JP6571389B2 - 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
基板は、ケイ素原子および酸素原子とは異なる第1原子をさらに含むことが好ましい。第1原子は、基板に含有されることによって基板の屈折率を二酸化ケイ素のみからなる基板の屈折率よりも大きくするものであることが好ましい。第1原子は、ランタン原子およびチタン原子のうちの少なくとも1つであることが好ましい。基板は、第1原子を1×1010cm-3以上1×1012cm-3以下含むことが好ましい。
[窒化物半導体発光素子の構造]
図1は、本発明の第1の実施形態の窒化物半導体発光素子の断面図である。本実施形態の窒化物半導体発光素子は、基板100と、基板100の上に設けられた下地層101と、下地層101の上に設けられた積層構造とを備える。基板100は、多結晶二酸化ケイ素またはアモルファス二酸化ケイ素を主成分として含む。下地層101は、c軸配向された結晶を含み、スパッタ法によって形成されたものである。または、下地層101は、c軸配向された結晶を含み、10原子%以下の希ガス原子を含む。積層構造は、窒化物半導体層(窒化物半導体単結晶からなる層)を少なくとも1つ有する。
(多結晶二酸化ケイ素またはアモルファス二酸化ケイ素)
基板100は、多結晶二酸化ケイ素またはアモルファス二酸化ケイ素を主成分として含む。そのため、基板100の製造コストを単結晶二酸化ケイ素基板の製造コストよりも低く抑えることができ、よって、基板100の製造コストを単結晶サファイア基板の製造コストよりも低く抑えることができる。したがって、本実施形態では、窒化物半導体層の成長用基板として単結晶サファイア基板を用いた場合に比べ、窒化物半導体層の成長用基板の製造コストを低減できるので、窒化物半導体発光素子の製造コストを低減できる。
基板100は、ケイ素(Si)原子および酸素(O)原子とは異なる第1原子をさらに含むことが好ましい。ここで、第1原子は、基板100に含有されることによって基板100の屈折率を二酸化ケイ素のみからなる基板の屈折率よりも大きくするものである。つまり、第1原子を基板100に添加することによって基板100の屈折率を高めることができる。よって、窒化物半導体発光素子からの光の取り出し効率をさらに高めることができる。ここで、「二酸化ケイ素のみからなる基板」とは、多結晶二酸化ケイ素またはアモルファス二酸化ケイ素からなる基板であって、Si原子およびO原子とは異なる原子をさらに含まない基板を意味する。
上述したように、下地層101はスパッタ法で形成されたものである。そのため、基板100を窒化物半導体層の成長用基板として使用した場合であっても、下地層101の上には結晶品質に優れた窒化物半導体層を成長させることができる。このような効果が得られる理由としては次に示すことが考えられる。
バッファ層102が下地層101と積層構造との間に設けられていることによって、積層構造に含まれる窒化物半導体層の結晶品質をさらに高めることができる。これにより、窒化物半導体発光素子の素子特性をさらに向上させることができる。よって、窒化物半導体層の成長用基板として単結晶サファイア基板を用いた場合に比べ、素子特性がさらに高められた窒化物半導体発光素子を低コストで提供できる。
(n型窒化物半導体層)
n型窒化物半導体層103を構成する窒化物半導体は、GaN、AlGaN、InGaNまたはInAlGaNであることが好ましく、これらの少なくとも2つからなる混晶であっても良い。窒化物半導体発光素子に要求される発光波長に応じて、n型窒化物半導体層103を構成する窒化物半導体の組成が決定されることが好ましい。これにより、発光層106で生じた光がn型窒化物半導体層103で吸収されることを防止できる。よって、窒化物半導体発光素子からの光の取り出し量を確保できるので、窒化物半導体発光素子からの光の取り出し効率を高く維持できる。
発光層106は、井戸層105が障壁層104で挟まれて構成されたものであることが好ましい。窒化物半導体発光素子に要求される発光波長または素子特性などに応じて、障壁層104を構成する窒化物半導体の組成、障壁層104の厚さ、井戸層105を構成する窒化物半導体の組成、または、井戸層105の厚さが決定されることが好ましい。また、障壁層104の厚さ、および、井戸層105の厚さに関しては、発光層106での量子準位の形成をさらに考慮して決定されることが好ましい。
キャリアバリア層107とは、発光層106に注入された電子がp型窒化物半導体層108側へオーバーフローすることを防止する機能を有する層を意味する。そのため、キャリアバリア層107を構成する窒化物半導体のAl組成は、障壁層104および井戸層105のそれぞれを構成する窒化物半導体のAl組成よりも高いことが好ましい。また、キャリアバリア層107は、上記機能を発揮できる厚さの最小値以上の厚さを有することが好ましい。
