JP6639757B1 - Ｘ線発生装置およびｘ線撮影装置 - Google Patents

Abstract

Ｘ線発生装置は、第１方向に電子を放出する電子放出部を含む陰極、および、前記電子放出部から放射された電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲットを含む陽極を有するＸ線発生管と、導電線を介して前記Ｘ線発生管に電圧を供給する電圧供給部と、前記電圧供給部を収納する第１空間を形成する第１部分、前記第１方向と直交する第２方向における幅が前記第１空間よりも小さく前記Ｘ線発生管を収納する第２空間を形成する第２部分、および、前記第１空間と前記第２空間とが連通されるように前記第１部分および前記第２部分を相互に連結する連結部を有する収納容器と、前記第１空間と前記第２空間とが連通した内部空間に充填された絶縁性液体と、を備え、前記連結部は、前記内部空間に向けて尖った凸部を有し、前記第１方向において、前記陰極は、前記凸部と前記陽極との間に配置され、前記導電線の少なくとも一部分を取り囲むとともに、前記導電線と前記凸部との間の少なくとも直線経路を遮断するように絶縁部材が配置されている。

Description

本発明は、Ｘ線発生装置およびＸ線撮影装置に関する。

Ｘ線透過像の拡大率は、Ｘ線発生部であるターゲットと被検体との距離が近いほど増加しうる。そこで、被検体が奥まった位置にある場合であっても十分な拡大率が得られるように、収納容器の本体部に、本体部から細長く突出させた突出部を設け、その突出部の先端にＸ線発生部を取り付けたＸ線発生装置が知られている。このようなＸ線発生装置は、特許文献１に記載されている。

上記のようなＸ線発生装置において、収納容器とＸ線発生管の陰極との間には大きな電位差が生じる上に、収納容器には本体部と突出部との接続部分に屈曲部が形成されている。そのため、収納容器の屈曲部とＸ線発生管の陰極との間において放電が発生しやすい。このような課題に対し、特許文献１には、Ｘ線発生管の管軸方向における陰極と陽極との間に屈曲部を配置するとともに、屈曲部と陰極との距離を陽極と陰極との距離よりも長くすることが記載されている。また、特許文献１には、屈曲部と陰極との距離を陽極と陰極との距離よりも短くする場合には、管軸方向における陰極と陽極との間に屈曲部を配置し、屈曲部が陰極から直視されないように絶縁部材を配置することが記載されている。

特開２０１８−７３６２５号公報

特許文献１に記載された上記の２つのアプローチのいずれにおいても、収納容器の屈曲部とＸ線発生管の陰極との間の放電を低減させるために、管軸方向における陽極−絶縁管接合部（Ｘ線発生管の外側（油側）における陽極と絶縁管との接合部）と陰極−絶縁管接合部（Ｘ線発生管の外側（油側）における陰極と絶縁管との接合部）との間に収納容器の屈曲部を配置することを要件とする。しかし、より奥まった位置に配置される被検体を撮像する際の拡大率の向上のためには、収納容器の突出部の長さをより長くすることが要求される。特許文献１は、このような要求に対する解決策を提供するものではない。

本発明者は、管軸方向において収納容器の屈曲部と陽極との間に陰極が配置された構成において屈曲部と陰極との距離が大きくなるほど、Ｘ線発生装置の動作が不安定になることを発見し、それを解決する過程で本発明に至った。本発明は、拡大率の向上とＸ線発生装置の動作の安定性の向上に有利な技術を提供する。

