JP6696548B2 - 電気光学装置、電子機器 - Google Patents
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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-
- G—PHYSICS
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Description
<電気光学装置>
まず、本実施形態の電気光学装置としての液晶装置について、図1〜図3を参照して説明する。図1は第1実施形態の液晶装置の構成を示す概略平面図、図2は図1に示すH−H’線に沿う第1実施形態の液晶装置の構造を示す概略断面図、図3は第1実施形態の液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。
シール部80は、例えば熱硬化性又は紫外線硬化性のエポキシ樹脂などの接着剤が採用されている。シール部80には、一対の基板の上記間隔を一定に保持するためのスペーサー(図示省略)が混入されている。
以降、第1の辺部に沿った方向をX方向とし、第3の辺部に沿った方向をY方向として説明する。また、X方向及びY方向に対して直交し、素子基板10側から対向基板20側に向かう方向をZ方向として説明する。また、Z方向に沿って対向基板20側から見ることを「平面視」または「平面的に」と言う。
本実施形態では、以降、配向膜18,24として前述した無機配向膜と、負の誘電異方性を有する液晶とを用い、ノーマリーブラックモードの光学設計が適用された例について説明する。
次に、画素Pの基本的な構成について、図4を参照して説明する。図4は第1実施形態の液晶装置の画素における画素電極、半導体層、トレンチの配置を示す概略平面図である。
図4に示すように、画素Pは、画素電極15と、画素電極15をスイッチング制御するためのTFT30の半導体層30aとを有している。本実施形態の画素電極15は、平面視で正方形であって、X方向とY方向とに所定の配置ピッチでマトリックス状に複数配置されている。本実施形態における画素電極15の配置ピッチ、すなわち画素Pの配置ピッチは、例えば4μmである。
次に、素子基板10の配線構造について、図5を参照して説明する。図5は図4に示すA−A’線に沿った第1実施形態の液晶装置の画素における素子基板の配線構造を示す概略断面図である。なお、図4のA−A’線は、TFT30の半導体層30aとトレンチ39とをX方向に横断する線分である。図5は、図4のA−A’線に沿った部分の配線構造だけでなく、半導体層30aのソース領域30sとデータ線7とを電気的に接続する配線構造や、半導体層30aのドレイン領域30dと蓄積容量40及び画素電極15とを電気的に接続する配線構造を含んで表示している。
素子基板10における各配線層の電気的な構成やコンタクト部を含む中継層の配置について、図6〜図18を参照して説明する。なお、図6〜図18のうち、図10〜図13を除いて、X方向とY方向とに延在する破線で区切った領域が、画素Pの領域を示すものである。
図6に示すように、走査線3は、X方向に延在する本線部3aと、本線部3aからY方向に突出する突出部3b,3cとを有している。突出部3b,3cは、本線部3aに対して画素ピッチと同じ配置ピッチでX方向に並列するように複数配置されている。本線部3aのY方向の幅と、突出部3b,3cのX方向の幅とは同じである。本線部3aから突出した突出部3bと突出部3cとにおけるY方向の長さは同じである。
図7に示すように、中継層47は、Y方向に隣り合う2つの画素Pにおいて共有するように配置されている。具体的には、中継層47は、Y方向に隣り合う2つの画素Pのそれぞれにおけるトレンチ39と平面視で重なる本体部47aと、2つの本体部47aを繋ぐ接続部47bと、接続部47bからX方向に突出する突出部47cとを有している。本体部47aは、Y方向に隣り合う2つの画素Pに対応してY方向に対称に設けられている。突出部47cは、Y方向に隣り合う2つの画素PのX方向に沿った境界と平面視で重って設けられている。
図8に示すように、半導体層30aのX方向に延びる第1の部分30a1の端部に、半導体層30aとデータ線7とを電気的に接続するコンタクト部31が設けられている。半導体層30aのもう一方のX方向に延びる第2の部分30a2の端部に、半導体層30aと第2容量電極42及び画素電極15とを電気的に接続するコンタクト部32が設けられている。半導体層30aのY方向に延在する本体部と重なる位置に、第2走査線4と第3走査線6とを電気的に接続するコンタクト部35が設けられている。そして、中継層47の突出部47cの端部に、中継層47と容量線5とを電気的に接続するコンタクト部36が設けられている。
図9に示すように、第2容量電極42は、画素Pごとに電気的に独立して配置されている。具体的には、第2容量電極42は、平面視でトレンチ39と重なる略四角形の本体部42aと、本体部42aの四隅から突出する突出部42b,42c,42d,42eとを有している。突出部42b,42c,42d,42eの形状もまた四角形(正方形)である。トレンチ39と重なる本体部42aだけでなく4つの突出部42b,42c,42d,42eを設けることで、第2容量電極42の表面積を増やしている。なお、第2容量電極42は、図7に示した第1容量電極41と重なるように形成されており、4つの突出部42b,42c,42d,42eのうち3つの突出部42b,42c,42dが、第1容量電極41の同じく3つの突出部41b,41c,41dと平面視で重なっている。
図14に示すように、容量線5は、画素PのY方向に沿った辺部と平面視で重なるようにしてY方向に延在している。容量線5は、画素PのX方向に沿った一方の辺部と重なる位置においてX方向の幅が拡張された拡張部5aを有している。拡張部5aの外形は略六角形であり、拡張部5aの中央に外形が略四角形の開口5hが形成されている。開口5hの中央に中継層5bが配置されている。容量線5における開口5hが形成された拡張部5aは、Y方向に隣り合う2つの画素Pにおいて、Y方向に対称に配置されている。Y方向に延在する容量線5に沿った位置に、中継層5cが配置されている。また、X方向に隣り合って配列する容量線5の間において、画素Pの中央に中継層5dが配置されている。容量線5及び3つの中継層5b,5c,5dは、同一層に設けられている(図5参照)。画素Pの四隅のうち、X方向に隣り合う2つの隅と重なる位置に、中継層5bが配置され、残りのX方向に隣り合う2つの隅と重なる位置に、容量線5とコンタクト部36(図5参照)とを電気的に接続するコンタクト部64が配置される。中継層5bには、中継層5bと中継層6aとを電気的に接続するコンタクト部71が配置される。中継層5cには、中継層5cと中継層6bとを電気的に接続するコンタクト部72が配置される。中継層5dには、中継層5dと第3走査線6とを電気的に接続するコンタクト部73が配置される。
図15に示すように、第3走査線6は、下層において画素Pの中央に配置された中継層5dと平面視で重なる位置に、X方向に延在して配置されている。このような第3走査線6は、Y方向に画素Pの画素ピッチと同じ配置ピッチで並列して複数設けられている。Y方向に隣り合う第3走査線6の間で、下層の中継層5bと平面視で重なる位置に中継層6aが配置されている。また、第3走査線6からY方向に離間した位置で、下層の中継層5cと平面視で重なる位置に中継層6bが配置されている。このような第3走査線6、中継層6a,6bは、Y方向に隣り合う2つの画素Pに対して、Y方向に対称に配置されている。第3走査線6、中継層6a,6bは、同一層に設けられている(図5参照)。中継層6aには、中継層6aとデータ線7とを電気的に接続するコンタクト部74が配置される。中継層6bには、中継層6bと中継層7bとを電気的に接続するコンタクト部75が配置される。
