JP6596134B2 - テスト用回路基板及びその操作方法 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 82
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 39
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 13
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R1/20—Modifications of basic electric elements for use in electric measuring instruments; Structural combinations of such elements with such instruments
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06772—High frequency probes
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- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07342—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07364—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch
- G01R1/07385—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using switching of signals between probe tips and test bed, i.e. the standard contact matrix which in its turn connects to the tester
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/02—Details
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
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- H05K1/181—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10007—Types of components
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Description
10 基板
100、200 プローブ
11、21 リレー
12、22 回路
13 制御回路
2 テスト用回路基板
20 回路基板本体
21a 入力端
21b 出力端
211 第1のスイッチ
212 第2のスイッチ
23 外付け導線
L1 低周波テスト信号経路
L2 高周波テスト信号経路
S1、S2 伝送経路
Claims (10)
- 少なくとも1つのプローブが設けられた回路基板本体と、
該回路基板本体に配置され、入力端と出力端とを有し、該入力端と該出力端との間に第1のスイッチが配置されたリレーと、
該回路基板本体に配設され、該リレーの出力端に電気的に接続され、該第1のスイッチに対して接続された回路と、
該プローブと該リレーの入力端との間に設けられ、該プローブに電気的に接続された外付け導線とを備え、
該プローブは、該リレーの入力端に電気的に接続されていることを特徴とするテスト用回路基板。 - 該リレーの入力端と出力端との間に第2のスイッチがさらに配置されており、該回路は該第2のスイッチに接続されていないことを特徴とする請求項1に記載のテスト用回路基板。
- 該第1のスイッチがオンで該第2のスイッチがオフである場合、該プローブは該リレーの入力端、第1のスイッチ、出力端を介して該回路に電気的に導通され、低周波テスト信号が伝送されることを特徴とする請求項2に記載のテスト用回路基板。
- 該第1のスイッチがオフで該第2のスイッチがオンである場合、該プローブは該外付け導線に電気的に導通され、高周波テスト信号が伝送されることを特徴とする請求項2に記載のテスト用回路基板。
- 該外付け導線は半田付けにより該プローブと該リレーの入力端との間に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のテスト用回路基板。
- 請求項1に記載のテスト用回路基板を用意する工程と、
低周波テスト信号の作業が行われている場合、該プローブは、該リレーの入力端、第1のスイッチ、出力端を介して該回路に電気的に導通される工程と、
高周波テスト信号の作業が行われている場合、該プローブは該外付け導線に電気的に導通される工程と、
を備えることを特徴とするテスト用回路基板の操作方法。 - 該リレーの入力端と出力端との間に第2のスイッチがさらに配置されており、該回路は該第2のスイッチに接続されていないことを特徴とする請求項6に記載のテスト用回路基板の操作方法。
- 低周波テスト信号の作業が行われている場合は、該第1のスイッチがオンし、該第2のスイッチがオフすることを特徴とする請求項7に記載のテスト用回路基板の操作方法。
- 高周波テスト信号の作業が行われている場合は、該第1のスイッチがオフし、該第2のスイッチがオンすることを特徴とする請求項7に記載のテスト用回路基板の操作方法。
- 該外付け導線は半田付けにより該プローブと該リレーの入力端との間に接続されていることを特徴とする請求項6に記載のテスト用回路基板の操作方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW107106366 | 2018-02-26 | ||
TW107106366A TWI640790B (zh) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 測試用電路板及其操作方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019148576A JP2019148576A (ja) | 2019-09-05 |
JP6596134B2 true JP6596134B2 (ja) | 2019-10-23 |
Family
ID=65034267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018148158A Active JP6596134B2 (ja) | 2018-02-26 | 2018-08-07 | テスト用回路基板及びその操作方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190265277A1 (ja) |
JP (1) | JP6596134B2 (ja) |
TW (1) | TWI640790B (ja) |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6384133A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-14 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブカ−ド |
JPH06151531A (ja) * | 1992-11-13 | 1994-05-31 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JP3458705B2 (ja) * | 1998-04-17 | 2003-10-20 | 三菱マテリアル株式会社 | 高周波用プローブ装置 |
US6392866B1 (en) * | 2000-04-18 | 2002-05-21 | Credence Systems Corporation | High frequency relay assembly for automatic test equipment |
US7627445B2 (en) * | 2003-11-26 | 2009-12-01 | Advantest Corporation | Apparatus for testing a device with a high frequency signal |
KR20100101688A (ko) * | 2008-04-15 | 2010-09-17 | 코토 테크놀로지 인코퍼레이티드 | 개선된 c형 릴레이 및 그것을 이용한 패키지 |
JP5312227B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2013-10-09 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカード及び検査装置 |
JP6199010B2 (ja) * | 2012-05-31 | 2017-09-20 | エス・ブイ・プローブ・プライベート・リミテッドSv Probe Pte Ltd. | プローブカード |
TWI489113B (zh) * | 2013-07-15 | 2015-06-21 | Mpi Corp | A probe card that switches the signal path |
TWI493194B (zh) * | 2013-07-15 | 2015-07-21 | Mpi Corp | Probe module with feedback test function |
TWI474008B (zh) * | 2013-07-15 | 2015-02-21 | Mpi Corp | A signal path switching device and a probe card using a signal path switching device |
TWI512300B (zh) * | 2013-07-15 | 2015-12-11 | Mpi Corp | Cantilever high frequency probe card |
-
2018
- 2018-02-26 TW TW107106366A patent/TWI640790B/zh active
- 2018-08-07 JP JP2018148158A patent/JP6596134B2/ja active Active
- 2018-10-09 US US16/154,797 patent/US20190265277A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI640790B (zh) | 2018-11-11 |
JP2019148576A (ja) | 2019-09-05 |
US20190265277A1 (en) | 2019-08-29 |
TW201937181A (zh) | 2019-09-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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