JP6500522B2 - 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 - Google Patents
回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6500522B2 JP6500522B2 JP2015051697A JP2015051697A JP6500522B2 JP 6500522 B2 JP6500522 B2 JP 6500522B2 JP 2015051697 A JP2015051697 A JP 2015051697A JP 2015051697 A JP2015051697 A JP 2015051697A JP 6500522 B2 JP6500522 B2 JP 6500522B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- signal
- detection
- input
- circuit device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2829—Testing of circuits in sensor or actuator systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
- G01C19/5614—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5649—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/08—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for safeguarding the apparatus, e.g. against abnormal operation, against breakdown
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
- H03F3/45—Differential amplifiers
- H03F3/45071—Differential amplifiers with semiconductor devices only
- H03F3/45076—Differential amplifiers with semiconductor devices only characterised by the way of implementation of the active amplifying circuit in the differential amplifier
- H03F3/45475—Differential amplifiers with semiconductor devices only characterised by the way of implementation of the active amplifying circuit in the differential amplifier using IC blocks as the active amplifying circuit
Description
図1に本実施形態の回路装置の基本的な構成例を示す。本実施形態の回路装置は、検出回路60と診断回路150を含む。
図8に、本実施形態の回路装置20、この回路装置20を含むジャイロセンサー510(広義には物理量検出装置)、このジャイロセンサー510を含む電子機器500の詳細な構成例を示す。
図10に検出回路60の更に詳細な構成例を示す。なお、検出回路60は図10の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
QC2=VCM+(GC/2)×(QB1−QB2)
QC1−QC2=−GC×(QB1−QB2)
即ち、差動増幅回路70は、差動成分(QB1−QB2)がゲインGC倍され、且つ、アナログコモン電圧VCMを基準に極性が反転した差動の信号QC1、QC2を出力する。なお、通常タイプの差動入力・差動出力の全差動型アンプにより、差動増幅回路70を構成してもよい。
QD1=VA+(GD/2)×(QC1−QC2)
QD2=VA−(GD/2)×(QC1−QC2)
QD1−QD2=GD×(QC1−QC2)
ここで、VAはノードND5の電圧である。VAは、信号QD1、QD2の電圧を、抵抗素子RD1及びRD2と、抵抗素子RD3及びRD4とで、電圧分割した電圧であり、信号QD1、QD2の電圧の中点電圧となる。このため、VA=(QD1+QD2)/2の関係が成り立つ。そして信号QC1、QC2が、アナログコモン電圧VCMを基準(中心電圧)とした差動信号であり、VCM=(QC1+QC2)/2の関係が成り立つ場合には、VA=VCMの関係が成り立つ。
図12(A)に本実施形態の回路装置20を含む移動体の例を示す。本実施形態の回路装置20は、例えば、車、飛行機、バイク、自転車、或いは船舶等の種々の移動体に組み込むことができる。移動体は、例えばエンジンやモーター等の駆動機構、ハンドルや舵等の操舵機構、各種の電子機器を備えて、地上や空や海上を移動する機器・装置である。図12(A)は移動体の具体例としての自動車206を概略的に示している。自動車206には、振動片10と回路装置20を有するジャイロセンサー510(センサー)が組み込まれている。ジャイロセンサー510は車体207の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー510の検出信号は車体姿勢制御装置208に供給される。車体姿勢制御装置208は例えば車体207の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御したり個々の車輪209のブレーキを制御したりすることができる。その他、こういった姿勢制御は二足歩行ロボットや航空機、ヘリコプター等の各種の移動体において利用されることができる。姿勢制御の実現にあたってジャイロセンサー510は組み込まれることができる。
1 基部、2、3 連結腕、4、5、6、7 駆動腕、8、9 検出腕、
10 振動片、18 物理量トランスデューサー、
20 回路装置、30、駆動回路、32 増幅回路(I/V変換回路)、
40 ゲイン制御回路、50 駆動信号出力回路、52 同期信号出力回路、
60 検出回路、61 増幅回路、62、64 Q/V変換回路、
70 差動増幅回路、76 ゲイン調整アンプ、
81 同期検波回路、82、84 スイッチングミキサー、
90 フィルター部、100 A/D変換回路、110 DSP部、
140 制御部、142 レジスター部、150 診断回路、
206 移動体(自動車)、207 車体、208 車体姿勢制御装置、209 車輪、500 電子機器、510 ジャイロセンサー、520 処理部、530 メモリー、
