(発明が解決しようとする課題)
検査対象物に形成された検査孔の内周面には、欠陥でない微小なうねりが生ずる場合がある。そのような内周面に平行光が照射されると、カメラの受光素子による受光方向とは異なる方向に光は反射される。このため反射光が受光素子に受光されず、撮像画像は暗く撮像される。したがって、欠陥ではない浅い凹凸面(うねり面)であっても欠陥として検出するような過剰検出が発生する。
そこで、本発明は、浅い凹凸面のような欠陥ではない部分は欠陥として判断されず、鋳巣のような明らかな欠陥は欠陥として判断されるように、孔の内周面を照射することが可能な照射装置を提供することを課題とする。
(課題を解決するための手段)
本発明の照射装置は、波長が480nm以下の光を放つ光源と、光源から放たれた光が、検査対象物に形成されている検査孔の内周面に拡散光として照射されるように、光源から放たれた光を内周面に導く光学部材と、を備える。
本発明に係る照射装置によれば、480nm以下の波長の光が光学部材を介して検査対象物の検査孔の内周面に照射される。480nm以下の短波長の光が検査孔の内周面に照射された場合、その照射面で反射される正反射光だけでなく、乱反射による強度の高い乱反射光が生じやすくなる。浅い凹凸面に480nm以下の波長の光が照射された場合、正反射光の反射方向が受光方向とは異なっている場合であっても、強度の高い乱反射光が受光方向に向かう。
加えて、本発明に係る照明装置によれば、拡散光が検査孔の内周面に照射される。拡散光の指向性は弱いため、照射面に多方向から光が入射する。このため欠陥ではない浅い凹凸面にこの拡散光が照射されると、多方向から入射した光の正反射光のいずれかが受光方向に向かう。
つまり、本発明によれば、乱反射強度が高く、且つ、多方向から入射する光を、検査孔の内周面に照射する。このため、浅い凹凸面にそのような光が照射されたとき、その照射光の乱反射光及び多方向から入射する光の正反射光のいずれかを、受光方向に向かわせることができる。こうして受光方向に向かって反射した光が、例えば受光素子に受光され、あるいは目視される。そのため、浅い凹凸面は明るく見える。
一方、欠陥である鋳巣のような深い凹凸に480nm以下の波長の拡散光が照射された場合、正反射光及び乱反射光が生じても、これらの反射光は鋳巣の外部に届き難いため、欠陥である鋳巣は暗く見える。よって、欠陥でない浅い凹凸面と欠陥部との明暗差が大きくなる。この明暗差に基づいて欠陥の有無を判断することにより、浅い凹凸面を欠陥と判断することなく、鋳巣のような明らかな欠陥を欠陥と判断することができる。
さらに、本発明に係る照射装置は、内周面に照射された光の反射光を受光する受光素子を備える。
これによれば、検査孔の内周面の照射面で反射された正反射光及び強度の高い乱反射光が受光素子で受光されることで、受光された反射光の強度が所定の電気信号へと変換される。これにより、検査孔の内周面の明暗を定量化することができ、検査孔の内周面の検査精度を向上させることができる。
さらに、本発明に係る照射装置は、受光素子が受光した反射光の強度に基づいて、内周面に欠陥が存在するか否かを判断する判断部を備えると良い。
これによれば、判断部は、受光素子により変換された検査孔の内周面からの反射光に対応する所定の電気信号に基づいて、明るい部分は欠陥ではないと判断し、暗い部分は欠陥であると判断することができる。このため、検査穴の内周面に欠陥が存在するか否かを自動で判断することができる。
さらに、本発明に係る照射装置は、バニシング加工が施されている内周面に拡散光として光源から放たれた光を照射するとよい。
これによれば、検査孔の内周面には、バニシング加工によって形成された欠陥ではない浅い凹凸面が形成される。この浅い凹凸面に480nm以下の波長の拡散光が照射された場合、多方向から入射した光の正反射光のいずれか、及び、乱反射による強度の高い乱反射光が、受光方向に向かう。こうして受光方向に向かう光を受光することにより、欠陥ではない浅い凹凸面は明るく見える。
一方、検査孔の内周面に形成された欠陥であり深い凹凸である鋳巣に480nm以下の波長の拡散光が照射された場合、この鋳巣は欠陥ではない浅い凹凸面に比べて深い凹凸であるため、正反射光及び乱反射光が生じても、これらの反射光は、鋳巣の外部に届きにくくいため、鋳巣のような深い欠陥は暗く見える。
従って、欠陥ではない浅い凹凸面は明るく撮像され、鋳巣のような明らかな欠陥である深い凹凸は暗く撮像される。よって、バニシング加工面に鋳巣のような欠陥が形成されている場合であっても、明確に欠陥を検出できる。
