JP6613557B2 - 保持装置とその保持方法、ワイヤ放電加工装置およびその加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、保持装置とその保持方法、ワイヤ放電加工装置およびその加工方法の技術に関する。

従来よりシリコンインゴットを板状のウエハにスライスするための装置としてワイヤソーが知られているが、近年ワイヤ放電加工の技術を用いてワークを薄板にスライスする技術がある。

特許文献１には、保持板とワークの接合を氷または接着剤で行い、両側から挟みこんでスライスすることでワークの両側を除いた部分のウエハを保持板から離脱させる技術が開示されている。

しかしながら、ワイヤ放電加工ではワークと通電する必要があり、ワークに保持するために氷または接着剤を用いると接合部分での通電が困難になるという問題があり、ワークとの接合部分を部材で接着させることは好ましくない。さらにワークを固定するために氷または接着剤を用いると接合部分へのワークの取り付けが非常に手間な作業となる。

特開平９−１２３１６３号公報

本発明は、良好なワークとの通電性を備えて、ワイヤ放電加工前の被加工物の取り付け作業も簡単な可能な仕組みを提供することを目的とする。

本発明は、ワークをワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられる保持装置であって、前記ワークが前記保持装置から落下しないように、前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持する導電性材料の保持部と、前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、前記保持部を取り付ける導電性材料の土台と、を備え、前記並設されたワイヤにより放電加工されずに前記ワークと接触する第１の箇所に、前記保持部が配置されており、前記並設されたワイヤにより放電加工される、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、前記第１の箇所で前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側を接触させて、前記保持部が前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持し、前記保持部が取り付けられた前記土台が、前記第１の箇所での前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側の接触により、前記取り付けられた前記保持部から前記ワークとの通電機能を有することを特徴とする。
また、固定部材を用いて前記保持部が前記土台に取り付けられることを特徴とする。

また、２枚の前記土台に取り付けられた前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側をそれぞれ前記第１の箇所で接触させて、前記土台に取り付けられた２枚の前記保持部が前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持することを特徴とする。

また、前記通電部が導電性材料であり、固定部材を用いて前記通電部が前記土台と通電するように取り付けられることを特徴とする。
また、前記第１の箇所ではない第３の箇所に、前記放電加工を行うワイヤ放電加工装置から配線されたバキュームに接続する接続部が設けられていることを特徴とする。
また、前記土台は、前記ワイヤに向かって前記保持装置を移動するワーク送りユニットに固定部材を用いて取り付けられることを特徴とする。

本発明により、良好なワークとの通電性を備えて、ワイヤ放電加工前の被加工物の取り付け作業も簡単な可能な仕組みを提供することが可能となる。

本発明におけるワイヤ放電加工システムの構成を示す図。 本発明におけるワイヤ放電加工装置及び電源装置をそれぞれ制御する制御部のハードウエア構成図を示す図。 本発明における保持装置の第１の保持部部分の構造を示した図。 本発明における保持装置の第２の保持部部分の構造を示した図。 本発明における保持装置に円柱型のワークを取り付けた状態を示した図。 本発明における保持装置の土台の構造を示した図。 本発明における保持装置に取り付ける円柱型のワークの各面を説明した図。 本発明における放電加工開始から保持装置が引き揚げられるまでの保持装置と加工槽との相対的な配置関係の変遷を示した図。 本発明における放電加工開始から保持装置が引き揚げられるまでの保持装置と加工槽との相対的な配置関係の変遷を示した図。

図１を説明する。

図１は本発明におけるワイヤ放電加工システムの構成を示す図である。ワイヤ放電加工システムは、ワイヤ放電加工装置１、電源装置２、加工液供給装置１２により構成されている。図１に示す各機構の構成は一例であり目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。

ワイヤ放電加工システムは放電加工により、並設されたワイヤ１０３の間隔で被加工物であるワーク１０５を薄板状ににスライスすることができる。本発明では並設されたワイヤ１０３でワーク１０５を加工するワイヤ放電加工装置に関するものであり、ワイヤ放電加工装置１では、サーボモータにより駆動されるワーク送りユニット３がワイヤ１０３の上部に設けられ上下方向にワーク１０５（またはインゴットとも言う）を移動できる。本実施例ではワーク１０５が下方向に送られて放電加工がおこなわれるが、変形例としてワーク送りユニット３をワイヤ１０３の下部に設けることでワーク１０５を上方向へ移動して放電加工をしてもよい。