540 操作部、550 表示部
Claims (15)
- 差動信号を構成する第1及び第2の検出信号が物理量トランスデューサーから入力される検出回路と、
前記検出回路の診断回路と、
を含み、
前記検出回路は、
前記第1の検出信号が入力される第1の電荷/電圧変換回路と、
前記第2の検出信号が入力される第2の電荷/電圧変換回路と、
を含み、
前記診断回路は、
前記第1の検出信号が入力される前記第1の電荷/電圧変換回路の第1の入力ノードと第1のノードとの間に設けられる第1のキャパシターと、
前記第2の検出信号が入力される前記第2の電荷/電圧変換回路の第2の入力ノードと前記第1のノードとの間に設けられ、前記第1のキャパシターとは容量値が異なる第2のキャパシターと、
を含み、
診断モード時に、前記第1のノードに診断用信号が入力されることを特徴とする回路装置。 - 請求項1に記載の回路装置において、
前記第1の検出信号が入力される第1の端子と、
前記第2の検出信号が入力される第2の端子と、
を含み、
前記診断回路は、
前記第1のキャパシターの一端と前記第1の入力ノードとの間に設けられる第1のスイッチ素子と、
前記第2のキャパシターの一端と前記第2の入力ノードとの間に設けられる第2のスイッチ素子と、
前記第1の端子と前記第1の入力ノードとの間に設けられる第3のスイッチ素子と、
前記第2の端子と前記第2の入力ノードとの間に設けられる第4のスイッチ素子と、
を含むことを特徴とする回路装置。 - 請求項2に記載の回路装置において、
前記診断モード時には、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子がオンになり、前記第3のスイッチ素子及び前記第4のスイッチ素子がオフになることを特徴とする回路装置。 - 請求項3に記載の回路装置において、
前記検出回路が検出動作を行う通常動作期間においては、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子がオフになり、前記第3のスイッチ素子及び前記第4のスイッチ素子がオンになることを特徴とする回路装置。 - 請求項2乃至4のいずれか一項に記載の回路装置において、
電源投入後、前記検出回路が検出動作を行う通常動作期間の前において、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子がオンになることを特徴とする回路装置。 - 請求項1に記載の回路装置において、
スイッチ素子をオン又はオフにする制御を行う制御部を含み、
前記診断回路は、
前記第1のキャパシターの一端と前記第1の入力ノードとの間に設けられる第1のスイッチ素子と、
前記第2のキャパシターの一端と前記第2の入力ノードとの間に設けられる第2のスイッチ素子と、
を含み、
前記制御部は、
電源投入後、前記検出回路が検出動作を行う通常動作期間の前において、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子をオンにすることを特徴とする回路装置。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の回路装置において、
前記物理量トランスデューサーを駆動する駆動回路を含み、
前記診断用信号として、前記駆動回路からの信号に基づく信号が前記第1のノードに入力されることを特徴とする回路装置。 - 請求項7に記載の回路装置において、
前記診断用信号として、前記駆動回路からの信号の電圧レベルを変換した信号が前記第1のノードに入力されることを特徴とする回路装置。 - 請求項7又は8に記載の回路装置において、
前記検出回路は、
前記駆動回路からの同期信号に基づいて同期検波を行う同期検波回路を含み、
前記診断用信号は、前記同期信号と位相が同じ信号であることを特徴とする回路装置。 - 請求項7乃至9のいずれか一項に記載の回路装置において、
前記検出回路は、
前記第1の電荷/電圧変換回路及び前記第2の電荷/電圧変換回路の後段側に設けられ、前記第1の電荷/電圧変換回路及び前記第2の電荷/電圧変換回路から出力される信号の差動増幅を行う差動増幅回路を含むことを特徴とする回路装置。 - 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の回路装置において、
前記診断モードにおける前記検出回路での検出結果を出力することを特徴とする回路装置。 - 請求項11に記載の回路装置において、
前記検出結果を出力するためのレジスター部を含み、
前記検出回路は、
前記検出回路での検出結果信号をA/D変換するA/D変換回路を含み、
前記レジスター部には、
前記診断モードでの前記検出結果信号をA/D変換することで得られた診断結果データが、前記検出結果として設定されることを特徴とする回路装置。 - 請求項1乃至12のいずれか一項に記載の回路装置と、
前記物理量トランスデューサーと、
を含むことを特徴とする物理量検出装置。 - 請求項1乃至12のいずれか一項に記載の回路装置を含むことを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至12のいずれか一項に記載の回路装置を含むことを特徴とする移動体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015051697A JP6500522B2 (ja) | 2015-03-16 | 2015-03-16 | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
US15/067,350 US10031176B2 (en) | 2015-03-16 | 2016-03-11 | Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object |
CN201610147663.5A CN105987689B (zh) | 2015-03-16 | 2016-03-15 | 电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015051697A JP6500522B2 (ja) | 2015-03-16 | 2015-03-16 | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016170136A JP2016170136A (ja) | 2016-09-23 |
JP2016170136A5 JP2016170136A5 (ja) | 2018-04-19 |
JP6500522B2 true JP6500522B2 (ja) | 2019-04-17 |
Family