本発明の１つの側面は、Ｘ線発生装置に係り、前記Ｘ線発生装置は、第１方向に電子を放出する電子放出部を含む陰極、および、前記電子放出部から放射された電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲットを含む陽極を有するＸ線発生管と、導電線を介して前記Ｘ線発生管に電圧を供給する電圧供給部と、前記電圧供給部を収納する第１空間を形成する第１部分、前記第１方向と直交する第２方向における幅が前記第１空間よりも小さく前記Ｘ線発生管を収納する第２空間を形成する第２部分、および、前記第１空間と前記第２空間とが連通されるように前記第１部分および前記第２部分を相互に連結する連結部を有する収納容器と、前記第１空間と前記第２空間とが連通した内部空間に充填された絶縁性液体と、を備え、前記連結部は、前記内部空間に向けて尖った凸部を有し、前記第１方向において、前記陰極は、前記凸部と前記陽極との間に配置され、前記導電線の少なくとも一部分を取り囲むとともに、前記導電線と前記凸部との間の少なくとも最短経路を遮断するように絶縁部材が配置されている。

本発明によれば、拡大率の向上とＸ線発生装置の動作の安定性の向上に有利な技術が提供される。

第１実施形態のＸ線発生装置の構成を示す図。 第２実施形態のＸ線発生装置の構成を示す図。 第３実施形態のＸ線発生装置の構成を示す図。 一実施形態のＸ線撮像装置の構成を示す図。

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

図１には、第１実施形態のＸ線発生装置１００の構成が模式的に示されている。Ｘ線発生装置１００は、Ｘ線発生管１０２と、電圧供給部１１０と、収納容器１３０と、絶縁性液体１０８と、絶縁部材１２０とを備えうる。Ｘ線発生管１０２は、管軸方向である第１方向（Ｚ方向）に電子を放出する電子放出部２３を含む陰極１０４、および、電子放出部２３から放射された電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲット１を含む陽極１０３を有しうる。電圧供給部１１０は、導電線１０９を介してＸ線発生管１０２、より詳しくは陰極１０４に電圧を供給する。導電線１０９は、導電性部材と、該導電性部材を被覆する絶縁材とを含みうるが、該絶縁材を有しなくてもよい。

収納容器１３０は、第１部分１３１、第２部分１３２および連結部１３３を含みうる。第１部分１３１は、電圧供給部１１０を収納しうる。第２部分１３２は、Ｘ線発生管１０２を収納しうる。連結部１３３は、第１部分１３１の内側の第１空間ＳＰ１と第２部分１３２の内側の第２空間ＳＰ２とが連通した内部空間ＩＳＰが形成されるように第１部分１３１および第２部分１３２を相互に連結しうる。第２部分１３２は、第１方向（Ｚ方向）と直交する第２方向（Ｙ方向）における幅が第１部分１３１より小さい。また、第２空間ＳＰ２は、第１方向（Ｚ方向）と直交する第２方向（Ｙ方向）における幅が第１空間ＳＰ１より小さい。連結部１３３は、収納容器１３０の内部空間ＩＳＰに向けて尖った凸部１３５を有しうる。第２部分１３２は、例えば、円筒形状等の管形状を有しうる。凸部１３５の断面（例えば、図１のような断面図）において、凸部１３５は、９０度の内角を有してもよいし、鋭角の内角を有してもよいし、鈍角の内角を有してもよい。第１方向（Ｚ方向）において、連結部１３３の凸部１３５とＸ線発生管１０２の陽極１０３との間にＸ線発生管１０２の陰極１０４が位置しうる。図１に示された例では、第２部分１３２は、第１方向（Ｚ方向）における長さがＸ線発生管１０２より長い。

絶縁性液体１０８は、陰極１０４に接触し導電線１０９を取り囲むように収納容器１３０の内部空間ＩＳＰに充填されうる。絶縁部材１２０は、導電線１０９の少なくとも一部分を取り囲むように収納容器１３０の内部空間ＩＳＰに配置されうる。絶縁部材１２０は、導電線１０９と連結部１３３の凸部１３５との間の少なくとも最短経路を遮断するように配置されうる。絶縁部材１２０は、電圧供給部１１０と陰極１０４との間の導電線１０９の全経路において、導電線１０９と連結部１３３の凸部１３５との間の直線経路を遮断するように配置されうる。絶縁部材１２０は、固体部材でありうる。第２部分１３２に収納されたＸ線発生管１０２のターゲット１は、第２部分１３２の先端部（図１において下端部）に位置しうる。ターゲット１は、Ｘ線を発生するＸ線発生箇所であるので、上記のような構成は、Ｘ線発生箇所を被検体に近づけるため、即ち、撮影時の拡大率を向上させるために有利である。