電源装置２は、並設されているワイヤ１０３とワーク１０５との極間にパルス電圧を印加することでワーク１０５を放電加工する。電源装置２はサーボモータを制御する放電サーボ制御回路が検出した放電の状態に応じて、効率よくワーク送りユニット３を移動させるために、放電ギャップ（極間）を一定の距離に保つように制御して、ワーク１０５の相対的な位置決めを行い、放電加工を少しずつ進行させる。

電源装置２は、放電加工のためのパルス電圧をワイヤ１０３へ供給するとともに、放電ギャップで発生する短絡などの状態に適応する制御を行い、放電サーボ制御回路への放電ギャップ信号を発信する。

ワイヤ放電加工装置１は電源装置２と電源配線１１を介して接続されており、ワイヤ放電加工装置１は電源装置２から供給される電力（加工電圧と加工電流の積）を用いて、ワーク１０５を放電加工する。

加工液供給装置１２は、放電が発生する部分の冷却や、極間に残留する加工屑の除去に必要な加工液をポンプによりワーク１０５とワイヤ１０３との極間へ送液すると共に、加工液中に溜まった加工屑の除去や、イオン交換による電導度（１μＳ〜２５０μＳ）の管理や、液温（２０℃付近）の管理を行う。おもに水が使用されるが、放電加工油を用いることもできる。

メインローラ８，９には、所望する厚みでワークをスライス加工出来るようにあらかじめ決められたピッチや、所望する枚数でワークをスライス加工出来るようにあらかじめ決められたピッチ数のＶ溝が形成されており、ワイヤの供給ボビン（図示しない）からの張力制御されたワイヤが２つのメインローラに必要数巻きつけられ、巻き取りボビン（図示しない）へ送られる。この時のワイヤの走行速度は例えば１００ｍ／ｍｉｎから９００ｍ／ｍｉｎ程度が用いられる。

この２つのメインローラ８，９が同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、ワイヤの繰出し部（図示しない）から送られた１本のワイヤ１０３がメインローラ（２つ）の外周を周回し、ワイヤ１０３を複数本に並設させて同一方向に走行させることができる。ワイヤ１０３は１本の繋がったワイヤであり、繰出し部から繰り出され、メインローラの外周面のＶ溝に嵌め込まれながら、メインローラの外側に多数回（最大で２０００回程度）螺旋状に巻回された後に巻き取りボビンに巻き取られる。

メインローラ８，９は中心軸に金属を使用し、外側を樹脂で覆う構造である。メインローラ８．９の間の下部には、電源装置２からのパルス電圧をワイヤに給電するために給電子１０４が設けられており、給電子１０４は並設されている複数本のワイヤ１０３（例えば１０本）に一括接触している。給電子１０４は機械的摩耗に強く導電性があることが要求されるので超硬合金が使用されている。
メインローラ８，９の上部に、ワーク送りユニット３にワーク１０５を取付けてから、下方向にワーク１０５を移動し放電加工を行う。

メインローラ８，９の内側の、中央部には加工槽６が設けられており、加工液の中にワイヤ１０３およびワーク１０５が浸漬することで、放電部分の冷却や加工屑の除去を行う。

ブロック５はワイヤ放電加工装置１の筐体の一部である。ブロック５は、ワーク送り部３と接合されている。また、ワーク送り部３は、ワークの保持機構８００が保持しているワーク１０５を重力方向に下降するように駆動することで、ワイヤによる放電加工を利用してワーク１０５を板状のウエハ１０６にスライス加工する。

ワークを保持する保持機構８００は、ワーク送りユニット３にワーク１０５を固定するもので、標準的に電導性の素材が用いられる。なお保持機構８００は、ワーク１０５をセットする時にワークの保持装置としてワイヤ放電加工装置１から取り外すことも可能である。