また、本発明に係る照射装置は、検査孔に同軸的に挿入可能なように筒状に形成されているとともに、その側周面に開口部が設けられている筒状部材と、筒状部材に接続された支持部材と、筒状部材がその軸回りに回転するように支持部材を回転させる回転機構と、を備える。また、光源は、支持部材に支持されており、光学部材は、光源から放たれた光の光芒の中心軸上に配設され、光源から放たれた光を反射するとともに、その反射光が筒状部材内を筒状部材の軸心方向に沿って進行するように支持部材に支持されたハーフミラーと、ハーフミラーにて反射されて筒状部材内を軸心方向に進行する光が開口部を経由して筒状部材の外部に筒状部材の軸心方向に垂直な方向に進行するように筒状部材内に配設された対物ミラーとを備える。そして、受光素子は、対物ミラーとハーフミラーとを結ぶ直線の延長線上に位置するように、配設されている。
本発明に係る照射装置によれば、検査孔内に筒状部材を同軸的に挿入し、光源から放たれた光を筒状部材の側周面に設けられた開口部から検査孔の内周面に照射させることにより、検査孔の内周面を検査することできる。さらに、支持部材を回転させて筒状部材を軸回りに回転させることによって、検査孔の内周面を周方向に亘り検査することができる。
さらに、本発明に係る照射装置は、支持部材に接続され、受光素子からの受光信号が入力されるとともに入力された受光信号を出力する第一コネクタと、第一コネクタが出力した受光信号が非接触で入力されるとともに入力された受光信号を出力する第二コネクタと、を有する非接触通信部を備えるとよい。そして、第一コネクタと第二コネクタが相対回転可能に構成されるとよい。
本発明に係る照射装置によれば、第一コネクタと第二コネクタは、非接触で通信を行い、第一コネクタが支持部材とともに第二コネクタに対して相対回転することが可能である。このため、第一コネクタと第二コネクタ間は無線となり、通信線などの電線がねじれを生じたり、断線したりすることなく、支持部材を回転させることができる。
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照して説明する。なお、本実施形態の左右上下の方向は、各図に示す方向とする。
図1は、本実施形態に係る照射装置1の全体構成の概要を示す図である。本実施形態の照射装置1は、照射ユニット2から放たれた光を検査対象であるワークWに形成された貫通孔(検査孔)の内周面Winに照射し、貫通孔の内周面Winで反射された反射光を受光素子3に受光させ、受光素子3が受光した光に基づき画像情報を生成し、この画像情報から貫通孔の内周面Winに欠陥があるか否かを判定する。
図1に示すように、照射装置1は、検査ヘッド4、ワーク移動装置5及び制御装置6を備える。検査ヘッド4は、照射ユニット2、撮像装置7及び回転駆動装置8(回転機構)を備える。
照射ユニット2は、LED光源9(光源)、ハーフミラー10(光学部材)、第1支持部材11(支持部材)、筒状部材13及び対物ミラー12(光学部材)を備える。
LED光源9は、複数のLED素子を備え、これらが面状に配列されることにより構成される。各LED素子は、青色の拡散光、すなわち約460nm〜480nmの波長の拡散光を放つ。ここで、「拡散光」とは、進行するにつれて広がっていく光を意味する。LED光源9は、複数のLED素子のそれぞれの光芒の中心軸が水平方向となるように配設される。図1において、LED光源9は、左方に拡散光を放つ。
ハーフミラー10は、LED光源9から放たれた光の光芒の中心軸上に位置するように、図1においてLED光源9の左側に配設される。LED光源9から放たれた拡散光はハーフミラー10に入射する。ハーフミラー10は、入射された拡散光の一部を透過し一部を反射する。また、ハーフミラー10は、入射された拡散光の反射光が図1において下方に向かうように、水平方向に対して45度傾斜した状態でLED光源9の左側に配設される。
第1支持部材11は、LED光源支持部材14、下壁部材15及び上壁部材16を備え、LED光源9、ハーフミラー10、筒状部材13及び後述のレンズシステム17を支持する。
LED光源支持部材14は、LED光源9の図1において右側に配設されており、LED光源9の照射方向のずれを抑制するようにLED光源9を支持する。
