TWI583960B - Probe module with feedback test function (3) - Google Patents

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TWI583960B
TWI583960B TW104118416A TW104118416A TWI583960B TW I583960 B TWI583960 B TW I583960B TW 104118416 A TW104118416 A TW 104118416A TW 104118416 A TW104118416 A TW 104118416A TW I583960 B TWI583960 B TW I583960B
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Wei Cheng Ku
Hao Wei
Jun Liang Lai
Chih Hao Ho
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Mpi Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card

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Description

具回授測試功能之探針模組(三)
本發明係與探針模組有關;特別是指一種具回授測試功能之探針模組。
按,用以檢測電子產品之各精密電子元件間的電性連接是否確實的方法,是以一探針卡作為一檢測裝置與待測電子裝置之間的測試訊號與電源訊號之傳輸介面。
而隨著數位科技的進步,待測電子裝置的運算速度與每秒的訊號傳輸量亦日益增大,而使得檢測裝置之處理器所產生之測試訊號之頻率,並無法滿足待測電子裝置所需之高頻測試訊號的訊號傳輸量需求。是以,為解決上述困擾,遂利用待測電子裝置本身來產生所需之高頻測試訊號,再透過探針卡傳送回待測電子裝置進行檢測,進而達到高頻測試之目的。
然而眾所皆知的是,當訊號線路越長時,會使得高頻訊號傳輸時,訊號路徑上之阻抗值較大,進而造成線路損耗提升,使得高頻的測試訊號無法順利通過,進而導致訊號不易被待測電子裝置所辨識,而容易有測試誤判的情形產生。
有鑑於此,本發明之目的用於提供一種具回授測試功能之探針模組,可有效地減少高頻訊號傳輸時之訊號路徑長度。
緣以達成上述目的,本發明所提供的具回授測 試功能之探針模組,係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間;該探針模組包括有一轉接件、二電感性元件、一第一走線、一第二走線、一第一探針以及一第二探針。該轉接件,設置有二連接線路;該二電感性元件設置於該轉接件,各該電感性元件具有兩端,其中一端電性連接一該連接線路;該第一走線設置於該轉接件,並與其中一該電感性元件的另一端連接;該第二走線,設置於該轉接件,並與另一該電感性元件的另一端連接;該第一探針一端與該第一走線電性連接,另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位;該第二探針一端與該第二走線電性連接,另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位;其中,該第一走線與該第二走線彼此靠近但不接觸,且在一垂直投影方向上至少部分重疊。
本發明另一提供一回授測試功能之探針模組,係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間;該探針模組包括有一轉接件、一第一走線、一第二走線、一電容性元件、一第一探針以及一第二探針。該轉接件設置有二連接線路;該第一走線具有一第一彎折段,該第一走線一端連接其中一該連接線路;該第二走線具有一第二彎折段,該第二走線一端連接另一該連接線路;該電容性元件具有一第一端以及一第二端,該第一端與該第一走線的另一端連接,該第二端與該第二走線的另一端連接;該第一探針一端與該電容性元件的第一端電性連接,另一端供點觸該待測電子裝置的受測部位;該第二探針一端與該電容性元件的第二端電性連接,另一端供點觸該待測電子裝置的受測部位。
