JP6699765B2 - ウェハ保持体 - Google Patents
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Images
Description
11、21、31、41 基板
11a、21a、31a、41a ウェハ載置面
12、22、32、42 RF電極
13、23、33、43 金属端子
14、24、34、44 接続端子
14a、24a、34a、44a セラミックス部材
14b、24b、34b、44b 金属層
15、25、35、45 ヒータ電極
16、26、36、46 金属部材
37、47 封止部材
38、48 ガラス
49 環状部材
130、230、330 ウェハ保持体
140、240、340 ウェハ保持体
233、333 金属端子
233a、333a フランジ部
A 隅部
Claims (12)
- ウェハ載置面を上面側に備えた略円板形状のセラミックス製の基体と、
前記基体の内部に埋設された電極と、
一方の端面が前記電極に接するように埋設された接続端子と、
前記接続端子の他方の端面を底面として前記基体の下面側に開口する穴と、
前記穴の内部に配置される金属端子と
前記穴の内部に配置される金属部材とを備え、
前記穴は前記接続端子側に位置する第1の内径部と、前記第1の内径部の内径よりも大きな内径であって前記下面側に開口した第2の内径部とを有し、
前記第2の内径部には、前記金属端子を囲むように配置された筒状の封止部材を備え、
前記第1の内径部と前記第2の内径部との間に位置する段差部と前記封止部材の先端部とで形成される空間に充填材を有し、
前記金属部材は、前記接続端子と前記金属端子との間において前記接続端子と前記金属端子との双方に接するように設けられており、
前記充填材と前記金属部材とは接していない、
ウェハ保持体。 - 前記金属端子はフランジ部を有し、
前記封止部材は前記フランジ部に接するように設けられている、
請求項1に記載のウェハ保持体。 - ウェハ載置面を上面側に備えた略円板形状のセラミックス製の基体と、
前記基体の内部に埋設された電極と、
一方の端面が前記電極に接するように埋設された接続端子と、
前記接続端子の他方の端面を底面として前記基体の下面側に開口する穴と、
前記穴の内部に配置される金属端子とを備え、
前記穴は前記接続端子側に位置する第1の内径部と、前記第1の内径部の内径よりも大きな内径であって前記下面側に開口した第2の内径部とを有し、
前記第2の内径部には、前記金属端子を囲むように配置された筒状の封止部材と、前記金属端子を囲むように配置された筒状の環状部材を備え、
前記環状部材は前記封止部材よりも前記第1の内径部側に位置し、
前記封止部材と前記環状部材との間に、前記第2の内径部と前記金属端子との隙間を封止する充填材を有する、
ウェハ保持体。 - 前記金属端子はフランジ部を有し、
前記環状部材は前記フランジ部に接するように設けられている、
請求項3に記載のウェハ保持体。 - 前記穴の内部に金属部材を備え、
前記金属部材は、前記接続端子と前記金属端子との間において前記接続端子と前記金属端子との双方に接するように設けられている、
請求項3又は請求項4に記載のウェハ保持体。 - 前記金属部材の一方の面は円板状であり、前記一方の面が前記接続端子に接しており、
前記一方の面の外径が、前記接続端子の下端部側の端面の外径よりも大きい、
請求項1、請求項2又は請求項5に記載のウェハ保持体。 - 前記接続端子は前記基体と同一材質のセラミックス部材と、その側面を覆う金属層とを有し、
前記接続端子の上端部において前記金属層は前記電極に接しており、
前記接続端子の下端部において前記金属層は前記金属部材に接しており、前記金属部材 は前記金属層が接している部分の反対側において前記金属端子に接している、
請求項1、請求項2、請求項5又は請求項6に記載のウェハ保持体。 - 前記穴は前記第1の内径部と前記第2の内径部との間に、前記第1の内径部と前記第2の内径部との中間の内径を有する第3の内径部を備える、
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のウェハ保持体。 - 前記充填材はガラスである、
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のウェハ保持体。 - 前記金属端子が前記基体又は前記金属部材に螺合している、
請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のウェハ保持体。 - 前記接続端子が切頭円錐形状をしている、
請求項1から請求項10のいずれか一項に記載のウェハ保持体。 - 前記電極が、RFプラズマ形成用電極、ヒータ電極、又は静電チャック用電極である、
請求項1から請求項11のいずれか一項に記載のウェハ保持体。
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