さらに、後述する通電ローラ８１４（通電部）をワイヤ放電加工システムの電源回路の中に配置することで、放電加工時にワーク１０５中を流れる加工電流は通電ローラ８１４に導通して電源回路を流れることになる。

電源装置２の中にある加工電源（図示しない）は放電加工に必要な加工電流を供給するために設定される加工電圧Ｖを供給するものであり、Ｖは任意の電圧に設定することができる。

放電電圧は放電加工時にワイヤ１０３とワーク１０５との間に印加される電圧であり、放電電圧が印加される部分が放電部分である。放電部分でワイヤ１０３からワーク１０５に放電する。放電電流は放電加工時にワイヤ１０３とワーク１０５との間に流れる電流である。

給電子１０４は走行する複数本のワイヤ１０３に一括で給電する。周回するワイヤの中で１ヶ所に配置されている給電子１０４からパルス電圧を印加し放電加工が行われる。メ
１個の給電子１０４に対応して１個の電源回路が構成されている。
給電子１０４から放電部分までの間を流れる電流は、メインローラ８、９を経由する左右２つの経路から流れ、各経路にはワイヤの素材による抵抗が存在する。

ワーク送りユニット３は、保持機構８００に固定されているワーク１０５を上下方向に移動する機構を備えた装置であり、ワーク１０５を固定した状態でワーク送りユニット３が下方向（重力方向）に段階的に移動することにより、ワーク１０５を並設されたワイヤ１０３に段階的に近づけることができる。

尚、並設されたワイヤが走行する方向は、図１に示した実施例の場合、並設されたワイヤが右側に走行する第１の方向（上部のワイヤ）と、並設されたワイヤが左側に走行する第２の方向（下部部のワイヤ）とがある。

加工槽６は、加工液を溜めるための容器である。加工液とは例えば抵抗値が高い脱イオン水である。ワイヤ１０３とワーク１０５との間に加工液が存在することにより、ワイヤ１０３とワーク１０５との間で良好な放電が発生し、ワーク１０５を削ることが可能となる。

メインローラ８、９には、ワイヤ１０３を取り付けるためのＶ溝が複数列形成されており、このＶ溝にワイヤ１０３が取り付けられている。そしてメインローラ８、９が右又は左回転することによりワイヤ１０３が走行する。
このようにワイヤ１０３がメインローラ８、９に取り付けられることで、メインローラ８、９の上側及び下側にはワイヤ列を形成している。

ワイヤ１０３は電気伝導体であり、電源装置２からパルス電圧が供給された給電子１０４とワイヤ１０３とが接触することにより、供給されたパルス電圧が給電子１０４を介してワイヤ１０３に給電される。放電が起きることでワーク１０５を削り、薄板状の加工物（例えばウエハ等）を作成することができる。ワイヤ１０３の材質の主成分は鉄であり、ワイヤの直径は約０．１２ｍｍ（断面積０．０６×０．０６×πｍｍ２）程度である。

給電子１０４は給電ユニット１０に固定されている。給電ユニット１０は給電子１０４とワイヤ１０３との接触圧力を調整するために上下方向に給電ユニット１０全体の位置を移動することができる。

加工槽６内に設けられたウエハ回収部８０８は、放電加工によりスライスされたウエハ１０６を両側から挟み込んで押さえることで、保持装置８００では保持できなくなったウエハ１０６が加工槽６内にバラバラに落ちないように、ウエハ１０６を回収するための機構である。
ウエハ回収部８０８はウレタンやスポンジ状の樹脂等から構成され、ウエハ１０６が破損しないような材料が用いられる。

ウエハ回収部８０８にスポンジ等の柔軟性を有する材料から構成されることにより、ウエハ１０６を押さえる際にウエハ１０６のエッジの欠けを防止することができ、ウエハ１０６の横揺れに対しての振動を吸収するため、ウエハ１０６の振動による放電加工への影響を低減させることができる。さらに、ウエハ回収部８０８の位置がずれても、ウエハ回収部８０８による緩衝作用により、放電加工への影響を与えずにウエハ１０６を最小限の負荷で回収することができる。