p型窒化物半導体層108を構成する窒化物半導体については、n型窒化物半導体層103を構成する窒化物半導体と同様のことが言える。例えば、p型窒化物半導体層108を構成する窒化物半導体がAly1Ga1-y1N(0.7≦y1≦1)であれば、発光層106で生じた光(例えば深紫外線)がp型窒化物半導体層108で吸収されることを防止できる。また、p型窒化物半導体層108を構成する窒化物半導体がAly2Ga1-y2N(0.5≦y2≦1)であれば、発光層106で生じた光(例えば紫外線)がp型窒化物半導体層108で吸収されることを防止できる。また、p型窒化物半導体層108を構成する窒化物半導体がIny3Ga1-y3N(0≦y3≦0.05)であれば、発光層106で生じた光(例えば可視光)がp型窒化物半導体層108で吸収されることを防止できる。
n側電極110の材料としては、n型窒化物半導体層に対するコンタクト電極の材料として一般的な材料を特に限定されることなく使用でき、例えば、Ni/Auを使用できる。p側電極111の材料としては、p型窒化物半導体層に対するコンタクト電極の材料として一般的な材料を特に限定されることなく使用でき、例えば、Pd/Auを使用できる。
以下に示す窒化物半導体発光素子の製造方法では、窒化物半導体発光素子形成用ウエハ(以下では単に「ウエハ」と記す)をチップに分割することによって本実施形態の窒化物半導体発光素子を得ている。以下では、ウエハの構成要素には窒化物半導体発光素子の対応する構成要素の符号を付して、窒化物半導体発光素子の製造方法を説明する。なお、ウエハの構成要素の材料および厚さなどについては、上記[窒化物半導体発光素子の構造]で説明した通りである。
下地層101の形成工程では、基板100の上に、c軸配向された結晶を含む下地層101をスパッタ法によって形成する。
バッファ層102の形成工程では、下地層101の上にバッファ層102を例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法によって形成する。これにより、バッファ層102の量産に資するので、窒化物半導体発光素子の量産に資する。
積層構造の形成工程では、バッファ層102の上に、n型窒化物半導体層103、発光層106、キャリアバリア層107およびp型窒化物半導体層108を順に形成する。MOCVD法によって積層構造を形成することが好ましい。このとき、バッファ層102を形成するために使用したMOCVD装置を用いて積層構造を形成しても良いし、バッファ層102を形成するために使用したMOCVD装置とは異なるMOCVD装置を用いて積層構造を形成しても良い。このようにしてウエハが作製される。
n側電極110およびp側電極111の形成工程では、n型窒化物半導体層103の露出面にn側電極110を形成し、p型窒化物半導体層108の上面にp側電極111を形成する。
例えばダイシングまたはレーザスクライブなどによってウエハをチップに分割する。このようにして窒化物半導体発光素子が製造される。好ましくは、製造された窒化物半導体発光素子をステムに実装し、窒化物半導体発光素子とステムとを電気的に接続した後、樹脂などによって窒化物半導体発光素子を封止する。
図2は、本発明の第2の実施形態の窒化物半導体発光素子の断面図である。本実施形態の窒化物半導体発光素子は、上記第1の実施形態の基板100の代わりに、上面に凹凸210が形成された基板200を備えている。以下では、上記第1の実施形態とは異なる点を主に説明する。
図3は、本発明の第3の実施形態の窒化物半導体発光素子の製造工程の一工程を示す断面図である。図4は、本実施形態の窒化物半導体発光素子の断面図である。本実施形態では、積層構造を形成した後に基板100を除去する。そのため、製造された窒化物半導体発光素子は基板100を備えていない(図4)。以下では、上記第1の実施形態とは異なる点を主に説明する。
<積層構造およびp側電極の形成>
まず、上記第1の実施形態に記載の方法にしたがってウエハを形成した後、p型不純物を活性化させる。積層構造などをエッチングすることなく、上記第1の実施形態に記載の方法にしたがってp型窒化物半導体層108の上面にp側電極311を形成する。その後、p側電極311の上面に支持基体312を接着する。このようにして図3に示す積層体が形成される。
次に、図3に示す積層体をフッ化水素酸を含むエッチャントに浸漬させる。これにより、基板100が選択的に除去される。基板100の大きさに応じて、図3に示す積層体を上記エッチャントへ浸漬させる時間を変更することが好ましい。
