JP6683903B1 - X線発生装置およびx線撮像装置 - Google Patents

X線発生装置およびx線撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6683903B1
JP6683903B1 JP2020508067A JP2020508067A JP6683903B1 JP 6683903 B1 JP6683903 B1 JP 6683903B1 JP 2020508067 A JP2020508067 A JP 2020508067A JP 2020508067 A JP2020508067 A JP 2020508067A JP 6683903 B1 JP6683903 B1 JP 6683903B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
cathode
space
ray generator
generator according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020508067A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2021044524A1 (ja
Inventor
川瀬 順也
順也 川瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Anelva Corp
Original Assignee
Canon Anelva Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Anelva Corp filed Critical Canon Anelva Corp
Application granted granted Critical
Publication of JP6683903B1 publication Critical patent/JP6683903B1/ja
Publication of JPWO2021044524A1 publication Critical patent/JPWO2021044524A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/02Constructional details
    • H05G1/04Mounting the X-ray tube within a closed housing
    • H05G1/06X-ray tube and at least part of the power supply apparatus being mounted within the same housing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/06Cathodes
    • H01J35/064Details of the emitter, e.g. material or structure
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • H01J35/18Windows
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • H01J35/18Windows
    • H01J35/186Windows used as targets or X-ray converters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/03Investigating materials by wave or particle radiation by transmission
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/03Investigating materials by wave or particle radiation by transmission
    • G01N2223/04Investigating materials by wave or particle radiation by transmission and measuring absorption
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/40Imaging

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

X線発生装置は、第1方向に電子を放出する電子放出部を含む陰極、および、前記電子放出部から放射された電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを含む陽極を有するX線発生管と、導電線を介して前記X線発生管に電圧を供給する電圧供給部と、前記電圧供給部を収納する第1空間を形成する第1部分、前記第1方向と直交する第2方向における幅が前記第1空間よりも小さく前記X線発生管を収納する第2空間を形成する第2部分、および、前記第1空間と前記第2空間とが連通した内部空間が形成されるように前記第1部分および前記第2部分を相互に連結する連結部を有し、前記連結部が前記内部空間に向けて尖った凸部を有する、収納容器と、前記導電線および前記陰極の少なくとも一方の少なくとも一部分を取り囲むように前記内部空間に配置された絶縁部材と、を備える。前記絶縁部材は、前記導電線と前記凸部との間の少なくとも最短経路を遮断するように配置され、前記絶縁部材は、少なくとも2つの部材を接着材料によって結合した構造を有し、前記接着材料と前記導電線との間の直線経路、および、前記接着材料と前記陰極との間の直線経路を遮断するように配置されている。