下壁部材15は、LED光源9及びハーフミラー10の下方に設けられており、ハーフミラー10を水平方向に対して45度傾けた状態でハーフミラー10の下端部を支持する。下壁部材15の下面に筒状部材13が連結される。筒状部材13は、下壁部材15との連結部分から下方に延設される。
下壁部材15は、板状に形成される。また、下壁部材15には、上下方向に貫通した第1孔18が形成される。ハーフミラー10で反射されたLED光源9からの拡散光は、第1孔18を通過して筒状部材13内に進む。
筒状部材13は、円筒状に形成される。また、筒状部材13の下端面に固定プレート19が取り付けられており、固定プレート19上に対物ミラー12が固定されることにより対物ミラー12が筒状部材13内に配設される。
対物ミラー12は、ハーフミラー10で反射された拡散光が入射されるようにハーフミラー10の下方に配設される。対物ミラー12は、その反射面が水平方向に対して45度傾斜した状態、すなわちハーフミラー10の反射面と対物ミラー12の反射面が平行となる状態で、筒状部材13内に配設される。したがってハーフミラー10から対物ミラー12に入射した光の反射光は水平方向に進む。なお、筒状部材13の側周面のうち、対物ミラー12の図1において左側の部分に、第2孔20(開口部)が形成される。ハーフミラー10から対物ミラー12に入射した光の反射光は、第2孔20を通過して、筒状部材13の外部に進行する。
上壁部材16は、LED光源9及びハーフミラー10の上方に設けられており、ハーフミラー10を水平方向に対して45度傾けた状態でハーフミラー10の上端部を支持する。本実施形態において、上壁部材16は、板状に形成される。また、上下方向に貫通した第3孔21が上壁部材16に形成される。この第3孔21は、後述するように、検査孔の内周面Winから反射され、対物ミラー12を経由してハーフミラー10に入射した光の透過光が上壁部材16の上に載置された後述のレンズ22に入射するような位置に形成される。上壁部材16の上側に、撮像装置7が配設される。
撮像装置7は、レンズシステム17、カメラ23及び第2支持部材24(支持部材)を備える。レンズシステム17は、レンズ収容部材25、レンズ22及び絞り26を備える。
レンズ収容部材25は円筒状であり、上壁部材16の上方に設けられている。レンズ収容部材25は、上壁部材16に形成された第3孔21を下方から上方に向かって通過した光がレンズ22に入射するように、レンズ22を収容する。
レンズ22は、その中心軸が第3孔21の中心軸と同軸となるようにレンズ収容部材25内に配設される。レンズ22は、第3孔21を通過した光を集光する。
絞り26は、レンズ22とともにレンズ収容部材25に収容される。絞り26は、絞り孔27を備えており、絞り孔27の中心軸とレンズ22の中心軸が同軸となるようにレンズ22の上方に設けられる。絞り26は、絞り孔27の広さを調整することでレンズ22から後述する受光素子3へ入射する光の量を調整可能に構成される。
カメラ23は、筐体28、受光素子3及びA−Dコンバータ29を備える。筐体28は、受光素子3及びA−Dコンバータ29を収容する。筐体28の下面は開口している。また、筐体28の下端がレンズ収容部材25の上端と連結される。
受光素子3は、絞り26を通過した光を受光することが可能な位置となるように筐体28内に固定される。なお、本実施形態の受光素子3は、ラインセンサである。また、図1からわかるように、受光素子3は、対物ミラー12とハーフミラー10とを結ぶ直線の延長線上に位置するように、対物ミラー12及びハーフミラー10の上方に配設されている。受光素子3は、A−Dコンバータ29と電気的に接続されており、絞り26を通過した光を受光し、受光した光の強度に応じたアナログの電気信号をA−Dコンバータ29に出力する。このアナログの電気信号は、アナログの画像情報である。
A−Dコンバータ29は、後述の回転側コネクタ30(第一コネクタ)と電気的に接続される。A−Dコンバータ29は、受光素子3から入力されたアナログの電気信号をデジタルの電気信号に変換し、回転側コネクタ30へ出力する。このデジタルの電気信号はデジタルの画像情報である。
第2支持部材24は、カメラ支持部材31、第1連結部材32及び第2連結部材33を備える。カメラ支持部材31は、筐体28の右側に配置され、筐体28を支持する。
第1連結部材32は、カメラ23の上側に配置される。第1連結部材32の下面の右端部は、カメラ支持部材31を支持する。また、第1連結部材32の下面の左端部は、第2連結部材33を支持する。
