JP6503028B2 - 平衡化mems型慣性角度センサ及びそのようなセンサを平衡化するための方法 - Google Patents
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Description
共振器を共振状態に保つために消費する必要のあるエネルギー量を決定する共振器の時定数τ(機械的過大張力Qをπと周波数fで割ったもの、つまりτ=Q/(π・f))と、
一方では、センサからのエネルギーの外への損失を制限するように、他方では、作動周波数でのセンサの振動環境を通しての共振器の振動の擾乱を制限するようにするための共振器の動的平衡化により決まる。
比較的高い過大張力を得るための材料としてのシリコンの使用と、
少なくとも2つの質量部であって、逆相で動いて一次平衡化を提供するように対称に搭載された2つの質量部の存在により顕在化される。
付随する図面を参照する。
m1:=m・(1+δm):m2:=m・(1−δm)
k1:=k・(1+δk):k2:=k・(1−δk)
m0:=β・m:k0:=α・k
k:=ω2・m
不平衡=2mαδω
負荷=2kαδω
質量部間の周波数における異方性を測定する。測定ステップは、製造欠陥に起因するセンサの不平衡のためフレームにより支持体に加えられる負荷を測定することにより行われる。
質量部間の周波数における異方性を補正する。
Claims (9)
- 2つの質量部(2)の支持体(1)であって、前記質量部は前記支持体に対して可動に搭載されている支持体と、前記質量部の振動を生成且つ検出するようにそれぞれが設計されている少なくとも1つの静電アクチュエータ(3)及び少なくとも1つの静電検出器(4)と、を備えるMEMS型振動慣性角度センサにおいて、第1の懸架手段により前記支持体に接続されているフレーム(6)を備え、各質量部は、第2の懸架手段により前記フレームに直接接続されており、前記質量部及び前記フレームは、前記支持体に対して3だけの自由度を有し、前記自由度は、前記センサの質量部の懸架平面を画定する面にあり、前記質量部(2)は、前記フレーム(6)の何れかの側で同心状に搭載され、前記質量部の質量は、同一であり、前記質量部を懸架する手段は、同一の剛性を有することを特徴とするセンサ。
- 少なくとも1つの静電バネ(8)が、前記質量部の懸架平面を画定する2軸のそれぞれに対して、前記フレームと前記質量部の少なくとも1つの間に搭載され、前記静電バネ(8)は、4つあり、それぞれが前記フレーム(6)と前記質量部(2)のそれぞれの間に搭載されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 少なくとも1つの不平衡影響検出器が前記フレームと前記支持体の間に搭載され、少なくとも1つの静電バネ(8)が前記フレームと前記質量部の1つの間に置かれ、前記不平衡影響検出器の測定信号の関数として前記センサの動的平衡化を確実にするように従属装置として作動することを特徴とする請求項1又は2に記載のセンサ。
- 前記静電アクチュエータと前記静電検出器はそれぞれ、前記質量部の1つと前記フレームの間に搭載されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 請求項3に記載のセンサを平衡化するための方法であって、製造欠陥による前記質量部(2)間の周波数における異方性を測定するステップと補正するステップと、を含み、前記測定するステップは、前記異方性に起因する前記センサの不平衡により生成される影響を測定することにより行われ、前記補正するステップは、この影響を減少するように、前記静電バネ(8)のコントロールを従属装置として作動させることにより行われる方法。
- 前記測定された不平衡の前記影響は、前記フレーム(6)により前記支持体(1)に加えられる負荷であることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記測定された不平衡の前記影響は、前記支持体(1)に対する前記フレーム(6)の加速度であることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記測定された不平衡の前記影響は、前記支持体(1)に対する前記フレーム(6)の速度であることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記測定された不平衡の前記影響は、前記支持体(1)に対する前記フレーム(6)の変位であることを特徴とする請求項5に記載の方法。
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