Description

本発明は、X線発生装置およびX線撮像装置に関する。
X線透過像の拡大率は、ターゲット上に形成されるX線発生部と被検体との距離が近いほど増加しうる。そこで、被検体が奥まった位置にある場合であっても十分な拡大率が得られるように、収納容器の本体部に、本体部から細長く突出させた突出部を設け、その突出部の先端にX線発生部を取り付けたX線発生装置が知られている。このようなX線発生装置は、特許文献1に記載されている。
特許文献1には、X線発生管と、X線発生管を収納する収納容器とを備えるX線発生装置が記載されている。X線発生管は、陽極と、電子放出源を有する陰極と、陽極と陰極との間に真空空間を形成する絶縁管とを備え、陽極は、収納容器に電気的に接続されている。収納容器は、後方収納部と、後方収納部から連なる部分からX線発生管の絶縁管に向かって近づき絶縁管を囲むフランジ部と、フランジ部から突出した突出部を有し、突出部にX線発生管の陽極が固定されている。突出部とフランジ部との間に環状屈曲部が形成されている。X線発生管の陰極と、環状屈曲部との間には保護部材が配置されている。保護部材は、L字状の断面を回転させた環状部材である。
特許文献1の上記のような環状部材は、例えば、複数の部材を作製し、それらを接着材料によって結合することによって製造されうる。しかし、そのような方法で製造された環状部材をX線発生装置において用いた場合、接着材料を貫通するような放電が発生しうるという問題が本出願人による実験によって明らかになった。
特開2018−73625号公報
本発明は、接着材料を通した放電の発生を抑制するために有利な構造を有するX線発生装置を提供する。
本発明の1つの側面は、X線発生装置に係り、前記X線発生装置は、第1方向に電子を放出する電子放出部を含む陰極、および、前記電子放出部から放射された電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを含む陽極を有するX線発生管と、導電線を介して前記X線発生管に電圧を供給する電圧供給部と、前記電圧供給部を収納する第1空間を形成する第1部分、前記第1方向と直交する第2方向における幅が前記第1空間よりも小さく前記X線発生管を収納する第2空間を形成する第2部分、および、前記第1空間と前記第2空間とが連通した内部空間が形成されるように前記第1部分および前記第2部分を相互に連結する連結部を有し、前記連結部が前記内部空間に向けて尖った凸部を有する、収納容器と、前記導電線および前記陰極の少なくとも一方の少なくとも一部分を取り囲むように前記内部空間に配置された絶縁部材と、を備え、前記絶縁部材は、前記導電線と前記凸部との間の少なくとも最短経路を遮断するように配置され、前記絶縁部材は、少なくとも2つの部材を接着材料によって結合した構造を有し、前記接着材料と前記導電線との間の直線経路、および、前記接着材料と前記陰極との間の直線経路を遮断するように配置されている。
第1実施形態のX線発生装置の構成を示す図。 第2実施形態のX線発生装置の構成を示す図。 第1又は第2実施形態のX線発生装置に適用可能な絶縁部材の第1変形例を示す図。 第1又は第2実施形態のX線発生装置に適用可能な絶縁部材の第2変形例を示す図。 第1又は第2実施形態のX線発生装置に適用可能な絶縁部材の第3変形例を示す図。 一実施形態のX線撮像装置の構成を示す図。
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
図1には、第1実施形態のX線発生装置100の構成が模式的に示されている。X線発生装置100は、X線発生管102と、電圧供給部110と、収納容器130と、絶縁性液体108と、絶縁部材120とを備えうる。X線発生管102は、管軸方向である第1方向(Z方向)に電子を放出する電子放出部23を含む陰極104、および、電子放出部23から放射された電子が衝突することによってX線を発生するターゲット1を含む陽極103を有しうる。電圧供給部110は、導電線109を介してX線発生管102、より詳しくは陰極104に電圧を供給する。導電線109は、導電性部材と、該導電性部材を被覆する絶縁材とを含みうるが、該絶縁材を有しなくてもよい。
