JP2008182150A

JP2008182150A - モ−タ駆動装置とそれを用いた露光装置

Info

Publication number: JP2008182150A
Application number: JP2007016082A
Authority: JP
Inventors: Masaya Nagasawa; 昌弥長沢
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2007-01-26
Filing date: 2007-01-26
Publication date: 2008-08-07

Abstract

【課題】電源部とモ−タ駆動回路部等が一体的に筐体に配置されている回路構成と配線を、筐体のみそれぞれ別途分離したアンプラックを構成すると、分離された複数の電源部と複数のモ−タ駆動回路部等が、無秩序に配置され、散乱し、配線の引き回し等の無駄を生じる。
【解決手段】複数のモ−タにより駆動される駆動対象物と、モ−タを駆動するモ−タ駆動装置と、モ−タ駆動装置に電力を供給する電源部アンプユニットと、を備える露光装置であって、駆動対象物を駆動する複数のモ−タは、モ−タごとに各々一のモ−タ駆動回路を備え、モ−タ駆動回路は、駆動対象物の用途及び／又は目的ごとに、一の電源部アンプユニットに接続される露光装置とする。
【選択図】図１

Description

本発明は複数のモータを駆動して大電力を消費するモータ駆動装置等に関し、特に１台の電源部アンプユニットと複数台の制御部アンプユニットとから構成され、１台の制御部アンプユニットが１台のモータを駆動する形式のモータ駆動装置、及びそれを用いた露光装置に関する。

例えば、半導体製造装置としての露光装置などを典型例とする、複合的高機能電子装置においては、駆動制御対象の増大と制御の複雑化、高機能化に伴い、多数のアンプユニットが用いられる。このため、一つの筐体に電源部と制御モ−タ駆動回路部という構成をもつユニットやラック等を、多数備える構成とする装置となっていた。
しかし、電源部は、モ−タ駆動回路部や制御部とは異なり、もっぱら送電電力を装置用に最適な規格電源へと変換する性質上、保守、メンテナンスは殆ど必要ない。従って、電源部のみを、比較的頻繁に保守点検が必要なモ−タ駆動回路部や制御部のアンプラック等から分離し、ハンドリングが容易で小型化、軽量化したアンプユニットが提案されている。
特開２００６−４０９１８特開２００６−６０８９特開２００１−１１９９１６

従来のように電源部とモ−タ駆動回路部等が一体的に筐体に配置されている回路構成と配線を、そのままの状態で、筐体のみそれぞれ別途分離したアンプラックを構成すると、分離された複数の電源部と複数のモ−タ駆動回路部等が、無秩序に配置され、散乱することとなる。これでは、配線の引き回し等の無駄を生じるだけでなく、かえってハンドリングや保守点検の効率低下を引き起こすことが懸念される。

この発明にかかる露光装置は、複数のモ−タにより駆動される駆動対象物と、モ−タを駆動するモ−タ駆動装置と、モ−タ駆動装置に電力を供給する電源部アンプユニットと、を備える露光装置であって、駆動対象物を駆動する複数のモ−タは、モ−タごとに各々一のモ−タ駆動回路を備え、モ−タ駆動回路は、駆動対象物の用途及び／又は目的ごとに、一の電源部アンプユニットに接続されていることを特徴とする。

また、好ましくはこの発明にかかる露光装置は、モ−タ駆動回路は、駆動対象物ごとに、一の電源部アンプユニットに接続されていることを特徴とする。
また、さらに好ましくはこの発明にかかる露光装置は、電源部アンプユニットの前段に、電源部アンプユニットによって電力を供給されるモ−タ駆動回路と接続されたモ−タ、又はモ−タの駆動対象物、の異常を検出する信号に基づいて、電源部アンプユニットへの入力電力を遮断可能な電磁接触器を設けたことを特徴とする。

また、さらに好ましくはこの発明にかかる露光装置は、駆動対象物は露光装置のウェハステ−ジであることを特徴とする。
また、この発明にかかるモ−タ駆動装置は、一台の電源アンプユニットと、モ−タ駆動回路とモ−タ制御回路とから構成される制御部アンプユニットであって一台の電源アンプユニットから出力される電力を各々受ける複数の制御部アンプユニットと、から構成され、各制御部アンプユニット内のモ−タ駆動回路に接続されている一台のモ−タを駆動するモ−タ駆動装置において、電源アンプユニットの前段に、モ−タ制御回路によって制御され、一台の電源アンプユニットに入力される電力をモ−タ駆動回路に導通／遮断するための導通／遮断手段を設けたことを特徴とする。

また、好ましくはこの発明にかかるモ−タ駆動装置は、導通／遮断手段は、電磁接触器であることを特徴とする。
また、さらに好ましくはこの発明にかかるモ−タ駆動装置は、モ−タ制御回路は、一台の電源アンプユニットから出力される電力から、電磁接触器を動作させる電力を得ることを特徴とする。

また、さらに好ましくはこの発明にかかるモ−タ駆動装置は、一台の電源アンプユニットから出力される電力を各々受ける複数の制御部アンプユニットは、その制御対象となるモ−タが駆動する駆動対象物の少なくとも一部が同一であることを特徴とする。
また、さらに好ましくはこの発明にかかるモ−タ駆動装置は、駆動対象物が露光装置のウェハステ−ジであることを特徴とする。

また、さらに好ましくはこの発明にかかるモ−タ駆動装置は、複数の制御部アンプユニットの制御対象は、各々同一のウェハステ−ジを同方向に駆動する複数のアクチュエ−タであることを特徴とする。
また、この発明にかかる露光装置は、半導体露光装置の機能を発揮するための駆動モ−タと、駆動モ−タを制御する駆動モ−タ制御装置と、駆動モ−タ制御装置に電源を供給する電源部アンプユニットと、電源部アンプユニットの前段に設けられた電磁接触器とを備え、駆動モ−タ制御装置は駆動モ−タごとに個々に設けられ、かつ、駆動モ−タ制御装置は、露光装置の機能発揮の上で一連一体的に動作するように構成された駆動モ−タごとにグル−プ化され、電源部アンプユニットは、１グル−プにつき１個ずつ割り当てられ、電磁接触器が、電源部アンプユニットごとに個々に設けられていることによって、電磁接触器は、駆動モ−タからのフィ−ドバック信号にもとづき、電磁接触器に接続された電源部アンプユニットへの電力供給を遮断することで、１グル−プごとに遮断できるように構成されたことを特徴とする。