ID=56924754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015051697A Active JP6500522B2 (ja) | 2015-03-16 | 2015-03-16 | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10031176B2 (ja) |
JP (1) | JP6500522B2 (ja) |
CN (1) | CN105987689B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106091910B (zh) * | 2016-05-26 | 2018-05-25 | 威海华菱光电股份有限公司 | 膜厚的检测装置 |
JP7009923B2 (ja) | 2017-10-31 | 2022-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量測定装置、電子機器及び移動体 |
JP7077617B2 (ja) * | 2017-12-28 | 2022-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、振動デバイス、電子機器及び移動体 |
JP6800352B1 (ja) * | 2019-07-24 | 2020-12-16 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | キャパシタ診断装置及びキャパシタ診断方法 |
JP2021071382A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器及び移動体 |
DE102019132356A1 (de) * | 2019-11-28 | 2021-06-02 | Tdk Electronics Ag | Zweikanaliger Detektor |
JP2021167739A (ja) * | 2020-04-09 | 2021-10-21 | ミネベアミツミ株式会社 | 集積回路 |
CN113281649B (zh) * | 2021-05-25 | 2023-01-24 | 醴陵市浦口华能电瓷电器制造有限公司 | 基于故障监测的驱动专用减速电机 |
CN113990252B (zh) * | 2021-11-01 | 2023-03-10 | 厦门天马显示科技有限公司 | 驱动电路及显示模组 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3282081A (en) * | 1964-07-30 | 1966-11-01 | Honeywell Inc | Gyroscope testing system |
US5506454A (en) * | 1991-03-20 | 1996-04-09 | Hitachi, Ltd. | System and method for diagnosing characteristics of acceleration sensor |
JPH0882525A (ja) * | 1994-09-12 | 1996-03-26 | Mitsubishi Electric Corp | 異常検知機能付き振動ジャイロ |
JP3125675B2 (ja) * | 1996-03-29 | 2001-01-22 | 三菱電機株式会社 | 容量型センサインターフェース回路 |
JP2002040047A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Denso Corp | 容量型物理量検出センサ |
US6879056B2 (en) * | 2000-12-29 | 2005-04-12 | Intel Corporation | Converting sensed signals |
JP2002213961A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 |
JP2002216961A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-08-02 | Seiko Epson Corp | 照明装置と液晶表示装置および電子機器と照明装置の製造方法 |
JP4207154B2 (ja) * | 2003-07-25 | 2009-01-14 | 株式会社デンソー | スティッキング検査機能を有する静電容量式センサ装置及び検査方法並びにエアバッグシステム |
JP2007178420A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-07-12 | Denso Corp | 容量式物理量センサおよびその診断方法 |
CN1932474A (zh) * | 2006-07-31 | 2007-03-21 | 成都理工大学 | 考古用同位素密度成像仪 |
JP2008122122A (ja) | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Seiko Epson Corp | 検出装置、ジャイロセンサ及び電子機器 |
JP4375579B2 (ja) * | 2007-02-08 | 2009-12-02 | 株式会社デンソー | 容量式物理量検出装置 |
JP2008216118A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Denso Corp | 力学量センサ |
JP4380732B2 (ja) * | 2007-06-04 | 2009-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 検出回路、振動型ジャイロセンサ回路、振動型ジャイロセンサおよび電子機器 |
JP2011139383A (ja) * | 2009-12-29 | 2011-07-14 | Seiko Epson Corp | 集積回路装置及び電子機器 |
WO2011129185A1 (ja) * | 2010-04-16 | 2011-10-20 | 株式会社村田製作所 | スイッチング制御回路及びスイッチング電源装置 |
JP2012044571A (ja) | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Seiko Epson Corp | 電荷電圧変換回路、検出装置及び電子機器 |
JP6194606B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-09-13 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサー、ジャイロセンサー、電子機器及び移動体 |