Ｘ線発生管１０２は、透過型Ｘ線発生管でありうる。Ｘ線発生管１０２は、陽極１０３、陰極１０４および絶縁管４を含みうる。陽極１０３、陰極１０４および絶縁管４は、真空気密容器を構成する。絶縁管４は、管形状、例えば、円筒形状を有し、陽極１０３と陰極１０４とを相互に絶縁しつつ接続する。陽極１０３は、ターゲット１と、陽極部材２とを含みうる。ターゲット１は、ターゲット層１ａと、ターゲット層１ａを支持する支持窓１ｂとを含みうる。陽極部材２は、環形状を有しうる。陽極部材２は、ターゲット１を支持する。陽極部材２は、ターゲット層１ａと電気的に接続されうる。陽極部材２と支持窓１ｂとは、例えば、ろう材によって結合されうる。図１に示された例では、ターゲット１と第２部分１３２の先端部とが同一平面上に配置されている。しかしながら、ターゲット１は、第２部分１３２と同電位（即ち、接地）されていれば、第２部分１３２の先端部から外側に突出するように配置されていてもよいし、第２部分１３２の先端部から窪むように配置されていてもよい。ターゲット１が第２部分１３２の先端部に位置する形態は、このような形態も含みうる。

ターゲット層１ａは、例えば、タングステンまたはタンタル等の重金属を含有し、電子が照射されることによってＸ線を発生する。ターゲット層１ａの厚さは、Ｘ線の発生に寄与する電子侵入長と、発生したＸ線が支持窓１ｂを透過する際の自己減衰量と、のバランスから決定されうる。ターゲット層１ａの厚さは、例えば、１μｍ〜数十μｍの範囲内でありうる。

支持窓１ｂは、ターゲット層１ａで発生したＸ線を透過させＸ線発生管１０２の外に放出する機能を有する。支持窓１ｂは、Ｘ線を透過させる材料、例えば、ベリリウム、アルミニウム、窒化珪素、または、炭素の同素体等で構成されうる。支持窓１ｂは、ターゲット層１ａの発熱を効果的に陽極部材２に伝達するために、例えば、熱伝導性が高いダイアモンドで構成されうる。

絶縁管４は、真空気密性と絶縁性とを備えたアルミナまたはジルコニア等のセラミック材料、ソーダライム、または、石英等のガラス材料で構成されうる。陰極部材２１および陽極部材２は、絶縁管４との間の熱応力を低減する観点において、絶縁管４の線膨張係数αｉ（ｐｐｍ／℃）に近い線膨張係数αｃ（ｐｐｍ／℃）、αａ（ｐｐｍ／℃）を有する材料で構成されうる。陰極部材２１および陽極部材２は、例えば、コバールまたはモネル等の合金で構成されうる。

陰極１０４は、電子放出部２３と、陰極部材２１と、電子放出部２３を陰極部材２１に対して固定する固定部２２とを含みうる。電子放出部２３は、例えば、陰極部材２１に対して、ろう材を介して接続されてもよいし、レーザ溶接等により熱融着されてもよいし、他の方法で電気的に接続されてもよい。電子放出部２３は、含浸型熱電子源、フィラメント型熱電子源または冷陰極電子源等の電子源を含みうる。電子放出部２３は、引出グリッド電極、集束レンズ電極等の静電場を規定する不図示の静電レンズ電極を含みうる。固定部２２は、電子源、静電レンズ電極に電気的に接続される導電線１０９を通す管形状を有しうる。導電線１０９は、互いに絶縁された複数の導電部材を含みうる。