図16に示すように、データ線7は、画素PのY方向に沿った辺部と重なるように、Y方向に延在して配置されている。このようなデータ線7は、X方向に画素Pの画素ピッチと同じ配置ピッチで並列して複数設けられている。画素Pの四隅のうちの1つの隅と重なる位置に、下層の中継層6aとデータ線7とを電気的に接続するコンタクト部74が配置されている。X方向に隣り合うデータ線7の間には、中継層7bが配置されている。中継層7bは、平面視で直角に屈曲した形状となっており、X方向に延びる部分とY方向に延びる部分とを有している。中継層7bのX方向に延びる部分の端部と重なる位置に、下層の中継層6bと中継層7bとを電気的に接続するコンタクト部75が配置されている。また、中継層7bのY方向に延びる部分は、画素Pの中央まで延びて、その端部に、上層の中継層8aと中継層7bとを電気的に接続するコンタクト部76が配置される。このような中継層7bは、Y方向に隣り合う2つの画素Pに対して、Y方向に対称に配置されている。データ線7、中継層7bは、同一層に設けられている(図5参照)。
図17に示すように、共通電位線8は、画素Pごとに区分されることなく、X方向とY方向とに亘って平面を成すように配置されている。具体的は、共通電位線8は、図1に示した液晶パネル110において少なくとも表示領域E1に亘って設けられている。また、図17に示すように、共通電位線8には、画素Pの中央に対応する位置において四角形の開口8hが形成されている。さらに、開口8hの中央に中継層8aが配置されている。中継層8aには、上層の画素電極15と中継層8aとを電気的に接続するコンタクト部77が配置される。
図18に示すように、光反射性を有する画素電極15は、平面視で正方形であって、X方向とY方向との画素Pの画素ピッチと同じ配置ピッチで複数配置されている。画素電極15の中央に、下層の中継層8aと画素電極15とを電気的に接続するコンタクト部77が配置される。コンタクト部77は、図5に示したようにプラグ状となっていることから、コンタクト部77が画素電極15と接した状態となっていても、画素電極15の表面には凹凸が生じ難い状態となっている。画素電極15の表面は平坦であるため、画素電極15に入射した光は、画素電極15の法線に対する入射角に応じた反射角で反射される。なお、コンタクト部77の平面的な位置は画素電極15の中央に限定されるものではない。
(1)液晶装置100の液晶パネル110を構成する素子基板10において、TFT30のソース(半導体層30aのソース領域30s)とデータ線7とを電気的に接続する第2コンタクト部としてのコンタクト部31、TFT30のドレイン(半導体層30aのドレイン領域30d)と第2容量電極42及び画素電極15とを電気的に接続する第1コンタクト部としてのコンタクト部32、TFT30のゲート(ゲート電極30g)と第3走査線6とを電気的に接続する第3コンタクト部としてのコンタクト部35、第1容量電極41と容量線5とを電気的に接続するコンタクト部36は、いずれも、第2層間絶縁層11dを貫通する貫通孔を第2容量電極42の第2導電層42mで埋めてプラグ状に形成されている。また、蓄積容量40と、4つのコンタクト部31,32,35,36とは、容量絶縁層44を成す絶縁層と、第2容量電極42を成す導電層とが積層された積層膜を一括でドライエッチングしてパターニングされている。したがって、4つのコンタクト部31,32,35,36を蓄積容量40に係らない導電層で構成する場合に比べて、素子基板10における配線構造及び製造プロセスを簡素化できる。すなわち、配線構造が簡素化された素子基板10を有する電気光学装置としての反射型の液晶装置100を提供することができる。
<電気光学装置>
次に、第2実施形態の電気光学装置について、上記第1実施形態と同様に反射型の液晶装置を例に挙げて説明する。第2実施形態の反射型の液晶装置200は、上記第1実施形態の液晶装置100に対して、素子基板における蓄積容量の構成と、TFT30及び蓄積容量に係る中継層(コンタクト部)の構成を異ならせたものである。したがって、上記第1実施形態の液晶装置100と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
図19は第2実施形態の液晶装置の画素における素子基板の配線構造を示す概略断面図である。なお、図19は、上記第1実施形態の液晶装置100の画素Pにおける素子基板10の配線構造を示した図5に対応する概略断面図である。つまり、図4のA−A’線は、TFT30の半導体層30aとトレンチ39とをX方向に横断する線分である。また、図19は、A−A’線に沿った配線構造だけでなく、半導体層30aのソース領域30sとデータ線7とを電気的に接続する配線構造や、半導体層30aのドレイン領域30dと蓄積容量240及び画素電極15とを電気的に接続する配線構造を含んで表示している。