単一の電源部で、複数のモ−タ駆動回路部に電力を供給するアンプユニットを、省スペ−スでコストダウン化して、また安全に実現できる。

本実施例では、アンプラック内で同種の用途に使用されるモ−タのモ−タ駆動回路部に対して、同一の電源部を割り当てる一方、機能的に別の用途に使用されるモ−タのモ−タ駆動回路部に対しては、別の電源部から電源を供給することとする。また、各用途のモ−タ用の電源部についは、その電源部に供給される電力を一括してオン／オフ制御できる構成とすることにより、安全性にも配慮する構成とする。

ここで、同種の用途とは、機能的に一体とみなせる駆動対象についてのモ−タのことであり、カテゴリ−が同種の駆動対象と理解することができる。典型的には、ウェハステ−ジの水平駆動に関わるモ−タ駆動回路として、ウェハステ−ジＸ軸駆動前側、Ｘ軸駆動後側、Ｙ軸駆動左側、Ｙ軸駆動右側の４つのモ−タ駆動回路を同種の用途とすることができる。

この構成により、例えば、ウェハステ−ジＸ軸の前側モ−タを駆動するモ−タ駆動回路部で何らかのエラ−が発生し、動作を停止させる場合、同時に、ウェハステ−ジＸ軸の後側、ウェハステ−ジＹ軸の左側、右側のモ−タを駆動するモ−タ駆動回路部も電源部をオフし、動作を停止させる。従って、他の電源部に配線された複数のモ−タを含め他の多数のモ−タを駆動するホスト側では、従来どおり駆動し続けても安全上問題はない。

また、この場合において、ステ−ジで発生する反力やステ−ジを支えるモ−タを駆動する別異のモ−タ駆動回路部については、各々別異の電源部で駆動するので、指令系統上部のホストコンピュ−タからの指示がない限り、何ら特別な対応や制御の変更をすることなく、そのまま継続して駆動することができる。
そこで、以下、図１及び図２に基づいて本発明の実施形態について説明する。
事業所や研究所内に産業用として供給されるＡＣ２００Ｖ三相電源の各相は、電磁接触器１に接続され、これを介して電源部２に電力を供給する。この実施形態では、電源部２は出力側（二次側）が一次側（プライマリ側）と絶縁されていない、非絶縁な安価タイプの電源を採用しており、ＡＣ２００Ｖの供給に対して約ＤＣ２８０Ｖの電圧を出力側に供給することができる。

この電源部２は、それ自体には電圧出力のオン／オフを制御する機能は備えていない。このため、電磁接触器１をオン／オフ制御することで、電源部２の出力電圧約２８０Ｖのオン／オフを制御する構成とする。
電源部２の出力電圧は、＋ＨＶ端子と−ＨＶ端子に約ＤＣ２８０Ｖとなって供給されるので、それぞれの端子を、モ−タ駆動回路部１０のモ−タ駆動回路１（６）からモ−タ駆動回路４（９）の４つのモ−タ駆動回路に接続する。

また、各モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）には、それぞれホスト側に設けられた制御指令部１〜４（１ａ）から、駆動開始／駆動停止や駆動電流値指令等の制御指令が個別に与えられる。従って、モ−タ駆動回路部１（６）〜４（９）は、与えられた各制御指令に基づき、交流駆動の開始／停止を実行し、制御指令の指示電流値で接続されている各モ−タ部１〜４（１ｂ）の各相に所定の指示電流を流し、駆動するように制御する。

ここで、モ−タ駆動回路部１０は、モ−タ部１〜４（１ｂ）から帰還する電流量を検出するなどして何らかの不具合を検出する手段を具備する。また、モ−タ駆動回路部１０には、不具合を検出する手段での検出結果に基づき、電磁接触器１にかかわるオン／オフの指令信号を、制御指令部１〜４（１ａ）に出力可能である。
モ−タ駆動回路部１０から出力された指令信号は、指令・エラ−処理回路３へ入力される。そして、指令・エラ−処理回路３は、電磁接触器駆動回路５により電磁接触器１のオン／オフ制御信号を入力し、そして電磁接触器１に出力することで、電磁接触器１のオン／オフ制御を行うことができる。このときの電磁接触器１の動作時間は、おおよそ数十ミリ秒となる。

この指令・エラ−処理回路３の動作について、図２の本発明にかかる指令・エラ−処理回路の概念図を用いて説明する。この図において、モ−タ駆動回路部１０の各モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）からは、指令信号とエラ−検出信号が出力される。指令信号は、ホストコンピュ−タ側からの電磁接触器１のオン／オフ制御に関する制御指令であり、エラ−検出信号は、各モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）が駆動するモ−タ等に関するモ−タ部１ｂのエラ−有無の不具合を検出する手段で検出した時に発する信号である。

各モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）から出力した指令信号は、それぞれ論理和２０（ＯＲ）へと入力し、エラ−検出信号は、それぞれ論理積２１（ＡＮＤ）へ入力する構成とする。さらに、論理和２０（ＯＲ）と論理積２１（ＡＮＤ）の出力は論理積２２（ＮＡＮＤ）へと入力し、その結果を電磁接触器１の駆動回路である電磁接触器駆動回路５へと出力することで、電磁接触器１のオン／オフ制御を行う構成をとる。

ここで、ホストコンピュ−タからの駆動指令がない停止指令状態では、各モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）からの指令信号出力はすべて、Ｌとなる。この場合、論理和２０（ＯＲ）の出力もＬとなり、エラ−検出信号もＬであることから論理積２１（ＡＮＤ）の出力はＬとなり、論理積２２（ＮＡＮＤ）による、電磁接触器駆動回路５への出力信号はＨとなって、電磁接触器駆動回路５はオフとなる。従って、電磁接触器１が有する図示しないコイルには電流が供給されず（すなわちスイッチオフ）、電源部２にはＡＣ２００Ｖが供給されないことから、電源部２の出力端子たる＋ＨＶ端子と−ＨＶ端子間にも約ＤＣ２８０Ｖは出力されないこととなる。

また、ホストコンピュ−タ側から例えば、モ−タ駆動回路１（６）に制御開始指令（駆動開始指令）が入力されると、モ−タ駆動回路１（６）の出力がＨとなるので論理和２０（ＯＲ）の出力もＨとなる。また、各モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）のエラ−検出信号は、定常駆動状態においてはＨであることから論理積２１の出力はＨであり、したがって論理積２２（ＮＡＮＤ）の出力はＬとなり、電磁接触器駆動回路５がオンとなる。これにより、電磁接触器１の図示しないコイルに電流が供給され（すなわちスイッチオン）、電源部２にＡＣ２００Ｖが供給されることにより、電源部２の出力端子たる＋ＨＶ端子と−ＨＶ端子間に、約ＤＣ２８０Ｖが出力されることとなる。