続いて、基板100が除去されることにより露出した下地層101の表面(「積層構造とは反対側に位置する下地層101の表面」とも言える。以下では、「下地層の露出面」と記す)101Aにn側電極310を形成する。このとき、n側電極310を下地層101の露出面101Aにストライプ状に形成することが好ましく、より好ましくはn側電極310を下地層101の露出面101Aにマトリックス状に形成する。このようにして、本実施形態の窒化物半導体発光素子が製造される(図4)。
このようにして製造された窒化物半導体発光素子では、図4に示すように、下地層101とバッファ層102とn型窒化物半導体層103と発光層106とキャリアバリア層107とp型窒化物半導体層108とがこの順に設けられている。n側電極310は、下地層101の露出面101Aにおいてストライプ状またはマトリックス状に設けられており、p側電極311は、p型窒化物半導体層108の下面に設けられている。
図1または図2に示す窒化物半導体発光素子は、多結晶二酸化ケイ素またはアモルファス二酸化ケイ素を主成分として含む基板100,200と、基板100,200の上に設けられた下地層101と、下地層101の上に設けられ、窒化物半導体単結晶からなる層を少なくとも1つ有する積層構造とを備える。下地層101は、c軸配向された結晶を含み、スパッタ法によって形成されたものである。これにより、窒化物半導体層の成長用基板として単結晶サファイア基板を用いた場合に比べ、素子特性が現状維持または現状よりも高められた窒化物半導体発光素子を低コストで提供できる。
[実施例1]
実施例1では、第1の実施形態に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。まず、窒化物半導体層の成長用基板として、多結晶二酸化ケイ素からなる基板(直径:約4インチ(100mm)、厚さ:900μm)を準備した。この基板を、アセトンおよびイソプロピルアルコール(有機溶媒)で洗浄した後、純水で洗浄した。
MOCVD法によって下地層を形成したことを除いては実施例1に記載の方法にしたがって、本比較例の窒化物半導体発光素子を製造した。
実施例2では、第2の実施形態に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。まず、実施例1で準備された基板の上面(基板の表面のうち下地層が形成される面)に、サンドブラストによって凹凸を形成した。段差計を用いて凹部の深さ(または凸部の高さ)を測定したところ、その平均値は500nm程度であった。その後は、実施例1に記載の方法にしたがって本実施例の窒化物半導体発光素子を製造した。
実施例3では、第3の実施形態に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。まず、実施例1で記載の方法にしたがって、基板の上面に、下地層、バッファ層、n型Al0.7Ga0.3N層、発光層、キャリアバリア層、p型AlGaN層およびp+型AlGaN層を順に形成した後、熱処理を行った。熱処理後の積層体をエッチングすることなく、実施例1で記載の方法にしたがってp側電極を形成した。
実施例4では、La原子を5×1011cm-3含む基板を用いたことを除いては実施例1に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。
実施例5では、実施例2に記載の方法で実施例4の基板の上面に凹凸を形成したことを除いては実施例1に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。
実施例6では、多結晶BNからなるターゲットを用いて下地層を形成したことを除いては実施例1に記載の方法にしたがって、窒化物半導体発光素子を製造した。実施例1に記載の方法にしたがって本実施例の窒化物半導体発光素子の素子特性を評価したところ、内部量子効率および光の取り出し効率共に実施例1と同様の結果が得られた。
実施例7では、多結晶AlNからなるターゲットであって酸素原子を10原子%含むターゲットを用いて下地層を形成したことを除いては実施例1に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。実施例1に記載の方法にしたがって本実施例の窒化物半導体発光素子の素子特性を評価したところ、内部量子効率および光の取り出し効率共に実施例1と同様の結果が得られた。
比較例2では、多結晶AlNからなるターゲットであって酸素原子を15原子%含むターゲットを用いて下地層を形成したことを除いては実施例7に記載の方法にしたがって窒化物半導体発光素子を製造した。
Claims (16)
- 多結晶二酸化ケイ素またはアモルファス二酸化ケイ素を主成分として含む基板と、
前記基板の上に設けられた下地層と、
前記下地層の上に設けられ、窒化物半導体単結晶からなる層を少なくとも1つ有する積層構造とを備え、
前記下地層は、イオン性結合を有する材料からなり、かつc軸配向された結晶を含み、
