TWI583961B - 具回授測試功能之探針模組(一) - Google Patents

具回授測試功能之探針模組(一) Download PDF

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Chih Hao Ho
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Description

具回授測試功能之探針模組(一)
本發明係與探針有關；特別是指一種具回授測試功能之探針模組。
按，用以檢測電子產品之各精密電子元件間的電性連接是否確實的方法，是以一探針卡作為一檢測裝置與待測電子裝置之間的測試訊號與電源訊號之傳輸介面。
而隨著數位科技的進步，待測電子裝置的運算速度與每秒的訊號傳輸量亦日益增大，而使得檢測裝置之處理器所產生之測試訊號之頻率，並無法滿足待測電子裝置所需之高頻測試訊號的訊號傳輸量需求。是以，為解決上述困擾，遂利用待測電子裝置本身來產生所需之高頻測試訊號，再透過探針卡傳送回待測電子裝置進行檢測，進而達到高頻測試之目的。
請參閱圖1，習用之探針卡係於其印刷電路板70上設置有繼電器(Relay)72，並透過印刷電路板上之線路控制該繼電器72切換檢測裝置300之直流測試訊號，以及待測電子裝置400自我檢測之高頻測試訊號之訊號路徑。而眾所皆知的是，當訊號線路越長時，其附帶之微量電感越大。換言之，當高頻測試訊號之頻率越高時，習用之探針卡因其用以傳輸測試訊號路徑較長(由探針模組80通過基板75、印刷電路板70、繼電器72與電容74後，再由另一繼電器72回到印刷電路板70、基板75及探針模組80)，造成其微量電感較大，使得高頻訊號傳輸時，訊號路徑上之阻抗值較大，進而造成線路損耗提升，使得高頻的測試訊號無法 順利通過，進而導致訊號不易被待測電子裝置所辨識，而容易有測試誤判的情形產生。
有鑑於此，本發明之目的用於提供一種具回授測試功能之探針模組，可有效地減少高頻訊號傳輸時之訊號路徑長度。
緣以達成上述目的，本發明所提供具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有一轉接件、二探針、二電感性元件與一電容性元件，其中，該轉接件具有一平面，且該轉接件設置有二連接線路；各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；該二電感性元件設置於該轉接件的該平面，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；該電容性元件設置於該轉接件的該平面，該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有，一基板、二探針、二電感性元件、一電容性元件，其中，該基板具有一凹槽，且該基板設置有二連接線路；各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；該二電感性元件設置於該基板的該凹槽中，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；該電容性元件設置於該基板的該凹槽中，該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
本發明另提供一具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有一基板、二探針、一路徑轉換電路與一電容性元件，其中該基板具有相背對的一第一面與一第二面，以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面，該第一面面對該印刷電路板，該第二面面對該待測電子裝置；該基板設置有二連接線路；各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；該路徑轉換電路與該電容性元件其中之一者設置於該第一面，另一者設置於該第二面或第三面；其中，該路徑轉換電路包括二電感性元件，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
本發明另提供一具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有一基板、二探針、一路徑轉換電路與一電容性元件，其中該基板具有相背對的一第一面與一第二面，以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面，該第一面面對該印刷電路板，該第二面面對該待測電子裝置；該基板設置有二連接線路；各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；該路徑轉換電路與該電容性元件其中之一者設置於該第三面，另一者設置於該第一面或第二面；其中，該路徑轉換電路包括二電感性元件，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
本發明另提供一具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有一基板、二探針、一電容性元件與二電感性元件，其中該基板具有相背對的一第一面與一第二面，以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面，該第一面面對該印刷電路板，該第二面面對該待測電子裝置，且該基板設置有二連接線路；各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；該電容性元件設置於該第二面，且該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路；該二電感性元件設置於該第一面或第三面，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板。
本發明另提供一具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有一基板、二探針、一路徑轉換電路與一電容性元件，其中該基板設置有二連接線路；各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；該路徑轉換電路與該電容性元件設置於該基板且其中至少一者埋設於該基板中；其中，該路徑轉換電路包括二電感性元件，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
藉此，透過上述設計，便可有效地減少訊號傳輸時之訊號路徑長度，進而減少線路上之微量電感，使得傳輸高頻訊號時，高頻的測試訊號可順利通過，進不會被待測電子裝置所誤判。
〔本發明〕
1‧‧‧探針卡
10‧‧‧印刷電路板
12‧‧‧訊號線路
20‧‧‧基板
202‧‧‧第一面
204‧‧‧第二面
204a‧‧‧凹槽
206‧‧‧第三面
22‧‧‧空間轉換線路
24‧‧‧連接線路
26‧‧‧針座
28‧‧‧探針
30‧‧‧路徑轉換電路
L‧‧‧電感性元件
C‧‧‧電容性元件
2‧‧‧探針卡
32‧‧‧基板
322‧‧‧第三面
322a‧‧‧凹槽
3‧‧‧探針卡
34‧‧‧基板
342‧‧‧第一面
342a‧‧‧凹槽
36‧‧‧銲接材料
4‧‧‧探針卡
38‧‧‧基板
382‧‧‧第二面
384‧‧‧第一面
386‧‧‧第三面
5‧‧‧探針卡
40‧‧‧基板
422‧‧‧第一面
422a‧‧‧第一凹槽
424‧‧‧第二面
424a‧‧‧第二凹槽
44‧‧‧路徑轉換電路
6‧‧‧探針卡
46‧‧‧基板
462‧‧‧第一面
462a‧‧‧第一凹槽
464‧‧‧第二面
464a‧‧‧第二凹槽
48‧‧‧路徑轉換電路
50‧‧‧銲接材料
7‧‧‧探針卡
52‧‧‧基板
522‧‧‧第三面
522a‧‧‧第二凹槽
524‧‧‧第二面
8‧‧‧探針卡
54‧‧‧基板
542‧‧‧第三面
542a‧‧‧第一凹槽
544‧‧‧第二面
544a‧‧‧第二凹槽
546‧‧‧第一面
9‧‧‧探針卡
56‧‧‧路徑轉換電路
58‧‧‧基板
A1‧‧‧探針卡
60‧‧‧基板
602‧‧‧第一面
602a‧‧‧凹槽
604‧‧‧第二面
606‧‧‧第三面
62‧‧‧路徑轉換電路
A2‧‧‧探針卡
64‧‧‧基板
642‧‧‧第二面
642a‧‧‧凹槽
644‧‧‧第一面
646‧‧‧第三面
66‧‧‧連接線路
68‧‧‧連接線路
100‧‧‧檢測裝置
110‧‧‧檢測端子
200‧‧‧待測電子裝置
圖1係習用探針卡的結構圖；圖2係具有第一實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖3係第一實施例之探針模組於傳輸直流或低頻訊號的訊號傳輸路徑示意圖；圖4係第一實施例之探針模組於傳輸高頻訊號的訊號傳輸路徑示意圖；圖5係具有第二實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖6係具有第三實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖7係具有第四實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖8係具有第五實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖9係具有第六實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖10係具有第七實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖11係具有第八實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖12係具有第九實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖13係具有第十實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖14係具有第十一實施例之探針模組的探針卡結構圖；圖15一示意圖，揭示第十一實施例之探針模組另增設二條連接線路。
為能更清楚地說明本發明，茲舉較佳實施例並 配合圖示詳細說明如後。請參圖2所示，為本發明第一較佳實施例之探針卡1，該探針卡1設置於一檢測裝置100以及一待測電子裝置200之間，且包含有一印刷電路板10以及一探針模組。該印刷電路板10中佈設有複數條訊號線路12，且該等訊號線路12之一端係供與該檢測裝置100之檢測端子110連接，另一端則於該印刷電路板10之底面各別形成接點。而該探針模組則包含有一以基板20為例的轉接件、一針座26、四探針28、二組路徑轉換電路30、以及二電容性元件C。其中：該基板20設置於印刷電路板10與探針28之間，作為印刷電路板10之訊號線路12與探針28之間電訊號傳輸的轉接之用。於本實施例中該基板20為一多層陶瓷板，但不以此為限，亦可為一多層有機載板，該基板20具有相背對的一第一面202與一第二面204，以及連接於該第一面202與該第二面204之間且環繞該第一面202與該第二面204周緣的一第三面206。該第一面202面對該印刷電路板10，該第二面204面對該待測電子裝置200，且該第二面204凹入形成有二凹槽204a。
該基板20中埋設有複數條以空間轉換線路22為例的導電件以及複數條連接線路24，且該等空間轉換線路22之一端各別與該印刷電路板10的各該訊號線路12電性連接，其中二該空間轉換線路22的另一端於其中一該凹槽204a的槽面各別形成一接點，另外二該空間轉換線路22的另一端則於另一該凹槽204a的槽面各別形成一接點；而各該連接線路24的一端於該基板20的第二面204之表面各別形成一接點，其中二該連接線路24的另一端於其中一該凹槽204a的槽面各別形成一接點，另外二該連接線路24的另一端則於另一該凹槽204a的槽面各別形成一接點。
該針座26係呈一空心矩形，且設於該待測電子裝置200上方，用以供該等探針28設置，藉以達到固定探針28間距之效果。該等探針28之頂端與底端則分別突伸出該針座26之外，且該等探針28之頂端各別連接該基板第二面之表面上的接點，以電性連接各該連接線路24其中一端，且該等探針28之底端用以點觸該待測電子裝置200之受測部位。
每一組路徑轉換電路30包括二電感性元件L，該等電感性元件L在本實施例中各別為一扼流圈(choke)，但亦可使用線圈(coil)、繞組(Winding)或磁珠(Bead)等具有電感特性之元件代替，當然亦可以金屬線路佈局形成電感的方式實施。其中一組路徑轉換電路30的二該電感性元件L設置於其中一該凹槽204a中且各該電感性元件L的一端以銲接的方式連接一該空間轉換線路22，各該電感性元件L的另一端則電性連接一該連接線路24。另外一組該路徑轉換電路30的二該電感性元件L設置於另一該凹槽204a中且同樣以銲接的方式分別連接另外二該空間轉換線路22。藉此，使該些電感性元件L透過該些空間轉換線路22電性連接至印刷電路板10。
該等電容性元件C在本實施例中各別為一電容，亦可以其它具有電容特性之元件代替，例如以二條金屬線路接近但不接觸的方式佈局形成電容。該二電容性元件C分別設置於該二凹槽204a中，且各該電容性元件C的兩端分別以銲接的方式電性連接相鄰的二該連接線路24。
藉此，當該檢測裝置100之檢測端子110輸出直流或低頻測試訊號時，該探針模組其中一組的探針28、電感性元件L及電容性元件C的訊號傳輸路徑將如圖3所示，其中，該等電感性元件L會呈現短路或低阻的狀態， 而在二個該探針之間的該電容性元件C則會呈斷路或高阻抗之狀態。此時，測試訊號由檢測裝置100之檢測端子110輸出後，經過該印刷電路板10之訊號線路12、一該空間轉換線路22、一該電感性元件L、一該連接線路24至一該探針28後，流經該待測電子裝置200再回流經過另一探針28、另一該連接線路24、另一該電感性元件L、另一該空間轉換線路22以及印刷電路板10之訊號線路12回到該檢測裝置100之檢測端子110，使測試訊號之路徑形成迴路而達到檢測之目的。
另外，當該待測電子裝置200欲進行自我檢測而輸出高頻之測試訊號時，該探針模組其中一組的探針28、電感性元件L及電容性元件C的訊號傳輸路徑將如圖4所示，其中，該等電感性元件L會呈現斷路或高阻抗的狀態，而該等電容性元件C則會呈短路或低阻抗之狀態。此時，訊號傳輸路徑如圖8所示，測試訊號由該待測電子裝置200輸出後，經過探針28、連接線路24以及電容性元件C，再由另一連接線路24以及另一探針28回流至該待測電子裝置200，使測試訊號透過極短的路徑形成迴路，進而達到自我檢測之目的。
圖5所示為本發明第二較佳實例之探針卡2其具有大致相同於前述第一實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例之基板32的二凹槽322a是自基板32的第三面322凹入形成，且該二凹槽322a位於第三面322的相對兩側之部位。每一個凹槽322a中設置有二電感性元件L及電容性元件C，其連接關係於與第一實施例相同，於此容不贅述。
圖6所示為本發明第三較佳實例之探針卡3其具有大致相同於前述第一實施例之結構，同樣包含一印刷電 路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例之基板34的二凹槽342a是自基板34的第一面342凹入形成。每一個凹槽342a中設置有二電感性元件L及一電容性元件C。各該電感性元件L則是透過以銲接材料36為例的導電件電性連接該印刷電路板10的訊號線路12。
圖7所示為本發明第四較佳實施例之探針卡4其具有大致相同於前述第一實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例之基板38上未設置有凹槽，而是四電感性元件L與二電容性元件C皆設置於該基板38第二面382的平面上。實務上，該些電感性元件L及電容性元件C亦可設置於基板38的第一面384或第三面386之平面上。
本實施例中轉接件除了採用多層陶瓷板或多層有機載板所形成的基板38之外，在實務上，亦可在多層陶瓷板或多層有機載板的底面設置薄膜結構，形成包括有薄膜結構及基板的轉接件，其中，在薄膜結構中設置複數條間距小於空間轉換線路及連接線路的導線，並將該些導線分別與該些空間轉換線路及連接線路電性連接，形成薄膜多層陶瓷板或薄膜多層有機載板。而電感性元件及電容性元件則設置於薄膜結構面向待測電子裝置的平面上，且電感性元件及電容性元件透過薄膜結構的導線而與空間轉換線路及連接線路電性連接。
當然，轉接件亦可不使用基板，而直接將薄膜結構設置於印刷電路板10的底面，並使導線分別與訊號線路12電性連接，以薄膜結構直接作為印刷電路板與探針之間的轉接之用，此時，薄膜結構的導線則形成連接電感性元件與電容性元件的空間轉換線路及連接線路。此外，亦可以半導體製程製作具有導線的晶片作為轉接件，並將晶片設置 於印刷電路板10的底面，使晶片中的導線分別電性連接印刷電路板10的訊號線路12。而電感性元件與電容性元件則設置於晶片面向待測電子裝置的平面上。
在上述中各實施例中，每一組路徑轉換電路及與其相電性連接的電容性元件C皆位於轉接件相同的同一面上。實施上，路徑轉換電路及電容性元件亦可分別位於轉接件之基板不同側的面上，例如，路徑轉換電路及電容性元件二者之其中一者位於第一面，另一者位於第二面或第三面；或路徑轉換電路及電容性元件二者之其中一者位於第二面，另一者位於第一面或第三面；亦或是路徑轉換電路及電容性元件二者之其中一者位於第三面，另一者位於第一面或第二面。茲說明如後：圖8所示為本發明第五較佳實施例之探針卡5其具有大致相同於前述第一實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例之基板40的第一面422凹入形成有二第一凹槽422a，第二面424凹入形成有二第二凹槽424a。本實施例的二個電容性元件L分別設置於該二第一凹槽422a中，二個路徑轉換電路44分別設置於該二第二凹槽424a中。實務上，亦可在第二面424上設置四個第二凹槽424a，而將該些路徑轉換電路44的該些電感性元件L分別設置於該四個第二凹槽424a中。
圖9所示為本發明第六較佳實施例之探針卡6其具有大致相同於前述第五實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例之基板46的第一面462凹入形成有四第一凹槽462a，第二面464凹入形成有二第二凹槽464a。本實施例的二組路徑轉換電路48的四電感性元件L分別設置於該四個第一凹槽462a中，且各該電感性元件L則是透過以銲接材料50為例的導電件電 性連接該印刷電路板10的訊號線路12。二個電容性元件C分別設置於該二第二凹槽464a中。
圖10所示為本發明第七較佳實施例之探針卡7其具有大致相同於前述第六實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例基板52的第三面522的相對兩側之部位各別凹入形成有二第二凹槽522a，二個電容性元件C分別設置於該二第二凹槽522a中。實務上，亦可設計在第二面524凹入形成二個或四個第一凹槽，在二個第一凹槽的情況時，將各組的路徑轉換電路分別設於該第二面524的該二第一凹槽中；四個第一凹槽的情況時，將四個電感性元件L分別設於第二面524的該四個第一凹槽中。
實務上，第六、第七較佳實施例中，亦可將該些轉換電路的該些電感性元件L皆設置於同一該第一凹槽中，或在基板第一面上設二個第一凹槽，每一組路徑轉換電路分別設置於一該第一凹槽中。
圖11所示為本發明第八較佳實施例之探針卡8其具有大致相同於前述第六實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例之基板54的第三面542的相對兩側之部位各別凹入形成有二第一凹槽542a。每一組轉換電路的兩個電感性元件L則分別位於同一側的兩個第一凹槽542a中。二個電容性元件C分別設置於第二面544的二個第二凹槽544a中。實務上，亦可在第三面542的相對兩側之部位各別設置一第一凹槽，並將二組轉換電路分別設置於該二第一凹槽中。此外，亦可在第一面546上設置二個第一凹槽，而將該二電容性元件C設置於該第一面546的第二凹槽中。
前述第五至第八實施例中，路徑轉換電路及電 容性元件C係分別位於轉接件之基板不同側的面之凹槽中，當然，路徑轉換電路及電容性元件C亦可不設置在凹槽中，直接設置在不同的兩個面之表面上，如此便不需設置容置路徑轉換電路或電容性元件C的凹槽；亦可設計為路徑轉換電路及電容性元件C二者其中之在一個面的凹槽中，另一者設置在另一面的表面上。
圖12所示為本發明第九較佳實施例之探針卡9，其具有大致相同於前述第六實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例的二組路徑轉換電路56及二電容性元件C皆埋設於基板58中。
圖13所示為本發明第十較佳實施例之探針卡A1，其具有大致相同於前述第九實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例的基板60的第一面602凹入形成有四個凹槽602a，二組路徑轉換電路62的四個電感性元件L分別位於該四凹槽602a中。實務上，凹槽的位置並不限於在第一面602，亦可位於第二面604或第三面606，甚至將路徑轉換電路62設置於第一面602、第二面604、第三面606任一者的表面亦是可行的方式。
圖14所示為本發明第十一較佳實施例之探針卡A2，其具有大致相同於前述第九實施例之結構，同樣包含一印刷電路板10以及一探針模組，不同的是，本實施例的基板64的第二面642凹入形成有二個凹槽642a，二電容性元件C分別位於該二凹槽642a中。實務上，凹槽的位置亦並不限於在第二面642，亦可位於第一面644或第三面646，甚至將電容性元件C設置於第一面644、第二面642、第三面646任一者的表面亦是可行的方式。此外，本實施例的電容性元件C的兩端係各別透過一個連接線路66電性連 接一探針28，實務上，亦可在各該連接線路66旁增設另一連接線路68(如圖15所示)，使電容性元件C的各端透過兩條相並聯的連接線路66,68電性連接至探針28，藉由並聯的連接線路66,68，可降低電容性元件C的各端至探針28之間的阻抗，藉以提升傳輸訊號之效能。兩條並聯的連接線路66,68之結構，同樣可以應用於第一至第十實施例中。
前述第一至第十一實施例的探針模組係以二組路徑轉換電路、二電容性元件及四探針為例說明，實務上，探針模組至少包含一組路徑轉換電路、一電容性元件及二探針即可。
本發明利用電感性元件及電容性元件之電學特性，不須提供額外之電力，便可透過訊號頻率之差異，即時地進行訊號傳輸路徑之切換。除能有效地縮短高頻傳輸時之傳輸路徑，使得線路阻抗大幅降低外，更能有效地避免高頻訊號受到印刷電路板上之電子元件或是其他線路之干擾，進而使回流至該待測電子裝置的高頻測試訊號可輕易地被辨識，而不會有測試誤判的情形產生。
另外，以上所述僅為本發明較佳可行實施例而已，舉凡應用本發明說明書及申請專利範圍所為之等效變化，理應包含在本發明之專利範圍內。
1‧‧‧探針卡
10‧‧‧印刷電路板
12‧‧‧訊號線路
20‧‧‧基板
202‧‧‧第一面
204‧‧‧第二面
204a‧‧‧凹槽
206‧‧‧第三面
22‧‧‧空間轉換線路
24‧‧‧連接線路
26‧‧‧針座
28‧‧‧探針
30‧‧‧路徑轉換電路
