JP6629014B2 - エンコーダ - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 130
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 43
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 41
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 25
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 54
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
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Description
測定方向に配列されたパターンを有するスケールと、
前記スケールに対して前記測定方向に相対的に移動可能であり、前記パターンの検出結果を示す電気信号を出力する検出ヘッドと、
前記電気信号から前記スケールに対する前記検出ヘッドの相対的な移動量を算出する演算部と、を備え、
前記検出ヘッドは、
前記スケールに光を照射する光源と、
前記測定方向に配列された受光素子アレイを有し、前記受光素子アレイに照射される光の検出結果を前記電気信号として出力する受光部と、
前記測定方向に配列されたレンズアレイによって前記スケールからの光を前記受光部の受光面に干渉縞として結像させる正立光学系である光学系と、を備え、
前記レンズアレイの隣接するレンズ間のピッチは、前記パターンのピッチの整数倍ではない値である、ものである。
これにより、レンズアレイのピッチはパターンのピッチの整数倍となることはないので、レンズアレイのレンズによる収差の影響を平均化して、干渉縞全体で見た場合の収差の影響を抑制することができる。
前記光学系は、1倍正立光学系である、ことが望ましい。
これにより、収差の影響を抑制できる1倍正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。
前記光学系は、
前記スケールに対して前記光源の照射方向に隣接して配置された第1のレンズアレイと、
前記第1のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第2のレンズアレイと、
前記第2のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第3のレンズアレイと、を備え、
前記第1〜第3のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向のピッチは同じである、ことが望ましい。
これにより、3枚のレンズアレイにより構成される、収差の影響を抑制できる1倍正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。
前記スケールと前記第1のレンズアレイとの間の距離、前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとの間の距離、前記第2のレンズアレイと前記第3のレンズアレイとの間の距離、及び、前記第3のレンズアレイと前記受光部の前記受光面との間の距離は、前記第1〜第3のレンズアレイを構成するレンズの焦点距離の2倍と等しい、ことが望ましい。
これにより、3枚のレンズアレイにより構成される、収差の影響を抑制できる1倍正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。
前記光学系は、縮小正立光学系である、ことが望ましい。
これにより、収差の影響を抑制できる縮小正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。
前記光学系は、
前記スケールに対して前記光源の照射方向に隣接して配置された第1のレンズアレイと、
前記第1のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第2のレンズアレイと、
前記第2のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第3のレンズアレイと、を備え、
前記第1のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向の第1のピッチは、前記第2のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向の第2のピッチよりも大きく、
前記第2のピッチは、前記第3のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向の第3のピッチよりも大きい、ことが望ましい。
これにより、3枚のレンズアレイにより構成される、収差の影響を抑制できる縮小正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。
前記光学系は、1/2倍正立光学系であり、
前記スケールと前記第1のレンズアレイとの間の距離、及び、前記第2のレンズアレイと前記第3のレンズアレイとの間の距離は、第1の距離D1であり、
前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとの間の距離、及び、前記第3のレンズアレイと前記受光部の前記受光面との間の距離は、第2の距離D2であり、
前記第1〜第3のレンズアレイを構成するレンズの焦点距離がfである場合、前記第1の距離D1及び前記第2の距離D2は、以下の式で表される、ことが望ましい。
前記第1〜第3のレンズアレイを構成するレンズは、前記光源の照射方向及び前記測定方向と直交する方向が長手方向であるシリンドリカルレンズである、ことが望ましい。
これにより、3枚のレンズアレイにより構成される、収差の影響を抑制できる正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。
前記光学系は、
前記スケールに対して前記光源の照射方向に隣接して配置された第4のレンズアレイと、
前記第4のレンズアレイに対して前記受光部側に配置され、前記第4のレンズアレイと共に両側テレセントリック光学系を構成する第5のレンズアレイと、
前記第5のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第6のレンズアレイと、
前記第6のレンズアレイに対して前記受光部側に配置され、前記第6のレンズアレイと共に両側テレセントリック光学系を構成する第7のレンズアレイと、を備え、
前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向のピッチは同じである、ことが望ましい。
これにより、4枚のレンズアレイにより構成される、収差の影響を抑制できる1倍正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。また、本構成では、スケールと第4のレンズアレイとの間の距離、及び、第7のレンズアレイと受光部の受光面との間の距離の一方又は両方の距離が変動した場合でも、干渉縞のピーク位置の変動を抑制することができる。
前記スケールと前記第4のレンズアレイとの間の距離、及び、前記第7のレンズアレイと前記受光部の前記受光面との間の距離は、前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズの焦点距離と等しく、
前記第4のレンズアレイと前記第5のレンズアレイとの間の距離、前記第5のレンズアレイと前記第6のレンズアレイとの間の距離、及び、前記第6のレンズアレイと前記第7のレンズアレイとの間の距離は、前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズの焦点距離の2倍と等しい、ことが望ましい。
これにより、4枚のレンズアレイにより構成される、収差の影響を抑制できる1倍正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。また、本構成では、スケールと第4のレンズアレイとの間の距離、及び、第7のレンズアレイと受光部の受光面との間の距離の一方又は両方の距離が変動した場合でも、干渉縞のピーク位置の変動を抑制することができる。
前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズは、前記光源の照射方向及び前記測定方向と直交する方向が長手方向であるシリンドリカルレンズである、ことが望ましい。
これにより、4枚のレンズアレイにより構成される、収差の影響を抑制できる1倍正立光学系を有するエンコーダを具体的に実現することができる。
前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズの光軸が通る位置に開口を有するアパーチャを更に備え、
前記アパーチャは、前記第4のレンズアレイと前記第5のレンズアレイの間、及び、前記第6のレンズアレイと前記第7のレンズアレイの間の一方又は両方に挿入される、ことが望ましい。
これにより、スケールと第4のレンズアレイとの間の距離、及び、第7のレンズアレイと受光部の受光面との間の距離の一方又は両方の距離が変動した場合でも、干渉縞のピーク強度の変動を抑制することができる。
前記光学系がN(Nは、正の実数)倍の正立光学系である場合、
前記受光素子アレイでは、連続して配列される4つの受光素子が1つの領域を構成し、かつ、前記領域が前記測定方向に繰り返して配列され、
前記受光素子アレイの受光素子の配列ピッチは、前記パターンの配列ピッチの1/4Nであり、
前記領域の4つの受光素子は、それぞれA相、B相、A−相及びB−相に対応する前記電気信号を出力することが望ましい。
これにより、4相信号により位置検出を行うエンコーダを提供することができる。
本発明の実施の形態1にかかるエンコーダについて説明する。図1は、実施の形態1にかかるエンコーダ100の外観を示す斜視図である。図1に示すように、エンコーダ100は、スケール1、検出ヘッド2及び演算部3を有する。
本発明の実施の形態2にかかるエンコーダについて説明する。実施の形態2にかかるエンコーダ200は、実施の形態1にかかるエンコーダ100の光学系11を光学系21に置換し、受光部12を受光部22に置換した構成を有する。
本発明の実施の形態3にかかるエンコーダについて説明する。実施の形態3にかかるエンコーダ300は、実施の形態1にかかるエンコーダ100の光学系11を光学系31に置換した構成を有する。
本発明の実施の形態4にかかるエンコーダについて説明する。実施の形態4にかかるエンコーダ400は、実施の形態3にかかるエンコーダ300の変形例である。図7は、実施の形態4にかかるエンコーダ400の光学系41の構成を示す図である。光学系41は、実施の形態3にかかる光学系31にアパーチャ42を追加した両側テレセントリックの1倍正立光学系として構成される。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、上述のエンコーダは、透過型の光学式エンコーダとして説明したが、反射型の光学式エンコーダにも適用することができる。この場合、スケールの格子パターンの光透過部を反射部に、不透過部を非反射部に置換すればよい。また、受光部を、スケール1に対して光源7の側に配置すればよい。
AG、AG23〜AG25 レンズアレイピッチ
FP 干渉縞
P ピッチ
PL 光
1、71 スケール
2 検出ヘッド
3 演算部
4 格子パターン
5、71A 光透過部
6、71B 不透過部
7 光源
11、21、31、41、51、61 光学系
12、22、32、 受光部
12A〜12D 受光素子
13〜15、23〜25、33〜36、72 レンズアレイ
13A〜15A、23A〜25A、33A〜36A、72A レンズ
42、52 アパーチャ
73 受光面
100、200、300、400、401、402 エンコーダ
Claims (13)
- 測定方向に配列されたパターンを有するスケールと、
前記スケールに対して前記測定方向に相対的に移動可能であり、前記パターンの検出結果を示す電気信号を出力する検出ヘッドと、
前記電気信号から前記スケールに対する前記検出ヘッドの相対的な移動量を算出する演算部と、を備え、
