JP6573136B2 - 露光装置、移動体装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
CY1=−(pY1−X)sinθz+(qY1−Y)cosθz, …(1b)
CY2=−(pY2−X)sinθz+(qY2−Y)cosθz. …(1c)
ただし、(pX,qX),(pY1,qY1),(pY2,qY2)は、それぞれXヘッド66,Yヘッド65(又は68),Yヘッド64(又は67)のX,Y設置位置(より正確には計測ビームの照射点のX,Y位置)である。そこで、主制御装置20は、3つのヘッドの計測値CX,CY1,CY2を連立方程式(1a)〜(1c)に代入し、それらを解くことにより、ウエハステージWSTのXY平面内での位置(X,Y,θz)を算出する。この算出結果に基づいて、ウエハステージWSTを駆動制御する。
ただし、簡単のため、qY1=qY2を仮定した。
Z2=−tanθy・p2+tanθx・q2+Z0. …(3b)
ただし、スケール表面を含めウエハテーブルWTBの上面は、理想的な平面だとする。なお、(p1,q1),(p2,q2)は、それぞれZヘッド76j,74iのX,Y設置位置(より正確には計測ビームの照射点のX,Y位置)である。式(3a)、(3b)より、次式(4a)、(4b)が導かれる。
tanθy=〔Z1−Z2−tanθx・(q1−q2)〕/(p1−p2).…(4b)
従って、主制御装置20は、Zヘッド76j,74iの計測値Z1,Z2を用いて、式(4a)、(4b)より、ウエハステージWSTの高さZ0とローリングθyを算出する。ただし、ピッチングθxは、別のセンサシステム(本実施形態では干渉計システム118)の計測結果を用いる。
tanθy=−(Za+Zb−Zc−Zd)/(pa+pb−pc−pd).…(5b)
ここで、(pa,qa),(pb,qb),(pc,qc),(pd,qd)はそれぞれZヘッド72a〜72dのX,Y設置位置(より正確には計測ビームの照射点のX,Y位置)である。ただし、pa=pb,pc=pd,qa=qc,qb=qd,(pa+pc)/2=(pb+pd)/2=Ox’,(qa+qb)/2=(qc+qd)/2=Oy’とする。なお、先と同様に、ピッチングθxは、別のセンサシステム(本実施形態では干渉計システム118)の計測結果を用いる。
Claims (11)
- ベース部材と、
前記ベース部材上で所定面に平行に少なくとも2次元移動可能な移動体と、
前記ベース部材に設けられた固定子と、前記移動体に設けられた可動子と、を有する磁気浮上方式の平面モータと、
前記移動体の前記所定面に平行な方向に関する位置を計測する計測系と、
前記計測系の計測情報に基づいて、前記平面モータを制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記移動体を、前記ベース部材の上方に浮上支持しつつ前記所定面に平行に移動するため、前記計測系の計測情報に基づいて、前記平面モータが、前記移動体に対する浮上支持力及び前記平面に平行な方向の駆動力を発生するように、前記平面モータを制御する第1制御モードと、
前記第1制御モードでの前記平面モータの制御中に、前記計測情報が所定の条件を満たしたときに、前記第1制御モードでの制御とは異なる前記平面モータの制御を行う第2制御モードと、のいずれかにより前記平面モータを制御可能であり、
前記第2制御モードでの制御では、前記平面モータが少なくとも前記浮上支持力とは反対向きの力をさらに発生するように、前記平面モータを制御する移動体装置。 - 前記条件は、前記計測系の計測情報が途絶えること、前記計測情報に含まれる計測値の時間変化が許容範囲を超えること、及び前記移動体の前記所定面に平行な方向に関する位置を計測する前記計測系とは別のセンサシステムの計測値に対する前記計測情報に含まれる前記計測値のずれが許容範囲を超えることの少なくとも1つを含む請求項1に記載の移動体装置。
- 前記移動体を加減速させるとき、前記制御装置は、前記第2制御モードにより前記平面モータを制御する請求項1又は2に記載の移動体装置。
- 前記移動体を停止させるとき、前記制御装置は、前記第2制御モードにより前記平面モータを制御する請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記移動体にダイナミックブレーキをかけるとき、又は前記移動体をショックアブソーバに衝突させるとき、前記制御装置は、前記第2制御モードにより平面モータを制御する請求項1〜4のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 地震センサ又は前記移動体と前記ベースとの離間距離を計測するギャップセンサをさらに備え、
前記制御装置は、前記地震センサが地震を検知したとき又は前記ギャップセンサが計測した前記離間距離が許容範囲を超えたとき、前記平面モータを、前記第1制御モードでの制御とは異なる制御状態で制御する請求項1〜5のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記平面モータの駆動力は、前記移動体と前記ベース部材との間に作用する請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記平面モータの駆動力が前記移動体に作用する位置は、前記所定面と交差する方向に関する前記移動体の重心の位置よりも下方にある請求項1〜7のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記可動子は、複数のブロックを有し、
前記制御装置は、前記第1制御モードでの制御とは異なる制御状態において、前記複数のブロックのうち前記移動体の進行方向に対して後方に位置するブロックに対して、前記浮上支持力と反対向きの力を加える請求項1〜8のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の移動体装置を有する露光装置。
- 請求項10に記載の露光装置を用いたデバイス製造方法。
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