第2連結部材33は、図1において上下方向に延びており、この第2連結部材33によって照射ユニット2と撮像装置7が連結される。第2連結部材33の下端部の右側面部は、下壁部材15を支持する。第2連結部材33の中央部の右側面部は、上壁部材16を支持する。第1支持部材11と第2支持部材24とにより本発明の支持部材が構成される。この支持部材に備えられる下壁部材15の下面に筒状部材13が接続される。
回転駆動装置8は、モータ装置34、駆動力伝達ユニット35、回転駆動装置支持部材36及び回転コネクタ装置37を備える。モータ装置34は、モータ38及びモータ支持部材39を備える。
モータ38は、ステータ(図略)及びロータ(図略)と、これらを内部に収容するモータハウジング40と、モータハウジング40内のロータに接続されるとともにモータハウジング40の下面中心部から下方へ突出した駆動軸41を備える。モータ38は、後述するモータ回転制御装置42と電気的に接続される。モータ38には、後述のモータ回転制御装置42から電力が入力される。そして、入力された電力に応じた回転速度で駆動軸41を回転させる。
モータ支持部材39は、モータハウジング40の下側に配置される。モータ支持部材39の上面がモータハウジング40の下面に固定される。モータ支持部材39は、板状である。モータ支持部材39の中央部には、上下方向に貫通した貫通孔が形成される。この貫通孔に駆動軸41が回転可能に挿入される。
駆動力伝達ユニット35は、駆動プーリ43、ベルト44、従動プーリ45及び従動軸46を備える。駆動プーリ43の回転中心部には、上下方向に貫通した貫通孔が形成され、この貫通孔に駆動軸41が一体回転するように挿入される。従って、駆動プーリ43は、駆動軸41とともに上下方向軸周りに回転可能に構成される。
ベルト44は、駆動プーリ43及び従動プーリ45に掛け回され、駆動プーリ43の回転を従動プーリ45へ伝達する。従動プーリ45は、上下方向軸周りに回転可能に配設されており、ベルト44を介して駆動プーリ43から駆動力が伝達されることによって回転する。
従動プーリ45の回転中心部には、上下方向に貫通した貫通孔が形成される。この貫通孔に従動軸46が従動プーリ45と一体的に回転するように挿入される。従動軸46は、上下方向に沿って延びるように配設されており、上部分の径が小さく、下部分の径が大きく形成される。
回転駆動装置支持部材36は、第2支持部材24の上側に配置される。回転駆動装置支持部材36は、板状であり、図示しない連結部材を介してモータ支持部材39に固定される。回転駆動装置支持部材36は、上下方向に貫通した貫通孔を備える。この貫通孔に従動軸46の下部分が回転可能に挿入される。従動軸46の下端面は、第2支持部材24の上面に接続される。このため、駆動軸41の回転は、駆動プーリ43、ベルト44、従動プーリ45及び従動軸46を介して、第2支持部材24に伝達される。これにより、第2支持部材24、第2支持部材24に連結された撮像装置7及び照射ユニット2が、上下方向軸周りに回転するとともに、第2支持部材24に接続されている筒状部材13が、その軸周りに回転する。
回転コネクタ装置37は、コネクタ支持部材47、非接触式回転コネクタ48(非接触通信部)及びD−Aコンバータ49を備える。コネクタ支持部材47は、板状であり、図示しない連結部材を介して、回転駆動装置支持部材36に固定される。コネクタ支持部材47の中央部には、上下方向に貫通した貫通孔が形成される。この貫通孔には、下側から従動軸46の上部分が挿入される。この従動軸46の上端には、非接触式回転コネクタ48が接続される。
非接触式回転コネクタ48は、回転側コネクタ30と固定側コネクタ50(第二コネクタ)を備える。回転側コネクタ30は、コネクタ支持部材47の上に回転可能に配置され、従動軸46の上端に連結される。これにより、回転側コネクタ30は、従動軸46を介して第1連結部材32に接続される。回転側コネクタ30は、LED光源9及びA−Dコンバータ29と電気的に接続される。
固定側コネクタ50は、回転側コネクタ30と非接触状態で回転側コネクタ30の上側に配置される。固定側コネクタ50と回転側コネクタ30は、ともにケース(図略)内に同軸的に収容される。回転側コネクタ30は、固定側コネクタ50に対して相対回転することができるように構成される。固定側コネクタ50と回転側コネクタ30は、非接触状態で電気的に接続が可能であるように構成される。また、固定側コネクタ50は、D−Aコンバータ49及び後述の光源制御装置51とも電気的に接続される。