Ｘ線発生装置１００は、陽極１０３が接地された陽極接地方式として構成されうる。陽極接地方式では、陽極１０３が収納容器１３０に電気的に接続されうる。収納容器１３０は、接地端子１０５に電気的に接続されうる。陰極１０４は、導電線１０９を介して電圧供給部１１０に電気的に接続されうる。

電圧供給部１１０は、電源回路１１１と、電源回路１１１から電源線１０７を介して供給される電力を受けて、導電線１０９を介してＸ線発生管１０２を駆動する駆動回路１１２とを含みうる。駆動回路１１２は、電源線１０７、電源回路１１１および接地線１０６を介して収納容器１３０に電気的に接続されうる。駆動回路１１２は、電子源、引出グリッド電極、集束レンズ電極等に供給する電圧を制御することによって、電子源からの放出電子量や電子ビーム径を制御しうる。電源回路１１１の正極端子は、接地線１０６および収納容器１３０を介して接地され、電源回路１１１の負極端子は、電源線１０７を介して駆動回路１１２に接続され、駆動回路１１２に負の電圧を供給する。駆動回路１１２には、例えば、収納容器１３０の外部に配置された不図示の制御部から光ファイバケーブル等のケーブルを介して制御信号が供給されうる。

収納容器１３０を構成する第１部分１３１、第２部分１３２および連結部１３３は、導電性を有する材料で構成され、相互に電気的に接続され、接地されうる。このような構成は、電気的な安全性を確保するために有利である。第１部分１３１、第２部分１３２および連結部１３３は、金属材料で構成されうる。絶縁性液体１０８は、収納容器１３０に対して真空充填されうる。この理由は、絶縁性液体１０８の中に気泡が存在すると、周囲の絶縁性液体１０８に比較して局所的に低誘電率な領域が形成され、これが放電の要因となりうるためである。

絶縁性液体１０８は、Ｘ線発生管１０２と収納容器１３０との間の放電および電圧供給部１１０（電源回路１１１、駆動回路１１２）と収納容器１３０との間の放電を抑制する機能も有する。絶縁性液体１０８としては、Ｘ線発生装置１００の動作温度域における耐熱性、流動性、電気的絶縁性が優れた液体、例えば、シリコーン油、フッ素樹脂系オイル等の化学合成油、鉱油等が使用されうる。

Ｘ線発生管１０２は、収納容器１３０の第２部分１３２の先端部（図１において下端部）に設けられた開口部に接合されることによって第２部分１３２に固定されうる。Ｘ線発生管１０２と第２部分１３２との内側面との間には、絶縁性液体１０８で満たされうる。電源回路１１１および駆動回路１１２は、不図示の固定部材によって収納容器１３０の第１部分１３１に固定されうる。電源回路１１１および駆動回路１１２は、絶縁性液体１０８によって取り囲まれうる。導電線１０９は、絶縁性液体１０８によって取り囲まれうる。

絶縁部材１２０は、陰極１０４の少なくとも一部、例えば、陰極部材２１を取り囲むように配置されうる。陰極１０４の少なくとも一部、例えば、陰極部材２１は、絶縁性液体１０８を介して絶縁部材１２０と対面するように配置されうる。第１方向（Ｚ方向）に直交する、ある平面（における断面図）において、陰極１０４の少なくとも一部、例えば、陰極部材２１は、絶縁性液体１０８を介して絶縁部材１２０と対面するように配置されうる。該平面（における断面図）において、絶縁部材１２０は、絶縁性液体１０８を介して第２部分１３２と対面しうる。

収納容器１３０の連結部１３３は、第１方向（Ｚ方向）に直交する方向に広がった板部を有し、該板部は、導電線１０９が通る開口ＯＰを有する。該板部は、Ｘ線発生装置１００を支持する構造体（例えば、筐体）の取り付け面に対して当接されうる。あるいは、該板部は、Ｘ線発生装置１００を支持する構造体の開口部に嵌め込まれうる。収納容器１３０において、該板部の開口ＯＰの側面と第２部分１３２の内側側面とは、段差を有しない連続した面を構成しうる。一例において、開口ＯＰは、円形開口であり、第２部分１３２の内側側面は、円筒面でありうる。凸部１３５は、開口ＯＰの端部で構成されうる。

