JP6613142B2 - スイッチ素子および記憶装置 - Google Patents
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Description
1.第1の実施の形態(スイッチ層に半金属の軽元素を添加した例)
2.第2の実施の形態(スイッチ層にアルカリ土類金属等を添加した例)
3.第3の実施の形態(高抵抗層を追加した例)
4.変形例(スイッチ層にアルカリ土類金属元素およびB(またはC)を添加し、さらに高抵抗層を追加した例)
5.記憶装置
6.実施例
図1は、本開示の第1の実施の形態に係るスイッチ素子1の断面構成を表したものである、スイッチ素子1は、例えば、図7に示した、所謂クロスポイントアレイ構造を有するメモリセルアレイにおいて複数配設されたうちの任意の記憶素子(記憶素子6Y;図7)を選択的に動作させるためのものである。スイッチ素子1(スイッチ素子6X;図7)は、記憶素子6Y(具体的には記憶層70)に直列に接続されており、下部電極10(第1電極),スイッチ層30および上部電極20(第2電極)をこの順に有するものである。なお、このスイッチ素子1は、所定の電圧印加時に相変化(非晶質相(アモルファス相)−結相)を伴うことなく抵抗状態が変化するものである。
図2は、本開示の第2の実施の形態に係るスイッチ素子2の断面構成を表したものである。このスイッチ素子2は、上記スイッチ素子1と同様に、所謂クロスポイントアレイ構造を有するメモリセルアレイにおいて複数配設されたうちの任意の記憶素子を選択的に動作させるためのものである。スイッチ素子2は、上記第1の実施の形態と同様に、下部電極10,スイッチ層40および上部電極20をこの順に有するものである。
図3は、本開示の第3の実施の形態に係るスイッチ素子3Aの断面構成を表したものである。このスイッチ素子3Aは、上記スイッチ素子1と同様に、所謂クロスポイントアレイ構造を有するメモリセルアレイにおいて複数配設されたうちの任意の記憶素子を選択的に動作させるためのものである。スイッチ素子3Aは、下部電極10,高抵抗層50,スイッチ層30および上部電極20をこの順に有するものであり、下部電極10とスイッチ層30との間に高抵抗層50が形成されている点が上記第1の実施の形態とは異なる。
図6は、本開示の変形例に係るスイッチ素子4の断面構成を表したものである。このスイッチ素子4は、スイッチ素子1と同様に、所謂クロスポイントアレイ構造を有するメモリセルアレイにおいて複数配設されたうちの任意の記憶素子を選択的に動作させるためのものである。スイッチ素子4は、上記第3の実施の形態と同様に、下部電極10,高抵抗層50,スイッチ層60および上部電極20をこの順に有するものである。
記憶装置は、スイッチ素子とメモリ素子とからなるメモリセルを多数、例えば、列状やマトリクス状に配列することにより構成されたものである。上記第1〜第3の実施の形態および変形例におけるスイッチ素子1〜4は、スイッチ素子(スイッチ素子6X,図7参照)として用いることができ、メモリ素子(記憶素子6Y,図7参照)と直列に接続されている。メモリセル6は、配線を介してセンスアンプ,アドレスデコーダおよび書き込み・消去・読み出し回路等に接続される。
以下、本開示の具体的な実施例について説明する。
まず、下部電極10と上部電極20との間にスイッチ層60および高抵抗層50を備えたサンプル(スイッチ素子4;実験例1−1)を作製し、そのオン/オフ比およびリーク電流を算出した。また、スイッチ層60の密着性を調べた。サンプルは以下のように作製した。
次に、実験例1−1のスイッチ層60と同じ材料組成で、スイッチ層60の厚みを20nm(実験例1−1)よりも小さいサンプル(実験例1−2〜1−4)を作製した。各サンプルは、120nmφの素子サイズおよび20nmφの素子サイズで実験例1−1と同様にスイッチング閾値電圧を測定した。表4は、実験例1−1と共に、本実験のサンプル(実験例1−2〜1−4)のスイッチ層の厚みおよび各素子サイズにおけるスイッチング閾値電圧をまとめたものである。
次に、サンプルを作製し、本開示のスイッチ素子の電気特性の組成依存性を評価した。各サンプルは、それぞれ下部電極と上部電極との間に、厚み20nmのスイッチ層を形成すると共に、素子サイズが120nmφとなるように微細加工した。下記に、各サンプルの組成比をまとめた表を記載するが、NやO等のガス以外の構成元素の組成比の値はNあるいはOを添加していない状態での組成比(原子%)である。NおよびOの値はリアクティブスパッタ時のN2/(Ar+N2)あるいはO2/(Ar+O2)の流量比で示したものである。
