JP2016143602A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
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- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims 2
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- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
Description
本発明の第１は、電子線の入射によりＸ線を発生するターゲット層と、前記ターゲット層を支持する支持基板と、前記支持基板を内側で保持する管状の陽極部材と、前記ターゲット層と前記陽極部材とを電気的に接続する接続電極層と、を備え、Ｘ線発生管に適用される陽極であって、
前記接続電極層は、前記支持基板と接合された第１の接合界面と、前記陽極部材と接合された第２の接合界面とを有し、
前記第１の接合界面と前記第２の接合界面とは、前記接続電極層に対して同じ側に位置していることを特徴とする。
前記接続電極層は、前記支持基板と接合された第１の接合界面と、前記陽極部材と接合された第２の接合界面とを有し、
前記第１の接合界面と前記第２の接合界面とは、前記接続電極層に対して同じ側に位置していることを特徴とする。
尚、駆動評価終了後に陽極６を分解してターゲット５を観察したところ、接続電極層４及びターゲット層１にクラックの発生がなく、ターゲット層１と支持基板２の間の隙間も無く、ターゲット５を形成した際の形態を保っていることを確認した。
また、駆動評価終了後に陽極６を分解してターゲット５を観察したところ、接続電極層４及びターゲット層１にクラックの発生がなく、ターゲット層１と支持基板２の間の隙間も無く、ターゲット５を形成した際の形態を保っていることを確認した。
Claims (18)
- 電子線の入射によりＸ線を発生するターゲット層と、前記ターゲット層を支持する支持基板と、前記支持基板を内側で保持する管状の陽極部材と、前記ターゲット層と前記陽極部材とを電気的に接続する接続電極層と、を備え、Ｘ線発生管に適用される陽極であって、
前記接続電極層は、前記支持基板と接合された第１の接合界面と、前記陽極部材と接合された第２の接合界面とを有し、
前記第１の接合界面と前記第２の接合界面とは、前記接続電極層に対して同じ側に位置していることを特徴とする陽極。 - 前記接続電極層の前記支持基板に支持された面とは反対側の面は、前記陽極部材とは接合されていないことを特徴とする請求項１に記載の陽極。
- 前記陽極部材は、前記接続電極層の前記第１の接合界面とは反対側の面に対向する面を持たないことを特徴とする請求項２に記載の陽極。
- 前記接続電極層に沿い前記接続電極層の厚さ方向の中央に位置する仮想中間面に対して、前記第２の接合界面は前記第１の接合界面と同じ側に位置していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記第２の接合界面は前記仮想中間面を跨がずに前記第１の接合界面と連なっていることを特徴とする請求項４に記載の陽極。
- 前記接続電極層は、前記陽極部材、前記支持基板、前記ターゲット層のいずれよりもヤング率が低いことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記支持基板は、前記陽極部材より線膨張係数が低いことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記支持基板は、ダイヤモンド基板であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記陽極部材は、タングステン、タンタル、モリブデンの少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記ターゲット層は、タングステン、タンタル、モリブデンの少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記支持基板は、環状の接合材を介して前記陽極部材に接合されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記接続電極層はその端部において、前記陽極部材を環状に被覆していることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記ターゲット層は、前記陽極部材の開口よりも、管径方向において内側に位置していることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の陽極。
- 前記接続電極層は、前記ターゲット層と接合された第３の接合界面を有し、
前記第３の接合界面と前記第１の接合界面とは、前記接続電極層に対して同じ側に位置していることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の陽極。 - 前記支持基板が前記ターゲット層で発生したＸ線を透過する透過型ターゲットである請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の陽極。
- 請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の陽極と、
前記陽極が有する前記ターゲット層に向けて電子を放出する電子放出源を備えた陰極と、
前記陽極と前記陰極とを絶縁し、前記陽極と前記陰極と共に真空容器を構成する絶縁管と、を備えたことを特徴とするＸ線発生管。 - 請求項１６に記載のＸ線発生管と、
前記Ｘ線発生管の前記陰極と前記陽極との間に管電圧を印加する駆動回路と、を備えたことを特徴とするＸ線発生装置。 - 請求項１７に記載のＸ線発生装置と、
前記Ｘ線発生装置から放出され、被検体を透過したＸ線を検出するＸ線検出装置と、