素子基板210における各配線層の電気的な構成やコンタクト部を含む中継層の配置について、図20〜図29を参照して説明する。なお、図20〜図29のうち、図24〜図27を除いて、X方向とY方向とに延在する破線で区切った領域が、画素Pの領域を示すものである。
図20に示すように、第1中継層247は、Y方向に隣り合う2つの画素Pにおいて共有するように配置されている。具体的には、第1中継層247は、Y方向に隣り合う2つの画素Pのそれぞれにおけるトレンチ39と平面視で重なる本体部247aと、2つの本体部247aを繋ぐ接続部247bとを有している。本体部247aは、Y方向に隣り合う2つの画素Pに対応してY方向に対称に設けられている。第2中継層247cは、平面視で長方形であって、第1中継層247がY方向に対称に配置された2つの画素Pの境界に沿うように配置されている。なお、第2中継層247cを設ける関係で、本実施形態のトレンチ39の3つの溝39a,39b,39cのうち中央の溝39bのY方向の長さは、上記第1実施形態における溝39bに比べてやや短くなっている。
図21に示すように、半導体層30aのX方向に延びる第1の部分30a1の端部に、半導体層30aとデータ線7とを電気的に接続するコンタクト部231が設けられている。半導体層30aのもう一方のX方向に延びる第2の部分30a2に、半導体層30aと第2容量電極242及び画素電極15とを電気的に接続するコンタクト部232及びコンタクト部237が設けられている。具体的には、コンタクト部232の第1のコンタクト部232aは、半導体層30aの第2の部分30a2の端部に配置され、第2のコンタクト部232bとコンタクト部237とは、第2中継層247cと平面視で重なるようにX方向に隣り合って配置されている。半導体層30aのY方向に延在する本体部と重なる位置に、第2走査線4と第3走査線206とを電気的に接続するコンタクト部235が設けられている。そして、第1中継層247のY方向に延びる接続部247bの中央に、第1中継層247と容量線205とを電気的に接続するコンタクト部236が設けられている。したがって、コンタクト部236は、平面視でY方向に隣り合う2つの画素Pの境界に配置されている。なお、本実施形態における半導体層30aのX方向に延びる第2の部分30a2のX方向の長さは、上記第1実施形態に比べて長くなっている。
図22に示すように、第2容量電極242は、画素Pごとに電気的に独立して配置されている。具体的には、第2容量電極242は、平面視でトレンチ39と重なる略四角形の本体部242aと、本体部242aの四隅のうち3つの隅から突出する突出部242b,242c,242dとを有している。突出部242b,242cの形状は四角形(正方形)である。突出部242dの形状は長方形である。トレンチ39と重なる本体部242aだけでなく3つの突出部242b,242c,242dを設けることで、第2容量電極242の表面積を確保している。なお、第2容量電極242は、図20に示した第1容量電極241と重なるように形成されており、3つの突出部242b,242c,242dのうち2つの突出部242b,242cが、第1容量電極241の同じく2つの突出部241b,241cと平面視で重なっている。
図23に示すように、第3容量電極243の平面形状は、図22に示した第2容量電極242の平面形状と同じである。すなわち、第3容量電極243は、略四角形の本体部243aと、本体部243aの四隅のうち3つの隅から突出する突出部243b,243c,243dとを有している。突出部243b,243cの形状は四角形(正方形)である。突出部243dの形状は長方形である。本体部243aだけでなく3つの突出部243b,243c,243dを設けることで、第3容量電極243の表面積を確保している。なお、第3容量電極243は、図22に示した第2容量電極242と重なるように形成される。
