2013257983A5 (ja)
JP2017134984A (ja) X線発生装置及びこれを用いたx線撮影システム
JP5797480B2 (ja) X線発生装置
JP3147341U (ja) 回転陽極型x線管装置
JP2009042350A (ja) 放射線画像撮影装置
JP2015090840A (ja) 放射線発生装置及び放射線撮影システム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200212

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20200212

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20200302

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200413

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200511

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6704100

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250