絶縁部材１２０は、筒形状部１２１と、連結部１３３の板部に沿って延在するフランジ部１２２とを有し、筒形状部１２１の一端とフランジ部１２２とが連結された構成を有しうる。フランジ部１２２は、例えば、連結部１３３の板部と平行に配置されうる。筒形状部１２１は、Ｘ線発生管１０２の絶縁管４の少なくとも一部を取り囲むように配置されうる。ここで、筒形状部１２１は、絶縁管４の全体を取り囲むように配置されてもよいし、絶縁管４の一部のみを取り囲むように配置されてもよい。フランジ部１２２は、フランジ部１２２の全部または一部が連結部１３３に接触するように配置されてもよい。また、フランジ部１２２は、フランジ部１２２の全部または一部が第２部分１３２に接触するように配置されてもよい。

Ｘ線発生管１０２の陰極１０４は、その全体が第２空間ＳＰ２に配置されうる。他の観点において、Ｘ線発生管１０２の陰極１０４は、Ｘ線発生管１０２の陽極１０３と連結部１３３の開口ＯＰとの間に配置されうる。更に他の観点において、Ｘ線発生管１０２の陰極１０４の側方の全体が、第２部分１３２によって取り囲まれるように配置されうる。

導電線１０９の２つの端部のうち電圧供給部１１０（駆動回路１１２）の側の端部と凸部１３５とを結ぶ仮想的な直線（あるいは錐面）は、絶縁部材１２０と交差しうる。導電線１０９の２つの端部のうち陰極１０４の側の端部と凸部１３５とを結ぶ仮想的な直線（あるいは錐面）は、絶縁部材１２０と交差しうる。導電線１０９の２つの端部の間のあらゆる位置と凸部１３５とを結ぶ仮想的な直線は、絶縁部材１２０と交差しうる。電圧供給部１１０と凸部１３５とを結ぶ仮想的な直線は、絶縁部材１２０と交差しうる。物理的な空間において、駆動回路１１２は、電源回路１１１と陰極１０４との間に配置され、駆動回路１１２と凸部１３５とを結ぶ仮想的な直線は、絶縁部材１２０と交差しうる。

導電線１０９と連結部１３３の凸部１３５との間の直線経路を遮断するように絶縁部材１２０が配置されない場合、第１方向における第２部分１３２の長さの増加に伴ってＸ線発生装置１００の動作が不安定になった。この原因として、絶縁性液体１０８の流動による導電線１０９の揺れが考えられる。より具体的には、本発明者は、次のように考えた。まず、絶縁性液体が電界を駆動力として流動しうることは、ＥＨＤ現象として知られている。そして、接地電位である第２部分１３２の第１方向における長さの増加に伴って、接地電位に対して大きな電位差を有する電圧（負電位）が印加されている導電線１０９の長さも延長された。言い換えると、電界が集中しやすい凸部１３５付近における双方の電極（第２部分１３２、導電線１０９）の表面積が増加し、絶縁性液体１０８と双方の電極との接触面積が増えた。この双方の電極との接触面積の増大によって、ＥＨＤ現象が増強され、絶縁性液体１０８の対流速度が増加した。更に、絶縁性液体１０８は、互いに連通し、互いに異なる電界が発生する第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２の双方に充填されており、絶縁性液体１０８を対流させる駆動力は複雑化した。これらが導電線１０９の揺れを増加させた。この揺れによって導電線１０９と凸部１３５との距離が小さくなり、導電線１０９と凸部１３５との間で放電が誘発された。また、導電線１０９の最小曲率半径が陰極１０４の最小曲率半径よりも小さい場合、導電線１０９の長さの延長は、導電線１０９と凸部１３５との間の放電をより誘発しうる。