図28に示すように、本実施形態の容量線205は、画素PのY方向に沿った辺部と平面視で重なるようにしてY方向に延在している。容量線205は、画素PのX方向に沿った一方の辺部と重なる位置においてX方向の幅が拡張された拡張部205aを有している。拡張部205aの外形は略六角形であり、拡張部205aの中央に外形が略四角形の開口205hが形成されている。開口205hの中央に中継層205bが配置されている。容量線205における開口205hが形成された拡張部205aは、Y方向に隣り合う2つの画素Pにおいて、Y方向に対称に配置されている。また、Y方向に隣り合う2つの画素Pの境界を挟んで対向するように2つの中継層205cが配置されている。また、X方向に隣り合って配列する容量線205の間において、画素Pの中央に中継層205dが配置されている。容量線205及び3つの中継層205b,205c,205dは、同一層に設けられている(図19参照)。Y方向に延びる容量線205からX方向に突出する突出部205eが設けられている。突出部205eの端部に下層のコンタクト部236との電気的な接続を図るためのコンタクト部264が配置されている。このような突出部205eは、画素PのX方向に沿った境界の一方と平面視で重なっている。また、Y方向に延びる容量線205には、下層の蓄積容量240における第3容量電極243との電気的な接続を図るコンタクト部265が配置されている。
図29に示すように、第3走査線206は、下層において画素Pの中央に配置された中継層205dと平面視で重なる位置に、X方向に延在して配置されている。このような第3走査線206は、Y方向に画素Pの画素ピッチと同じ配置ピッチで並列して複数設けられている。Y方向に隣り合う第3走査線206の間で、下層の中継層205bと平面視で重なる位置に中継層206aが配置されている。また、第3走査線206からY方向に離間した位置で、下層の中継層205cと平面視で重なる位置に平面視で略四角形の中継層206bが配置されている。このような第3走査線206、中継層206a,206bは、Y方向に隣り合う2つの画素Pに対して、Y方向に対称に配置されている。第3走査線206、中継層206a,206bは、同一層に設けられている(図19参照)。中継層206aには、中継層206aとデータ線7とを電気的に接続するコンタクト部74が配置される。中継層206bには、中継層206bと中継層7bとを電気的に接続するコンタクト部75が配置される。
(1)液晶装置200の液晶パネルを構成する素子基板210において、TFT30のドレイン(半導体層30aのドレイン領域30d)に対してコンタクト部232を介して画素電極15との電気的な接続を図るための第5コンタクト部としてのコンタクト部237、TFT30のソース(半導体層30aのソース領域30s)とデータ線7とを電気的に接続する第6コンタクト部としてのコンタクト部231、TFT30のゲート電極として機能する第2走査線4と第3走査線206とを電気的に接続する第7コンタクト部としてのコンタクト部235、第1容量電極241と容量線205とを電気的に接続するコンタクト部236は、いずれも、第2層間絶縁層11dを貫通する貫通孔を第3容量電極243の第6導電層243mで埋めてプラグ状に形成されている。また、蓄積容量240と、5つのコンタクト部231,232,235,236,237とは、第1容量絶縁層244と、第2容量電極242を成す第3導電層242n及び第4導電層242mと、第2容量絶縁層245と、第3容量電極243を成す第5導電層243nとが積層された積層膜を一括でドライエッチングしてパターニングされている。したがって、5つのコンタクト部231,232,235,236,237を蓄積容量240に係らない導電層で構成する場合に比べて、素子基板210における配線構造及び製造プロセスを簡素化できる。すなわち、配線構造が簡素化された素子基板210を有する電気光学装置としての反射型の液晶装置200を提供することができる。
<電子機器>
次に、本実施形態の電子機器について、投射型表示装置を例に挙げ、図30を参照して説明する。図30は、第3実施形態の電子機器としての投射型表示装置の一例である3板式の反射型液晶プロジェクターの構成を示す概略図である。