なお、モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）は、典型的には、ウェハステ−ジのＸ軸の前側、後側のモ−タ及び、Ｙ軸の右側、左側のモ−タからなる４つのモ−タの駆動に利用する。これらは、通常、ほぼ同じタイミングで動作の開始を行い、動作を停止する場合にも同じタイミングで停止させるように、ホストコンピュ−タ側から制御する。
そして、この４つのモ−タ駆動回路１（６）〜４（９）は、一連一体的として一群（グル−プ）のアンプユニットを構成し、単一のモ−タ駆動回路部１０を構成することで、単一の電源部２により駆動する構成をとる。すなわち、一連一体的なモ−タ駆動回路として単一の電源部にて駆動するアンプユニットは、時間的な駆動可否やオン／オフが実質的に同時であるもの、装置構成上連携して停止しなければ不都合なもの、省エネルギ−の観点から実質的に同時に停止してよいものであって他の制御との関係で不具合を生じないもの、ある制御の停止により他の制御の機能が各々発揮できないと認められる関係を有するもの、制御対象部品の一部又は全部が同一なもの、駆動モ−タの電気的性質が同等であるもの等、であれば望ましい。

さらに、単一の電源部から電力が供給されることから、これら一連一体的なモ−タ駆動回路部１０は、そのト−タル電力が電源部２の電力供給能力の範囲内になければならず、電源部２が供給する電源と相互に回路マッチングがとれたモ−タ駆動回路部１０であることが望ましい。
また、仮に装置の動作中に、過電流や温度上昇、モ−タへの過大な負荷電流が供給される等して、各モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）のいずれかに異常が発生し、エラ−を検出した場合は、以下のように制御する。エラ−を検出するとエラ−検出信号として、該当するモ−タ駆動回路１（６）〜４（９）のエラ−検出信号が、Ｌと出力される。

従って、第２図において、エラ−検出信号Ｌは論理積２１（ＡＮＤ）に入力されることで、論理積２１（ＡＮＤ）の出力はＬとなる。次に論理積２１（ＡＮＤ）の出力Ｌは、論理積２２（ＮＡＮＤ）へ入力され、この論理積２２（ＮＡＮＤ）の出力はＨとなり、この出力値Ｈが電磁接触器駆動回路５へと入力される。出力値Ｈを入力された電磁接触器駆動回路５は、スイッチオフとなり、電源部２へのＡＣ２００Ｖの供給が断たれ、従って電源部２の出力端子たる＋ＨＶ端子と−ＨＶ端子間への出力電圧約ＤＣ２８０Ｖも出力されないこととなる。

一方、モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）にてエラ−が発生した場合には、図示しないホストコンピュ−タ側にもエラ−内容と発生状況が報告され、同じ系統に接続されているモ−タ駆動回路１（６）〜４（９）への指令信号も、停止（オフ）して動作を停止させる。すなわち、この場合には、各モ−タ駆動回路１（６）〜４（９）に具備するダイナミックブレ−キ回路により、モ−タ出力を短絡することで動作ブレ−キを構成する。このときダイナミックブレ−キの動作時間は、おおよそ１０−２０ミリ秒程度となる。

このように、同種の機能を行うモ−タを駆動するモ−タ駆動回路１（６）〜４（９）を、単一の電源に割り当てたことにより、ホスト側のオン／オフの制御指令に加えて、電源のオン／オフが重畳的に時間的に実質的に一致して実現できるので、モ−タ駆動回路一台ごとに電源部を一台備える構成と比べて、安全性や制御の面においても、何らの加重制約もなく、好ましい状態で制御することが可能となる。

また、この実施形態においては、電源部の出力電圧が約ＤＣ２８０Ｖの場合について説明したが、さらに昇圧したＤＣ４００Ｖの場合や、その他の電源電圧に出力変換して利用する場合においても、本発明を適用してもよい。また、３相モ−タだけでなく、ＶＣＭ（ボイスコイルモ−タ）等であって、コイルだけの可動子による高速移動可能で高精度な位置決めができるモ−タであってもよく、その他の周知のモ−タであってもよい。

また、コンピュ−タのハ−ドディスク装置のヘッド駆動や、位置決め用アクチュエ−タ、ダイボンディング装置、ワイヤボンディング装置、その他の微細加工装置のアクチュエ−タ、ＸＹステ−ジ用のモ−タ駆動回路やモ−タ駆動制御装置とその電源部、にも本発明を適用してもよい。
この実施形態により、１台の電源部アンプユニットで複数台の制御部アンプユニットに電力を供給できるため、アンプラック内のスペ−ス削減とコストダウンを実現できる。さらに、ＤＣ用の電磁接触器ではなくＡＣ用の電磁接触器にて対応可能となるので、安全性の面からも好ましい。

図１に示す本発明の実施形態にかかるブロック概念図では、電源部２が一つの場合を、典型例として、及び説明の簡略化のために記載するが、実際の半導体露光装置においては、このような電源部２を含めた構成を各々カテゴリ−ごとに有するので、装置全体では複数の電源部２を備えることとなる。
また、図１ではモ−タ駆動回路部１０にモ−タ駆動回路を四つ（モ−タ駆動回路１〜４）備える場合を示すが、電源部２の容量の範囲内において、任意の数のモ−タ駆動回路を備えることができる。また、その他の電子機器として例えば、機器や配線材の保護のためのサ−キットブレ−カや漏電ブレ−カ等を、電源部２よりさらに元の電源側に備えていてもよい。

次に、図３に示すモータ駆動装置のブロック概念図について説明する。図３において、３１０は電源部アンプユニット、３２０−Ａ、３２０−Ｂは制御部アンプユニットである。図３においては、２台の制御部アンプユニット３２０−Ａ、３２０−Ｂを設けているが、その台数は任意とすることができる。
電源部アンプユニット３１０は、サーキットプロテクタ３１１と電源３１２から構成する。電源３１２は、入力される三相交流２００Ｖを直流電圧の＋ＨＶ〜−ＨＶ端子間電圧に変換して出力する。電源３１２は、入力側（プライマリ側）と出力側（二次側）が絶縁されていない非絶縁型の安価な電源でもよいし、入力側と出力側が絶縁されている絶縁型の電源でもよい。また、サーキットプロテクタ３１１がオフの状態では、電源３１２から電流は出力されないが、＋ＨＶ〜−ＨＶ端子間出力電圧は発生するように構成する。