まず、比較例となるスイッチ素子(スイッチ層)としてGeおよびTe(あるいはSb,N)からなるサンプル(実験例2−1〜2−7)を作製し、そのリーク電流およびスイッチング閾値電圧を測定した。なお、スイッチング閾値電圧は、37kΩの直列抵抗を付加して測定した。表5は、各サンプル(実験例2−1〜2−7)の組成比,リーク電流およびスイッチング閾値電圧をまとめたものである。
次に、本技術の実施例としてスイッチ層がTeおよびB(さらにNまたはO)からなるサンプル(実験例3−1〜3−28)を作製し、そのリーク電流およびスイッチング閾値電圧を測定した。表6は、各サンプル(実験例3−1〜3−28)の組成比をまとめたものである。これらサンプルを用いて、スイッチ層の組成と、スイッチング閾値電圧あるいはリーク電流との関係を検証し、図13〜図18に示した。
次に、スイッチ層がTeおよびC(あるいはNまたはO)からなるサンプル(実験例4−1〜4−12)を作製し、そのリーク電流およびスイッチング閾値電圧を測定した。表7は、各サンプル(実験例4−1〜4−12)の組成比,NおよびOの組成比をまとめたものである。これらサンプルを用いて、スイッチ層の組成と、スイッチング閾値電圧あるいはリーク電流との関係を検証し、図19〜図21に示した。
次に、スイッチ層がTeおよびSi(さらにNまたはO)からなるサンプル(実験例5−1〜5−30)を作製し、そのリーク電流およびスイッチング閾値電圧を測定した。表8は、各サンプル(実験例5−1〜5−30)の組成比をまとめたものである。これらサンプルを用いて、スイッチ層の組成と、スイッチング閾値電圧あるいはリーク電流との関係を検証し、図22〜図24に示した。
次に、スイッチ層がTe,BおよびC(さらに、NあるいはO)からなるサンプル(実験例6−1〜6−24)を作製し、そのスイッチング閾値電圧を測定した。表9は、各サンプル(実験例6−1〜6−24)の組成比をまとめたものである。これらサンプルを用いて、スイッチ層の組成と、スイッチング閾値電圧との関係を検証し、図25〜図28に示した。なお、実験例6−1〜6−18は、実験例3−4におけるBの一部をCに置き換えたもの(BuCvTex(U+V=60))である。
次に、スイッチ層がTe,SiおよびC(さらに、NあるいはO)からなるサンプル(実験例7−1〜7−18)を作製し、そのスイッチング閾値電圧を測定した。表10は、各サンプル(実験例7−1〜7−18)の組成比をまとめたものである。これらサンプルを用いて、スイッチ層の組成と、スイッチング閾値電圧との関係を検証し、図29〜図31に示した。なお、実験例7−1〜7−18は、実験例5−5におけるSiの一部をCに置き換えたもの(SiwCvTex(W+V=60))である。
次に、スイッチ層がTe,BおよびSi(さらに、NあるいはO)からなるサンプル(実験例8−1〜8−19)を作製し、そのスイッチング閾値電圧を測定した。表11は、各サンプル(実験例8−1〜8−19)の組成比をまとめたものである。これらサンプルを用いて、スイッチ層の組成と、スイッチング閾値電圧との関係を検証し、図32〜図34に示した。なお、実験例8−1〜8−19は、実験例3−5におけるBの一部をSiに置き換えたもの(BuSiwTex(U+W=60))である。
次に、スイッチ層がTe,B,CおよびSi(さらに、NあるいはO)からなるサンプル(実験例9−1〜9−14)を作製し、そのリーク電流およびスイッチング閾値電圧を測定した。表12は、各サンプル(実験例9−1〜9−14)の組成比,各サンプルのリーク電流およびスイッチング閾値電圧をまとめたものである。表12から、各サンプル全てにおいて良好なリーク電流およびスイッチング閾値電圧が得られた。特に、TeBCSiからなるカルコゲナイド層にNあるいはOを添加することによってリーク電流を大きく低減することができ、スイッチング閾値電圧を向上させることができた。また、実験例9−14からわかるようにNおよびOは共存していてもかまわない。
次に、サンプルを作製し、そのリーク電流,スイッチング閾値電圧およびスイッチ層の密着性の評価を行った。スイッチ層の密着性はテープ試験により判定した。具体的には、下部電極,スイッチ層および上部電極を、例えば、TiN/MgTe/Wとしてベタ膜で形成し、各線の長さが約10mmになるように格子状に傷を付けて傷上にテープを貼り、このテープを剥がした際の膜剥れの有無を観察した。
まず、スイッチ層がTeおよびMgからなるサンプル(実験例10−1〜10−5)を作製し、そのリーク電流およびスイッチング閾値電圧を測定すると共に、上記方法を用いて密着性を評価した。表13は、各サンプル(実験例10−1〜10−5)の組成比,リーク電流,スイッチング閾値電圧および膜剥れに対する評価をまとめたものである。なお、膜剥れが見られなかった場合をA、一部(テープ貼り付け面積の10%以下)に膜剥れが見られた場合をB、テープ貼り付け面積の10%以上が剥れた場合をCとした。表13から、実験例10−1,10−2では全面での膜剥れは見られなかったものの、一部に膜剥れが観察された。