前記検出ヘッドは、
前記スケールに光を照射する光源と、
前記測定方向に配列された受光素子アレイを有し、前記受光素子アレイに照射される光の検出結果を前記電気信号として出力する受光部と、
前記測定方向に配列されたレンズアレイによって前記スケールからの光を前記受光部の受光面に干渉縞として結像させる正立光学系である光学系と、を備え、
前記レンズアレイの隣接するレンズ間のピッチは、前記パターンのピッチの整数倍ではない値である、
エンコーダ。 - 前記光学系は、1倍正立光学系である、
請求項1に記載のエンコーダ。 - 前記光学系は、
前記スケールに対して前記光の照射方向に隣接して配置された第1のレンズアレイと、
前記第1のレンズアレイに対して前 記受光部側に配置された第2のレンズアレイと、
前記第2のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第3のレンズアレイと、を備え、
前記第1〜第3のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向のピッチは同じである、
請求項2に記載のエンコーダ。 - 前記スケールと前記第1のレンズアレイとの間の距離、前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとの間の距離、前記第2のレンズアレイと前記第3のレンズアレイとの間の距離、及び、前記第3のレンズアレイと前記受光部の前記受光面との間の距離は、前記第1〜第3のレンズアレイを構成するレンズの焦点距離の2倍と等しい、
請求項3に記載のエンコーダ。 - 前記光学系は、縮小正立光学系である、
請求項1に記載のエンコーダ。 - 前記光学系は、
前記スケールに対して前記光の照射方向に隣接して配置された第1のレンズアレイと、
前記第1のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第2のレンズアレイと、
前記第2のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第3のレンズアレイと、を備え、
前記第1のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向の第1のピッチは、前記第2のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向の第2のピッチよりも大きく、
前記第2のピッチは、前記第3のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向の第3のピッチよりも大きい、
請求項5に記載のエンコーダ。 - 前記第1〜第3のレンズアレイを構成するレンズは、前記光源の照射方向及び前記測定方向と直交する方向が長手方向であるシリンドリカルレンズである、
請求項3、4、6及び7のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記光学系は、
前記スケールに対して前記光源の照射方向に隣接して配置された第4のレンズアレイと、
前記第4のレンズアレイに対して前記受光部側に配置され、前記第4のレンズアレイと共に両側テレセントリック光学系を構成する第5のレンズアレイと、
前記第5のレンズアレイに対して前記受光部側に配置された第6のレンズアレイと、
前記第6のレンズアレイに対して前記受光部側に配置され、前記第6のレンズアレイと共に両側テレセントリック光学系を構成する第7のレンズアレイと、を備え、
前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズ間の前記測定方向のピッチは同じである、
請求項2に記載のエンコーダ。 - 前記スケールと前記第4のレンズアレイとの間の距離、及び、前記第7のレンズアレイと前記受光部の前記受光面との間の距離は、前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズの焦点距離と等しく、
前記第4のレンズアレイと前記第5のレンズアレイとの間の距離、前記第5のレンズアレイと前記第6のレンズアレイとの間の距離、及び、前記第6のレンズアレイと前記第7のレンズアレイとの間の距離は、前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズの焦点距離の2倍と等しい、
請求項9に記載のエンコーダ。 - 前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズは、前記光源の照射方向及び前記測定方向と直交する方向が長手方向であるシリンドリカルレンズである、
請求項9又は10に記載のエンコーダ。 - 前記第4〜第7のレンズアレイを構成するレンズの光軸が通る位置に開口を有するアパーチャを更に備え、
前記アパーチャは、前記第4のレンズアレイと前記第5のレンズアレイの間、及び、前記第6のレンズアレイと前記第7のレンズアレイの間の一方又は両方に挿入される、
請求項9乃至11のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記光学系がN(Nは、正の実数)倍の正立光学系である場合、
前記受光素子アレイでは、連続して配列される4つの受光素子が1つの領域を構成し、かつ、前記領域が前記測定方向に繰り返して配列され、
前記受光素子アレイの受光素子の配列ピッチは、前記パターンの配列ピッチの1/4Nであり、
前記領域の4つの受光素子は、それぞれA相、B相、A−相及びB−相に対応する前記電気信号を出力する、
請求項1乃至12のいずれか一項に記載のエンコーダ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015176459A JP6629014B2 (ja) | 2015-09-08 | 2015-09-08 | エンコーダ |
US15/255,712 US10184810B2 (en) | 2015-09-08 | 2016-09-02 | Encoder having light-receiving unit that includes light-receiving element array |