前記Ｘ線発生装置と前記Ｘ線検出装置とを連携制御するシステム制御装置と、を備えたことを特徴とするＸ線撮影システム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015019842A JP6456172B2 (ja) | 2015-02-04 | 2015-02-04 | 陽極及びこれを用いたｘ線発生管、ｘ線発生装置、ｘ線撮影システム |
| US15/000,523 US10062539B2 (en) | 2015-02-04 | 2016-01-19 | Anode and x-ray generating tube, x-ray generating apparatus, and radiography system that use the anode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015019842A JP6456172B2 (ja) | 2015-02-04 | 2015-02-04 | 陽極及びこれを用いたｘ線発生管、ｘ線発生装置、ｘ線撮影システム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016143602A JP2016143602A (ja) | 2016-08-08 |
| JP2016143602A5 true JP2016143602A5 (ja) | 2018-03-08 |
| JP6456172B2 JP6456172B2 (ja) | 2019-01-23 |
Family
ID=56553320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015019842A Active JP6456172B2 (ja) | 2015-02-04 | 2015-02-04 | 陽極及びこれを用いたｘ線発生管、ｘ線発生装置、ｘ線撮影システム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10062539B2 (ja) |
| JP (1) | JP6456172B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6573380B2 (ja) * | 2015-07-27 | 2019-09-11 | キヤノン株式会社 | Ｘ線発生装置及びｘ線撮影システム |
| JP6659167B2 (ja) | 2016-03-30 | 2020-03-04 | キヤノン株式会社 | 電子銃を備えたｘ線発生管及びｘ線撮影装置 |
| US11058893B2 (en) * | 2017-06-02 | 2021-07-13 | Precision Rt Inc. | Kilovoltage radiation therapy |
| AU2019362888B2 (en) | 2018-10-16 | 2022-06-23 | Philip Teague | Combined thermal and voltage transfer system for an x-ray source |
| KR102448410B1 (ko) * | 2018-11-28 | 2022-09-28 | 주식회사 레메디 | 추출기를 가지는 소형 엑스레이 튜브 |
| KR102369692B1 (ko) * | 2021-07-23 | 2022-03-03 | 주식회사 코닉스 | 엑스선 발생기에 적용되는 세라믹 튜브 및 그 제조 장치 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5416006B2 (ja) | 2010-03-23 | 2014-02-12 | キヤノン株式会社 | Ｘ線発生装置及びその制御方法 |
| JP5800578B2 (ja) | 2011-05-31 | 2015-10-28 | キヤノン株式会社 | Ｘ線管 |
| JP5825892B2 (ja) | 2011-07-11 | 2015-12-02 | キヤノン株式会社 | 放射線発生装置及びそれを用いた放射線撮影装置 |
| JP5901180B2 (ja) | 2011-08-31 | 2016-04-06 | キヤノン株式会社 | 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置 |
| JP5896649B2 (ja) * | 2011-08-31 | 2016-03-30 | キヤノン株式会社 | ターゲット構造体及びｘ線発生装置 |
| JP5875297B2 (ja) * | 2011-08-31 | 2016-03-02 | キヤノン株式会社 | 放射線発生管及びそれを用いた放射線発生装置、放射線撮影システム |
| JP2013109937A (ja) * | 2011-11-21 | 2013-06-06 | Canon Inc | Ｘ線管及びその製造方法 |
| JP6253233B2 (ja) * | 2013-01-18 | 2017-12-27 | キヤノン株式会社 | 透過型ｘ線ターゲットおよび、該透過型ｘ線ターゲットを備えた放射線発生管、並びに、該放射線発生管を備えた放射線発生装置、並びに、該放射線発生装置を備えた放射線撮影装置 |
| JP6230389B2 (ja) | 2013-06-05 | 2017-11-15 | キヤノン株式会社 | Ｘ線発生管及びそれを用いたｘ線発生装置とｘ線撮影システム |
| JP6327802B2 (ja) | 2013-06-12 | 2018-05-23 | キヤノン株式会社 | 放射線発生管及びそれを用いた放射線発生装置と放射線撮影システム |
| JP6272043B2 (ja) | 2014-01-16 | 2018-01-31 | キヤノン株式会社 | Ｘ線発生管及びこれを用いたｘ線発生装置、ｘ線撮影システム |
-
2015
- 2015-02-04 JP JP2015019842A patent/JP6456172B2/ja active Active
-
2016
- 2016-01-19 US US15/000,523 patent/US10062539B2/en active Active
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