藉此,透過上述設計,探針模組進行訊號測試時,不論是低頻測試或高頻測試,都能獲得良好的訊號檢測效果與可靠度。
1‧‧‧檢測裝置
1a‧‧‧檢測端子
2‧‧‧待測電子裝置
10‧‧‧印刷電路板
12、14‧‧‧訊號線路
20‧‧‧轉接件
20a‧‧‧第一面
20b‧‧‧第二面
20b1、20b2‧‧‧凹槽
20c‧‧‧第三面
21~24‧‧‧連接線路
23a‧‧‧接點
24a‧‧‧接點
25、26‧‧‧線路
30‧‧‧針座
42‧‧‧第一探針
42a‧‧‧接點
44‧‧‧第二探針
44a‧‧‧接點
50‧‧‧電路佈局
52‧‧‧第一走線
54‧‧‧第二走線
60‧‧‧轉接件
61‧‧‧轉接件
61a‧‧‧第一面
61a1、61a2‧‧‧凹槽
62‧‧‧轉接件
62a‧‧‧第三面
62a1‧‧‧凹槽
62b‧‧‧第四面
62b1‧‧‧凹槽
63‧‧‧轉接件
63a‧‧‧第一面
63a1、63a2‧‧‧凹槽
63b‧‧‧第二面
63c‧‧‧第三面
64‧‧‧轉接件
64a‧‧‧第一面
64b‧‧‧第二面
64c‧‧‧第三面
64c1、64c2‧‧‧凹槽
70‧‧‧轉接件
70a‧‧‧第一面
70b‧‧‧第二面
70b1‧‧‧凹槽
70c‧‧‧第三面
71~74‧‧‧連接線路
71a、72a‧‧‧接點
82‧‧‧第一走線
82a‧‧‧第一彎折段
84‧‧‧第二走線
84a‧‧‧第二彎折段
90‧‧‧轉接件
91‧‧‧轉接件
91a‧‧‧第一面
91a1‧‧‧凹槽
92‧‧‧轉接件
92a‧‧‧第一面
92b‧‧‧第二面
92c‧‧‧第三面
92c1‧‧‧凹槽
93‧‧‧轉接件
93a‧‧‧第一面
93a1‧‧‧凹槽
93b‧‧‧第二面
93c‧‧‧第三面
101、102‧‧‧線路
201、202‧‧‧匹配線路
C‧‧‧電容性元件
L1、L2‧‧‧電感性元件
P‧‧‧垂直投影
圖1係具有第一實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖2係轉接件第二面的俯視圖,揭示電路佈局的結構;圖3係圖1之結構於傳輸直流或低頻訊號的訊號傳輸路徑示意圖;圖4係圖1之結構於傳輸高頻訊號的訊號傳輸路徑示意圖;圖5係具有第二實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖6係具有第三實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖7係具有第四實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖8係具有第五實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖9係具有第六實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖10係具有第七實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖11係圖10轉接件第二面的俯視圖,揭示第一走線與第二走線的結構;圖12係圖10之結構於傳輸直流或低頻訊號的訊號傳輸路徑示意圖;圖13係圖10之結構於傳輸高頻訊號的訊號傳輸路徑示意圖;圖14係具有第八實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖15係具有第九實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖16係具有第十實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖17係具有第十一實施例之探針模組的探針卡結構圖;圖18係等效電路模型圖。