次に、MgTeからなるスイッチ層にB,CあるいはSiを添加したサンプル(実験例11−1〜11−17)を作製し、そのスイッチング閾値電圧および密着性を評価した。表14は、各サンプル(実験例11−1〜11−17)の組成比,スイッチング閾値電圧および膜剥れに対する評価をまとめたものである。
次に、MgTeBからなるスイッチ層にNあるいはOを添加したサンプル(実験例12−1〜12−11)を作製し、そのスイッチング閾値電圧および密着性を評価した。表15は、各サンプル(実験例12−1〜12−11)の組成比,リーク電流,スイッチング閾値電圧および膜剥れに対する評価をまとめたものである。
次に、TeBN(あるいはTeBO)からなるスイッチ層にMg以外の金属元素(M)を添加したサンプル(実験例13−1〜13−8)を作製し、そのスイッチング閾値電圧および密着性を評価した。表16は、各サンプル(実験例13−1〜13−8)の組成比,リーク電流,スイッチング閾値電圧および膜剥れに対する評価をまとめたものである。
上記実験1〜3で述べたスイッチ素子は、スイッチ層と電極(下部電極あるいは上部電極)との間に高抵抗層(高抵抗層50)を組み合わせて用いてもよい。サンプル(実験例14−1〜14−6)は下部電極とスイッチ層との間に、高抵抗層として、例えば、SiOx等の酸化膜(あるいは窒化膜)を形成したものである。表17は、各サンプル(実験例14−1〜14−6)の高抵抗層およびスイッチ層の組成比,スイッチング閾値電圧およびリーク電流をまとめたものである。
(1)第1電極と、前記第1電極に対向配置された第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられると共に、テルル(Te),セレン(Se)および硫黄(S)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素、ホウ素(B)からなる第1元素、ならびに、酸素(O)および窒素(N)の少なくとも一方からなる第2元素のうち、少なくとも前記カルコゲン元素および前記第1元素を含むスイッチ層とを備えたスイッチ素子。
(2)前記スイッチ層は、非晶質相と結晶相との相変化を伴うことなく、印加電圧を所定の閾値電圧以上とすることにより低抵抗状態に、前記閾値電圧未満に減少させることにより高抵抗状態に変化する、前記(1)乃至()のいずれか1つ1に記載のスイッチ素子。
(3)前記スイッチ層は、炭素(C)およびケイ素(Si)のうちの少なくとも1種をさらに含む、前記(1)または(2)に記載のスイッチ素子。
(4)前記スイッチ層は、BTe,BCTe,BSiTe,BCSiTe,BTeN,BCTeN,BSiTeN,BCSiTeN,BTeO,BCTeO,BSiTeO,BCSiTeO,BTeON,BCTeON,BSiTeONおよびBCSiTeONのうちのいずれかの組成を含む、前記(1)乃至(3)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(5)前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuTex)OyNz(30≦u≦90,10≦x≦70,0≦y≦35および0≦z≦40または0≦y+z≦40)である、前記(1)乃至(4)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(6)前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuCvTex)OyNz(10≦u≦90,0≦v≦65,0≦x≦70,0≦y≦35,0≦z≦40(但し、30≦u+v≦90、0≦y+z≦40))である、前記(1)乃至(4)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(7)前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuSiwTex)OyNz(10≦u≦90,0≦w≦65,10≦x≦70,0≦y≦35および0≦z≦40(但し、30≦u+w≦90、0≦y+z≦40))である、前記(1)乃至(4)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(8)前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuCvSiwTex)OyNz(0≦u≦90,0≦v≦65,0≦w≦65,10≦x≦70,0≦y≦35および0≦z≦40(但し、30≦u+v+w≦90、0≦y+z≦40))である、前記(1)乃至(4)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(9)前