JP6680880B2 - ダイのための保護環境バリアー - Google Patents
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Description
(態様)
(態様1)
機能性部品を含む基材構造を有する基材と
前記基材に結合されてダイの配列を形成する多孔質バリアー層と、
を含む装置であって、
前記多孔質バリアー層は前記基材を被覆し、および前記機能性部品を保護し、
前記多孔質バリアー層が前記基材に結合された後で複数のダイを形成するように前記ダイの配列は分割可能であり、前記複数のダイの内のそれぞれのダイは、基材構造中に機能性部品を有する前記基材の一部を含み、および前記多孔質バリアー層の一部は前記機能性部品を被覆する、装置。
(態様2)
前記多孔質バリアー層は、流体またはほこりの通過を妨げることによって前記機能性部品を保護するための延伸ポリテトラフルオロエチレン(「ePTFE」)を含むフィルター層である、態様1に記載の装置。
(態様3)
前記多孔質バリアー層が前記基材構造を覆いおよび前記基材構造に接触しているように、前記多孔質バリアー層は、前記基材構造に近接して配置可能であり、
前記多孔質バリアー層は、流体またはほこりの通過を妨げおよび圧力波の通過を可能にするための選択的浸透性層である、態様1または2に記載の装置。
(態様4)
それぞれのダイは、前記ダイがパッケージ化された後で印刷回路板(「PCB」)に取り付けられている、態様1〜3のいずれか一項に記載の装置。
(態様5)
前記基材を第1の表面に接合させおよび前記多孔質バリアー層を第2の表面に接合させることによって、前記基材に前記多孔質バリアー層を結合させるための前記第1の表面上および前記第1の表面の反対側の前記第2の表面上に接着剤を有する接着材をさらに含む、態様1〜4のいずれか一項に記載の装置。
(態様6)
前記接着材は前記第1の表面上に配置構造を含み、前記配置構造を前記基材構造に整列させることによって、前記第1の表面に前記基材を接合させるために、前記配置構造は、前記基材構造に対応している、態様5に記載の装置。
(態様7)
前記接着材は、接着剤、エポキシ、またはベンゾシクロブテン(「BCB」)を含む、態様5に記載の装置。
(態様8)
前記接着材は、ポリイミド(「PI」)、ポリエーテルエーテルケトン(「PEEK」)、ポリアミド(PA)、またはポリアリールイミド(「PAI」)を含む、態様5に記載の装置。
(態様9)
機能性部品を含む基材と、
前記機能性部品を保護するために前記機能性部品を被覆する前記基材に結合されている多孔質バリアー層と、
を含む、ダイであって、
前記ダイは、前記基材に前記多孔質バリアー層を結合させた後で前記ダイの配列から別個の前記ダイへ分割可能であるダイの配列から形成されている、ダイ。
(態様10)
前記多孔質バリアー層は、流体またはほこりの通過を妨げることおよび圧力波の通過を可能にすることによって、前記機能性部品を保護するための選択的浸透性ポリマーを含む、態様9に記載のダイ。
(態様11)
前記ダイがパッケージ化された後に、前記ダイは印刷回路板(「PCB」)に取り付け可能である、態様9または10に記載のダイ。
(態様12)
前記機能性部品は、マイクロフォン、センサー、回路、抵抗、コンデンサー、インダクター、またはトランジスターを含む、態様9〜11のいずれか一項に記載のダイ。
(態様13)
前記基材を第1の表面に接合させることおよび前記多孔質バリアー層を第2の表面に接合させることによって前記多孔質バリアー層を前記基材に結合させるための前記第1の表面上および前記第1の表面と反対側の第2の表面上に接着剤を有する接着材をさらに含む、態様9〜12のいずれか一項に記載のダイ。
(態様14)
前記基材は、基材構造を含み、および前記接着材は、配置構造と前記基材構造とを整列させることによって、前記基材を前記第1の表面に接合させるための前記基材構造に対応する前記第1の表面上の前記配置構造を含む、態様13に記載のダイ。
(態様15)
ダイの配列を形成するために、機能性部品を含む基材構造を有する基材に多孔質バリアー層を結合させることと、
前記多孔質バリアー層を前記基材に結合させた後で、前記ダイの配列を分割して複数の別個のダイを形成させることと、
を含む、方法であって、
前記多孔質バリアー層は、前記基材を被覆して、前記機能性部品を保護し、