D−Aコンバータ49は、非接触式回転コネクタ48を介して、A−Dコンバータ29と電気的に接続される。D−Aコンバータ49は、A−Dコンバータ29から入力されたデジタルの電気信号を後述の画像入力ボード52へ入力可能なアナログの電気信号に変換し、このアナログの電気信号を画像入力ボード52へ出力する。
ワーク移動装置5は、ワーク支持部53、ロボットアーム部54、台座部55を備える。ワーク支持部53は、撮像装置7及び照射ユニット2の下方に配置され、ワーク支持部53の上に載置されたワークWを支持する。
ロボットアーム部54は、複数の関節を有するとともに、その先端にてワーク支持部53に連結され、その基端にて台座部55に連結される。ロボットアーム部54の先端に連結されたワーク支持部53が3次元的に移動できるように、ロボットアーム部54に備えられる各関節の動きがワーク移動制御装置56で制御される。
制御装置6は、入出力制御装置57、ワーク移動制御装置56、光源制御装置51及びモータ回転制御装置42を備える。
入出力制御装置57は、モニター58、キーボード59、画像入力ボード52、画像処理ボード60、マイクロコンピュータ(判断部)61及びパルス出力ボード62等を備える。モニター58は、撮像された画像やアプリケーションソフトウエアの操作画面等を表示する。キーボード59は、使用者が各制御装置の設定値をアプリケーションソフトウエアで入力する時などに使用される。
画像入力ボード52は、D−Aコンバータ49及び画像処理ボード60と電気的に接続される。画像入力ボード52は、撮像装置7で撮像された画像情報の取り込みを行い、取り込んだ画像情報を画像処理ボード60へ出力する。
画像処理ボード60は、画像入力ボード52及びマイクロコンピュータ61と電気的に接続される。画像処理ボード60は、画像入力ボード52より入力された画像情報を画像としてモニター58上に表示するための画像処理を行い、画像処理により生成した画像情報をマイクロコンピュータ61へ出力する。
マイクロコンピュータ61は、CPU(図略)、RAM(図略)及びROM(図略)等を備え、画像処理ボード60及びモニター58と電気的に接続される。マイクロコンピュータ61は、画像処理ボード60から入力された画像情報をモニター58へ出力する。
パルス出力ボード62は、モータ回転制御装置42及びマイクロコンピュータ61と電気的に接続される。パルス出力ボード62は、モータ38を駆動するための電圧信号であるモータ駆動用パルスを、モータ回転制御装置42に備えられる後述のモータドライバ63へ出力する。モータ駆動用パルスの周期等の設定は、入出力制御装置57に備えられるアプリケーションソフトウエアのパルス制御プログラムによって設定可能である。
モータ回転制御装置42は、モータドライバ63を備える。モータドライバ63は、パルス出力ボード62及びモータ38と電気的に接続される。モータドライバ63は、パルス出力ボード62から入力されたモータ駆動用パルスに応じてモータ38の回転数やモータ38を回転させるタイミングを制御する。
ワーク移動制御装置56は、入出力制御装置57及びワーク移動装置5と電気的に接続される。ワーク移動制御装置56は、ワーク移動装置5のロボットアーム部54を三次元的に移動させて、ワーク支持部53の位置を制御する。ロボットアーム部54の動作は、入出力制御装置57に備えられるアプリケーションソフトウエアのロボットアーム制御プログラムによって制御される。
光源制御装置51は、入出力制御装置57及びLED光源9と電気的に接続される。LED光源9と光源制御装置51とは、非接触式回転コネクタ48を介して電気的に接続される。光源制御装置51は、LED素子を点灯させるための電力をLED光源9に出力する。また、光源制御装置51は、LED光源9の点灯、消灯及び明るさを制御する。
次に、上記構成の照射装置1が検査対象物であるワークWに形成された検査孔の内周面Winを撮像し、撮像された画像から検査孔の内周面Winに欠陥があるか否かを判定するまでの過程を説明する。図2は、この過程の概要を示すフローチャートである。
まず、図2のフローチャートのステップS1において、ワークWに形成された検査孔の位置がワーク支持部53の中央部となるようにワークWがワーク支持部53の上面に載置される。