さらには、放電加工中にはウエハ１０６を両側から挟み込んで押さえながら、ウエハ回収部８０８の中央部分を中心軸として回転してもよい。この時に、ウエハ回収部８０８はウエハ１０６の進行方向に回転するため、一定方向に発生する応力を逃がし易い。
さらには、加工槽６に取り付けられるウエハ回収部８０８は、加工液の流れによる加工槽６の揺れなどの振動を吸収して和らげることができる。

本発明ではワーク１０５が下（重力）方向に送られ、ワーク１０５とワイヤ１０３の間で放電加工がおこなわれる。なお、本明細書において、上下とは重力方向における上方向と下方向にそれぞれ対応し、左右とはワイヤ放電加工装置を正面から見た場合の左及び右にそれぞれ対応する。

図２を説明する。図２は、ワイヤ放電加工装置１及び電源装置２が内蔵し、ワイヤ放電加工装置１及び電源装置２をそれぞれ制御する制御部１０００、１１００のハードウエア構成図である。なお、制御部１０００、１１００はワイヤ放電加工装置１及び電源装置２の外部に別体で設けてもよい。

図２において、ＭＰＵ（ＣＰＵ）１００１は、システムバス１００４に接続される各デバイスやコントローラを統括的に制御する。また、ＲＯＭ１００２あるいは外部メモリ１０１１には、ＣＰＵ１００１の制御プログラムであるＢＩＯＳ（Ｂａｓｉｃ Ｉｎｐｕｔ ／ Ｏｕｔｐｕｔ Ｓｙｓｔｅｍ）やオペレーティングシステムプログラム（以下、ＯＳ）や、各サーバ或いは各ＰＣの実行する機能を実現するために必要な後述する各種プログラム等が記憶されている。

ＲＡＭ１００３は、ＣＰＵ１００１の主メモリ、ワークエリア等として機能する。ＣＰＵ１００１は、処理の実行に際して必要なプログラム等をＲＯＭ１００２あるいは外部メモリ１０１１からＲＡＭ１００３にロードして、該ロードしたプログラムを実行することで各種動作を実現するものである。

入力コントローラ１００５は、キーボード（ＫＢ）１００９や不図示のマウス等のポインティングデバイス等からの入力を制御する。ビデオコントローラ１００６は、表示部１０１０への表示を制御する。なお、表示部１０１０はＣＲＴだけでなく、液晶ディスプレイ等の他の表示器であってもよい。これらは必要に応じて管理者が使用するものである。また表示部は指やペン等にてユーザが表示画面内の対象位置を指定するタッチパネル機能を含むものであってもよい。

メモリコントローラ１００７は、ブートプログラム，各種のアプリケーション，フォントデータ，ユーザファイル，編集ファイル，各種データ等を記憶するハードディスク（ＨＤ）や、フレキシブルディスク（ＦＤ）、或いはＰＣＭＣＩＡカードスロットにアダプタを介して接続されるコンパクトフラッシュ（登録商標）メモリ等の外部メモリ１０１１へのアクセスを制御する。

通信Ｉ／Ｆコントローラ１００８は、ＬＡＮ１０１２またはＷＡＮなどの、ネットワーク（通信回線）を介して外部装置と接続・通信するものであり、ネットワークでの通信制御処理を実行する。例えば、ＴＣＰ／ＩＰを用いた通信等が可能である。

なお、ＣＰＵ１００１は、例えばＲＡＭ１００３内の表示情報用領域へアウトラインフォントの展開（ラスタライズ）処理を実行することにより、表示部１０１０上での表示を可能としている。また、ＣＰＵ１００１は、ＣＲＴ上の不図示のマウスカーソル等でのユーザ指示を可能とする。

本発明を実現するための後述する各種プログラムは、外部メモリ１０１１に記録されており、必要に応じてＲＡＭ１００３にロードされることによりＣＰＵ１００１によって実行されるものである。さらに、上記プログラムの実行時に用いられるデータファイル及びデータテーブル等も、外部メモリ１０１１または記憶部に格納されている。