為能更清楚地說明本發明,茲舉較佳實施例並配合圖示詳細說明如後。請參圖1所示,本發明第一較佳實施例之探針卡設置於一檢測裝置1以及一待測電子裝置2之間,且包含有一印刷電路板10以及一探針模組。該印刷電路板10中佈設有數條訊號線路,且該等訊號線路之一端用以供與該檢測裝置1之檢測端子1a連接,另一端則於該印刷電路板10之底面各別形成接點,其中,為便於說明,茲以兩條訊號線路12,14為主。而該探針模組則包含有一轉接件20、一針座30、一第一探針42、一第二探針44、二電感性元件L1,L2、一電路佈局50。其中:該轉接件20設置於印刷電路板10以及針座30之間,作為印刷電路板10之訊號線路12,14與第一、第二探針42、44之間訊號傳輸的轉接之用。於本實施例中,該轉接件20為一多層陶瓷板,但不以此為限,亦可為一多層有機載板。該轉接件20具有相背對的一第一面20a與一第二面20b,以及位於該第一面20a與該第二面20b之間的一第三面20c,該第一面20a面對該印刷電路板10,該第二面20b面對該待測電子裝置2,且該第二面20b凹入形成有二凹槽20b1、20b2。
該轉接件20設有數條連接線路,而為便於說明,茲以四條連接線路21~24為主。該二連接線路21,22的一端各別與該印刷電路板10的各該訊號線路12,14連接,另一端則在該二凹槽20b1、20b2的槽面各別形成一接點;另外二連接線路23,24一端於該二凹槽20b1、20b2的槽面各別形成一接點,另一端則在該轉接件20的第二面20b附近處形成有接點23a,24a(圖2參照)。
該針座30係為一空心殼體,且設於該待測電子裝置2的上方,用以供該第一探針42與該第二探針44設 置,藉以達到固定該些探針42,44之間距的效果。而該第一、第二探針42,44之頂端與底端則分別凸伸出該針座30之外,且該第一探針42之頂端連接該轉接件20第二面20b之接點42a,而電性連接該連接線路22一端;該第二探針44之頂端連接該轉接件20第二面20b之接點44a,而電性連接該連接線路24。且各該探針42,44之底端供點觸該待測電子裝置2之受測部位。
該二電感性元件L1,L2在本實施例中各別為一扼流圈(choke),但亦可使用線圈(coil)、繞組(Winding)或磁珠(Bead)等具有電感特性之元件代替。該電感性元件L1係設置於該凹槽20b1中,且一端與連接線路21於槽面之接點連接,另一端與連接線路23於槽面之接點連接;另一電感性元件L2係設置於另一凹槽20b2中,且一端與連接線路22於槽面之接點連接,另一端與連接線路24於槽面之接點連接。藉此,該二電感性元件L1,L2透過連接線路而電性連接至該印刷電路板10。
該電路佈局50係設置於該轉接件20的第二面20b。請參照圖2所示,其包含有一第一走線52以及一第二走線54。該第一走線52與該第二走線54是以銅片印製在轉接件20的表面而形成,而在其他實施例中,亦可由其他方式,如其他金屬材料、具導電特性材料以轉印、壓印或薄膜製程方式而形成。該第一走線52係呈薄片狀,一端透過線路25而與接點23a以及接點42a電性連接:該第二走線54一端透過線路26而與接點24a以及接點44a電性連接。其中,該第一走線52與該第二走線54彼此靠近但不接觸,且該第二走線54的部分部位係位於該第一走線52的垂直投影P範圍內。
值得一提的是,在其他應用上,該第一走線52 以及該第二走線54亦可不需透過線路25,26才與接點連接,而可分別直接與連接線路23電性連接、與連接線路24電性連接。藉此,可減少訊號在傳遞經線路時的損耗。
藉此,當該檢測裝置1之檢測端子1a輸出直流或低頻測試訊號時,該二電感性元件L1,L2係呈短路或低阻值的狀態,訊號可直接通過;而該第一走線52與該第二走線54因為並未電性連接,因此對訊號係呈段路或高阻抗狀態。是以,訊號傳輸路徑如圖3所示,測試訊號由檢測裝置1之檢測端子1a經過該印刷電路板10之訊號線路12、該轉接件20的連接線路21、電感性元件L1、連接線路23至第一探針42,流經該待測電子裝置2再回流經過第二探針44、連接線路24、電感性元件L2、連接線路22以及印刷電路板10之訊號線路14回到該檢測裝置1之檢測端子1a,使測試訊號之路徑形成迴路而達到檢測之目的。
