JP6594434B2 - 回路検査方法および試料検査装置 - Google Patents
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Description
R34:不良22の抵抗34の抵抗値、R30a:可変抵抗30aの抵抗値、R30b:可変抵抗30bの抵抗値、Vo:定電圧電源31a,31bの出力電圧
ここで、試料19の上を走査している電子線3が不良22に照射されると、電子線の加速電圧に比例した運動エネルギーにより、不良22が加熱される。一般的に、温度が上昇すると抵抗も増大するため、不良22の加熱に伴って、抵抗34の抵抗値R34も上昇する。R34が上昇すると、上式に従い、両端電圧V34も上昇することとなる。
Claims (15)
- 第1及び第2の探針を試料に接触させ、
前記試料に形成され、かつ前記第1及び第2の探針の接触により特定される回路に電力を供給しながら、荷電粒子線により前記試料を走査し、
前記荷電粒子線により局所的に加熱された不良の抵抗値変化を、前記第1及び第2の探針を介して測定し、
前記不良の抵抗値変化に基づいて荷電粒子線吸収像を形成し、
前記荷電粒子線吸収像を表示し、
前記第1の探針にあらわれる電位を第1のコンデンサにて、前記第2の探針にあらわれる電位を第2のコンデンサにて、微分化し、差動増幅器に出力することによって前記不良の抵抗値変化を得る、回路検査方法。 - 前記第1の探針に第1の抵抗の一端を接続し、
前記第2の探針に第2の抵抗の一端を接続し、
前記第1の抵抗の他端と前記第2の抵抗の他端との間に一定の電圧を印加することにより該回路に電力を供給する、請求項1記載の回路検査方法。 - 前記第1及び第2の探針の接触により特定される回路に一定の電流を供給することにより該回路に電力を供給する、請求項1記載の回路検査方法。
- 前記第1の抵抗及び前記第2の抵抗は可変抵抗である、請求項2記載の回路検査方法。
- 前記不良の抵抗値変化を、前記荷電粒子線の走査と同期させて画像化するステップを備える、請求項1乃至4何れか一に記載の回路検査方法。
- 前記荷電粒子線の照射により生じる二次粒子を検出して前記試料の表面情報を画像化し、前記不良の抵抗値変化を、前記荷電粒子線の走査と同期させて画像化し、前記不良の抵抗値変化による画像を、前記表面情報の画像と重ね合わせることで、前記不良の位置を特定する、請求項1乃至4何れか一に記載の回路検査方法。
- 試料を載置する試料台と、
前記試料に向けて荷電粒子線を照射する荷電粒子線照射系と、
第1及び第2の探針と、
前記試料に形成され、かつ前記第1及び第2の探針の接触により特定される回路に電力を供給する電源と、
前記電源から前記第1及び第2の探針の接触により特定される回路に電力を供給しながら、前記荷電粒子線照射系による荷電粒子線の照射により局所的に加熱された不良の抵抗値変化を測定する測定部と、
前記不良の抵抗値変化に基づいて荷電粒子線吸収像を形成する形成部と、
前記荷電粒子線吸収像を表示する表示部と、を有し、
前記測定部は、差動増幅器と、前記第1の探針と前記差動増幅器の第1の入力との間に設けられる第1のコンデンサと、前記第2の探針と前記差動増幅器の第2の入力との間に設けられる第2のコンデンサとを備える、試料検査装置。 - 前記電源は定電圧源であり、
前記測定部は、前記第1の探針にその一端が接続される第1の抵抗と、前記第2の探針にその一端が接続される第2の抵抗と、を備え、前記第1の抵抗の他端と前記第2の抵抗の他端との間に前記定電圧源から一定の電圧を印加することにより該回路に電力を供給する、請求項7記載の試料検査装置。 - 前記電源は定電流源であり、
前記測定部は、前記第1及び第2の探針の接触により特定される回路に前記定電流源から一定の電流を供給することにより該回路に電力を供給する、請求項7記載の試料検査装置。 - 前記測定部の前記第1の抵抗及び前記第2の抵抗は可変抵抗である、請求項8に記載の試料検査装置。
- 前記形成部は、前記不良の抵抗値変化を、前記荷電粒子線の走査と同期させて画像化する、請求項7乃至10何れか一に記載の試料検査装置。
- 前記形成部は、前記荷電粒子線の照射により生じる二次粒子を検出して前記試料の表面情報を画像化し、前記不良の抵抗値変化を、前記荷電粒子線の走査と同期させて画像化し、
前記表示部は、前記不良の抵抗値変化による画像を、前記表面情報の画像と重ね合わせる、請求項7乃至10何れか一に記載の試料検査装置。 - 電子源と、
電源と、
前記電源に接続されている第1の抵抗と、
前記第1の抵抗に接続されている第1の探針と、
第2の抵抗と、
前記第2の抵抗に接続されている第2の探針と、
差動増幅器と、
前記第1の抵抗と前記第1の探針の接続の経路と、前記差動増幅器の第1の入力との間に設けられている第1のコンデンサと、
前記第2の抵抗と前記第2の探針の接続の経路と、前記差動増幅器の第2の入力との間に設けられている第2のコンデンサと、
を有する試料検査装置。 - 請求項13に記載の試料検査装置において、
前記第2の探針は、試料台に接続されている試料検査装置。 - 請求項13に記載の試料検査装置において、
前記第1の探針と前記第2の探針の少なくともいずれかに、前記電子源からの電子線が照射される試料検査装置。
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