L‧‧‧電感性元件
C‧‧‧電容性元件
100‧‧‧檢測裝置
110‧‧‧檢測端子
200‧‧‧待測電子裝置

Claims (30)

  1. 一種具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有：一轉接件，具有一平面，且該轉接件設置有二連接線路；二探針，各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；二電感性元件，設置於該轉接件的該平面，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；以及一電容性元件，設置於該轉接件的該平面，該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
  2. 如請求項1所述具回授測試功能之探針模組，其中該轉接件具有相背對的一第一面與一第二面，以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面，該第一面面對該印刷電路板，該第二面面對該待測電子裝置；該第一面、該第二面與該第三面其中之一者具有該平面。
  3. 如請求項1所述具回授測試功能之探針模組，其中該轉接件設置有另二連接線路，該另二連接線路分別與該二連接線路並聯。
  4. 一種具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有：一基板，具有一凹槽，且該基板設置有二連接線路； 二探針，各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；二電感性元件，設置於該基板的該凹槽中，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；以及一電容性元件，設置於該基板的該凹槽中，該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
  5. 如請求項4所述具回授測試功能之探針模組，其中該基板具有相背對的一第一面與一第二面，以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面，該第一面面對該印刷電路板，該第二面面對該待測電子裝置；該凹槽係自該第一面、該第二面與該第三面其中之一者凹入形成。
  6. 如請求項4所述具回授測試功能之探針模組，其中該基板設置有另二連接線路，該另二連接線路分別與該二連接線路並聯。
  7. 一種具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有：一基板，具有相背對的一第一面與一第二面，以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面，該第一面面對該印刷電路板，該第二面面對該待測電子裝置；該基板設置有二連接線路； 二探針，各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；以及一路徑轉換電路與一電容性元件，其中之一者設置於該第一面，另一者設置於該第二面或第三面；其中，該路徑轉換電路包括二電感性元件，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
  8. 如請求項7所述具回授測試功能之探針模組，其中該第一面凹入形成有一凹槽，該路徑轉換電路與該電容性元件其中之一者設置於該凹槽中。
  9. 如請求項8所述具回授測試功能之探針模組，其中該路徑轉換電路的該二電感性元件位於該凹槽中；該第二面與該第三面其中之一者凹入形成有另一凹槽，該電容性元件設置於該另一凹槽中。
  10. 如請求項8所述具回授測試功能之探針模組，其中該電容性元件設置於該凹槽中；該第二面與該第三面其中之一者凹入形成有至少另一凹槽，該路徑轉換電路設置於該另二凹槽中。
  11. 如請求項10所述具回授測試功能之探針模組，其中該至少另一凹槽的數量為二；該二電感性元件分別位於該另二凹槽中。
  12. 如請求項7所述具回授測試功能之探針模組，其中該第一面凹入形成有二凹槽，該路徑轉換電路的該二電感性元件分別位於該二凹槽中；該第二面與該第三面其中之一者凹入形成有另一凹槽，該電容性元件設置於該另一凹槽中。
  13. 如請求項7所述具回授測試功能之探針模組，其中該基板設置有另二連接線路，該另二連接線路分別與該二連接線路並聯。