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuCvSiwZx)OyNz(20≦x≦50,40≦u+v+w≦60,5≦y≦25および5≦z≦25、5≦y+z≦25(但し、Z=(Te,Se,S)))である、前記(1)乃至(4)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(10)前記スイッチ層は、マグネシウム(Mg),カルシウム(Ca),ストロンチウム(Sr),アルミニウム(Al)およびガリウム(Ga)から選ばれる少なくとも1種を含む、前記(1)乃至(4)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(11)前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(MtBuCvSiwTex)OyNz(0≦t≦30,40≦u+v+w≦90,10≦x≦50,5≦y≦25および5≦z≦25但しOおよびNは5≦y+z≦25(但し、M=Mg,Zn,Ca,Sr,Al,Ga))である、前記(10)に記載のスイッチ素子。
(12)前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(MtBuCvSiwZx)OyNz(0≦t≦30,10≦x≦50,40≦u+v+w≦90,5≦y≦25および5≦z≦25但し、OおよびNは5≦y+z≦25、また、(M=(Mg,Zn,Ca,Sr,Al,Ga),Z=(Te,Se,S)))である、前記(10)に記載のスイッチ素子。
(13)前記スイッチ層は、前記第1電極側および前記第2電極側うちの少なくとも一方の面に高抵抗層を有する、前記(1)乃至(12)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(14)前記高抵抗層は、アルミニウム(Al),ケイ素(Si),マグネシウム(Mg),ハフニウム(Hf)および希土類金属元素の酸化物,窒化物あるいは酸窒化物を少なくとも1種含む、前記(13)に記載のスイッチ素子。
(15)前記スイッチ層の膜厚は、5nm以上100nm以下である、前記(1)乃至(14)のいずれか1つに記載のスイッチ素子。
(16)記憶素子および該記憶素子に直接接続されたスイッチ素子を含むメモリセルを複数備え、前記スイッチ素子は、第1電極と、前記第1電極に対向配置された第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられると共に、テルル(Te),セレン(Se)および硫黄(S)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素、ホウ素(B)からなる第1元素、ならびに、酸素(O)および窒素(N)の少なくとも一方からなる第2元素のうち、少なくとも前記カルコゲン元素および前記第1元素を含むスイッチ層とを有する記憶装置。
(17)前記記憶素子は前記スイッチ素子の前記第1電極と前記第2電極との間に記憶層を有する、前記(16)に記載の記憶装置。
(18)前記記憶層はテルル(Te),硫黄(S)およびセレン(Se)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素を含むイオン源層と、抵抗変化層とを含む、前記(17)に記載の記憶装置。
(19)前記記憶層および前記スイッチ層は前記第1電極と前記第2電極との間に第3電極を介して積層されている、前記(17)または(18)に記載の記憶装置。
(20)前記記憶層および前記スイッチ層は前記抵抗変化層を介して積層されている、前記(18)に記載の記憶装置。
(21)前記スイッチ素子は、前記第1電極側および前記第2電極側うちの少なくとも一方の面に高抵抗層を有し、前記記憶層および前記スイッチ層は前記高抵抗層を介して積層されている、前記(17)乃至(20)のいずれか1つに記載の記憶装置。
(22)前記記憶層はテルル(Te),硫黄(S)およびセレン(Se)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素を含むイオン源層と、抵抗変化層とを含み、
前記スイッチ層の前記高抵抗層は、前記抵抗変化層を兼ねている、前記(21)に記載の記憶装置。
(23)複数の行ラインおよび複数の列ラインを有し、前記複数の行ラインと複数の列ラインとの各交差領域付近に前記メモリセルが配置されている、前記(16)乃至(22)のいずれか1つに記載の記憶装置。
(24)前記記憶層は、遷移金属酸化物からなる抵抗変化層、相変化型メモリ層、磁気抵抗変化型メモリ層のいずれかである、前記(17)乃至(23)のいずれか1つに記載の記憶装置。