電源部アンプユニット３１０から＋ＨＶ〜−ＨＶ端子間出力電圧を、制御部アンプユニット３２０−Ａ、３２０−Ｂに供給し、各制御部アンプユニット３２０−Ａ、３２０−Ｂにおいて電磁接触器３２１ａ、３２１ｂへと入力される。この電磁接触器３２１ａ、３２１ｂは、モ−タ駆動回路３２２ａ、３２２ｂへの電流の導通／遮断手段として機能する。
制御部アンプユニット３２０−Ａ、３２０−Ｂは、電磁接触器３２１ａ、３２１ｂと、モータ駆動回路３２２ａ、３２２ｂと、モータ制御回路３２３ａ、３２３ｂとから構成する。

制御部アンプユニット３２０−Ａ、３２０−Ｂには、図示しない指示系統上位装置（半導体露光装置の場合には、動作全体を司るステージコントローラ等）から制御信号をモータ制御回路３２３ａ、３２３ｂに入力する。制御信号は、イネーブル信号／ディスエーブル信号等の他に、モータの推力指令信号、及びこれらの信号の取り込みタイミングを示す同期信号、トリガ−信号等を含んでいてもよい。

ここで、制御信号として前記イネーブル信号が、制御部アンプユニット３２０−Ａのモータ制御回路３２３ａに入力された場合の制御について説明する。モータ制御回路３２３ａは、このイネーブル信号をトリガとして、電磁接触器３２１ａのコイルに電流を供給する。これにより、電磁接触器３２１ａはクローズ（スイッチオン）する。その結果、＋ＨＶ〜−ＨＶ端子間出力電圧がモータ駆動回路３２２ａに入力され、また、モータ駆動回路３２２ａを構成している、例えばパワーＯＰアンプやＩＧＢＴやＭＯＳ−ＦＥＴ等の働きにより、モータコイル３３０ａに電流が供給され、モータコイル３３０ａが駆動される構成とする。

モータ駆動回路３２２ａにおいて、過電流や過負荷、過熱、駆動段の素子やパワーＯＰアンプ等の何らかの異常が発生した場合、モータ駆動回路３２２ａからモータ制御回路３２３ａに信号が送られ、モータ制御回路３２３ａはモータ駆動動作を直ちに停止する。これと同時に、モータ制御回路３２３ａは、電磁接触器３２１ａのコイルへの電流出力を停止する。これにより、電磁接触器３２１ａはオープン（スイッチオフ）し、制御部アンプユニット３２０−Ａへの電力供給が停止する。以上の動作により、制御部アンプユニット３２０−Ａの安全を確保することができる。

図４には、図３のモ−タ駆動装置において本発明を適用した、本発明にかかるモータ駆動装置のブロック概念図を示す。図４においては、電源部アンプユニット４１０の元電源側に電磁接触器４２１を設ける。
電磁接触器４２１は、電源部アンプユニット４１０へ供給する電力を、指令・エラ−処理回路４４の指令信号にしたがって、そのスイッチのオン／オフにより制御することができる。

指令・エラ−処理回路４４では、制御部アンプユニット４２０−Ａ、４２０−Ｂから入力される指令信号とエラ−検出信号により、既に述べた所定の処理を行うことで、エラ−検出時等には電源部アンプユニット４１０への電力供給を停止する信号を電磁接触器４２１へと出力する。
なお、指令・エラ−処理回路の動作については図１と図２で述べた動作処理により、また、その他の回路動作については図３で既に説明したのでここでは省略する。

以上の説明においては、制御部アンプユニット３２０−Ａを例にして説明したが、制御部アンプユニット３２０−Ｂにおいても全く同様の動作を行うことができる。すなわち、制御部アンプユニット３２０−Ａ、３２０−Ｂは、各々独立して電源を投入したり、遮断したりすることができる。
また、以上の説明においては、三相交流２００Ｖが電源アンプユニット３１０に入力されているものとして説明したが、単相の電圧や他の電圧でもよい。また、以上の説明においては、サーキットプロテクタ３１１が電源アンプユニット３１０に設けられているものとして説明したが、他にサーキットブレーカを設けてもよい。

また、以上の説明においては、三相モータを例にして説明したが、他の形式のモータでもよい。また、モータ駆動回路３２２ａ、３２２ｂとモータ制御回路３２３ａ、３２３ｂを駆動する電源として、電源アンプユニット３１０から出力されているＤＣ電源（＋ＨＶ〜−ＨＶ端子間出力電圧）を電磁接触器３２１ａ、３２１ｂの前段部分から取り出し、ＤＣ−ＤＣコンバータを用いて作成してもよい。さらに、電源アンプユニット３１０において、ＡＣ−ＤＣ変換し、前記＋ＨＶ〜−ＨＶ端子間出力電圧とは別系統のものとして供給してもよい。

また、モータ駆動回路３２２ａ、３２２ｂは、いわゆるリニア方式の駆動回路でもよいし、ＰＷＭ方式の駆動回路でもよいし、他の方式の駆動回路でもよい。また、電源３１２として如何なる構成のものでも適用することが可能である。例えば、電源３１２として絶縁型の電源を用いてもよく、非絶縁型の電源を用いてもよい。
次に、図５及び図６を用いて本発明が適用される露光装置のステ−ジ等の動作処理について説明する。半導体の製造に用いられるステージ装置６００には、リニアモータ（１００等）を用いている。リニアモータ１００は、リニアモ−タ１００自体が備える各コイル１１１，１１１…、１１２，１１２…の通電／遮断が、可動子１２０の位置に応じて制御されているため、固定子１１０での発熱量Ｑが可及的に少なくなるように構成されており、このリニアモータ１００は、そのモータ定数が高くなる。

このモータ定数の高いリニアモータ１００を、ステージ装置６００のＸステージ（可動ステージ）６００Ｘの駆動に用いている。ここで、固定子１１０には熱が発生するが、各コイル１１１，１１１…、１１２，１１２…と、固定子１１０のハウジングとの間に設けている冷却液用流路に温度調節用の流体を流すことで、固定子１１０から生じる熱を吸収する構成とする。

なお、Ｙステージ６００Ｙの駆動に用いられる２つのリニアモータ６２０（図５には一方のみ図示）の構成は、リニアモータ１００と同一であり、その詳細な説明は省略する。これらリニアモータ１００，６２０が駆動手段として用いられるステージ装置６００は、その用途は限定されないが、この形態では、ウェハ（基板）Ｗ上にマスク（レチクル）に形成されたパターンを転写する露光装置における、ウェハＷの移動手段として用いられる。

すなわち、ステージ装置６００は、Ｘ軸及びＹ軸の２軸のＸ−Ｙステージ装置であり、ベース部６０２上をＸ方向（図中矢印Ｘで示す方向）に駆動されるＸステージ６００Ｘ、Ｙ方向（矢印Ｙで示す方向）に駆動されるＹステージ６００Ｙ、及び試料台（可動体）６０４を、主たる構成要素としている。ここで試料台６０４は、前記Ｙステージ６００Ｙ上に配置され、この試料台６０４にウェハホルダ（図示省略）を介してウェハ（基板）Ｗを搭載する。

このウェハＷの上方には、照射部が配置されており、照射部からマスクを介して照射された露光光によって、ウェハＷ上に予め塗布されたレジストに、マスク上の回路パターンを転写する構成としている。ステージ装置６００におけるＸステージ６００Ｘ及びＹステージ６００Ｙの移動量は、各々、試料台６０４のＸ方向の端部、Ｙ方向の端部に固定された移動鏡６０５Ｘ，６０５Ｙと、これに対向するように、ベース部６０２に各々固定されたレーザ干渉計６０６Ｘ，６０６Ｙとによって計測される。そして、主制御装置が、この計測結果を基に、試料台６０４をベース部６０２上の所望の位置に移動制御するように構成する。

また、レーザ干渉計６０６Ｘ，６０６Ｙは、それぞれ各軸方向に駆動するリニアモータにおいて、位置センサ２４１の機能を有するものである。各干渉計６０６Ｘ，６０６Ｙからの出力は、図７に示すスイッチ切換制御部２３０を介して各スイッチＳ０１〜Ｓ３０のオン／オフの切換え制御に用いる。
このステージ装置６００のＸステージ６００Ｘ、Ｙステージ６００Ｙは、共に、多数のコイル１１１，１１１…、１１２，１１２…が軸方向に配置された固定子１１０を用いたリニアモータ１００，１００，６２０，６２０によって、各々、ベース部６０２上をＸ方向、Ｙ方向に駆動される。リニアモータ１００，１００，６２０，６２０を駆動するモ−タ制御回路は、最終的に同一の制御対象たるステ−ジ６０４を一連一体的に駆動する意味において、同一グル−プとして同一電源部からの電力供給回路を構成することができる。さらに、フォ−カス調整のためのＺ方向のレベリング駆動を、これと同一グル−プに含めることができる。

ここで、２つのリニアモータ１００，１００の固定子１１０，１１０は、共にベース６０２上に取り付け部１１６，１１６にて固定され、可動子１２０，１２０は、各々、固定板６０７，６０７を介してＸステージ６００Ｘに固定されている。
また、リニアモータ６２０，６２０の、各々の固定子６２１，６２１は共にＸステージ６００Ｘに固定され、可動子６２２，６２２（一方のみ図示）はＹステージ６００Ｙに固定されている。各固定子１１０，１１０，６２１，６２１は、その内部の流路に流される温度調整用の流体によって冷却されるが、この流体は、温度調節機６３１にて温度調節される。なお、固定子１１０，１１０，６２１，６２１と温度調節機６３１とは、吐出配管６３２、配管６３３等によって接続する。

また、ステージ装置６００には、エアガイド６４０と静圧気体軸受（図示省略）とを設けて、エア吹き出し口６４１、エア吸引口６４２によって静圧空気軸受式のステージを構成する。
次に、この発明を適用可能な露光装置のレチクルステ−ジ駆動形態について、図６を用いて説明する。この形態は、リニアモータ（１００）を露光装置７００のレチクル（マスク）ステージ７５０の駆動手段として用いたものであり、リニアモータ１００がレチクルステージ７５０に組み込まれている。

ここで露光装置７００は、いわゆるステップ・アンド・スキャン露光方式の走査型露光装置である。この露光装置７００は、図７に示すように、照明系７１０と、レチクル（フォトマスク）Ｒを保持するステージ可動部７５１と、投影光学系ＰＬと、ウェハ（基板）ＷをＸ−Ｙ平面内でＸ方向−Ｙ方向の２次元方向に駆動するステージ装置８００と、これらを制御する主制御装置７２０等を備えている。

照明系７１０は、光源ユニットから照射された露光光を、レチクルＲ上の矩形（あるいは円弧状）の照明領域ＩＡＲに均一な照度で照射するものである。又、レチクルステージ７５０では、ステージ可動部７５１がレチクルベース（図示省略）上を所定の走査速度でガイドレール（図示省略）に沿って移動される。又、ステージ可動部７５１の上面にはレチクルＲが、例えば真空吸着により固定される。又、ステージ可動部７５１のレチクルＲの下方には、露光光通過穴（図示省略）が形成されている。

このステージ可動部７５１の移動位置は、反射鏡７１５、レチクルレーザ干渉計７１６によって検出され、ステージ制御系７１９は、この検出されたステージ可動部７５１の移動位置に基づく主制御装置７２０からの指示に応じて、ステージ可動部７５１を駆動する。又、投影光学系ＰＬは縮小光学系であり、レチクルステージ７５０の下方に配置され、その光軸ＡＸ（照明光学系の光軸に一致）の方向がＺ軸方向とされる。

ここではテレセントリックな光学配置となるように、光軸ＡＸ方向に沿って所定間隔で配置された、複数枚のレンズエレメントから成る屈折光学系が使用されている。従って、上記照明系７１０によりレチクルＲの照明領域ＩＡＲが照明されると、レチクルＲの照明領域ＩＡＲ内の回路パターンの縮小像（部分倒立像）が、ウェハＷ上の照明領域ＩＡＲに共役な露光領域ＩＡに形成される。

なお、ステージ装置８００は、コイルを電機子として用いた平面モータ８７０を駆動手段として、テーブル８１８をＸ−Ｙ面内で２次元方向に駆動するものである。すなわち、ステージ装置８００は、ベース部８２１と、このベース部８２１の上面の上方に数μｍ程度のクリアランスを介して浮上するテーブル８１８と、このテーブル８１８を移動させる平面モータ８７０とを具える。ここでテーブル８１８には、露光処理時、その上面にウェハ（基板）Ｗを、例えば真空吸着（ウェハチャック）によって固定する。

また、テーブル８１８には移動鏡８２７が固定され、ウェハ干渉計８３１からレーザビームが照射して、当該テーブル８１８のＸ−Ｙ面内での移動位置を検出するように構成する。このとき得られた移動位置の情報は、ステージ制御系７１９を介して主制御装置７２０に送られる。そして、ステージ制御系７１９は、この情報に基づく主制御装置７２０からの指示に従って、平面モータ８７０を作動させ、テーブル８１８をＸ−Ｙ面内の所望の位置に移動させる。

テーブル８１８は、平面モータ８７０を構成する可動子（図示省略）の上面に、支持機構（図示省略）によって異なる３点で支持されており、平面モータ８７０によって、Ｘ方向、Ｙ方向に駆動するのみならずＸ−Ｙ面に対して傾斜させたり、Ｚ軸方向（上方）に駆動させたりすることができるようになっている。なお、平面モータ８７０は、公知の構成であり、平面モータ８７０のその他の説明は省略する。