  14. 一種具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有：一基板，具有相背對的一第一面與一第二面，以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面，該第一面面對該印刷電路板，該第二面面對該待測電子裝置；該基板設置有二連接線路；二探針，各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；以及一路徑轉換電路與一電容性元件，其中之一者設置於該第三面，另一者設置於該第一面或第二面；其中，該路徑轉換電路包括二電感性元件，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
  15. 如請求項14所述具回授測試功能之探針模組，其中該第三面凹入形成有一凹槽，該路徑轉換電路與該電容性元件其中之一者設置於該凹槽中。
  16. 如請求項15所述具回授測試功能之探針模組，其中該路徑轉換電路的該二電感性元件位於該凹槽中；該第一面與該第二面其中之一者凹入形成有另一凹槽，該電容性元件設置於該另一凹槽中。
  17. 如請求項15所述具回授測試功能之探針模組，其中該電容性元件設置於該凹槽中；該第一面與該第二面其中之一者凹入形成有至少另一凹槽，該路徑轉換電路設置於該另一凹槽中。
  18. 如請求項17所述具回授測試功能之探針模組，其中該至少另一凹槽的數量為二；該二電感性元件分別位於該另二凹槽中。
  19. 如請求項14所述具回授測試功能之探針模組，其中該第三面凹入形成有二凹槽，該路徑轉換電路的該二電感性元件分別位於該凹槽中；該第一面與該第二面其中之一者凹入形成有另一凹槽，該電容性元件設置於該另一凹槽中。
  20. 如請求項14所述具回授測試功能之探針模組，其中該基板設置有另二連接線路，該另二連接線路分別與該二連接線路並聯。
  21. 一種具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有： 一基板，具有相背對的一第一面與一第二面，以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面，該第一面面對該印刷電路板，該第二面面對該待測電子裝置，且該基板設置有二連接線路；二探針，各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；一電容性元件，設置於該第二面，且該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路；以及二電感性元件，設置於該第一面或第三面，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板。
  22. 如請求項21所述具回授測試功能之探針模組，其中該第二面凹入形成有一凹槽，該電容性元件設置於該凹槽中。
  23. 如請求項22所述具回授測試功能之探針模組，其中該第一面與第三面其中之一者凹入形成有另一凹槽，該二電感性元件設置於該另一凹槽中。
  24. 如請求項22所述具回授測試功能之探針模組，其中該第一面與第三面其中之一者凹入形成有另二凹槽，該二電感性元件分別設置於該另二凹槽中。
  25. 如請求項21所述具回授測試功能之探針模組，其中該基板設置有另二連接線路，該另二連接線路分別與該二連接線路並聯。
  26. 一種具回授測試功能之探針模組，係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間，且包括有：一基板，設置有二連接線路；二探針，各該探針之一端與各該連接線路電性連接，各該探針之另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位；以及一路徑轉換電路與一電容性元件，設置於該基板且其中至少一者埋設於該基板中；其中，該路徑轉換電路包括二電感性元件，各該電感性元件具有二端，其中一端電性連接一該連接線路，另一端透過一導電件電性連接該印刷電路板；該電容性元件具有二端，其中一端電性連接其中一該連接線路，另一端電性連接另一該連接線路。
  27. 如請求項26所述具回授測試功能之探針模組，其中該路徑轉換電路與該電容性元件皆埋設於該基板中。
  28. 如請求項26所述具回授測試功能之探針模組，其中該基板具有一凹槽，該電容性元件設置於該凹槽中；該路徑轉換電路埋設於該基板中。
  29. 如請求項26所述具回授測試功能之探針模組，其中該基板具有一凹槽，該路徑轉換電路設置於該凹槽中；該電容性元件埋設於該基板中。
  30. 如請求項26所述具回授測試功能之探針模組，其中該基板設置有另二連接線路，該另二連接線路分別與該二連接線路並聯。
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