(25)第1電極と、前記第1電極に対向配置された第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられると共に、テルル(Te),セレン(Se)および硫黄(S)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素と、マグネシウム(Mg),カルシウム(Ca)およびストロンチウム(Sr)から選ばれる少なくとも1種とを含むスイッチ層とを備えたスイッチ素子。
(26)前記スイッチ層は、窒素(N)および酸素(O)のうちの少なくとも一方を含む、前記(25)に記載のスイッチ素子。
(27)前記スイッチ層に含まれる窒素(N)および酸素(O)はいずれも5原子%以上25原子%以下である、前記(26)に記載のスイッチ素子。
(28)第1電極と、前記第1電極に対向配置された第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、CTeN,CTeOおよびCTeONのうちのいずれかの組成を有すると共に、組成比(原子%)が(CvTex)OyNz(30≦v≦60,40≦x≦70,0≦y≦15および0≦z≦20または0≦y+z≦20)を満たしているスイッチ層とを備えたスイッチ素子。
Claims (28)
- 第1電極と、
前記第1電極に対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられると共に、テルル(Te),セレン(Se)および硫黄(S)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素、ホウ素(B)からなる第1元素、ならびに、酸素(O)および窒素(N)の少なくとも一方からなる第2元素のうち、少なくとも前記カルコゲン元素および前記第1元素を含むスイッチ層と
を備えたスイッチ素子。 - 前記スイッチ層は、非晶質相と結晶相との相変化を伴うことなく、印加電圧を所定の閾値電圧以上とすることにより低抵抗状態に、前記閾値電圧未満に減少させることにより高抵抗状態に変化する、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層は、炭素(C)およびケイ素(Si)のうちの少なくとも1種をさらに含む、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層は、BTe,BCTe,BSiTe,BCSiTe,BTeN,BCTeN,BSiTeN,BCSiTeN,BTeO,BCTeO,BSiTeO,BCSiTeO,BTeON,BCTeON,BSiTeONおよびBCSiTeONのうちのいずれかの組成を含む、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuTex)OyNz(30≦u≦90,10≦x≦70,0≦y≦35および0≦z≦40または0≦y+z≦40)である、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuCvTex)OyNz(10≦u≦90,0≦v≦65,0≦x≦70,0≦y≦35,0≦z≦40(但し、30≦u+v≦90、0≦y+z≦40))である、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuSiwTex)OyNz(10≦u≦90,0≦w≦65,10≦x≦70,0≦y≦35および0≦z≦40(但し、30≦u+w≦90、0≦y+z≦40))である、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuCvSiwTex)OyNz(0≦u≦90,0≦v≦65,0≦w≦65,10≦x≦70,0≦y≦35および0≦z≦40(但し、30≦u+v+w≦90、0≦y+z≦40))である、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(BuCvSiwZx)OyNz(20≦x≦50,40≦u+v+w≦60,5≦y≦25および5≦z≦25、5≦y+z≦25(但し、Z=(Te,Se,S)))である、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層は、マグネシウム(Mg),カルシウム(Ca),ストロンチウム(Sr),アルミニウム(Al)およびガリウム(Ga)から選ばれる少なくとも1種を含む、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(MtBuCvSiwTex)OyNz(0≦t≦30,40≦u+v+w≦90,10≦x≦50,5≦y≦25および5≦z≦25但しOおよびNは5≦y+z≦25(但し、M=Mg,Zn,Ca,Sr,Al,Ga))である、請求項10に