このような不安定な動作は、導電線１０９と連結部１３３の凸部１３５との間の直線経路を遮断するように絶縁部材１２０を配置することによって解決される。他の解決方法として、凸部１３５を規定する開口ＯＰの寸法を大きくすることによって凸部１３５と導電線１０９との距離を大きくする方法があるが、このような方法はＸ線発生装置１００の大型化をもたらすので、好ましくない。

以下、図２を参照しながら第２実施形態のＸ線発生装置１００について説明する。第２実施形態のＸ線発生装置１００として言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。第２実施形態のＸ線発生装置１００は、導電線１０９の動きを制限する規制部材１５０を備えている。規制部材１５０は、導電線１０９の全体のうち導電線１０９の２つの端部の間の部分の位置を固定または制限するように配置されうる。規制部材１５０は、例えば、導電線１０９の位置を規制する囲包部材１５１と、囲包部材１５１を固定する固定部材１５２とを有しうる。固定部材１５２は、囲包部材１５１と絶縁部材１２０とを結合する結合部材でありうる。固定部材１５２は、収納容器１３０を介することなく、直接に絶縁部材１２０に結合されうる。あるいは、固定部材１５２は、収納容器１３０に直接に接続されてもよい。あるいは、固定部材１５２は、他の部材を介して絶縁部材１２０または収納容器１３０に固定されてもよい。規制部材１５０は、絶縁体で構成されうる。囲包部材１５１および固定部材１５２は、絶縁体で構成されうる。

第２実施形態は、導電線１０９の動きを制限する規制部材１５０を備えることによって、導電線１０９の揺れによる導電線１０９と連結部１３３の凸部１３５との間の放電を抑制し、Ｘ線発生装置１００の動作を安定させるために有利である。なお、第２実施形態の効果の少なくとも一部は、絶縁部材１２０がない場合においても得られうる。

以下、図３を参照しながら第３実施形態のＸ線発生装置１００について説明する。第３実施形態のＸ線発生装置１００として言及しない事項は、第１又は第２実施形態に従いうる。第３実施形態のＸ線発生装置１００は、駆動回路１１２を取り囲むように第１空間ＳＰ１に配置された導電性部材１６０を備えている。導電性部材１６０は、固定電位に維持されうる。導電性部材１６０は、例えば、電圧供給部１１０の電源端子（固定電位に維持される端子）に接続されうる。導電性部材１６０は、導電線１０９、１０７を貫通させるための貫通孔を有しうる。導電性部材１６０は、駆動回路１１２の他、電源回路１１１を取り囲んでもよい。つまり、導電性部材１６０は、電圧供給部１１０を取り囲んでもよい。絶縁性液体１０８は、導電性部材１６０を取り囲むように配置されうる。

絶縁性液体１０８が収納容器１３０の内部空間ＩＳＰで対流すると、絶縁性液体１０８と、内部空間ＩＳＰに配置されている種々の絶縁体との間で摩擦が起き、絶縁性液体１０８と絶縁体とが互いに逆極性に帯電しうる。第１方向における第２部１３２の長さを増加させたことによって絶縁性液体１０８の対流速度が増加すると、摩擦によって発生する帯電量も増加し、絶縁性液体１０８中の駆動回路１１２が誤作動を起こしうる。導電性部材１６０は、このような原因による駆動回路１１２の誤動作を抑制し、Ｘ線発生装置１００の動作を安定させるために有利である。

図４には、一実施形態のＸ線撮像装置２００の構成が示されている。Ｘ線撮像装置２００は、Ｘ線発生装置１００と、Ｘ線発生装置１００から放射され物体１９１を透過したＸ線１９２を検出するＸ線検出装置２１０とを備えうる。Ｘ線撮像装置２００は、制御装置２２０および表示装置２３０を更に備えてもよい。Ｘ線検出装置２１０は、Ｘ線検出器２１２と、信号処理部２１４とを含みうる。制御装置２２０は、Ｘ線発生装置１００およびＸ線検出装置２１０を制御しうる。Ｘ線検出器２１２は、Ｘ線発生装置１００から放射され物体１９１を透過したＸ線１９２を検出あるいは撮像する。信号処理部２１４は、Ｘ線検出器２１２から出力される信号を処理して、処理された信号を制御装置２２０に供給しうる。制御装置２２０は、信号処理部２１４から供給される信号に基づいて、表示装置２３０に画像を表示させうる。