また、本発明におけるプログラムは、ワイヤ放電加工方法に従ったワイヤ放電加工動作を制御部１０００が実行可能なプログラムであり、本発明の記憶媒体はワイヤ放電加工動作を実行可能なプログラムとして記憶している。
（本発明の他の実施形態）

以上のように、前述した実施形態の機能を実現するプログラムを記録した記録媒体を、ワイヤ放電加工装置１に供給し、そのシステムあるいはワイヤ放電加工装置内のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納されたプログラムを読出し実行することによっても、本発明の目的が達成されることは言うまでもない。

この場合、記録媒体から読み出されたプログラム自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムを記憶した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体は本発明を構成することになる。

プログラムを供給するための記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク，ハードディスク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ−Ｒ，ＤＶＤ−ＲＯＭ， ＢＤ−ＲＯＭ、磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭ，ＥＥＰＲＯＭ，シリコンディスク等を用いることができる。

また、読み出したプログラムを実行することにより、前述した実施形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。

さらに、記録媒体から読み出されたプログラムが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。

また、本発明は、複数の機器から構成されるワイヤ放電加工システムに適用しても、１つの機器からなるワイヤ放電加工装置に適用してもよい。また、本発明は、ワイヤ放電加工システムあるいはワイヤ放電加工装置にプログラムを供給することによって達成される場合にも適応できることは言うまでもない。この場合、本発明を達成するためのプログラムを格納した記録媒体を該システムあるいは装置に読み出すことによって、そのワイヤ放電加工システムあるいはワイヤ放電加工装置が、本発明の効果を享受することが可能となる。

さらに、本発明を達成するためのプログラムをネットワーク上のサーバ，データベース等から通信プログラムによりダウンロードして読み出すことによって、そのシステムあるいは装置が、本発明の効果を享受することが可能となる。
なお、上述した各実施形態およびその変形例を組み合わせた構成も全て本発明に含まれるものである。
図３乃至図６を説明する。図３乃至図６は本発明の保持装置８００の実施形態を示す。

図３Ａ乃至Ｃを説明する。図３Ａ乃至Ｃは本発明における保持装置８００の第１の保持部部分の構造を示したものである。図３Ａは第１の保持部８１１を外側から見た図であり、図３Ｂは第１の保持部８１１を側面から見た図であり、さらにその断面を示してる。図３Ｃは第１の保持部８１１をワーク１０５に接する吸着面側から見た図である。
以下第１の保持部８１１に設けられた機能をそれぞれ説明する。
尚、第１の保持部８１１の形状は、実施例に示した板状の形状には限定されず、ワーク１０５を吸着する面を備えた形状であればよい。

第１の保持部８１１は、図５に示す通電ローラ８１４がワーク１０５に通電するワーク１０５の加工面９０１ではない保持面９０２でワーク１０５をバキューム溝２０００により吸着保持することで、図９に示すように放電加工時にワイヤ１０３とは一切接触せずに、放電加工が終了するまでワーク１０５が鉛直方向に落下しないように保持する機能を有する。

図５、図７の例ではワーク１０５の形状は円柱型である。円柱型のワーク１０５の場合、第１の保持部８１１はワーク１０５が放電加工されない平面でワーク１０５を保持し、通電ローラ８１４はワーク１０５が放電加工されるオリフラ面または曲面でワーク１０５と通電する。ワーク１０５の円柱周面に対向する方向に放電加工が進行する

なお、保持装置８００が保持するワーク１０５の形状は直方体型であってもよい。直方体型のワーク１０５の場合、第１の保持部８１１はワーク１０５が放電加工されない平面でワーク１０５を保持し、通電ローラ８１４はワーク１０５が放電加工される平面でワーク１０５と通電する。

図４Ａ乃至Ｃを説明する。図４Ａ乃至Ｃは本発明における保持装置８００の第２の保持部部分の構造を示したものである。図４Ａは第２の保持部８１２を外側から見た図であり、図４Ｂは第２の保持部８１２を側面から見た図であり、さらにその断面を示してる。図４Ｃは第２の保持部８１２をワーク１０５に接する吸着面側から見た図である。
以下第２の保持部８１２に設けられた機能をそれぞれ説明する。