なお、図中、符号８２１はベース部であり、その内部から生じる熱による温度上昇を防ぐための流体が、供給管７９２、排出管７９３、温度調節装置７７９の作用によって、循環されるようになっている。斯かる構成のレチクルステージ７５０を含む露光装置７００においては、概ね、以下の手順で露光処理が行われる。
まず、レチクルＲ、ウェハＷがロードされ、次いで、レチクルアラインメント、ベースライン計測、アラインメント計測等が実行される。アライメント計測の終了後には、ステップ・アンド・スキャン方式の露光動作が行われる。露光動作にあたっては、レチクル干渉計７１６によるレチクルＲの位置情報、ウェハ干渉計８３１によるウェハＷの位置情報に基づき、主制御装置７２０がステージ制御系７１９に指令を出し、レチクルステージ７５０のリニアモータ１００，１００及び平面モータ８７０によって、レチクルＲとウェハ９とが同期して移動し、もって、所望の走査露光が行われる。

また、レチクル干渉計７１６は、位置センサ２４１の機能を有するものであり、レチクル干渉計７１６からの出力は、図７に示すスイッチ切換制御部２４０を介して各スイッチＳ０１〜Ｓ３０のオン／オフの切換え制御に用いられる。このようにして、１つのショット領域に対するレチクルパターンの転写が終了すると、テーブル８１８が１ショット領域分だけステッピングされて、次のショット領域に対する走査露光が行われる。このステッピングと走査露光とが順次繰り返され、ウェハ上に必要なショット数のパターンが転写される。

ここで、上記のレチクルステージ７５０においては、リニアモータ１００，１００の固定子１１０，１１０を構成する各コイルに、３相の電流が適宜供給され、その移動量が制御される。この露光装置７００のレチクルステージ７５０は、推進力が大きく、余分に電力を消費することもない。なお、半導体デバイスの製造は、概ね下記の手順で行われる。
すなわち、半導体デバイスは、デバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたレチクルを製作するステップ、シリコン材料からウェハを製作するステップ、前述した実施の形態の露光装置によりレチクルのパターンをウェハに転写するステップ、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）、検査ステップ等を経て製造される。

また図６において、この実施形態にいう同種の用途として、機能的に一体とみなせる駆動対象についてのモ−タは、例えば、レチクルステ−ジ可動部７５１を駆動するモ−タを挙げることができる。このモ−タは、二つの駆動モ−タが並列に配置され、各々のモ−タが同じ方向に同じ速度で駆動することにより、レチクルステ−ジ可動部７５１を駆動する構成をとる。

また、また図６において、この実施形態にいう同種の用途として機能的に一体とみなせる駆動対象についてのモ−タは、例えば、ウェハステ−ジ（テ−ブル８１８）を駆動する平面モ−タ８７０とすることができる。この平面モ−タ８７０は、ウェハＷがチャックされたテ−ブル８１８を、Ｘ方向に駆動する２つのモ−タとＹ方向に駆動する２つのモ−タの計４つのモ−タから構成する。

また、また図６において、この実施形態にいう同種の用途として機能的に一体とみなせる駆動対象についてのモ−タは、例えば、ウェハステ−ジ（テ−ブル８１８）を駆動する際の反力をキャンセルするカウンタ−マスを駆動するモ−タとすることができる。カウンタ−マスは、ウェハステ−ジ（テ−ブル８１８）の移動により生じる反力によって動くように構成されている。また、カウンタ−マスを駆動するモ−タは、カウンタ−マスが動くことにより吸収すべきウェハステ−ジ（テ−ブル８１８）の反力が十分に伝わらず、カウンタ−マスの運動量不足になったときに、駆動させるモ−タのことをいう。

また、また図６において、この実施形態にいう同種の用途として機能的に一体とみなせる駆動対象についてのモ−タは、例えば、ウェハステ−ジ（テ−ブル８１８）のＺ方向の駆動をするモ−タとすることができる。また、その他の同一方向に同一部品を駆動させる複数のモ−タを同一グル−プとして、同一の電源部に関連付けることができる。
次に、リニアモータ１００のコイル１１１，１１１…、コイル１１２，１１２…の、各コイル群１１１（Ｗ）…，１１２（Ｗ）…、１１１（Ｖ）…，１１２（Ｖ）…、１１１（Ｕ）…，１１２（Ｕ）…毎に流れる電流Ｉｕ、Ｉｖ、Ｉｗを、スイッチ（Ｓ01，Ｓ02，…Ｓ30）を用いて、各コイル１１１…、１１２…毎にオン（通電）／オフ（遮断）するリニアモータ１００の制御について、図７を用いて説明する。図７に示す制御部２００は、図４に示す制御部アンプユニット４２０に相当し、リニアモ−タ１００はモ−タコイル４３０ａに相当する。

この形態では、電流値制御部２１０から供給される電流Ｉｖ、Ｉｕ、Ｉｗを、Ｖ相のスイッチ（Ｓ01）〜（Ｓ10）、Ｕ相のスイッチ（Ｓ11）〜（Ｓ20）、Ｗ相のスイッチ（Ｓ21）〜（Ｓ30）をスイッチ切換制御部（スイッチ制御手段）２３０によってオン／オフ制御することで、実際に推進力Ｆを生じさせるコイルのみを通電させ、もって、その消費電力を抑え、余分な発熱が生じないようにしている。

すなわち、図７に示すように、制御部２００は、電流Ｉｖ、Ｉｕ、Ｉｗを生成するための電流値制御部（電流制御部）２１０と、電流値制御部２１０の３つの端子に現れた電圧値に応じて、所望の電流Ｉｖ、Ｉｕ、Ｉｗを発生させる３つのアンプ部２２１，２２２，２２３と、上記したＶ相、Ｕ相、Ｗ相の各スイッチ（Ｓ01）〜（Ｓ30）のオン／オフ（切換）を行うスイッチ切換制御部２３０とによって構成されている。

なお、スイッチ切換制御部２３０には、リニアモータ１００の可動子１２０の目標位置を入力するための入力部２４０と、可動子１２０の現在位置を検出する位置センサ（干渉計による位置検出手段）２４１が接続されている。
制御部２００のアンプ部（Ｖ相）２２１，アンプ部（Ｕ相）２２２，アンプ部（Ｗ相）２２３と、Ｖ相のコイル群１１１（Ｖ）…、１１２（Ｖ）…、Ｕ相のコイル群１１１（Ｕ）…，１１２（Ｕ）…、Ｗ相のコイル群１１１（Ｗ）…，１１２（Ｗ）…との間には、各々、Ｖ相のスイッチ（Ｓ01）〜（Ｓ10）、Ｕ相のスイッチ（Ｓ11）〜（Ｓ20）、Ｗ相のスイッチ（Ｓ21）〜（Ｓ30）が配置されている。