次に、ステップS2において、入出力制御装置57に備えられるアプリケーションソフトウエアの初期位置設定プログラムが実行される。すると、入出力制御装置57からワーク移動制御装置56に初期位置制御信号が入力される。ワーク移動制御装置56は、入力された初期位置制御信号に基づいて、ロボットアーム部54の動作を制御する。これにより、ワーク支持部53上のワークWの検査孔内に筒状部材13が同軸的に挿入され、且つ筒状部材13の第2孔20と検査孔の内周面Winが対面する。このとき、筒状部材13に形成された第2孔20に検査孔の内周面Winのうちの所定の高さ位置の領域が対向するように、ワーク支持部53の初期位置が定められる。
次に、ステップS3において、入出力制御装置57に備えられるアプリケーションソフトウエアの光照射用プログラムが実行される。すると、入出力制御装置57は、LED素子の点灯及び明るさを制御する照明制御信号を光源制御装置51に送る。光源制御装置51は、照明制御信号により指示された明るさでLED素子が点灯するようにLED素子の明るさを制御する。これにより、LED光源9から青色の拡散光が放たれる。
次に、ステップS4において、ワーク移動制御装置56が、ワーク支持部53の位置に基づいて、ワークWの位置情報をマイクロコンピュータ61に送る。
次に、ステップS5において、撮像処理が行われる。ここで、ステップS3においてLED光源9より放たれた青色の拡散光は、図1のハーフミラー10に入射する。ハーフミラー10に入射した拡散光の反射光は、第1孔18を通って筒状部材13内に進入し、筒状部材13内をその軸心方向に沿って進行する。そして、対物ミラー12に入射する。対物ミラー12に入射した拡散光の反射光は、第2孔20を経由して筒状部材13の外部に筒状部材13の軸心方向と垂直な方向(水平方向)に進行する。そして、検査孔の内周面Winの検査対象領域を照射する。この照射光の反射光は、対物ミラー12で反射されてハーフミラー10へ入射する。ハーフミラー10に入射した光の透過光がレンズ22及び絞り26の絞り孔27を通過し、カメラ23内に入射する。そして、カメラ23内の受光素子3が、この光を受光する。
光を受光した受光素子3は、受光した光の強度に応じたアナログの電圧信号を発生する。本実施形態の受光素子3はラインセンサであり、アナログの電圧信号は、検査孔の内周面Winのうちの一部の領域の画像情報である。この一部の領域は、上下方向を長手方向とした短冊形の領域である。画像情報であるアナログの電圧信号は、A−Dコンバータ29へ出力される。
A−Dコンバータ29は、受光素子3から受け取ったアナログの電圧信号をデジタルの電圧信号へと変換する。このデジタル信号も画像情報である。アナログの電圧信号をデジタルの電圧信号へ変換することで、非接触式回転コネクタ48での通信が可能となる。このデジタルの電圧信号は、非接触式回転コネクタ48の回転側コネクタ30へ出力される。
回転側コネクタ30は、入力されたデジタルの電圧信号を非接触式回転コネクタ48の固定側コネクタ50へ出力する。このとき回転側コネクタ30及び固定側コネクタ50は、非接触で通信が行われる。固定側コネクタ50は、入力されたデジタルの電圧信号をD−Aコンバータ49へ出力する。
D−Aコンバータ49は、入力されたデジタルの電圧信号を元のアナログの電圧信号へと変換し、このアナログの電圧信号を画像入力ボード52へ出力する。
画像入力ボード52は、入力されたアナログの電圧信号を画像入力ボード52内のメモリに保存する。以上の処理が実行されることにより、検査孔の内周面Winのうちの一部の領域の画像が撮像される。
画像入力ボード52内のメモリへの画像情報の保存が終了すると、画像入力ボード52は、メモリへの画像情報の保存が完了したことを伝達する信号である保存完了信号をマイクロコンピュータ61へ出力する。すると、マイクロコンピュータ61は、ステップS6において、現在の高さ位置における検査孔の内周面Winの1周分の撮像が完了したか、すなわち現在の高さ位置における検査孔の内周面Winを周方向に亘り全て撮像したか否かを判定する。現在の高さ位置における検査孔の内周面Winの1周分の撮像が完了していないとマイクロコンピュータ61が判定した場合、すなわち図2のステップS6の判定結果がNoの場合、ステップS7において、撮像装置7及び照射ユニット2が回転される。この場合において、マイクロコンピュータ61は、パルス出力指示信号をパルス出力ボード62へ出力する。パルス出力指示信号がパルス出力ボード62に入力されると、パルス出力ボード62は、モータ38を動かすためのモータ駆動用パルス信号をモータドライバ63に出力する。ここで、モータ駆動用パルス信号のパルス幅及びパルス周期は、入出力制御装置57に備えられるモータ駆動用のアプリケーションソフトウエアで設定される。