另外,當該待測電子裝置2欲進行自我檢測而輸出高頻之測試訊號時,對於高頻訊號來說,該二電感性元件L1,L2會呈現斷路或高阻抗的狀態。而由於該電路佈局50中的第一走線52與第二走線54彼此非常靠近但不接觸,且在垂直投影方向P上有重疊,因此,在高頻時,該第一走線522與該第二走線54會產生類似電容的特性,對於高頻訊號來說,該電路佈局50係呈短路或是低阻抗的狀態。是以,訊號傳輸路徑如圖4所示,當測試訊號由待測電子裝置2輸出後,經過第一探針42以及電路佈局50後,再由第二探針44回流至該待測電子裝置2,而使得測試訊號可透過極短的路徑形成測試迴路,進而達到自我檢測的目的。
圖5所示為本發明第二實施例的探針卡,其具有大致相同於前述第一實施例的結構。不同的是,其電感性元件L1,L2係埋設於該轉接件60之內。其中,各電感性元 件L1,L2與電路佈局50的連接關係與第一實施例相同,於此容不贅述。
圖6所示為本發明第三實施例的探針卡,其具有大致相同於前述第一實施例的結構。不同的是,其轉接件61的第一面61a凹入形成有二凹槽61a1、61a2,而其電感性元件L1,L2係個別設置於各該凹槽61a1、61a2內。其中,各電感性元件L1,L2與電路佈局50的連接關係與第一實施例相同,於此容不贅述。此外,於轉接件61的第一面上,亦可僅凹入形成有一凹槽,而該電感性元件L1,L2皆設置於同一凹槽內,而具有節省佈線空間的效果。
圖7所示為本發明第四實施例的探針卡,其具有大致相同於前述第一實施例的結構。不同的是,轉接件62介於面對印刷電路板之第一面與面對待測電子裝置的第二面之間的第三面62a上,以及與第三面62a相背對的第四面62b上,分別凹入形成有一凹槽62a1、62b1。而各電感性元件L1,L2係分別設置於各該凹槽62a1、62b1內。其中,各電感性元件L1,L2與電路佈局50的連接關係與第一實施例相同,於此容不贅述。此外,該電感性元件L1,L2亦可設置於同一側面上,甚至是同一凹槽內,而可有效減少占用該轉接件的空間。
請參閱圖8所示,為本發明第五實施例的探針卡,其與前述實施例不同之處在於,其電路佈局50係設置於轉接件63面對該印刷電路板10的第一面63a上;且於第一面凹入形成有二凹槽63a1、63a2,而電感性元件L1,L2則分別設置於各該凹槽63a1、63a2內。其中該二電感性元件L1,L2同樣是透過轉接件上的連接線路而與印刷電路板的訊號線路連接,以及與該電路佈局50電性連接,最後再分別與第一探針42、第二探針44電性連接。另外,該二電感性 元件L1,L2亦可設置於轉接件63面對待測電子裝置2的第二面63b,或是設置於介於第一面63a與第二面63b之間的第三面63c上,於此容不贅述。
請參閱圖9所示,為本發明第六實施例的探針卡,其具有大致相同於前述實施例的結構。轉接件64具有相背對的一第一面64a與一第二面64b,以及位於該第一面20a與該第二面64b之間的一第三面64c,該第一面20a面對該印刷電路板10,該第二面20b面對該待測電子裝置2。於前述實施例不同之處在於,其電路佈局50係設置於該第三面64c上;且於第三面64c凹入形成有二凹槽64c1、64c2,電感性元件L1,L2係分別設置於各該凹槽64c1、64c2內。其中,各電感性元件L1,L2與電路佈局50的連接關係同樣是透過轉接件上的連接線路電性連接,而與前述實施例大致相同,於此不再贅述。另外一提的是,該二電感性元件L1,L2亦可分別或同時設置於該轉接件64的第一面64a、第二面64b及第三面64c的其中一者,而不以此為限。