液晶ライトバルブ1250は、偏光素子1253によって反射した赤色光(R)がクロスダイクロイックプリズム1206の入射面に垂直に入射するように配置されている。また、偏光素子1253の偏光度を補う補助偏光素子1254が液晶ライトバルブ1250における赤色光(R)の入射側に配置され、もう1つの補助偏光素子1255が赤色光(R)の射出側においてクロスダイクロイックプリズム1206の入射面に沿って配置されている。なお、反射型偏光素子として偏光ビームスプリッターを用いた場合には、一対の補助偏光素子1254,1255を省略することも可能である。
このような反射型の液晶ライトバルブ1250の構成と各構成の配置は、他の反射型の液晶ライトバルブ1260,1270においても同じである。
このような構成によれば、第2コンタクト部を、蓄積容量に係らない導電層を用いて構成する場合に比べて、画素電極とトランジスターとが設けられる配線構造を簡素化できる。
このような構成によれば、第3コンタクト部を、蓄積容量に係らない導電層を用いて構成する場合に比べて、画素電極とトランジスターとが設けられる配線構造を簡素化できる。
このような構成によれば、第1コンタクト部、第2コンタクト部又は第3コンタクト部を形成する際に、容量絶縁層と、第2容量電極の第1導電層とを貫通して、接続先の半導体層やゲート電極に至る複数の貫通孔を形成し、当該複数の貫通孔を第2導電層で埋めて形成することが可能となる。言い換えれば、第1コンタクト部、第2コンタクト部又は第3コンタクト部において、接続先の半導体層やゲート電極と接する導電層は1種に限定されることから、複数種の導電層を用いて第1コンタクト部、第2コンタクト部又は第3コンタクト部を構成する場合に比べて、安定した電気接続構造を実現できる。
この構成によれば、導電層を形成してパターニングすることで第1コンタクト部、第2コンタクト部又は第3コンタクト部を形成する場合、ポリシリコンの導電層を用いれば、接続先に至る貫通孔に対して優れた被覆性と充填性とを確保することができる。したがって、ポリシリコン以外の導電層を用いる場合に比べて、安定した電気接続構造を実現できる。
この構成によれば、層間絶縁層の平坦な部分に蓄積容量を設ける場合に比べて、単位面積当たりの電気容量を増やすことができる。
このような構成によれば、第6コンタクト部を、蓄積容量に係らない導電層を用いて構成する場合に比べて、画素電極とトランジスターとが設けられる配線構造を簡素化できる。
このような構成によれば、第7コンタクト部を、蓄積容量に係らない導電層を用いて構成する場合に比べて、画素電極とトランジスターとが設けられる配線構造を簡素化できる。
このような構成によれば、第5コンタクト部、第6コンタクト部又は第7コンタクト部を形成する際に、第1容量絶縁層と、第2容量電極の第3導電層及び第4導電層と、第2容量絶縁層と、第3容量電極の第5導電層とを貫通して、接続先の半導体層やゲート電極に至る複数の貫通孔を形成し、当該複数の貫通孔を第6導電層で埋めて形成することが可能となる。言い換えれば、第5コンタクト部、第6コンタクト部又は第7コンタクト部において、接続先の半導体層やゲート電極と接する導電層は1種に限定されることから、複数種の導電層を用いて第5コンタクト部、第6コンタクト部又は第7コンタクト部を構成する場合に比べて、安定した電気接続構造を実現できる。
この構成によれば、導電層を形成してパターニングすることで第5コンタクト部、第6コンタクト部又は第7コンタクト部を形成する場合、ポリシリコンの導電層を用いれば、接続先に至る貫通孔に対して優れた被覆性と充填性とを確保することができる。したがって、ポリシリコン以外の導電層を用いる場合に比べて、安定した電気接続構造を実現できる。
この構成によれば、層間絶縁層の平坦な部分に蓄積容量を設ける場合に比べて、単位面積当たりの電気容量を増やすことができる。
本願の構成によれば、画素電極とトランジスターとを有し、配線構造が簡素化された電気光学装置を備えていることから、優れた生産性あるいはコストパフォーマンスを有する電子機器を提供することができる。
