JP2016087743A5 - - Google Patents

Description

本発明は、ワークをワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられる保持装置であって、前記ワークが前記保持装置から落下しないように、前記ワークを保持する保持部と、前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、を備え、前記並設されたワイヤにより放電加工されない第１の箇所に、前記保持部が配置されており、前記並設されたワイヤにより放電加工され、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持することを特徴とする。
また、前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持しない状態では、通電部単独で前記ワークを保持できないことを特徴とする。

また、前記第２の箇所まで前記ワークのスライス加工が終了した後に、前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持しない状態では、前記第２の箇所までワークのスライス加工が完了したウエハが前記保持装置から落下することを特徴とする。

また、前記第１の箇所ではない第３の箇所に、前記放電加工を行うワイヤ放電加工装置から配線されたバキュームに接続する接続部が設けられていることを特徴とする。
また、前記保持装置が円柱型のＳｉＣインゴットを前記放電加工するために用いられることを特徴とする。

Claims (11)

1. ワークをワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられる保持装置であって、
   前記ワークが前記保持装置から落下しないように、前記ワークを保持する保持部と、
   前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、
   を備え、
   前記並設されたワイヤにより放電加工されない第１の箇所に、前記保持部が配置されており、
   前記並設されたワイヤにより放電加工され、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、
   前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持することを特徴とする保持装置。
2. 前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持しない状態では、通電部単独で前記ワークを保持できないことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
3. 前記第２の箇所まで前記ワークのスライス加工が終了した後に、前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持しない状態では、前記第２の箇所までワークのスライス加工が完了したウエハが前記保持装置から落下することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の保持装置。
4. 前記第１の箇所ではない第３の箇所に、前記放電加工を行うワイヤ放電加工装置から配線されたバキュームに接続する接続部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の保持装置。
5. 前記保持装置が円柱型のＳｉＣインゴットを前記放電加工するために用いられることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の保持装置。
6. ワークをワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられるワイヤ放電加工装置であって、
   前記ワークが落下しないように、前記ワークを保持する保持部と、
   前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、
   を備え、
   前記並設されたワイヤにより放電加工されない第１の箇所に、前記保持部が配置されており、
   前記並設されたワイヤにより放電加工され、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、
   前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持することを特徴とするワイヤ放電加工装置。
7. 前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持しない状態では、通電部単独で前記ワークを保持できないことを特徴とする請求項６に記載のワイヤ放電加工装置。
8. 前記第２の箇所まで前記ワークのスライス加工が終了した後に、前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持しない状態では、前記第２の箇所までワークのスライス加工が完了したウエハが前記ワイヤ放電加工装置から落下することを特徴とする請求項６または請求項７に記載のワイヤ放電加工装置。
9. 前記ワークを浸漬する加工槽をさらに備え、
   前記落下した全てのウエハを回収するウエハ回収部が加工槽内に設けられていることを特徴とする請求項８に記載のワイヤ放電加工装置。
10. ワークが保持装置から落下しないように、前記ワークを保持する保持部と、前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、を備え、
    並設されたワイヤにより放電加工されない第１の箇所に、前記保持部が配置されており、前記並設されたワイヤにより放電加工され、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、
    ワークをワイヤが前記並設された間隔でスライスする放電加工において用いられる保持装置を用いたワークの保持方法であって、
    前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持することを特徴とする保持方法。
11. ワークが保持装置から落下しないように、前記ワークを保持する保持部と、前記ワークに電流が流れるように、前記ワークと通電する通電部と、を備え、
    並設されたワイヤにより放電加工されない第１の箇所に、前記保持部が配置されており、前記並設されたワイヤにより放電加工され、前記ワークのスライス加工が終了する第２の箇所に、前記通電部が配置されており、
    ワークをワイヤが前記並設された間隔でスライスする放電加工において用いられるワイヤ放電加工装置を用いたワークの加工方法であって、
    前記第１の箇所で、前記ワークを吸着保持することを特徴とする加工方法。