FR3005165B1 (fr) * | 2013-04-26 | 2015-04-24 | Sagem Defense Securite | Dispositif d'acquisition differentielle de courant et procede de commande d'un tel dispositif d'acquisition |
US9393202B2 (en) * | 2013-04-26 | 2016-07-19 | Chiesi Farmaceutici S.P.A | Particle size reduction of an antimuscarinic compound |
JP6338045B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2018-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置用回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
JP6303411B2 (ja) * | 2013-11-07 | 2018-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサー、電子機器及び移動体 |
JP6717071B2 (ja) * | 2016-06-15 | 2020-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | キャパシター回路、回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
-
2015
- 2015-03-16 JP JP2015051697A patent/JP6500522B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-11 US US15/067,350 patent/US10031176B2/en active Active
- 2016-03-15 CN CN201610147663.5A patent/CN105987689B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10031176B2 (en) | 2018-07-24 |
JP2016170136A (ja) | 2016-09-23 |
US20160274181A1 (en) | 2016-09-22 |
CN105987689A (zh) | 2016-10-05 |
CN105987689B (zh) | 2020-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6500522B2 (ja) | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
CN105987691B (zh) | 电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体 | |
CN106153027B (zh) | 电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体 | |
JP4449972B2 (ja) | 検出装置、センサ及び電子機器 | |
JP4211840B2 (ja) | 検出装置、センサ及び電子機器 | |
JP6641712B2 (ja) | 回路装置、電子機器及び移動体 | |
JP6972845B2 (ja) | 物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
JP6686282B2 (ja) | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
JP2015090353A (ja) | 検出装置、センサー、電子機器及び移動体 | |
JP5181449B2 (ja) | 検出装置、センサ及び電子機器 | |
JP2018165641A (ja) | 故障判定回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
JP7234655B2 (ja) | 物理量検出回路、物理量センサー、電子機器、移動体及び物理量検出回路の動作方法 | |
JP6488784B2 (ja) | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
JP6788962B2 (ja) | 診断回路、電子回路、電子機器および移動体 | |
JP5850121B2 (ja) | 物理量測定装置及び電子機器 | |
JP6201774B2 (ja) | 物理量検出回路、物理量検出装置、電子機器および移動体 | |
US10302672B2 (en) | Angular velocity detection circuit, angular velocity detection device, electronic apparatus, and moving object | |
JP2017050664A (ja) | アナログ基準電圧生成回路、回路装置、物理量センサー、電子機器及び移動体 | |
US20170067931A1 (en) | Physical quantity detection system, electronic apparatus, and moving object | |
US9987662B2 (en) | Drive circuit, vibrator device, electronic apparatus, and moving object | |
JP2019168317A (ja) | 回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
JP6620423B2 (ja) | 回路装置、電子機器及び移動体 | |
JP2019174368A (ja) | 回路装置、物理量測定装置、電子機器、移動体及び位相調整方法 | |
TWI592633B (zh) | 抗干擾的陀螺儀 | |
JP7322718B2 (ja) | 物理量検出回路、物理量センサー、電子機器、移動体及び物理量検出回路の動作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180312 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190304 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6500522 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |