JP6591885B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
ことが好ましい。
また、硬化手段を設ければ、接着シートの被着体への接着を強固にすることができる上、接着シートが表出手段に付着することを低減することもできる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSおよび剥離用テープPTを図1に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段20が回動モータ24Aを駆動し、原反RSを繰り出し、先頭のカバーシート付接着シートCAが剥離板23で所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段20が回動モータ24Aの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
供給手段20は、帯状のカバーシート基材および帯状の接着シート基材または、帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側がカバーシート付接着シートCAまたは、接着シートADとされ、剥離シートRLに仮着された原反を繰り出してもよい。
供給手段20は、帯状のカバーシート基材および帯状の接着シート基材または、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反が採用された場合、切断刃、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段により、カバーシート基材および接着シート基材または、帯状の接着シート基材を所定形状に切断してその内側をカバーシート付接着シートCAまたは、接着シートADとしてもよい。この場合、切断手段は、バンプ付ウエハBWに貼付される前のカバーシート基材および接着シート基材または、接着シート基材を切断してもよいし、バンプ付ウエハBWに貼付された後のカバーシート基材および接着シート基材または、接着シート基材を切断してもよい。
供給手段20は、剥離シートRLに仮着されていない接着シートADやカバーシート付接着シートCAを供給する構成でもよい。
シート剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、平坦な押圧面を備えた板状の押圧部材を採用してもよく、この場合、押圧部材は、ウエハWFの表面WF1やカバーシート付接着シートCAや接着シートADよりも大きな押圧面を備えていてもよいし、小さな押圧面を備えていてもよく、一度または複数回の押圧でウエハWFの表面WF1全体にカバーシート付接着シートCAや接着シートADを押圧してもよい。
研削部材63は、砥石、やすり、サンドペーパ、ワイヤソー、ブラシ等、バンプ付ウエハBWに貼付された接着シートADからバンプBPを表出させることができるものであれば何でもよく、その材質は、石材、金属材、樹脂材、布材、皮革材等、何でもよい。
表出手段60は、上述のようにしてバンプBPを接着シートADから表出させた後、水、研磨剤、洗剤、薬剤、気体の吹き付け、加熱等により、表出させたバンプBPの表面を洗浄する洗浄手段を採用し、当該バンプBP上に残る微細な接着シートADを取り去るようにしてもよい。
移送手段70は、テーブル72の位置を固定しておきシート貼付装置10を移動させてもよいし、テーブル72およびシート貼付装置10の両方を移動させてもよい。
シート貼付装置10に対し、他の装置でバンプ付ウエハBWを相対移動させる場合、移送手段70はなくてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 供給手段
30 押圧ローラ(押圧手段)
40 剥離手段
50 硬化手段
60 表出手段
AD 接着シート
BP バンプ(突起物)
BW バンプ付ウエハ(被着体)
CA カバーシート付接着シート
CS カバーシート
WF ウエハ(基材)
WF1 表面
Claims (3)
- 基材の表面に突起物が形成された被着体に対して当該突起物と基材との接着を補う接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給された接着シートを前記基材の表面に押圧して貼付する押圧手段と、
前記被着体に貼付された接着シートから前記突起物を表出させる表出手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記被着体に貼付された接着シートを硬化する硬化手段を有することを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 基材の表面に突起物が形成された被着体に対して当該突起物と基材との接着を補う接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記接着シートを供給する供給工程と、
前記供給工程で供給された接着シートを前記基材の表面に押圧して貼付する押圧工程と、
前記被着体に貼付された接着シートを硬化する硬化工程と、
硬化された接着シートから前記突起物を表出させる表出工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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JP2015242712A JP6591885B2 (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | シート貼付装置および貼付方法 |
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JP2017108086A JP2017108086A (ja) | 2017-06-15 |
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