第２の保持部８１２は、第１の保持部８１１が保持する保持面９０２とは反対側の保持面９０２でワーク１０５をバキューム溝２０００により保持することで、図９に示すように放電加工時にワイヤ１０３とは一切接触せずに、放電加工が終了するまでワーク１０５が鉛直方向に落下しないように保持する機能を有する。

このように、保持装置８００には複数枚（２枚）の保持部８１１、８１２で構成され、ワーク１０５が放電加工されない面の両側から挟み込んで保持することで、大きくて重たいワーク１０５が落下しないように保持している。もしワーク１０５が小さくて両側から挟み込んで保持しなくても落下しない場合には、１枚の保持部で片側だけでワーク１０５を保持してもよい。

保持部８１１、８１２は、図９に示すように示すように、放電加工時にワイヤ１０３に接触してしまうルート上にはないので、ワイヤ１０３が保持部８１１、８１２を放電加工することはない。

保持部８１１、８１２はビスやネジなどの固定部材を用いて土台８１５に取り付けられる。さらに、土台８１５はビスやネジなどの固定部材を用いてワーク送りユニット３に取り付けられる。
ネジ穴Ａは、保持部８１１や８１２はビスやネジなどの固定部材を用いて土台８１５に取り付ける穴である。

ネジ穴Ｂは、保持部８１１と保持部８１２との間隔が安定するように、保持部８１１と保持部８１２を連結される連結部（図示しない）をビスやネジなどの固定部材両側から挟みこんで締めつけるための穴である。
また第１の保持部８１１には、ネジを使って土台８１５に取り付けるためのネジ穴が２か所に設けられている。
また第２の保持部８１２には、ネジを使って土台８１５に取り付けるためのネジ穴が４か所に設けられている。

保持部８１１、８１２は導電性の材料であるアルミやＳＵＳ等の材料から構成されることができるが、保持部８１１、８１２は、主に保持機能を目的とするので、ガラス、半導体、プラスチック、ゴム等、導電性以外の材料から構成されてもよい。

図５Ａ乃至Ｃを説明する。図５Ａ乃至Ｃは本発明における保持装置８００に円柱型のワーク１０５を取り付けた状態を示したものである。図５Ａは、保持装置８００を第１の保持部８１１の外側から見た図であり、図５Ｂは保持装置８００を側面から見た図である。図５Ｃは、保持装置８００を第２の保持部８１２の外側から見た図である。

通電ローラ８１４の役割は、放電加工が終了するまで継続的にワーク１０５通電することであり、ワーク１０５との接触面積を少なくするように、円柱型の形状をしている。つまり、ワーク１０５と接触できる面積は小さいので、たとえ接触面に導電性の接着剤を用いたとしても、通電ローラ８１４単独ではワーク１０５が落下しないように保持することはできない。このように、通電ローラ８１４以外の部品である保持部８１１、８１２を用いてワーク１０５が鉛直方向に落下しないように保持する必要がある。

通電ローラ８１４がワーク１０５と接触する面は、ワーク１０５の加工面とは線接触するような表面形状であればよい。蒲鉾型や多角柱型などの形状でも接触する面を形成することができる。
通電ローラ８１４はビスやネジなどの固定部材を用いて土台８１５と通電するように取り付けられ、土台８１５はワーク送りユニット３と通電する。

図９Ｂに示すように通電ローラ８１４は、放電加工される場合には、ワーク１０５のスライスが完了したあとに通電ローラ８１４が放電加工される箇所に配置されている。この理由は、ワーク１０５のスライスが完了すると、図９Ｃに示すようにワーク１０５はウエハ１０６となって分離してしまうため、この時でも通電可能な箇所はウエハ１０６の上部だけであるからである。

通電ローラ８１４は導電性の材料であるアルミ等の材料から構成されることができるが、通電ローラ８１４は、主に通電機能を目的とするので、導電性の他の材料から構成されてもよい。