モータ駆動用パルス信号がモータドライバ63に入力されると、モータドライバ63は、このモータ駆動用パルス信号に基づいて、駆動軸41を回転させるための電力をモータ38へ出力する。この電力がモータ38に入力されると、モータ38が駆動する。モータ38の駆動により駆動軸41が回転する。駆動軸41の回転により、駆動軸41に固定された駆動プーリ43が回転する。駆動プーリ43の回転は、ベルト44を介して従動プーリ45へ伝達される。これにより、従動プーリ45が回転する。従動プーリ45の回転により、従動プーリ45に固定された従動軸46が回転する。
従動軸46は、回転側コネクタ30及び第2支持部材24に接続されているので、従動軸46の回転により、回転側コネクタ30、第2支持部材24、第2支持部材24に連結された撮像装置7及び照射ユニット2、第2支持部材24に接続された筒状部材13が回転する。これにより、照射ユニット2によって照射される検査孔の照射領域が前回の照射領域に周方向に隣接する領域に移動する。
その後、上述と同様に、ステップS4において、ワーク移動制御装置56がワーク支持部53の位置に基づいてワークWの位置情報をマイクロコンピュータ61に送り、ステップS5において、検査孔の内周面Winのうち前回撮像した領域に周方向に隣接する領域の画像が撮像される。上述した撮像と回転が繰り返されることにより、図1の検査孔の内周面Winの1周分の画像が撮像される。
また、図2のステップS6において、検査孔の内周面Winの1周分の撮像が完了したとマイクロコンピュータ61が判定した場合、すなわち、図2のステップS6の判定結果がYesの場合、ステップS8において、画像処理ボード60が、位置情報と撮像画像に基づき、検査孔の内周面Winの1周分の画像を全て結合させて一つの展開画像を作成し、モニター58へ展開画像を出力する。モニター58は、展開画像を表示する。
次に、ステップS9において、マイクロコンピュータ61が展開画像から検査領域を決定し、この検査領域の中の背景除去等の処理を行うことでノイズ成分を除去する。さらに、マイクロコンピュータ61は、ノイズ成分が除去された検査領域の明暗及び暗部の大きさに基づいて欠陥候補を抽出する。この場合、マイクロコンピュータ61は、例えば、検査領域内にて輝度値が所定値以下である領域の大きさ、或いは、輝度値が不連続である輪郭線に基づいて、欠陥候補を抽出することができる。
次に、ステップS10において、マイクロコンピュータ61は、抽出された全ての欠陥候補に対し、それぞれの特徴量(長軸長、面積、輝度強度等)を抽出する。次に、ステップS11において、マイクロコンピュータ61は、特徴量の組み合わせからなる所定の条件(例えば、長軸長の閾値と面積の閾値、長軸長の閾値と輝度強度の閾値、面積の閾値と輝度強度等の閾値)と、抽出された欠陥候補における所定の条件に対応した特徴量の組み合わせとを比較し、欠陥候補の欠陥の種類を判別する。ここで欠陥の種類は、例えば、鋳巣、傷及びごみ等の付着である。
次に、ステップS12において、マイクロコンピュータ61は、欠陥の種類が判別された欠陥候補を表す欠陥情報をそれぞれの欠陥の種類ごとに設定された閾値と比較することにより、欠陥候補が欠陥であるか否かを判定する。欠陥候補が欠陥ではないと判定された場合、すなわちステップS12の判定結果がNoの場合、マイクロコンピュータ61はステップS14に処理を進める。一方、欠陥候補が欠陥であると判定された場合、すなわちステップS12の判定結果がYesの場合、マイクロコンピュータ61は、ステップS13において、欠陥情報を記憶する。このようにして、展開画像に表された内周面Winの欠陥の判定がなされる。
次に、ステップS14において、検査孔の全ての高さ位置における内周面Winの撮像が完了したか否かをマイクロコンピュータ61が判定する。すべての高さ位置の検査孔の内周面Winの撮像が完了していないとマイクロコンピュータ61が判定した場合、すなわち図2のステップS14の判定結果がNoの場合、ステップS2に戻り、入出力制御装置57に備えられるアプリケーションソフトウエアの位置変更プログラムが実行される。すると、入出力制御装置57からワーク移動制御装置56に高さ位置変更信号が入力される。ワーク移動制御装置56は入力された制御信号に基づいて、ロボットアーム部54の動作を制御する。これにより、筒状部材13に形成されている第2孔20が検査孔の内周面Winのうち前回対向していた高さ位置の領域に隣接する高さ位置の領域に対向するように、ワーク支持部53の高さ位置が定められる。そして、上述のステップS3〜S14の処理が、繰り返される。このようにして、検査孔の内周面Win内の全ての欠陥候補に対して、欠陥候補が欠陥であるか否かをマイクロコンピュータ61が判定する。