前記複数の別個のダイの内のそれぞれのダイは、基材構造中に機能性部品を有する前記基材の一部を含み、および前記多孔質バリアー層の一部は、前記機能性部品を被覆している、方法。
(態様16)
前記多孔質バリアー層は、ポリテトラフルオロエチレン(「PTFE」)、フッ素化エチレンプロピレン(「FEP」)、ペルフルオロアルコキシポリマー(「PFA」)、ポリプロピレン(「PP」)、ポリウレタン(「PU」)、ポリエチレン(「PE」)、超高分子量ポリエチレン(「UHMWPE」)、または延伸ポリテトラフルオロエチレン(「ePTFE」)の少なくとも1つを含む、態様15に記載の方法。
(態様17)
前記ダイの配列を分割することは、
前記ダイの配列をダイシングテープに取り付けることと、
ダイシングソーまたはレーザービームを使用して前記ダイの配列を切断することと
を含む、態様15または16に記載の方法。
(態様18)
前記ダイがパッケージ化された後で、前記複数の別個のダイの内の1つのダイを機器に取り付けることをさらに含む、態様15〜17のいずれか一項に記載の方法。
(態様19)
前記多孔質バリアー層を前記基材に結合させることは、
第1の表面上および前記第1の表面と反対側の第2の表面上に接着剤を有する接着材の前記第1の表面に前記基材を接合させることと、
前記多孔質バリアー層を、前記接着材の前記第2の表面に接合させることと、
を含む、態様15〜18のいずれか一項に記載の方法。
(態様20)
前記基材を前記接着材の前記第1の表面に接合させることは、
前記接着材中の配置構造を切断することと、
前記配置構造と前記基材構造とを整列させることによって、前記第1の表面に前記基材を接合させること、
を含み、
前記配置構造は、前記基材構造に対応する、態様19に記載の方法。
Claims (20)
- 複数の基材の空洞および複数の機能性部品を含む基材と、
接着材によって前記基材に結合された多孔質バリアー層と、
を含むダイの配列を含む装置であって、
前記各基材の空洞はそれらの中に前記複数の機能性部品のうちの1つの機能性部品を含み、
前記多孔質バリアー層は前記基材を被覆し、および前記複数の機能性部品を保護し、前記接着材は複数の接着開口を含み、各接着開口は対応する基材の空洞と位置合わせされており、
複数のダイを形成するように前記ダイの配列は分割されるように構成されており、前記複数のダイの内のそれぞれのダイは前記基材の一部を含み、前記基材の一部はその中に複数の機能性部品のうちの1つの機能性部品を有する複数の基材の空洞のうちの1つの基材の空洞と前記多孔質バリアー層の一部とを含み、前記多孔質バリアー層の一部は前記複数の機能性部品のうちの1つの機能性部品を被覆する、装置。 - 前記多孔質バリアー層は、流体またはほこりの通過を妨げることによって前記機能性部品を保護するための延伸ポリテトラフルオロエチレン(「ePTFE」)を含むフィルター層である、請求項1に記載の装置。
- 前記多孔質バリアー層が基材構造を覆いおよび前記基材構造に接触しているように、前記多孔質バリアー層は、前記基材構造に近接して配置可能であり、
前記多孔質バリアー層は、流体またはほこりの通過を妨げおよび圧力波の通過を可能にするための選択的浸透性層である、請求項1または2に記載の装置。 - それぞれのダイは、前記ダイがパッケージ化された後で印刷回路板(「PCB」)に取り付けられている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記基材を第1の表面に接合させおよび前記多孔質バリアー層を第2の表面に接合させることによって、前記基材に前記多孔質バリアー層を結合させるための前記第1の表面上および前記第1の表面の反対側の前記第2の表面上に接着剤を有する接着材をさらに含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記接着材は前記第1の表面上に配置構造を含み、前記配置構造を基材構造に整列させることによって、前記第1の表面に前記基材を接合させるために、前記配置構造は、前記基材構造に対応している、請求項5に記載の装置。
- 前記接着材は、接着剤、エポキシ、またはベンゾシクロブテン(「BCB」)を含む、請求項5に記載の装置。
- 前記接着材は、ポリイミド(「PI」)、ポリエーテルエーテルケトン(「PEEK」)、ポリアミド(PA)、またはポリアリールイミド(「PAI」)を含む、請求項5に記載の装置。
- その中に機能性部品を有する基材の空洞を含む基材と、