バキューム配管２００３から供給されるバキュームはまず第１の保持部８１１側で分岐されて、一方はエアチューブをバキューム接続部２００２に接続される。分岐した他方は

土台８１５に設けられた貫通穴（図示しない）を通ってまず第２の保持部８１１側に向かい第２の保持部８１１に設けられたバキューム接続部（図示しない）に接続される。
バキューム接続部２００２は、保持装置８００と、放電加工を行うワイヤ放電加工装置１から配線されたバキューム配管２００３とを連結させる部分である。

バキューム接続部２００２は、保持部８１１、８１２の両方に設けられていてもよく、本実施例のように、一旦、第１の保持部８１１に接続されてから、他のバキューム配管（図示しない）を用いて第２の保持部８１２にもバキュームを連結させてもよい。

図６Ａ乃至Ｃを説明する。図６Ａ乃至Ｃは本発明における保持装置８００の土台８１５の構造を示したものである。図６Ａは土台８１５を外側から見た図であり、図６Ｂは土台８１５を側面から見た図である。図６Ｃは土台８１５を外側から見た図である。
また土台８１５には、保持部８１１、８１２を取り付けるためのネジ穴が外側の計６か所に設けられている。

土台８１５は導電性の材料であるアルミやＳＵＳ等の材料から構成されることができるが、土台８１５は、通電機能も目的とするので、導電性の他の材料から構成されてもよい。

図８Ａ乃至Ｃを説明する。図８Ａ乃至Ｃは方で放電加工開始から保持装置８００が引き揚げられるまでの保持装置８００と加工槽６との相対的な配置関係の変遷を装置の正面方向から見た図である。図８Ａは加工開始時の保持装置８００と加工槽６との相対的な配置関係を示し、図８Ｂは加工終了時の保持装置８００と加工槽６との相対的な配置関係を示し、図８Ｃは加工終了後に保持装置８００を加工槽６から引き揚げた状態での保持装置８００と加工槽６との相対的な配置関係を示している。

加工開始時において、図８Ａに示すように、ワーク送りユニット３の下降動作に基づいてワイヤ１０３に向かって保持装置８００が移動を開始する。その後、ワイヤ１０３によってワーク１０５が放電加工され、図８Ｂに示す位置において放電加工が終了する。

その後、図８Ｃに示すように保持装置８００がワーク送りユニット３の上昇動作に基づいて加工開始時の位置へ引き上げられる際に、放電加工されたウエハ１０６をウエハ回収部８０８に残したまま、保持装置８００のみが引き上げられる。

図９Ａ乃至Ｃを説明する。図９Ａ乃至Ｃは方で放電加工開始から保持装置８００が引き揚げられるまでの保持装置８００と加工槽６との相対的な配置関係の変遷を装置の側面方向から見た図である。図９Ａは加工開始時の保持装置８００と加工槽６との相対的な配置関係を示し図８Ａの状態に相当する。図９Ｂは加工終了時の保持装置８００と加工槽６との相対的な配置関係を示し図８Ｂの状態に相当する。図９Ｃは加工終了後に保持装置８００を加工槽６から引き揚げた状態での保持装置８００と加工槽６との相対的な配置関係を示しており図８Ｃの状態に相当する。

通電ローラ８１４は、加工開始時においては図９Ａに示すようにワーク１０５と接し、ワーク１０５に電流を通電させる。また、図９Ｂに示したように通電ローラ８１４は、ワーク１０５がウエハ１０６にスライスされたあとの加工終了時の位置においても、ワイヤに流れる電流が通電している。このようにウエハ１０６にスライスされた後には通電ローラ８１４の一部が放電加工される。保持装置８００の引き揚げ時には図９Ｃに示したようにスライス加工された後のウエハ１０６はその自重によって保持装置８００から離脱する。

また保持部８１１、８１２がワーク１０５をバキューム吸着している時間をＯＮとし、バキューム吸着していない時間をＯＦＦとした場合、加工終了してから保持装置８００を引き揚げるまでの時間内にＯＮからＯＦＦに切り替えることで、保持部８１１、８１２に吸着している両側のウエハ１０６も、自重によって保持装置８００から離脱させることができ、放電加工された全てのウエハ１０６をウエハ回収部８０８に残したまま、保持装置８００のみが引き上げられることになる。