請參閱圖10所示,為本發明第七實施例的之探針卡,設置於一檢測裝置1以及一待測電子裝置2之間,且包含有一印刷電路板10以及一探針模組。該印刷電路板與前述實施例相同,於此不再贅述。而該探針模組具有一針座30、一第一探針42以及一第二探針44、一轉接件70、一電容性元件C、一第一走線82以及一第二走線84,其中:該轉接件70係設置於印刷電路板10以及針座30之間,作為印刷電路板10之訊號線路12,14與第一、第二探針42、44之間訊號傳輸的轉接之用。於本實施例中,該轉接件70為一多層陶瓷板,但不以此為限,亦可為一多層有機載板。該轉接件70具有相背對的一第一面70a與一第二面70b,以及位於該第一面70a與該第二面70b之間的 一第三面70c,該第一面70a面對該印刷電路板10,該第二面70b面對該待測電子裝置2,且該第二面70b凹入形成有凹槽70b1。
該轉接件70設有數條連接線路,而為便於說明,茲以四條連接線路71~74為主。該二連接線路71,72的一端各別與該印刷電路板10的各該訊號線路12,14連接,另一端則分別於第二面70b附近處形成有接點71a、72a。另外二連接線路73,74之一端分別與轉接件70之第二面70b的接點42a,44a連接,另一端於凹槽70b1的槽面各別形成有一接點。
該針座30結構與前述實施例相同,同樣用以供第一探針42與第二探針44設置。該第一探針42之頂端係連接該接點42a;第二探針44之頂端係連接該接點44a,且各該探針42,44的底端供點觸該待測電子裝置2的受測部位。
該電容性元件C係設置於凹槽70b1內,其兩端分別電性連接相鄰的該二連接線路73,74。
該第一走線82與該第二走線84接設置於該轉接件70的第二面70b上,在本實施例中,該第一走線82與第二走線84係以銅片印製在轉接件70的表面而形成,而在其他實施例中,亦可由其他方式,如其他金屬材料、具導電特性材料以轉印、壓印或薄膜製程方式而形成。
請參照圖11所示,該第一走線82的一端係連接至該接點71a,以與該連接線路71以及印刷電路板10的訊號線路12電性連接,該第一走線82具有一第一彎折段82a,係呈連續彎折的弓字形態。該第二走線84的一端係連接至該接點72a,以與該連接線路72以及該印刷電路板10上的訊號線路14電性連接,該第二走線84具有一第二彎折 段84a,該第二彎折段84a同樣呈連續彎折的弓字形態。
藉此,當該檢測裝置1之檢測端子1a輸出直流或低頻測試訊號時,該第一走線82與該第二走線84對訊號係呈短路或低阻值的狀態,訊號可直接通過;而該電榮幸元件C對訊號係呈斷路或高阻抗狀態。是以,訊號傳輸路徑如圖12所示,測試訊號由檢測裝置1之檢測端子1a經過該印刷電路板10之訊號線路12、該連接線路71、第一走線82至第一探針42,流經該待測電子裝置2再回流經過第二探針44、第二走線84、連接線路72以及訊號線路14回到該檢測裝置1之檢測端子1a,使測試訊號之路徑形成迴路而達到檢測之目的。
另外,當該待測電子裝置2欲進行自我檢測而輸出高頻之測試訊號時,由於該第一走線82與該第二走線84係呈連續彎折弓字形態的設計,因此,對於高頻訊號來說,第一走線82與第二走線84會呈現斷路或高阻抗的狀態。而該電容性元件C係呈短路或是低阻抗的狀態。是以,訊號傳輸路徑如圖13所示,當測試訊號由待測電子裝置2輸出後,經過第一探針42以及電容性元件C後,再由第二探針44回流至該待測電子裝置2,而使得測試訊號可透過極短的路徑形成測試迴路,進而達到自我檢測的目的。
圖14所示為本發明第八實施例的探針卡,其具有大致相同於第七實施例的結構。不同的是,其電容性元件C係埋設於轉接件90內。其中,該第一走線82與第二走線84與電容性元件C的連接關係與第七實施例大致相同,於此容不贅述。
圖15所示為本發明第九實施例的探針卡,其具有大致相同於前述第七實施例的結構。不同的是,其電容性元件C係設置於轉接件91面對印刷電路板10的第一面 91a所凹入形成的凹槽91a1中。其中,該第一走線82與第二走線84與電容性元件C同樣是以轉接件上的連接線路電性連接,於此容不贅述。
圖16所示,為本發明第十實施例的探針卡,與前述實施例不同之處在於,其第一走線82與第二走線84係形成於轉接件92介於第一面92a與第二面92b之間的第三面92c上,且在第三面92c凹入形成有一凹槽92c1,供容置其電容性元件C。其中,該第一走線82與第二走線84與電容性元件C同樣是以轉接件上的連接線路電性連接,於此容不贅述。另外,於實務上,該電容性元件C亦可改設置在第一面92a、第二面92b上,或設置於第一面92a或第二面92b的凹槽內,而不以此為限。
