JP6686419B2 - シリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法およびシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ - Google Patents
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Description
すなわち、本発明の要旨構成は以下のとおりである。
前記分子イオンは、炭素ならびに、水素、ヘリウム、シリコンおよびゲルマニウムからなる群より選択される1以上の元素から構成されることを特徴とする。
前記バッファ層に炭素の固溶領域が存在することを特徴とする。
本発明の一実施形態に従うシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ100(以下、「SiGeエピタキシャルウェーハ100」と略記する。)の製造方法は、図1に示すように、シリコンウェーハ10の表面10Aにバッファ層20を形成する工程(図1(A),(B))と、バッファ層20に分子イオンIを注入する工程(図1(C),(D))と、バッファ層20上に、シリコンゲルマニウムエピタキシャル層30(以下、「SiGeエピタキシャル層30」と略記する。)を形成する工程(図1(E))と、を含む。ここで、分子イオンIは、炭素ならびに、水素、ヘリウム、シリコンおよびゲルマニウムからなる群より選択される1以上の元素から構成される。図1(E)は、この製造方法の結果得られたSiGeエピタキシャルウェーハ100の模式断面図である。
次に、上記製造方法により得られるシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ100について説明する。前述の製造方法の実施形態と重複する構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
CZ単結晶シリコンインゴットから得たシリコンウェーハ(直径:8インチ、厚さ:725μm、酸素濃度:1.1×1014atoms/cm3)を用意した。次に、厚み方向にGe組成比xを傾斜させたSi(1−x)Gex組成傾斜バッファ層をCVD法によりエピタキシャル成長させた。エピタキシャル成長条件は以下のとおりである。キャリアガス:水素ガス、原料ガス:SiH4およびGeH4、チャンバー圧力:10〜100Torr、温度:400〜550℃、厚さ:1μm。なお、Ge組成比xについては、シリコンウェーハ側をx=0.02とし、x=0.3まで増加させた。
発明例1と同一条件で、発明例2,3にかかるSiGeエピタキシャルウェーハを作製した。
発明例1において、C2H5の分子イオンを注入したことに代えて、水素イオンを20keV、2×1015atoms/cm2の条件で注入した以外は、発明例1と同様にSiGeエピタキシャルウェーハを作製し、それぞれ比較例1〜3とした。
発明例1〜3および比較例1〜3のそれぞれのSiGeエピタキシャルウェーハに対して、ライトエッチング後にSiGeエピタキシャル層表面を光学顕微鏡観察することにより、エピタキシャルウェーハ表面へ貫通した欠陥の密度を評価した。観察箇所は、SiGeエピタキシャルウェーハの(1)ウェーハ中心部、(2)ウェーハ中心とウェーハ端との中心部、(3)ウェーハ端から5mm内側部の3箇所とした。この(1)〜(3)のそれぞれの位置で観察された密度の平均値を表1に示す。
発明例1〜3および比較例1〜3のそれぞれのSiGeエピタキシャルウェーハに対して、SiGeエピタキシャル層表面を、Ni汚染液(1.0×1011/cm2)でスピンコート汚染法を用いて故意に汚染し、引き続き900℃、30分の熱処理を施した。その後、SIMS測定を行い、改質層に捕獲されたNi捕獲量(Niプルファイルの積分値)を測定した。その結果、発明例1〜3ではNi汚染量のほぼ全量がバッファ層内の分子イオン注入領域に局在していたのに対し、比較例1〜3ではイオン注入領域に局在していなかった。すなわち、発明例1〜3では、分子イオン注入によりゲッタリング能力が付与されていることが確認された。
10A シリコンウェーハの表面
20 バッファ層
20A バッファ層の表面
20a 炭素固溶領域
30 シリコンゲルマニウムエピタキシャル層
100 シリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ
DTA 貫通転位
DTB 貫通転位
I 分子イオン
Claims (9)
- シリコンウェーハ表面の上にシリコンゲルマニウムエピタキシャル層を形成するシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記シリコンウェーハ表面に、前記シリコンウェーハと前記シリコンゲルマニウムエピタキシャル層との格子定数差に起因する格子不整合を緩和するためのバッファ層を形成する工程と、
前記バッファ層に分子イオンを注入する工程と、
前記分子イオンの注入を経た前記バッファ層上に、Ge組成比をαとする前記シリコンゲルマニウムエピタキシャル層を形成する工程と、を含み、
前記バッファ層は、Ge組成比をβとして前記Ge組成比αを超えないSi(1-β)Geβ層(β≦α)であり、
前記分子イオンは、炭素ならびに、水素、ヘリウム、シリコンおよびゲルマニウムからなる群より選択される1以上の元素から構成され、
前記分子イオンを注入する工程において、前記バッファ層の表面から100nm以下の範囲内に前記分子イオンを注入し、かつ、前記分子イオンの注入ドーズ量を1×1014atoms/cm2未満とすることを特徴とするシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記分子イオンを注入する工程において、前記シリコンウェーハの温度を25℃より低く保持した状態で行う、請求項1に記載のシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記シリコンウェーハの温度を0℃以下に保持する、請求項2に記載のシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記分子イオンを注入する工程に先立ち、前記バッファ層表面に酸化膜を形成する工程をさらに含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載のシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記分子イオンを注入する工程の後、熱処理を行う工程をさらに含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載のシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記バッファ層は、シリコンゲルマニウムからなるエピタキシャル層である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記バッファ層は、前記Ge組成比βを厚み方向に傾斜させたSi(1-β)Geβ組成傾斜層(0<β≦0.5)である、請求項1〜6のいずれか1項に記載のシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法。
- シリコンウェーハと、
該シリコンウェーハ表面に設けられたGe組成比をβとして前記Ge組成比αを超えないSi (1- β ) Geβ層(β≦α)からなるバッファ層と、
前記バッファ層上に設けられたGe組成比をαとするシリコンゲルマニウムエピタキシャル層と、を有し、
前記バッファ層は、前記シリコンウェーハと前記シリコンゲルマニウムエピタキシャル層との格子定数差に起因する格子不整合を緩和する層であり、
前記バッファ層に炭素の固溶領域が存在し、
前記バッファ層の表面からの深さが100nm以下の範囲内に、前記炭素の厚み方向の炭素濃度プロファイルのピークが位置し、
前記シリコンゲルマニウムエピタキシャル層の貫通転位密度が4.1×10 5 個/cm 2 以下であることを特徴とするシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ。 - 前記シリコンゲルマニウムエピタキシャル層の貫通転位密度が2.3×10 5 個/cm 2 以上である、請求項8に記載のシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ。
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