JP6278604B2 - バイアス補正機能を備えた振動型ジャイロ - Google Patents
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Description
Fy=2ΩzMVx (1)
4、6 駆動質量体
12 中央連結ばね
14 検出質量体
22、52 駆動用櫛歯固定電極
26、56 駆動モニタ用櫛歯固定電極
32、34 検出モニタ用櫛歯固定電極
36 周波数調整用櫛歯固定電極
40a、40b、70a、70b 補正用櫛歯固定電極
50 駆動系制御回路
54、58 CV変換器
60 位相検波部
64 ローパスフィルタ
68 補正信号調整部
72 周波数調整部
74 メモリ
76 デジタル制御回路
78、80 補助固定電極
82 温度センサ
Claims (2)
- 第2の支持梁により支持基板に固定され、角速度により発生するコリオリ力よって平面に直交する軸線回りに回転励振されるように構成された検出質量体と、
前記平面内の一方向に駆動振動できるように、前記検出質量体の内側に第1の支持梁によって懸垂支持された左右の駆動質量体と、を備えた振動型ジャイロであって、
前記左右の駆動質量体は、互いに逆相で振動する逆相振動モードを有するように、前記駆動振動の方向に弾性を有する連結ばねによって互いに連結され、
前記検出質量体は、前記左右の駆動質量体の駆動振動によっては前記駆動振動の方向に励振されないように構成され、
前記左右の駆動質量体の駆動振動により前記検出質量体に作用する回転トルクを打ち消すために、印加されたDC電圧によって静電力を前記駆動質量体に作用させるように構成された複数のクワドラチャー補正用櫛歯電極を、前記検出質量体に隣接させて設け、
前記複数のクワドラチャー補正用櫛歯電極は、前記左右の駆動質量体の各々の内側において、前記平面内でかつ前記一方向に垂直な方向について並んで配置され、
前記クワドラチャー補正用櫛歯電極は、前記左右の駆動質量体の駆動振動の方向について互いに反対方向に延びる対の櫛歯を備え、前記左右の駆動質量体は、前記クワドラチャー補正用櫛歯電極の対の櫛歯にそれぞれ対向するように構成された櫛歯構造を有し、
前記検出質量体の検出系共振周波数を調整するために、印加されたDC電圧によって静電力を前記検出質量体に作用させるように構成された周波数調整用櫛歯固定電極を設けた、振動型ジャイロ。 - 前記振動型ジャイロの直交バイアス値に基づいて、クワドラチャーエラーを抑制するフィードバック制御を行う補正信号調整部と、
前記振動型ジャイロの駆動系共振周波数と検出系共振周波数との差を最小化するために、前記周波数調整用櫛歯固定電極に印加するDC電圧に関するデータを、前記振動型ジャイロの使用温度と関連付けて格納するメモリと、
前記振動型ジャイロの温度を測定する温度センサと、
前記温度センサの測定値と前記メモリに格納されたデータとに基づいて、前記周波数調整用櫛歯固定電極に印加するDC制御電圧を調整するための周波数調整部と、を有する、請求項1に記載の振動型ジャイロ。
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