Claims (12)
- トランジスターと、
前記トランジスターに対応して設けられた画素電極と、
第1容量電極と、容量絶縁層と、第2容量電極とが順に積層されてなる蓄積容量と、
前記トランジスターの半導体層と前記画素電極とを電気的に接続する第1コンタクト部と、
データ線と、
前記トランジスターの前記半導体層と前記データ線とを電気的に接続する第2コンタクト部と、を備え、
前記第2容量電極は、第1導電層と、前記第1導電層に積層された第2導電層とを有し、
前記第1コンタクト部及び前記第2コンタクト部は、それぞれ前記第2導電層で構成され、前記半導体層と接するように設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 前記トランジスターのゲート電極と走査線とを電気的に接続する第3コンタクト部を備え、
前記第3コンタクト部は、前記第2導電層で構成され、前記ゲート電極と接するように設けられている、請求項1に記載の電気光学装置。 - 前記第1コンタクト部、前記第2コンタクト部又は前記第3コンタクト部は、前記容量絶縁層と、前記第2容量電極の前記第1導電層とで構成される側壁上及び当該側壁の内側に設けられている、請求項2に記載の電気光学装置。
- 前記第1コンタクト部、前記第2コンタクト部又は前記第3コンタクト部はポリシリコンを含む、請求項3に記載の電気光学装置。
- 前記トランジスターと前記画素電極との間に設けられた複数の層間絶縁層を備え、
前記蓄積容量は、前記複数の層間絶縁層のうちの1つの層間絶縁層に設けられた凹部に沿って設けられている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電気光学装置。 - トランジスターと、
前記トランジスターに対応して設けられた画素電極と、
第1容量電極と、第1容量絶縁層と、第2容量電極と、第2容量絶縁層と、第3容量電極とが順に積層されてなる蓄積容量と、
前記トランジスターの半導体層と前記第2容量電極とを電気的に接続する第4コンタクト部と、
前記第4コンタクト部と前記画素電極とを電気的に接続する第5コンタクト部と、を備え、
前記第2容量電極は、第3導電層と、前記第3導電層に積層された第4導電層とを有し、
前記第3容量電極は、第5導電層と、前記第5導電層に積層された第6導電層とを有し、
前記第4コンタクト部は、前記第4導電層で構成され、前記半導体層と接するように設けられ、
前記第5コンタクト部は、前記第6導電層で構成され、前記第2容量電極と電気的に接続するように設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 前記トランジスターの前記半導体層とデータ線とを電気的に接続する第6コンタクト部を備え、
前記第6コンタクト部は、前記第6導電層で構成され、前記半導体層と接するように設けられている、請求項6に記載の電気光学装置。 - 前記トランジスターのゲート電極と走査線とを電気的に接続にする第7コンタクト部を備え、
前記第7コンタクト部は、前記第6導電層で構成され、前記ゲート電極と接するように設けられている、請求項7に記載の電気光学装置。 - 前記第5コンタクト部、前記第6コンタクト部又は前記第7コンタクト部は、前記第1容量絶縁層と、前記第2容量電極の前記第3導電層及び前記第4導電層と、前記第2容量絶縁層と、前記第3容量電極の前記第5導電層とで構成される側壁上及び当該側壁の内側に設けられている、請求項8に記載の電気光学装置。
- 前記第5コンタクト部、前記第6コンタクト部又は前記第7コンタクト部はポリシリコンを含む、請求項9に記載の電気光学装置。
- 前記トランジスターと前記画素電極との間の層に設けられた複数の層間絶縁層を備え、
前記蓄積容量は、前記複数の層間絶縁層のうちの1つの層間絶縁層に設けられた凹部に沿って設けられている、請求項6乃至10のいずれか一項に記載の電気光学装置。 - 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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