JP4375579B2 - 容量式物理量検出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、加速度、角速度、圧力などの物理量を検出する容量式物理量検出装置に関する。
従来、加速度、角速度、圧力などの物理量を検出する容量式物理量センサとして、正確なセンサ出力がなされているか否かを診断する自己診断機能を備えたものが知られている(例えば特許文献1参照)。
このようなセンサは、C−V変換回路を構成する差動増幅器の一方の入力(例えば非反転入力端子)に、スイッチを介して、容量変化を検出するための基準電位と基準電位とは異なる自己診断用電位の、いずれかが入力されるように構成されている。そして、自己診断ではない通常動作時には基準電位と接続され、自己診断時にはスイッチが駆動されて自己診断用電位と接続される。
特開2002−40047号公報
ところで、このような自己診断機能を有するセンサを複数(同一構成のセンサを複数)動作させた場合、自己診断時の出力は同電位となる。したがって、短絡が生じても正常時のセンサ出力と変化しないため、正常な自己診断出力なのか短絡異常による出力なのかの区別がつかない。
本発明は上記問題点に鑑み、自己診断出力の短絡異常を判別可能な容量式物理量検出装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために請求項1に記載の発明は、物理量の変化に応じて変位する可動電極と該可動電極に対向配置された固定電極からなる検出部と、一方の入力が可動電極に接続され、他方の入力が、自己診断でない通常動作時には容量変化を検出するための基準電位に接続され、自己診断時には基準電位と異なる自己診断用電位に接続される差動増幅器を含み、可動電極と固定電極との間の容量変化に応じた電圧を出力するC−V変換回路と、C−V変換回路の出力電圧を信号処理して、物理量の変化に応じた信号とする信号処理回路と、を有する容量式物理量センサを複数備え、複数の容量式物理量センサにおいて、基準電位が互いに同電位であり、同一のタイミングで自己診断がなされる容量式物理量検出装置であって、複数の容量式物理量センサのうち、2つの容量式物理量センサにおける各差動増幅器は、自己診断用電位としての複数の電位にそれぞれ接続され、2つの差動増幅器において、自己診断用電位の電位が切り替わるタイミングが同一とされ、2つの差動増幅器が接続される自己診断用電位は、同一のタイミングにおいて、互いに異なることを特徴とする。
このように、それぞれの容量式物理量センサに対して、複数の自己診断電位が接続される構成とすると、2つの容量式物理量センサの自己診断出力の組合せが少なくとも2パターンできる。したがって、2パターン以上において、2つの容量式物理量センサの自己診断出力が等しい電位であれば、短絡異常であると判別することができる。また、複数のパターンのうち、1つのパターンでも2つの容量式物理量センサの自己診断出力が異なれば、短絡異常ではないと判別することもできる。
請求項に記載のように、2つの容量式物理量センサの各差動増幅器が、自己診断用電位として、基準電位よりも高い電位と基準電位よりも低い電位にそれぞれ接続され、一方の差動増幅器が基準電位よりも高い電位と接続されるタイミングでは、他方の差動増幅器が基準電位よりも低い電位と接続され、一方の差動増幅器が基準電位よりも低い電位と接続されるタイミングでは、他方の差動増幅器が基準電位よりも高い電位と接続される構成を採用することができる。このように、それぞれの容量式物理量センサにおける2つの自己診断用電位の電位差を大きくすると、短絡異常であるか否かを高精度に判別することが可能となる。
請求項に記載のように、2つの容量式物理量センサのうち、少なくとも検出部が異なる半導体基板にそれぞれ構成された構成としても良いし、請求項に記載のように、少なくとも検出部が同一の半導体基板に集積化された構成としても良い。
請求項1〜いずれか1項に記載の発明は、例えば請求項に記載のように、2つの容量式物理量センサとして、可動電極の変位方向が互いに直交するように配置された加速度センサを含む構成に好適である。なお、加速度センサ以外にも、角速度センサや圧力センサなどの容量式物理量センサに適用することができる。
なお、請求項1〜いずれか1項に記載の発明は、請求項に記載のように、車両に搭載される容量式物理量検出装置として好適である。特に請求項又は請求項に記載の構成は、例えば傾斜地などにおいても短絡異常であるか否かを判別することができるので、車両用として好適である。
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。なお、以下の実施形態においては、物理量としての加速度を検出する容量式加速度センサを例にとり、説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る容量式物理量検出装置の概略構成を示す平面図である。図2は、容量式物理量検出装置の回路構成の概略を示すブロック図である。図3は、自己診断時におけるセンサ出力を示す図である。図4は、容量式物理量検出装置を含む短絡異常を判定・報知するシステムの概略構成を示すブロック図である。