１ ワイヤ放電加工装置
２ 電源装置
３ ワーク送りユニット
１０３ ワイヤ
１０４ 給電子
１０５ ワーク
８００ 保持装置
８０８ ウエハ回収部
８１１ 第１の保持部
８１２ 第２の保持部
８１４ 通電ローラ
８１５ 土台
２０００ バキューム溝
２００２ バキューム接続部
２００３ バキューム配管

Claims (9)

1. ワークをワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられる保持装置であって、
   前記ワークが前記保持装置から落下しないように、前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持する導電性材料の保持部と、
   前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、
   前記保持部を取り付ける導電性材料の土台と、
   を備え、
   前記並設されたワイヤにより放電加工されずに前記ワークと接触する第１の箇所に、前記保持部が配置されており、
   前記並設されたワイヤにより放電加工される、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、
   前記第１の箇所で前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側を接触させて、前記保持部が前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持し、
   前記保持部が取り付けられた前記土台が、前記第１の箇所での前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側の接触により、前記取り付けられた前記保持部から前記ワークとの通電機能を有することを特徴とする保持装置。
2. 固定部材を用いて前記保持部が前記土台に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
3. ２枚の前記土台に取り付けられた前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側をそれぞれ前記第１の箇所で接触させて、前記土台に取り付けられた２枚の前記保持部が前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の保持装置。
4. 前記通電部が導電性材料であり、
   固定部材を用いて前記通電部が前記土台と通電するように取り付けられることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の保持装置。
5. 前記第１の箇所ではない第３の箇所に、前記放電加工を行うワイヤ放電加工装置から配線されたバキュームに接続する接続部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の保持装置。
6. 前記土台は、前記ワイヤに向かって前記保持装置を移動するワーク送りユニットに固定部材を用いて取り付けられることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の保持装置。
7. ワークをワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられるワイヤ放電加工装置であって、
   前記ワークが保持装置から落下しないように、前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持する導電性材料の保持部と、
   前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、
   前記保持部を取り付ける導電性材料の土台と、
   を備え、
   前記並設されたワイヤにより放電加工されずに前記ワークと接触する第１の箇所に、前記保持部が配置されており、
   前記並設されたワイヤにより放電加工される、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、
   前記第１の箇所で前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側を接触させて、前記保持部が前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持し、
   前記保持部が取り付けられた前記土台が、前記第１の箇所での前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側の接触により、前記取り付けられた前記保持部から前記ワークとの通電機能を有することを特徴とするワイヤ放電加工装置。
8. ワークが落下しないように、前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持する導電性材料の保持部と、前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、前記保持部を取り付ける導電性材料の土台とを備え、
   並設されたワイヤにより放電加工されずに前記ワークと接触する第１の箇所に、前記保持部が配置されており、前記並設されたワイヤにより放電加工され、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、
   ワークをワイヤが前記並設された間隔でスライスする放電加工において用いられるワイヤ放電加工装置を用いたワークの保持方法であって、
   前記第１の箇所で前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側を接触させて、
   前記保持部が前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持し、
   前記保持部が取り付けられた前記土台が、前記第１の箇所での前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側の接触により、前記取り付けられた前記保持部から前記ワークと通電をすることを特徴とする保持方法。
9. ワークが保持装置から落下しないように、前記ワークを、バキュームを用いて吸着保持する導電性材料の保持部と、前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、前記保持部を取り付ける導電性材料の土台とを備え、
   並設されたワイヤにより放電加工されずに前記ワークと接触する第１の箇所に、前記保持部が配置されており、前記並設されたワイヤにより放電加工され、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、
   ワークをワイヤが前記並設された間隔でスライスする放電加工において用いられるワイヤ放電加工装置を用いたワークの加工方法であって、
   前記第１の箇所で前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側を接触させて、前記保持部が前記ワーク、バキュームを用いて吸着保持し、
   前記保持部が取り付けられた前記土台が、前記第１の箇所での前記保持部の吸着面側と前記ワークが保持される面側の接触により、前記取り付けられた前記保持部から前記ワークと通電をすることを特徴とする加工方法。

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