なお、固定子１１０での、実際のＵ相のコイル群１１１（Ｕ）、１１２（Ｕ）、Ｗ相のコイル群１１１（Ｗ），１１２（Ｗ）、Ｖ相のコイル群１１１（Ｖ），１１２（Ｖ）の配置は、左からＷ相、Ｖ相、Ｕ相となっている。この形態では、リニアモータ１００のスイッチ（Ｓ01）〜（Ｓ30）のオン／オフ制御は、以下に示すように、各スイッチ（Ｓ01）〜（Ｓ30）毎に、個別に行われる。

なお、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各コイル群で通電されるコイルの数は、同じ数となっている。これはＵ相、Ｖ相、Ｗ相で、通電されるコイルの総ての抵抗値を、各相で一致させるためである。このようにＵ相、Ｖ相、Ｗ相で、通電されるコイルの数が一致しているので、出力側の端子（Ｇ）が共通化された、いわゆる、スター結線となっている。これにより、ハウジング１１３で水密に密封された第１列のコイル１１１，１１１…、第２列のコイル１１２，１１２…から外部に引き出す配線（特に出力側の配線）の数を減らすことができる。

また、ダミー抵抗（Ｄｕｍｍｙ）は、ハウジング１１３内に、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相のコイルの数を同数にするだけのスペースがない場合に備えたものである。これにより、全スイッチ（Ｓ01〜Ｓ30）をオンしたときであっても、各相の抵抗値を合わせることができる。
なお、スイッチ切換制御部２３０で実行される通電／遮断制御プログラムを実行することで、各コイル群（Ｖ相、Ｕ相、Ｗ相）の各スイッチ（Ｓ01）〜（Ｓ30）が個別にオン／オフ制御されて、推進力の発生に寄与するコイルが選択的に通電され、もって、消費電力が少なく、発熱量の少ないリニアモータ１００の動作制御が行うことができる。

実施の形態にかかる露光装置は、複数のモ−タにより駆動される駆動対象物と、モ−タを駆動するモ−タ駆動装置と、モ−タ駆動装置に電力を供給する電源部アンプユニットと、を備える露光装置であって、駆動対象物を駆動する複数のモ−タは、モ−タごとに各々一のモ−タ駆動回路を備え、モ−タ駆動回路は、駆動対象物の用途及び／又は目的ごとに、一の電源部アンプユニットに接続されていることを特徴とする。

したがって、一の電源部アンプユニットには、一連一体的に機能する用途／目的による同種の駆動対象として関係するモ−タ駆動回路のみを、選択的に配することができる。すなわち、モ−タごとの個々の独立制御を維持しながらも、電源部は単一供給できることになり、電源供給の効率が増大するとともに、配線や不要な電源変換器等を低減した省スペ−スで低コストな露光装置を実現できる。

また、好ましくはこの実施形態にかかる露光装置は、モ−タ駆動回路が、駆動対象物ごとに、一の電源部アンプユニットに接続されていることを特徴とする。
これにより、駆動対象物が同一の一又は複数の駆動モ−タは、同一の電源部アンプユニットからその駆動電力を供給されることとなり、効率的な回路配線やユニット構成が可能となる。

また、さらに好ましくはこの実施形態にかかる露光装置は、電源部アンプユニットの前段に、電源部アンプユニットによって電力を供給されるそのモ−タ駆動回路と接続されたモ−タ、又はそのモ−タの駆動対象物、の異常を検出する信号に基づいて、電源部アンプユニットへの入力電力を遮断可能な電磁接触器を設けたことを特徴とする。
これにより、モ−タ等に何らかの異常が検出された場合に、そのモ−タの駆動回路や制御回路へ電源供給する電源部アンプユニットへの電力供給を元から遮断することが可能となる。また、電磁接触器で構成できるので、安全面からもさらに好ましい。なお、異常を検出する手段は、ここでは特別な装置を使用する必要はなく、周知の異常検出手段で足り、何らかの信号を電磁接触器に入力できるものであればよい。

また、さらに好ましくはこの発明にかかる露光装置は、駆動対象物は露光装置のウェハステ−ジであることを特徴とする。
したがって、ウェハステ−ジの駆動に関連した駆動モ−タ等の一部に、仮になんらかの異常が検出された場合においても、より安全かつ確実に、そのウェハステ−ジの駆動に関連するすべてのモ−タに電力を供給する単一の電源アンプユニットへの電源供給を遮断することも可能となり、好ましい。

また、この発明にかかるモ−タ駆動装置は、一台の電源アンプユニットと、モ−タ駆動回路とモ−タ制御回路とから構成される制御部アンプユニットであって一台の電源アンプユニットから出力される電力を各々受ける複数の制御部アンプユニットと、から構成され、
各制御部アンプユニット内のモ−タ駆動回路に接続されている一台のモ−タを駆動するモ−タ駆動装置において、電源アンプユニットの前段に、モ−タ制御回路によって制御され、一台の電源アンプユニットに入力される電力をモ−タ駆動回路に導通／遮断するための導通／遮断手段を設けたことを特徴とする。

また、さらに好ましくはこの発明にかかるモ−タ駆動装置は、一台の電源アンプユニットから出力される電力を各々受ける複数の制御部アンプユニットは、その制御対象となるモ−タが駆動する駆動対象物の少なくとも一部が同一であることを特徴とする。
ここで、モ−タが駆動する駆動対象物とは直接的でなくとも、間接的に駆動するものであってもよい。すなわち、モ−タは一般的に往復運動や回転運動を出力することで、直接的には歯車やロッドを駆動／回転する。しかし、その歯車やロッドは、例えばウェハステ−ジ等に機械的に関係づけられることで、間接的にはウェハステ−ジを駆動しているといえる。また、少なくとも一部が同一であるとは、直接／間接の駆動対象のすべてが同一であるところの駆動モ−タ同士でなくてもよいとの意味である。単一モ−タで駆動される複数の直接／間接駆動対象のうち一部品が同一であるか、あるいは、一部品のうちの駆動部分に重複している部分があればよい。

また、さらに好ましくはこの発明にかかるモ−タ駆動装置は、駆動対象物が露光装置のウェハステ−ジであることを特徴とする。
これにより、Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸駆動を典型例として、複数のモ−タが相互に連関することで、ウェハステ−ジの複雑かつ高度な一体的動作を作り出すことに寄与するすべての駆動モ−タについて、単一の電源アンプユニットからの電源供給とすることも可能となる。