そして、図2のステップS14において、検査孔の全ての高さ位置の内周面Winの撮像が完了したとマイクロコンピュータ61が判定した場合、すなわち図2のステップS14の判定結果がYesの場合、ステップS15において、ワークWの内周面Winに存在する欠陥の数や大きさ等の欠陥情報に基づいて、ワークWの内周面Winの状態が良好であるか否かをマイクロコンピュータ61が判定する。以上のようにして、検査孔の内周面の良否が判定される。
ところで、ワークWの検査孔の内周面Winを平滑にするために検査孔の内周面Winにバニシング加工を施すことがある。しかし、このバニシング加工を施すと内周面Winは滑らかな表面となるが、うねりのような欠陥ではない浅い凹凸が形成される。図3は、バニシング加工によって平滑化された検査孔の内周面を撮像した場合における展開画像である。
バニシング加工が施されたワークWの孔の内周面Winに欠陥があるか否かを検査するために、従来の方法のように平行光を孔の内周面Winに照射させると、欠陥ではない浅い凹凸に照射された照射光の正反射光が、凹凸面の傾斜によって入射方向とは異なる方向に向かうことになる。つまり、正反射光が受光方向とは異なる方向に向かう。したがって、受光部は欠陥ではない浅い凹凸面からの正反射光を受光することができず、その結果、欠陥ではない浅い凹凸の凹部が暗く撮像される。暗く撮像された部分は、欠陥であると判定される可能性が高い。すなわち欠陥ではない浅い凹凸が、欠陥であると誤判定される可能性が高い。また、欠陥ではない浅い凹凸に、例えば鋳巣のような本当の欠陥が形成されていても、凹部は暗く撮像されるため、暗く撮像された画像の中から本当の欠陥を発見することは困難である。
これに対し、本実施形態では、LED光源9から放たれる光が検査孔の内周面Winに照射されるまでの導波路中に、コリメートレンズのような光を平行光にする光学部材が設けられていない。そのため、検査孔の内周面Winには平行光ではなく拡散光が照射される。拡散光の指向性は弱いため、欠陥ではない浅い凹凸面にこの拡散光が照射した場合、凹凸面に多方向から光が入射する。このため、多方向から凹凸面に入射した光の正反射光のいずれかが、受光方向に向かう。よって、正反射光が受光部に受光されやすくなる。また、本実施形態では、LED光源9から放たれる光の波長が480nm以下であり、このような短波長の光が照射面に照射された場合、正反射光の他に、強度の高い乱反射光が生じる。受光部は、この強度の高い乱反射光のうち受光部に向かう光を受光することができる。
このように、本実施形態によれば、照射光が拡散光であること及び照射光が480nm以下の短波長であることにより、従来の方法に比べ、受光部に正反射光が受光されやすくなるとともに、強度の高い散乱反射光をも受光部に受光させることができる。このため、欠陥ではない凹部は、明るく撮像される。また、本当の欠陥である鋳巣のような凹部の深さは、バニシング加工痕のような欠陥ではない凹部よりもはるかに深い。このため、たとえ波長が480nm以下の拡散光を鋳巣に照射したとしても、その反射光及び乱反射光は、鋳巣の外部に届きにくい。よって、深い凹部である鋳巣のような欠陥は、暗く撮像される。このように、うねりのような欠陥ではない微小な凹凸は正常面と判断され、欠陥である鋳巣などは欠陥であると判断される。つまり、欠陥か否かの判断精度が向上する。また、欠陥ではない凹部が明るく撮像されるので、明るく撮像された凹部に鋳巣が形成されていても容易にそれを発見することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されることはない。例えば、上記実施形態では、受光素子を用いて検査孔の内周面を撮像する例を示したが、本発明に係る照明装置は、目視により検査孔の内周面を検査する際に内周面に光を照射するための照明装置として用いることができる。このように、本発明は、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、変形可能である。