収納容器130は、第1部分131、第2部分132および連結部133を含みうる。第1部分131は、電圧供給部110を収納しうる。第2部分132は、X線発生管102を収納しうる。連結部133は、第1部分131の内側の第1空間SP1と第2部分132の内側の第2空間SP2とが連通した内部空間ISPが形成されるように第1部分131および第2部分132を相互に連結しうる。第2部分132は、第1方向(Z方向)と直交する第2方向(Y方向)における幅が第1部分131より小さい。また、第2空間SP2は、第1方向(Z方向)と直交する第2方向(Y方向)における幅が第1空間SP1より小さい。連結部133は、収納容器130の内部空間ISPに向けて尖った凸部135を有しうる。第2部分132は、例えば、円筒形状等の管形状を有しうる。凸部135の断面(例えば、図1のような断面図)において、凸部135は、90度の内角を有してもよいし、鋭角の内角を有してもよいし、鈍角の内角を有してもよい。第1方向(Z方向)において、連結部133の凸部135とX線発生管102の陽極103との間にX線発生管102の陰極104が位置しうる。図1に示された例では、第2部分132は、第1方向(Z方向)における長さがX線発生管102より長い。
絶縁性液体108は、陰極104に接触し導電線109を取り囲むように収納容器130の内部空間ISPに充填されうる。絶縁部材120は、導電線109および陰極104の少なくとも一方の少なくとも一部分を取り囲むように収納容器130の内部空間ISPに配置されうる。
絶縁部材120は、例えば、導電線109の少なくとも一部分を取り囲むように収納容器130の内部空間ISPに配置されうる。絶縁部材120は、導電線109と連結部133の凸部135との間の少なくとも最短経路を遮断するように配置されうる。絶縁部材120は、電圧供給部110と陰極104との間の導電線109の全経路において、導電線109と連結部133の凸部135との間の直線経路を遮断するように配置されうる。また、絶縁部材120は、陰極部材21と連結部133の凸部135との間の直線経路を遮断するように配置されうる。
絶縁部材120は、例えば、陰極104の少なくとも一部分、例えば、陰極部材21を取り囲むように配置されうる。陰極104の少なくとも一部分、例えば、陰極部材21は、絶縁性液体108を介して絶縁部材120と対面するように配置されうる。第1方向(Z方向)に直交する、ある平面(における断面図)において、陰極104の少なくとも一部分、例えば、陰極部材21は、絶縁性液体108を介して絶縁部材120と対面するように配置されうる。該平面(における断面図)において、絶縁部材120は、絶縁性液体108を介して第2部分132と対面しうる。絶縁部材120は、絶縁性の固体であればよく、セラミック、ガラス材料、エポキシガラス積層板などの樹脂材料等が適用されうる。絶縁部材120は、25℃における体積抵抗において1×10Ωm以上の絶縁性を有することが好ましい。
第2部分132に収納されたX線発生管102のターゲット1は、第2部分132の先端部(図1において下端部)に位置しうる。ターゲット1は、X線を発生するX線発生箇所であるので、上記のような構成は、X線発生箇所を被検体に近づけるため、即ち、撮影時の拡大率を向上させるために有利である。
X線発生管102は、透過型X線発生管でありうる。X線発生管102は、陽極103、陰極104および絶縁管4を含みうる。陽極103、陰極部材21および絶縁管4は、真空気密容器を構成する。絶縁管4は、管形状、例えば、円筒形状を有し、陽極103と陰極104とを相互に絶縁しつつ接続する。陽極103は、ターゲット1と、陽極部材2とを含みうる。ターゲット1は、ターゲット層1aと、ターゲット層1aを支持する支持窓1bとを含みうる。陽極部材2は、環形状を有しうる。陽極部材2は、ターゲット1を支持する。陽極部材2は、ターゲット層1aと電気的に接続されうる。陽極部材2と支持窓1bとは、例えば、ろう材によって結合されうる。図1に示された例では、ターゲット1と第2部分132の先端部とが同一平面上に配置されている。しかしながら、ターゲット1は、第2部分132と同電位(即ち、接地)されていれば、第2部分132の先端部から外側に突出するように配置されていてもよいし、第2部分132の先端部から窪むように配置されていてもよい。ターゲット1が第2部分132の先端部に位置する形態は、このような形態も含みうる。
ターゲット層1aは、例えば、タングステンまたはタンタル等の重金属を含有し、電子が照射されることによってX線を発生する。ターゲット層1aの厚さは、X線の発生に寄与する電子侵入長と、発生したX線が支持窓1bを透過する際の自己減衰量と、のバランスから決定されうる。ターゲット層1aの厚さは、例えば、1μm〜数十μmの範囲内でありうる。