また、さらに好ましくはこの発明にかからモ−タ駆動装置は、複数の制御部アンプユニットの制御対象は、各々同一のウェハステ−ジを同方向に駆動する複数のアクチュエ−タであることを特徴とする。
したがって、特に密接に関連することで、ウェハステ−ジの同一方向への動きを生み出す一連の複数モ−タについて、単一の電源から電力を供給したり、その単一の電源への電源供給を遮断したりすることが可能となる。

また、この発明にかかる半導体露光装置は、半導体露光装置の機能を発揮するための駆動モ−タと、駆動モ−タを制御する駆動モ−タ制御装置と、駆動モ−タ制御装置に電源を供給する電源部アンプユニットと、電源部アンプユニットの前段に設けられた電磁遮断器とを備え、駆動モ−タ制御装置は駆動モ−タごとに個々に設けられ、かつ、駆動モ−タ制御装置は、半導体露光装置の機能発揮の上で一連一体的に動作するように構成された駆動モ−タごとにグル−プ化され、電源部アンプユニットは、１グル−プにつき１個ずつ割り当てられ、電磁接触器が、電源部アンプユニットごとに個々に設けられていることによって、電磁接触器は、駆動モ−タからのフィ−ドバック信号にもとづき、電磁接触器に接続された電源部アンプユニットへの電力供給を遮断することで、１グル−プごとに遮断できるように構成されたことを特徴とする。

したがって、電源部アンプユニットにより電力供給される複数のモ−タ等の一部からの、例えば異常信号等のフィ−ドバック信号によって、その電源部アンプユニットに接続されるすべての装置への電源供給を、電源部アンプユニットごとに遮断できる。すなわち、省スペ−ス、低配線化、低消費電力高効率化となる、より安全で信頼できる半導体露光装置を実現することができる。

本発明は、半導体露光装置のステージ（レクチル用ステージ及びウェハ用ステージ）等のように、モータ駆動装置が駆動するモータの数が増え、各モータの出力増加に伴って必要とする電力が多量になるモータ駆動装置の分野において、利用することができる。

本発明の実施形態にかかるブロック概念図本発明にかかる指令・エラ−処理回路の概念図モータ駆動装置のブロック概念図本発明にかかるモータ駆動装置のブロック概念図ステ−ジ装置概要図露光装置のレチクルステ−ジ周辺概要図露光装置のリニアモ−タ制御装置概念図

符号の説明

４１０・・電源部アンプユニット、４１１・・サーキットプロテクタ、４１２・・電源、４２０−Ａ，４２０−Ｂ・・制御部アンプユニット、４２１・・電磁接触器、４２２ａ，４２２ｂ・・モータ駆動回路、４２３ａ，４２３ｂ・・モータ制御回路、４３０ａ，４３０ｂ・・モータコイル

Claims

複数のモ−タにより駆動される駆動対象物と、前記モ−タを駆動するモ−タ駆動装置と、前記モ−タ駆動装置に電力を供給する電源部アンプユニットと、
を備える露光装置であって、
前記駆動対象物を駆動する複数のモ−タは、前記モ−タごとに各々一の前記モ−タ駆動回路を備え、
前記モ−タ駆動回路は、前記駆動対象物の用途及び／又は目的ごとに、一の電源部アンプユニットに接続されていること、
を特徴とする露光装置。
前記モ−タ駆動回路は、前記駆動対象物ごとに、一の電源部アンプユニットに接続されていること、
を特徴とする請求項１に記載の露光装置。
前記電源部アンプユニットの前段に、
前記電源部アンプユニットによって電力を供給される前記モ−タ駆動回路と接続された前記モ−タ、又は該モ−タの前記駆動対象物、の異常を検出する信号に基づいて、前記電源部アンプユニットへの入力電力を遮断可能な電磁接触器を設けたこと、
を特徴とする請求項１又は請求項２のいずれか１項に記載の露光装置。
前記駆動対象物は前記露光装置のウェハステ−ジであること、
を特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の露光装置。
一台の電源アンプユニットと、
モ−タ駆動回路とモ−タ制御回路とから構成される制御部アンプユニットであって
前記一台の電源アンプユニットから出力される電力を各々受ける複数の制御部アンプユニットと、から構成され、
前記各制御部アンプユニット内の前記モ−タ駆動回路に接続されている一台のモ−タを駆動するモ−タ駆動装置において、
前記電源アンプユニットの前段に、前記モ−タ制御回路によって制御され、前記一台の電源アンプユニットに入力される電力をモ−タ駆動回路に導通／遮断するための導通／遮断手段を設けたこと、
を特徴とするモ−タ駆動装置。
請求項５に記載のモ−タ駆動装置において、
前記導通／遮断手段は、電磁接触器であること、
を特徴とするモ−タ駆動装置。
請求項６に記載のモ−タ駆動装置において、
前記モ−タ制御回路は、前記一台の電源アンプユニットから出力される電力から、前記電磁接触器を動作させる電力を得ること、
を特徴とするモ−タ駆動装置。
請求項５乃至請求項７のいずれか１項に記載のモ−タ駆動装置において、
前記一台の電源アンプユニットから出力される電力を各々受ける前記複数の制御部アンプユニットは、
その制御対象となる前記モ−タが駆動する駆動対象物の少なくとも一部が同一であること、
を特徴とするモ−タ駆動装置。
請求項８に記載のモ−タ駆動装置において、
前記駆動対象物が露光装置のウェハステ−ジであること、
を特徴とするモ−タ駆動装置。
請求項９に記載のモ−タ駆動装置において、
前記複数の制御部アンプユニットの制御対象は、各々同一のウェハステ−ジを同方向に駆動する複数のアクチュエ−タであること、
を特徴とするモ−タ駆動装置。
露光装置の機能を発揮するための駆動モ−タと、
前記駆動モ−タを制御する駆動モ−タ制御装置と、
前記駆動モ−タ制御装置に電源を供給する電源部アンプユニットと、
前記電源部アンプユニットの前段に設けられた電磁接触器と、
を備える露光装置であって、
前記駆動モ−タ制御装置は前記駆動モ−タごとに個々に設けられ、かつ、
前記駆動モ−タ制御装置は、半導体露光装置の機能発揮の上で一連一体的に動作するように構成された前記駆動モ−タごとにグル−プ化され、
前記電源部アンプユニットは、前記１グル−プにつき１個ずつ割り当てられ、
前記電磁接触器が、前記電源部アンプユニットごとに個々に設けられていること、によって、
前記電磁接触器は、前記駆動モ−タからのフィ−ドバック信号にもとづき、前記電磁接触器に接続された前記電源部アンプユニットへの電力供給を遮断することで、前記１グル−プごとに遮断できるように構成された、
ことを特徴とする露光装置。