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

Claims (16)

1. 第１方向に電子を放出する電子放出部を含む陰極、および、前記電子放出部から放射された電子が衝突することによってＸ線を発生するターゲットを含む陽極を有するＸ線発生管と、
   導電線を介して前記Ｘ線発生管に電圧を供給する電圧供給部と、 前記電圧供給部を収納する第１空間を形成する第１部分、前記第１方向と直交する第２方向における幅が前記第１空間よりも小さく前記Ｘ線発生管を収納する第２空間を形成する第２部分、および、前記第１空間と前記第２空間とが連通されるように前記第１部分および前記第２部分を相互に連結する連結部を有する収納容器と、
   前記第１空間と前記第２空間とが連通した内部空間に充填された絶縁性液体と、
   を備え、
   前記連結部は、前記内部空間に向けて尖った凸部を有し、
   前記第１方向において、前記陰極は、前記凸部と前記陽極との間に配置され、前記導電線の少なくとも一部分を取り囲むとともに、前記導電線と前記凸部との間の少なくとも最短経路を遮断するように絶縁部材が配置されている、
   ことを特徴とするＸ線発生装置。
2. 前記絶縁部材は、前記陰極の少なくとも一部を取り囲むように配置されている、
   ことを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生装置。
3. 前記陰極の少なくとも一部は、前記絶縁性液体を介して前記絶縁部材と対面する、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線発生装置。
4. 前記第１方向に直交する平面において、前記陰極の少なくとも一部は、前記絶縁性液体を介して前記絶縁部材と対面する、
   ことを特徴とする請求項３に記載のＸ線発生装置。
5. 前記平面において、前記絶縁部材は、前記絶縁性液体を介して前記第２部分と対面する、
   ことを特徴とする請求項４に記載のＸ線発生装置。
6. 前記連結部は、前記第１方向に直交する方向に広がった板部を有し、前記板部は、前記導電線が通る開口を有する、
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のＸ線発生装置。
7. 前記開口の側面と前記第２部分の内側側面とが、段差を有しない連続した面を構成している、
   ことを特徴とする請求項６に記載のＸ線発生装置。
8. 前記絶縁部材は、筒形状部と、前記板部に平行な面を有するフランジ部とを有し、前記筒形状部の一端と前記フランジ部とが連結されている、
   ことを特徴とする請求項６又は７に記載のＸ線発生装置。
9. 前記導電線の全体のうち前記導電線の２つの端部の間の部分の位置を固定または制限する規制部材を更に備える、
   ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のＸ線発生装置。
10. 前記規制部材は、絶縁体である、
    ことを特徴とする請求項９に記載のＸ線発生装置。
11. 前記規制部材は、前記絶縁部材に結合されている、
    ことを特徴とする請求項１０に記載のＸ線発生装置。
12. 前記絶縁性液体は、前記電圧供給部を取り囲むように配置されている、
    ことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のＸ線発生装置。
13. 前記電圧供給部は、電源回路と、前記電源回路から供給される電力を受けて、前記導電線を介して前記Ｘ線発生管を駆動する駆動回路と、を含む、
    ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のＸ線発生装置。
14. 前記駆動回路を取り囲むように前記第１空間に配置された導電性部材を更に備える、
    ことを特徴とする請求項１３に記載のＸ線発生装置。
15. 前記絶縁性液体は、前記導電性部材を取り囲むように配置されている、
    ことを特徴とする請求項１４に記載のＸ線発生装置。
16. 請求項１乃至１５のいずれか１項に記載のＸ線発生装置と、
    前記Ｘ線発生装置から放射され物体を透過したＸ線を検出するＸ線検出装置と、
    を備えることを特徴とするＸ線撮像装置。

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