容量式物理量検出装置は、自己診断機能を有する複数の容量式物理量センサを含むものである。本実施形態においては、図1及び図2に示すように、X軸における加速度検出を行う加速度センサ100と、X軸と直交するY軸における加速度検出を行う加速度センサ200とを含む構成となっている。なお、加速度センサ100,200は、例えば図1に示すX軸が車両前後方向、Y軸が車両左右方向と一致するように車両に組み付けられ、容量式物理量検出装置は、車両の運転支援システム(例えばVSCなどの姿勢制御システム)の一部として適用される。
2つの加速度センサ100,200は、基本的に同一構成とされている。図2に示すように、加速度センサ100は、可動電極111,112及び固定電極113,114を備えた検出部110と、可動電極111,112と固定電極113,114による差動容量の変化に基づいて加速度を検出する検出回路120とを有している。また、加速度センサ200は、可動電極211,212及び固定電極213,214を備えた検出部210と、可動電極211,212と固定電極213,214による差動容量の変化に基づいて加速度を検出する検出回路220とを有している。このような容量式の加速度センサ100,200の構成及び動作は、例えば本出願人による特開2002−40047号公報や特開2006−292469号公報などに開示されているので参照されたい。なお、本実施形態においては、図1に示すように、各センサ100,200の検出部110,210が別チップ1、2で構成され、検出回路120,220が同一の回路チップ3に形成されている。そして、回路チップ3上に各チップ1,2が配置された状態で、図示されないパッケージ内に収容されている。
検出部110,210は梁構造体を有する構造となっており、この梁構造体によって可動電極111,112,211,212及び固定電極113,114,213,214が構成されている。そして、対向配置された可動電極111,112,211,212と固定電極113,114,213,214とによって差動の容量を構成し、各固定電極113,114,213,214に対して互いに反転する所定電圧Vddで構成される信号(搬送波)P1a、P2a、P1b、P2bを周期的に印加することで、可動電極111,112,211,212の変位に応じた差動容量変化に基づく加速度検出が行われるようになっている。
検出回路120,220は、C−V変換回路130,230、スイッチ回路140,240、信号処理回路150,250、及び制御信号発生回路160を含んでいる。
C−V変換回路130,230は、可動電極111,112,211,212と固定電極113,114,213,214からなる差動容量の変化を電圧に変換するもので、オペアンプ131,231、コンデンサ132,232、及びスイッチ133,233をそれぞれ有している。オペアンプ131,231の反転入力端子は可動電極111,112,211,212に接続されており、反転入力端子と出力端子との間には、コンデンサ132,232及びスイッチ133,233が並列に接続されている。スイッチ133は制御信号発生回路160からの信号S2aによって駆動され、スイッチ233は制御信号発生回路160からのS2bによって駆動されるようになっている。また、オペアンプ131,231の非反転入力端子には、スイッチ回路140,240を介して、所定電圧が入力されるようになっている。
スイッチ回路140,240は、C−V変換回路130,230におけるオペアンプ131,231の非反転入力端子に、図示しないそれぞれの電圧源からの電圧を入力するもので、スイッチ141,142とスイッチ241,242とからそれぞれ構成されている。これらのうち、スイッチ141,142は制御信号発生回路160からの信号S1aに基づいて駆動され、一方が閉じている時には他方が開くようになっている。また、スイッチ241,242は制御信号発生回路160からの信号S1bに基づいて駆動され、一方が閉じている時には他方が開くようになっている。スイッチ141,241は、制御信号発生回路160からの信号S1a,S1bに基づいて、自己診断でない通常動作時に閉状態、自己診断時に開状態とされ、閉状態で、オペアンプ131,231の非反転入力端子には上述した容量変化を検出するための基準電圧V1が入力される。このように、2つの加速度センサ100,200で、通常動作時(通常の加速度検出時)の基準電圧V1が同一とされている。なお、本実施形態においては、基準電圧V1が、固定電極113,114,213,214に印加された電圧Vddの半分の電圧(すなわち中点電圧Vdd/2)とされている。また、スイッチ142,242は、制御信号発生回路160からの信号S1a,S1bに基づいて、自己診断時に閉状態、自己診断でない通常動作時(通常の加速度検出時)に開状態とされ、閉状態で、オペアンプ131,231の非反転入力端子には基準電圧V1とは異なる自己診断用電圧V2,V3がそれぞれ入力される。自己診断用電圧V2,V3は互いに異なる電圧であり、本実施形態においては、加速度センサ100の自己診断用電圧V2がV1+VXとされ、加速度センサ200の自己診断用電圧V3がV1−VXとなっている。このように本実施形態に係る加速度センサ100,200は、自己診断用電圧V2,V3が互いに異なる電圧とされているが、それ以外の構成は同一となっている。