前記基材に結合されている多孔質バリアー層と、
を含む、ダイであって、
前記多孔質バリアー層は前記機能性部品を被覆しおよび前記機能性部品を保護し、
前記ダイはダイの配列の一部であり、前記ダイの配列は複数の基材の空洞と複数の機能性部品とを含む基材と、接着材によって前記基材に結合されている多孔質層と、を含み、前記それぞれの基材の空洞はその中に複数の機能性部品のうちの1つの機能性部品を含み、前記多孔質バリアー層は前記基材を被覆しおよび前記複数の機能性部品を保護し、前記接着材は複数の接着開口を含み、前記それぞれの接着開口は対応する基材の空洞と位置合わせされている、ダイ。 - 前記多孔質バリアー層は、流体またはほこりの通過を妨げることおよび圧力波の通過を可能にすることによって、前記機能性部品を保護するための選択的浸透性ポリマーを含む、請求項9に記載のダイ。
- 前記ダイがパッケージ化された後に、前記ダイは印刷回路板(「PCB」)に取り付け可能である、請求項9または10に記載のダイ。
- 前記機能性部品は、マイクロフォン、センサー、回路、抵抗、コンデンサー、インダクター、またはトランジスターを含む、請求項9〜11のいずれか一項に記載のダイ。
- 前記基材を第1の表面に接合させることおよび前記多孔質バリアー層を第2の表面に接合させることによって前記多孔質バリアー層を前記基材に結合させるための前記第1の表面上および前記第1の表面と反対側の第2の表面上に接着剤を有する接着材をさらに含む、請求項9〜12のいずれか一項に記載のダイ。
- 前記基材は、基材構造を含み、および前記接着材は、配置構造と前記基材構造とを整列させることによって、前記基材を前記第1の表面に接合させるための前記基材構造に対応する前記第1の表面上の前記配置構造を含む、請求項13に記載のダイ。
- ダイの配列を形成するために、接着材を用いて基材に多孔質バリアー層を結合させることと、
前記多孔質バリアー層を前記基材に結合させた後で、前記ダイの配列を分割して複数の別個のダイを形成させることと、
を含む、方法であって、
前記基材は複数の基材の空洞と複数の機能性部品とを含み、前記それぞれの基材の空洞はその中に前記複数の機能性部品のうちの1つの機能性部品を含み、前記接着材は複数の接着開口を含み、それぞれの接着開口は対応する基材の空洞と位置合わせされており、
前記多孔質バリアー層は前記機能性部品を被覆しおよび前記機能性部品を保護し、
前記複数の別個のダイの内のそれぞれのダイは前記基材の一部を含み、および前記基材のそれぞれの一部はその中に前記複数の機能性部品のうちの1つの機能性部品を有する前記複数の基材の空洞のうちの1つの基材の空洞と多孔質バリアー層の一部とを含み、前記多孔質バリアー層のそれぞれの一部は前記複数の機能性部品のうちのそれぞれの機能性部品を被覆している、方法。 - 前記多孔質バリアー層は、ポリテトラフルオロエチレン(「PTFE」)、フッ素化エチレンプロピレン(「FEP」)、ペルフルオロアルコキシポリマー(「PFA」)、ポリプロピレン(「PP」)、ポリウレタン(「PU」)、ポリエチレン(「PE」)、超高分子量ポリエチレン(「UHMWPE」)、または延伸ポリテトラフルオロエチレン(「ePTFE」)の少なくとも1つを含む、請求項15に記載の方法。
- 前記ダイの配列を分割することは、
前記ダイの配列をダイシングテープに取り付けることと、
ダイシングソーまたはレーザービームを使用して前記ダイの配列を切断することと
を含む、請求項15または16に記載の方法。 - 前記ダイがパッケージ化された後で、前記複数の別個のダイの内の1つのダイを機器に取り付けることをさらに含む、請求項15〜17のいずれか一項に記載の方法。
- 前記多孔質バリアー層を前記基材に結合させることは、
第1の表面上および前記第1の表面と反対側の第2の表面上に接着剤を有する接着材の前記第1の表面に前記基材を接合させることと、
前記多孔質バリアー層を、前記接着材の前記第2の表面に接合させることと、
を含む、請求項15〜18のいずれか一項に記載の方法。 - 前記基材を前記接着材の前記第1の表面に接合させることは、
前記接着材中の配置構造を切断することと、
前記配置構造と基材構造とを整列させることによって、前記第1の表面に前記基材を接合させること、
を含み、
前記配置構造は、前記基材構造に対応する、請求項19に記載の方法。
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