EP16187555.4A EP3141873B1 (en) | 2015-09-08 | 2016-09-07 | Encoder |
CN201610811576.5A CN106500599B (zh) | 2015-09-08 | 2016-09-08 | 编码器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015176459A JP6629014B2 (ja) | 2015-09-08 | 2015-09-08 | エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017053672A JP2017053672A (ja) | 2017-03-16 |
JP6629014B2 true JP6629014B2 (ja) | 2020-01-15 |
Family
ID=56883690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015176459A Active JP6629014B2 (ja) | 2015-09-08 | 2015-09-08 | エンコーダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10184810B2 (ja) |
EP (1) | EP3141873B1 (ja) |
JP (1) | JP6629014B2 (ja) |
CN (1) | CN106500599B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017004705A1 (de) * | 2017-05-16 | 2018-11-22 | Ziehm Imaging Gmbh | Verfahren zum Erzeugen eines in der Zentralschicht vollständigen 3D-Datensatzes zur Volumenrekonstruktion und Röntgensystem mit einem Kegelstrahl-C-Bogen-Röntgengerät zur Durchführung des Verfahrens |
JP7252809B2 (ja) | 2019-03-28 | 2023-04-05 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダおよび光電式エンコーダにおける演算方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6142611A (ja) * | 1984-08-06 | 1986-03-01 | Canon Inc | 変調光学系 |
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EP1701138B1 (en) | 2005-03-11 | 2016-02-17 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder |
JP4766957B2 (ja) * | 2005-08-24 | 2011-09-07 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
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JP5454373B2 (ja) * | 2010-06-14 | 2014-03-26 | 株式会社ニコン | エンコーダ |
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JP5623313B2 (ja) * | 2011-03-10 | 2014-11-12 | キヤノン株式会社 | 撮像装置および撮像光学系 |
WO2014080957A1 (ja) | 2012-11-20 | 2014-05-30 | 株式会社ニコン | 露光装置、移動体装置、及びデバイス製造方法 |
JP2014112147A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Nikon Corp | 表示装置 |
JP6238590B2 (ja) * | 2013-06-19 | 2017-11-29 | キヤノン株式会社 | 波面計測方法、形状計測方法、光学素子の製造方法 |
JP2015004864A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社ニコン | 表示装置 |
-
2015
- 2015-09-08 JP JP2015176459A patent/JP6629014B2/ja active Active
-
2016
- 2016-09-02 US US15/255,712 patent/US10184810B2/en active Active
- 2016-09-07 EP EP16187555.4A patent/EP3141873B1/en active Active
- 2016-09-08 CN CN201610811576.5A patent/CN106500599B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106500599A (zh) | 2017-03-15 |
US10184810B2 (en) | 2019-01-22 |
JP2017053672A (ja) | 2017-03-16 |
US20170067758A1 (en) | 2017-03-09 |
EP3141873B1 (en) | 2018-07-25 |
CN106500599B (zh) | 2020-07-17 |
EP3141873A1 (en) | 2017-03-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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