圖17所示,為本發明第十一實施例的探針卡,與前述實施例不同之處在於,其第一走線82與第二走線84係形成於該轉接件93面對印刷電路板10的第一面93a上,且於第一面93a凹入形成有一凹槽93a1,其電容性元件C係設置於該凹槽93a1內。其中,該第一走線82與第二走線84與電容性元件C同樣是以轉接件上的連接線路電性連接,於此容不贅述。另外,於實務上,該電容性元件C亦可改設置於該轉接件93朝向該待測電子裝置的第二面93b,或設置於介在第一面93a與第二面93b之間的第三面93c,抑或是設置於第二面93b、第三面93c的其中一凹槽內,而不以此為限。
值得一提的是,請參閱圖18所示等效電路模型圖。其中,於第一實施例至第六實施例之中,更在電路佈局50分別與第一探針42及第二探針44連接的線路101、102上,更可分別並聯一匹配線路201,202,以降低電路佈局50各端至第一探針42、第二探針44之間的線路阻抗,進而提 升傳輸訊號的效能。於同樣的原理之下,在第七實施例至第十一實施例之中,亦可在電容性元件C分別與第一探針42及第二探針44連接的線路101、102上,更可分別並聯一匹配線路201,202,以降低電容性元件C各端至第一探針42、第二探針44之間的線路阻抗,進而提升傳輸訊號的效能。
以上所述僅為本發明較佳可行實施例而已,本發明之轉接件除了以多層陶瓷板的形式實現之外,亦可由軟性電路板甚至是薄膜電路來實現。舉凡應用本發明說明書及申請專利範圍所為之等效變化,理應包含在本發明之專利範圍內。
1‧‧‧檢測裝置
1a‧‧‧檢測端子
2‧‧‧待測電子裝置
10‧‧‧印刷電路板
12、14‧‧‧訊號線路
20‧‧‧轉接件
20a‧‧‧第一面
20b‧‧‧第二面
20b1‧‧‧凹槽
20b2‧‧‧凹槽
20c‧‧‧第三面
21~24‧‧‧連接線路
30‧‧‧針座
42‧‧‧第一探針
42a‧‧‧接點
44‧‧‧第二探針
44a‧‧‧接點
50‧‧‧電路佈局
L1、L2‧‧‧電感性元件

Claims (18)

  1. 一種具回授測試功能之探針模組,係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間;該探針模組包括有:一轉接件,設置有二連接線路;二電感性元件,設置於該轉接件,各該電感性元件具有兩端,其中一端電性連接一該連接線路;一第一走線,設置於該轉接件,並與其中一該電感性元件的另一端連接;一第二走線,設置於該轉接件,並與另一該電感性元件的另一端連接;其中,該第一走線與該第二走線彼此靠近但不接觸,且該第二走線的部分部位係位於該第一走線的垂直投影範圍內;一第一探針,其一端與該第一走線電性連接,另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位;以及一第二探針,其一端與該第二走線電性連接,另一端供點觸該待測電子裝置之受測部位。
  2. 如請求項1所述的具回授測試功能之探針模組,其中該轉接件具有相背對的一第一面與一第二面,以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面,該第一面面對該印刷電路板,該第二面面對該待測電子裝置;其中該第一走線與該第二走線係設置於該第一面上,該二電感性元件係設置於該第一面、第二面及第三面的其中之一者。
  3. 如請求項2所述的具回授測試功能之探針模組,其中該第一面、該第二面及該第三面的其中一者的表面凹入形成有一凹槽,該二電感性元件係設置於該凹槽內。
  4. 如請求項1所述的具回授測試功能之探針模組,其中該轉接件具有相背對的一第一面與一第二面,以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面,該第一面面對該印刷電路板,該第二面面對該待測電子裝置;其中該第一走線與該第二走線係設置於該第二面上,該二電感性元件係設置於該第一面、第二面及第三面的其中之一者。