前記下地層は、前記c軸配向された結晶とは別に、10原子%以下の酸素原子をさらに含み、
前記下地層の厚さは、500nm以上2000nm以下である、窒化物半導体発光素子。 - 多結晶二酸化ケイ素またはアモルファス二酸化ケイ素を主成分として含む基板と、
前記基板の上に設けられた下地層と、
前記下地層の上に設けられ、窒化物半導体単結晶からなる層を少なくとも1つ有する積層構造とを備え、
前記下地層は、c軸配向された結晶を含み、10原子%以下の希ガス原子を含み、
前記下地層は、前記c軸配向された結晶とは別に、10原子%以下の酸素原子をさらに含み、
前記下地層の厚さは、500nm以上2000nm以下である、窒化物半導体発光素子。 - 前記下地層は、前記c軸配向された結晶として、c軸配向されたAlN結晶、c軸配向されたBN結晶およびc軸配向されたGa2O3結晶のうちの少なくとも1つを含む請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記下地層側に位置する前記基板の表面には凹凸が形成されている請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記基板は、ケイ素原子および酸素原子とは異なる第1原子をさらに含み、
前記第1原子は、前記基板に含有されることによって前記基板の屈折率を二酸化ケイ素のみからなる基板の屈折率よりも大きくするものである請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。 - 前記第1原子は、ランタン原子およびチタン原子のうちの少なくとも1つである請求項5に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記基板は、前記第1原子を1×1010cm-3以上1×1012cm-3以下含む請求項5または6に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記積層構造の上にはp側電極が設けられており、
前記下地層の下には前記基板に代えてn側電極が設けられている請求項1〜7のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。 - 多結晶二酸化ケイ素またはアモルファス二酸化ケイ素を主成分として含む基板の上に、c軸配向された結晶を含む下地層をスパッタ法によって形成する工程と、
前記下地層の上に、窒化物半導体単結晶からなる層を少なくとも1つ有する積層構造を形成する工程とを備え、
前記下地層は、前記c軸配向された結晶とは別に、10原子%以下の酸素原子をさらに含み、
前記下地層の厚さは、500nm以上2000nm以下である、窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記下地層側に位置する前記基板の表面に凹凸を形成する工程をさらに備える請求項9に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- サンドブラストによって前記凹凸を形成する請求項10に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- フッ化水素酸を含むエッチャントを用いたウエットエッチングによって前記凹凸を形成する請求項10に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記窒化物半導体単結晶からなる層を少なくとも1つ形成した後に前記基板を除去する工程と、
前記積層構造の上にp側電極を形成する工程と、
前記基板が除去されることにより露出した前記下地層の表面にn側電極を形成する工程とをさらに備える請求項9〜12のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記基板は、ケイ素原子および酸素原子とは異なる第1原子をさらに含み、
前記第1原子は、前記基板に含有されることによって前記基板の屈折率を二酸化ケイ素のみからなる基板の屈折率よりも大きくするものである請求項9〜13のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1原子は、ランタン原子およびチタン原子のうちの少なくとも1つである請求項14に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記基板は、前記第1原子を1×1010cm-3以上1×1012cm-3以下含む請求項14または15に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
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