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層の組成比(原子%)は、(MtBuCvSiwZx)OyNz(0≦t≦30,10≦x≦50,40≦u+v+w≦90,5≦y≦25および5≦z≦25但し、OおよびNは5≦y+z≦25、また、(M=(Mg,Zn,Ca,Sr,Al,Ga),Z=(Te,Se,S)))である、請求項10に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層は、前記第1電極側および前記第2電極側うちの少なくとも一方の面に高抵抗層を有する、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 前記高抵抗層は、アルミニウム(Al),ケイ素(Si),マグネシウム(Mg),ハフニウム(Hf)および希土類金属元素の酸化物,窒化物あるいは酸窒化物を少なくとも1種含む、請求項13に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層の膜厚は、5nm以上100nm以下である、請求項1に記載のスイッチ素子。
- 記憶素子および該記憶素子に直接接続されたスイッチ素子を含むメモリセルを複数備え、
前記スイッチ素子は、
第1電極と、
前記第1電極に対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられると共に、テルル(Te),セレン(Se)および硫黄(S)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素、ホウ素(B)からなる第1元素、ならびに、酸素(O)および窒素(N)の少なくとも一方からなる第2元素のうち、少なくとも前記カルコゲン元素および前記第1元素を含むスイッチ層と
を有する記憶装置。 - 前記記憶素子は前記スイッチ素子の前記第1電極と前記第2電極との間に記憶層を有する、請求項16に記載の記憶装置。
- 前記記憶層はテルル(Te),硫黄(S)およびセレン(Se)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素を含むイオン源層と、抵抗変化層とを含む、請求項17に記載の記憶装置。
- 前記記憶層および前記スイッチ層は前記第1電極と前記第2電極との間に第3電極を介して積層されている、請求項17に記載の記憶装置。
- 前記記憶層および前記スイッチ層は前記抵抗変化層を介して積層されている、請求項18に記載の記憶装置。
- 前記スイッチ素子は、前記第1電極側および前記第2電極側うちの少なくとも一方の面に高抵抗層を有し、前記記憶層および前記スイッチ層は前記高抵抗層を介して積層されている、請求項17に記載の記憶装置。
- 前記記憶層はテルル(Te),硫黄(S)およびセレン(Se)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素を含むイオン源層と、抵抗変化層とを含み、
前記スイッチ層の前記高抵抗層は、前記抵抗変化層を兼ねている、請求項21に記載の記憶装置。 - 複数の行ラインおよび複数の列ラインを有し、前記複数の行ラインと複数の列ラインとの各交差領域付近に前記メモリセルが配置されている、請求項16に記載の記憶装置。
- 前記記憶層は、遷移金属酸化物からなる抵抗変化層、相変化型メモリ層、磁気抵抗変化型メモリ層のいずれかである、請求項17に記載の記憶装置。
- 第1電極と、
前記第1電極に対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられると共に、テルル(Te),セレン(Se)および硫黄(S)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素と、マグネシウム(Mg),カルシウム(Ca)およびストロンチウム(Sr)から選ばれる少なくとも1種とを含むスイッチ層と
を備えたスイッチ素子。 - 前記スイッチ層は、窒素(N)および酸素(O)のうちの少なくとも一方を含む、請求項25に記載のスイッチ素子。
- 前記スイッチ層に含まれる窒素(N)および酸素(O)はいずれも5原子%以上25原子%以下である、請求項26に記載のスイッチ素子。
- 第1電極と、
前記第1電極に対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、CTeN,CTeOおよびCTeONのうちのいずれかの組成を有すると共に、組成比(原子%)が(CvTex)OyNz(30≦v≦60,40≦x≦70,0≦y≦15および0≦z≦20または0≦y+z≦20)を満たしているスイッチ層と
を備えたスイッチ素子。
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