  5. 如請求項4所述的具回授測試功能之探針模組,其中該第一面、該第二面及該第三面的其中一者的表面凹入形成有一凹槽,該二電感性元件係設置於該凹槽內。
  6. 如請求項1所述的具回授測試功能之探針模組,其中該轉接件具有相背對的一第一面與一第二面,以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面,該第一面面對該印刷電路板,該第二面面對該待測電子裝置;其中該第一走線與該第二走線係設置於該第三面上,該二電感性元件係設置於該第一面、第二面及第三面的其中之一者。
  7. 如請求項6所述的具回授測試功能之探針模組,其中該第一面、該第二面及該第三面的其中一者的表面凹入形成有一凹槽,該二電感性元件係設置於該凹槽內。
  8. 如請求項1所述的具回授測試功能之探針模組,其中該二電感性元件的其中至少一者係埋設於該轉接件內。
  9. 如請求項1所述的具回授測試功能之探針模組,更包含有二匹配線路,其中一該匹配線路並聯於該第一走線與該第一探針之間,另一該匹配線路並聯於該第二走線與該第二探針之間。
  10. 一種具回授測試功能之探針模組,係設於一印刷電路板以及一待測電子裝置之間;該探針模組包括有:一轉接件,設置有二連接線路;一第一走線,具有一第一彎折段,該第一走線的一端連接其中一該連接線路;一第二走線,具有一第二彎折段,該第二走線的一端連接另一該連接線路;一電容性元件,具有一第一端以及一第二端,該第一端與該第一走線的另一端連接,該第二端與該第二走線的另一端連接;一第一探針,其一端與該電容性元件的第一端電性連接,另一端供點觸該待測電子裝置的受測部位;以及一第二探針,其一端與該電容性元件的第二端電性連接,另一端供點觸該待測電子裝置的受測部位。
  11. 如請求項10所述的具回授測試功能之探針模組,其中該轉接件具有相背對的一第一面與一第二面,以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面,該第一面面對該印刷電路板,該第二面面對該待測電子裝置;其中該第一走線與該第二走線係設置於該第一面,該電容性元件係設置於該第一面、該第二面以及該第三面的其中之一者。
  12. 如請求項11所述的具回授測試功能之探針模組,其中該第一面、該第二面以及該第三面的其中一者的表面凹入形成有一凹槽,該電容性元件係設置於該凹槽內。
  13. 如請求項10所述的具回授測試功能之探針模組,其中該轉接件具有相背對的一第一面與一第二面,以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面,該第一面面對該印刷電路板,該第二面面對該待測電子裝置;其中該第一走線與該第二走線係設置於該第二面,該電容性元件係設置於該第一面、該第二面以及該第三面的其中之一者。
  14. 如請求項13所述的具回授測試功能之探針模組,其中該第一面、該第二面以及該第三面的其中一者的表面凹入形成有一凹槽,該電容性元件係設置於該凹槽內。
  15. 如請求項10所述的具回授測試功能之探針模組,其中該轉接件具有相背對的一第一面與一第二面,以及位於該第一面與該第二面之間的一第三面,該第一面面對該印刷電路板,該第二面面對該待測電子裝置;其中該第一走線與該第二走線係設置於該第三面,該電容性元件係設置於該第一面、該第二面以及該第三面的其中之一者。
  16. 如請求項15所述的具回授測試功能之探針模組,其中該第一面、該第二面以及該第三面的其中一者的表面凹入形成有一凹槽,該電容性元件係設置於該凹槽內。
  17. 如請求項10所述的具回授測試功能之探針模組,其中該電容性元件係埋設於該轉接件內。
  18. 如請求項10所述的具回授測試功能之探針模組,更包含有二匹配線路,其中一該匹配線路連接該電容性元件的第一端與該第一探針,另一該匹配線路連接該電容性元件的第二端與該第二探針。
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