支持窓1bは、ターゲット層1aで発生したX線を透過させX線発生管102の外に放出する機能を有する。支持窓1bは、X線を透過させる材料、例えば、ベリリウム、アルミニウム、窒化珪素、または、炭素の同素体等で構成されうる。支持窓1bは、ターゲット層1aの発熱を効果的に陽極部材2に伝達するために、例えば、熱伝導性が高いダイヤモンドで構成されうる。
絶縁管4は、真空気密性と絶縁性とを備えたアルミナまたはジルコニア等のセラミック材料、ソーダライム、または、石英等のガラス材料で構成されうる。陰極部材21および陽極部材2は、絶縁管4との間の熱応力を低減する観点において、絶縁管4の線膨張係数αi(ppm/℃)に近い線膨張係数αc(ppm/℃)、αa(ppm/℃)を有する材料で構成されうる。陰極部材21および陽極部材2は、例えば、コバールまたはモネル等の合金で構成されうる。
陰極104は、電子放出部23と、陰極部材21と、電子放出部23を陰極部材21に対して固定する固定部22とを含みうる。電子放出部23は、例えば、陰極部材21に対して、ろう材を介して接続されてもよいし、レーザ溶接等により熱融着されてもよいし、他の方法で電気的に接続されてもよい。電子放出部23は、含浸型熱電子源、フィラメント型熱電子源または冷陰極電子源等の電子源を含みうる。電子放出部23は、引出グリッド電極、集束レンズ電極等の静電場を規定する不図示の静電レンズ電極を含みうる。固定部22は、電子源、静電レンズ電極に電気的に接続される導電線109を通す管形状を有しうる。導電線109は、互いに絶縁された複数の導電部材を含みうる。
X線発生装置100は、陽極103が接地された陽極接地方式として構成されうる。陽極接地方式では、陽極103が収納容器130に電気的に接続されうる。収納容器130は、接地端子105に電気的に接続されうる。陰極104は、導電線109を介して電圧供給部110に電気的に接続されうる。
電圧供給部110は、電源回路111と、電源回路111から電源線107を介して供給される電力を受けて、導電線109を介してX線発生管102を駆動する駆動回路112とを含みうる。駆動回路112は、電源線107、電源回路111および接地線106を介して収納容器130に電気的に接続されうる。駆動回路112は、電子源、引出グリッド電極、集束レンズ電極等に供給する電圧を制御することによって、電子源からの放出電子量や電子ビーム径を制御しうる。電源回路111の正極端子は、接地線106および収納容器130を介して接地され、電源回路111の負極端子は、電源線107を介して駆動回路112に接続され、駆動回路112に負の電圧を供給する。駆動回路112には、例えば、収納容器130の外部に配置された不図示の制御部から光ファイバケーブル等のケーブルを介して制御信号が供給されうる。
収納容器130を構成する第1部分131、第2部分132および連結部133は、導電性を有する材料で構成され、相互に電気的に接続され、接地されうる。このような構成は、電気的な安全性を確保するために有利である。第1部分131、第2部分132および連結部133は、金属材料で構成されうる。絶縁性液体108は、収納容器130に対して真空充填されうる。この理由は、絶縁性液体108の中に気泡が存在すると、周囲の絶縁性液体108に比較して局所的に低誘電率な領域が形成され、これが放電の要因となりうるためである。
絶縁性液体108は、X線発生管102と収納容器130との間の放電および電圧供給部110(電源回路111、駆動回路112)と収納容器130との間の放電を抑制する機能も有する。絶縁性液体108としては、X線発生装置100の動作温度域における耐熱性、流動性、電気的絶縁性が優れた液体、例えば、シリコーン油、フッ素樹脂系オイル等の化学合成油、鉱油等が使用されうる。
X線発生管102は、収納容器130の第2部分132の先端部(図1において下端部)に設けられた開口部に接合されることによって第2部分132に固定されうる。X線発生管102と第2部分132との内側面との間には、絶縁性液体108で満たされうる。電源回路111および駆動回路112は、不図示の固定部材によって収納容器130の第1部分131に固定されうる。電源回路111および駆動回路112は、絶縁性液体108によって取り囲まれうる。導電線109は、絶縁性液体108によって取り囲まれうる。
収納容器130の連結部133は、例えば、第1方向(Z方向)に直交する方向に広がった板部を有し、該板部は、導電線109が通る開口OPを有する。該板部は、X線発生装置100を支持する構造体(例えば、筐体)の取り付け面に対して当接されうる。あるいは、該板部は、X線発生装置100を支持する構造体の開口部に嵌め込まれうる。収納容器130において、該板部の開口OPの側面と第2部分132の内側側面とは、段差を有しない連続した面を構成しうる。一例において、開口OPは、円形開口であり、第2部分132の内側側面は、円筒面でありうる。凸部135は、開口OPの端部で構成されうる。
絶縁部材120は、少なくとも2つの部材(121、122)を接着材料123によって結合した構造を有し、接着材料123と導電線109との間の直線経路、および、接着材料123と陰極104との間の直線経路を遮断するように構成されうる。このように構成することにより、接着材料123を介して、導電線109と凸部135との間での放電の発生を抑制することができる。あるいは、絶縁部材120は、それを構成する少なくとも2つの部材(121、122)を結合する接着材料123と陰極104の少なくとも一部、例えば、陰極部材21との間の直線経路を遮断するように構成されうる。このように構成することにより、接着材料123を介して、陰極104と凸部135との間での放電の発生を抑制することができる。
具体的な一構成例において、絶縁部材120は、少なくとも2つの部材として、筒形状部121と、筒形状部121から外方向に延在する鍔部122とを含みうる。一例において、筒形状部121は、円筒形状部を含むことができ、鍔部122は、リング形状部を含むことができる。絶縁部材120は、筒形状部121と鍔部122とが接着材料123によって結合(接着)された構造を有しうる。鍔部122は、例えば、連結部133の板部に沿って延在しうる。より具体的には、鍔部122は、例えば、連結部133の板部と平行に配置されうる。接着材料123は、少なくとも硬化後の状態が絶縁性の固体であればよく、例えば、エポキシ樹脂またはフェノール樹脂でありうる。鍔部122は、貫通孔を有することができ、該貫通孔の中に筒形状部121の一部が位置しうる。
第1実施形態において、鍔部122の該貫通孔の内面と、筒形状部121の外面のうち該内面に対面する領域との間に接着材料123が配置されうる。言い換えると、接着材料123と導電線109との間、および、接着材料123と陰極部材21との間には、筒形状部121が配置されている。このように構成することで、接着材料123を介する、導電線109と凸部135との間での放電、および、陰極104と凸部135との間での放電との発生を抑制することができる。
筒形状部121は、X線発生管102の絶縁管4の少なくとも一部を取り囲むように配置されうる。ここで、筒形状部121は、絶縁管4の全体を取り囲むように配置されてもよいし、絶縁管4の一部のみを取り囲むように配置されてもよい。鍔部122は、鍔部122の全部または一部が連結部133に接触するように配置されてもよい。また、鍔部122は、鍔部122の全部または一部が第2部分132に接触するように配置されてもよい。
X線発生管102の陰極104は、その全体が第2空間SP2に配置されうる。他の観点において、X線発生管102の陰極104は、X線発生管102の陽極103と連結部133の開口OPとの間に配置されうる。更に他の観点において、X線発生管102の陰極104の側方の全体が、第2部分132によって取り囲まれるように配置されうる。
導電線109の2つの端部のうち電圧供給部110(駆動回路112)の側の端部と凸部135とを結ぶ仮想的な直線(あるいは錐面)は、絶縁部材120と交差しうる。導電線109の2つの端部のうち陰極104の側の端部と凸部135とを結ぶ仮想的な直線(あるいは錐面)は、絶縁部材120と交差しうる。導電線109の2つの端部の間のあらゆる位置と凸部135とを結ぶ仮想的な直線は、絶縁部材120と交差しうる。電圧供給部110と凸部135とを結ぶ仮想的な直線は、絶縁部材120と交差しうる。物理的な空間において、駆動回路112は、電源回路111と陰極104との間に配置され、駆動回路112と凸部135とを結ぶ仮想的な直線は、絶縁部材120と交差しうる。
このような不安定な動作は、導電線109と連結部133の凸部135との間の直線経路を遮断するように絶縁部材120を配置することによって解決される。他の解決方法として、凸部135を規定する開口OPの寸法を大きくすることによって凸部135と導電線109との距離を大きくする方法があるが、このような方法はX線発生装置100の大型化をもたらすので、好ましくない。
以下、図2を参照しながら第2実施形態のX線発生装置100について説明する。第2実施形態のX線発生装置100として言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。第2実施形態では、X線発生管102の管軸方向である第1方向(Z方向)において、凸部135が陰極104と陽極103との間に配置された構造を有する。図2に示された例では、第2部分132は、第1方向(Z方向)における長さがX線発生管102より短い。
図3、図4、図5には、第1実施形態のX線発生装置100の絶縁部材120の第1、第2、第3変形例が示されている。図3〜図5に示された絶縁部材120の第1、第2、第3変形例は、第2実施形態に適用されてもよい。
第1、第2実施形態では、鍔部122の貫通孔の内面と、筒形状部121の外面のうち該内面に対面する領域との間に接着材料123が配置されうる。一方、第1、第2、第3変形例では、鍔部122の放射方向(第2方向)に延在する面と、筒形状部121の外面のうち該面に対面する領域との間に接着材料123が配置されうる。第1、第2、第3変形例のような構成では、筒形状部121に対して接着材料123を介して鍔部122をより強く押し当てることが容易であるので、例えば、接着材料123に取り込まれうる気泡を消滅させるために有利である。これは、絶縁性能の向上をもたらしうる。更に、2つの部材121、122をより強く押し当てることにより、接着材料123の厚さ(第1方向の寸法)をより小さくすることができると共に、接着材料123の幅(第2方向の寸法)をより大きくすることができるので、絶縁性能をより高めることもできる。
具体的には、第1、第2、第3変形例において、筒形状部121は、第2方向(例えば、X方向またはY方向)における寸法(外径)が該第2方向における鍔部122の貫通孔の寸法(孔径)より大きい第1部1211と、第1部1211から第1方向(例えば、Z方向)に延びていて第2方向における寸法(外径)が第2方向における鍔部122の貫通孔の寸法(孔径)より小さい第2部1212とを含みうる。第1部1211と第2部1212とによって筒形状部121の外周面に段差面SSが形成され、段差面SSと、鍔部122のうち段差面SSに対面する接着領域との間に接着材料123が配置される。段差面SSは、筒形状部121の外面にて放射方向(第2方向)に延在する。
図3に示された第1変形例および図5に示された第3変形例において、鍔部122は、連結部133に対面する部分を有する第1面S1を有し、鍔部122の接着領域は、第1面S1に設けられ、該接着領域と段差面SSとの間に接着材料123が配置されている。図4に示された第2変形例において、鍔部122は、連結部133に対面する部分を有する第1面S1と第1面S1の反対側の第2面S2とを有し、鍔部122の接着領域は、第2面S2に設けられ、該接着領域と段差面SSとの間に接着材料123が配置されている。第1、第2、第3変形例は、絶縁部材120の製造時において、筒形状部121の段差面SSに対して接着材料123を介して鍔部122を強く押し当てることが容易であるので、例えば、接着材料123に取り込まれうる気泡を消滅させるために有利である。これは、絶縁性能の向上をもたらしうる。
図6には、一実施形態のX線撮像装置200の構成が示されている。X線撮像装置200は、X線発生装置100と、X線発生装置100から放射され物体191を透過したX線192を検出するX線検出装置210とを備えうる。X線撮像装置200は、制御装置220および表示装置230を更に備えてもよい。X線検出装置210は、X線検出器212と、信号処理部214とを含みうる。制御装置220は、X線発生装置100およびX線検出装置210を制御しうる。X線検出器212は、X線発生装置100から放射され物体191を透過したX線192を検出あるいは撮像する。信号処理部214は、X線検出器212から出力される信号を処理して、処理された信号を制御装置220に供給しうる。制御装置220は、信号処理部214から供給される信号に基づいて、表示装置230に画像を表示させうる。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

Claims (11)

  1. 第1方向に電子を放出する電子放出部を含む陰極、および、前記電子放出部から放射された電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを含む陽極を有するX線発生管と、
    導電線を介して前記X線発生管に電圧を供給する電圧供給部と、
    前記電圧供給部を収納する第1空間を形成する第1部分、前記第1方向と直交する第2方向における幅が前記第1空間よりも小さく前記X線発生管を収納する第2空間を形成する第2部分、および、前記第1空間と前記第2空間とが連通した内部空間が形成されるように前記第1部分および前記第2部分を相互に連結する連結部を有し、前記連結部が前記内部空間に向けて尖った凸部を有する、収納容器と、
    前記導電線および前記陰極の少なくとも一方の少なくとも一部分を取り囲むように前記内部空間に配置された絶縁部材と、
    を備え、
    前記絶縁部材は、前記導電線と前記凸部との間の少なくとも最短経路を遮断するように配置され、
    前記絶縁部材は、少なくとも2つの部材を接着材料によって結合した構造を有し、前記接着材料と前記導電線との間の直線経路、および、前記接着材料と前記陰極との間の直線経路を遮断するように構成されている、
    ことを特徴とするX線発生装置。
  2. 前記少なくとも2つの部材は、筒形状部と、前記筒形状部から外方向に延在する鍔部とを含む、
    ことを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。
  3. 前記鍔部は、貫通孔を有し、前記貫通孔の中に前記筒形状部の一部が位置する、
    ことを特徴とする請求項2に記載のX線発生装置。
  4. 前記貫通孔の内面と、前記筒形状部の外面のうち前記内面に対面する領域との間に前記接着材料が配置されている、
    ことを特徴とする請求項3に記載のX線発生装置。
  5. 前記筒形状部は、外径が前記貫通孔の孔径より大きい第1部と、前記第1部から前記第1方向に延びていて外径が前記貫通孔の孔径より小さい第2部と、を含み、前記第1部の外周面と前記第2部の外周面とによって前記筒形状部の外周面に段差面が形成され、
    前記段差面と、前記鍔部のうち前記段差面に対面する接着領域との間に前記接着材料が配置されている、
    ことを特徴とする請求項3に記載のX線発生装置。
  6. 前記鍔部は、前記連結部に対面する部分を有する第1面を有し、前記接着領域は、前記第1面に設けられている、
    ことを特徴とする請求項5に記載のX線発生装置。
  7. 前記鍔部は、前記連結部に対面する部分を有する第1面と前記第1面の反対側の第2面とを有し、前記接着領域は、前記第2面に設けられている、
    ことを特徴とする請求項5に記載のX線発生装置。
  8. 前記第1方向において、前記陰極は、前記凸部と前記陽極との間に配置されている、
    ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  9. 前記第1方向において、前記凸部は、前記陰極と前記陽極との間に配置されている、
    ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  10. 前記内部空間に充填された絶縁性液体を更に備える、
    ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のX線発生装置。
  11. 請求項1乃至10のいずれか1項に記載のX線発生装置と、
    前記X線発生装置から放射され物体を透過したX線を検出するX線検出装置と、
    を備えることを特徴とするX線撮像装置。
JP2020508067A 2019-09-03 2019-09-03 X線発生装置およびx線撮像装置 Active JP6683903B1 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2019/034639 WO2021044524A1 (ja) 2019-09-03 2019-09-03 X線発生装置およびx線撮像装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6683903B1 true JP6683903B1 (ja) 2020-04-22
JPWO2021044524A1 JPWO2021044524A1 (ja) 2021-09-27

Family

ID=70286694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020508067A Active JP6683903B1 (ja) 2019-09-03 2019-09-03 X線発生装置およびx線撮像装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10969347B2 (ja)
EP (1) EP4006951B1 (ja)
JP (1) JP6683903B1 (ja)
KR (1) KR102439978B1 (ja)
CN (1) CN114303221A (ja)
TW (1) TWI758836B (ja)
WO (1) WO2021044524A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7486694B1 (ja) 2023-01-25 2024-05-17 キヤノンアネルバ株式会社 X線発生装置およびx線撮像装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007080568A (ja) * 2005-09-12 2007-03-29 Jobu:Kk X線発生装置
JP2018073625A (ja) * 2016-10-28 2018-05-10 キヤノン株式会社 X線発生装置及び、x線撮影システム

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH165974A (de) * 1932-10-17 1933-12-15 Roewag A G Spannungssicheres Röntgengerät.
US20130044866A1 (en) * 2010-05-07 2013-02-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. X-ray generating device employing a mechanical energy source and method
JP4880771B2 (ja) * 2010-07-21 2012-02-22 株式会社ジョブ X線発生装置
JP5921153B2 (ja) * 2011-11-09 2016-05-24 キヤノン株式会社 放射線発生管および放射線発生装置
JP5931501B2 (ja) * 2012-02-24 2016-06-08 株式会社東芝 X線管装置
JP2014139876A (ja) * 2013-01-21 2014-07-31 Canon Inc 放射線発生装置及び放射線撮影システム
US9282622B2 (en) * 2013-10-08 2016-03-08 Moxtek, Inc. Modular x-ray source
JP6305142B2 (ja) * 2014-03-20 2018-04-04 東芝電子管デバイス株式会社 固定陽極型x線管装置及びその製造方法
EP3291650B1 (en) * 2016-09-02 2019-06-05 ETH Zürich Device and method for generating uv or x-ray radiation by means of a plasma
JP6936067B2 (ja) * 2017-07-25 2021-09-15 キヤノン電子管デバイス株式会社 X線管装置
CN113272931B (zh) * 2018-12-28 2022-10-18 佳能安内华股份有限公司 X射线产生管、x射线产生装置及x射线成像装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007080568A (ja) * 2005-09-12 2007-03-29 Jobu:Kk X線発生装置
JP2018073625A (ja) * 2016-10-28 2018-05-10 キヤノン株式会社 X線発生装置及び、x線撮影システム

Also Published As

Publication number Publication date
TWI758836B (zh) 2022-03-21
EP4006951A4 (en) 2022-08-24
JPWO2021044524A1 (ja) 2021-09-27
KR20220027291A (ko) 2022-03-07
EP4006951B1 (en) 2024-03-20
US20210063324A1 (en) 2021-03-04
TW202127015A (zh) 2021-07-16
CN114303221A (zh) 2022-04-08
EP4006951A1 (en) 2022-06-01
KR102439978B1 (ko) 2022-09-05
WO2021044524A1 (ja) 2021-03-11
US10969347B2 (en) 2021-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6639757B1 (ja) X線発生装置およびx線撮影装置
KR101515049B1 (ko) 방사선 발생장치 및 방사선 촬영장치
EP2649634B1 (en) Radiation generating apparatus and radiation imaging apparatus
US8837680B2 (en) Radiation transmission type target
US9117621B2 (en) Radiation generating tube, radiation generating unit, and radiation image taking system
US9741524B2 (en) X-ray generating apparatus and radiography system using the same
US20240097394A1 (en) Light emitting sealed body and light source device
TWI678131B (zh) X射線產生設備
JP6683903B1 (ja) X線発生装置およびx線撮像装置
JP6659167B2 (ja) 電子銃を備えたx線発生管及びx線撮影装置
JP2019179713A (ja) X線管
JP2019186209A (ja) X線管

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200212

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20200212

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20200227

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200302

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200326

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6683903

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250