信号処理回路150,250は、LPF(ローパスフィルタ)回路151,251とGAIN回路152,252とを有している。LPF回路151,251は、C−V変換回路130,230の出力から高周波数成分を除去し、所定の周波数帯域の成分のみを取り出す役割を果たす。このLPF回路151,251には、サンプルホールド回路が含まれており、このサンプルホールド回路によってC−V変換回路130,230の出力電圧をサンプルホールドできるようになっている。また、GAIN回路152,252は、LPF回路151,251を通過した後の出力を増幅し、加速度信号OUT1、OUT2として出力する。
制御信号発生回路160は、固定電極113,114,213,214への電圧印加タイミングを示す信号(搬送波)P1a、P2a、P1b、P2b、スイッチ回路140,240のスイッチの切替えタイミングを示す信号S1a、S1b、スイッチ133,233の切替えタイミングS2a、S2bを出力する。この制御信号発生回路160が発生させる各種信号は、通常動作時と自己診断時とで変化する。すなわち、制御信号発生回路160はクロック信号CLKに基づいて各種信号を出力するが、自己診断指令信号がローレベルの場合には通常動作用の信号を出力し、自己診断指令信号がハイレベルになると自己診断用の信号を出力するようになっている。そして、2つの加速度センサ100,200において、同一のタイミングで加速度の検出がなされ、同一のタイミングで自己診断がなされるようになっている。
次に、このように構成される容量式物理量検出装置(加速度センサ100,200)の作動について、通常動作(加速度検出)時と、自己診断時とに分けて説明する。
通常動作時には、信号S1a、S1bが図3に示すようにローレベルとなり、信号S1a、S1bに基づいてスイッチ142,242がオフ、スイッチ141,241がオンされることで、オペアンプ131,231の非反転入力端子に基準電圧V1(Vdd/2)がそれぞれ印加され、可動電極111,112,211,212が基準電圧V1(Vdd/2)とされる。
制御信号発生回路160から出力される信号P1a、P2a及びP1b、P2bは互いに電圧レベルが反転した電圧Vdd相当の振幅を有する信号となっており、4つの期間t1〜t4でハイレベルとローレベルが変化する一定振幅の矩形波信号となっている。
まず、第1の期間t1では、信号P1a、P2a及びP1b、P2bに基づいて固定電極113,213の電位がVdd、固定電極114,214の電位が0にされると共に、制御信号発生回路160からの信号S2a,S2bによりスイッチ133,233が閉じられる。このため、オペアンプ131,231の働きにより可動電極111,112,211,212がV1の電位にバイアスされると共に、帰還容量となるコンデンサ132,232の電極間に蓄えられた電荷が放電される。このとき、仮に可動電極111、211と固定電極113、213との間の容量C1と、可動電極112、212と固定電極114、214との間の容量C2とが、C1>C2の関係となっている場合には、この関係と固定電極113,114,213,214に印加される電位の関係とから、可動電極111,112,211,212は負の電荷が多い状態になる。
次に、第2の期間t2では、信号P1a、P2a及びP1b、P2bに基づいて固定電極113,213の電位がVdd、固定電極114,214の電位が0のままにされると共に、制御信号発生回路160からの信号S2a,S2bによりスイッチ133,233が開かれる。このため、可動電極111,112,211,212の状態に応じた電荷がコンデンサ132,232に蓄えられる。そして、このときコンデンサ132,232に蓄えられた電荷に応じた電圧値がC−V変換回路130,230から出力されると、LPF回路151,251にC−V変換回路130,230の出力電圧が入力され、LPF回路151,251に含まれるサンプリング回路によってサンプリングされ、ホールドされる。
続いて、第3の期間t3では、信号P1a、P2a及びP1b、P2bに基づいて固定電極113,213の電位が0、固定電極114,214の電位がVddとなるように電位が入れ替えられると共に、制御信号発生回路160からの信号S2a,S2bによりスイッチ133,233が開かれたままにされる。このとき、可動電極111,112,211,212の電荷の状態は信号P1a、P2a及びP1b、P2bの反転により、第2の期間t2と逆になる。すなわち、上述したようにC1>C2の関係を満たす場合には、固定電極113,114,213,214への印加電位の反転により、可動電極111,112,211,212は正の電荷が多い状態になる。
しかしながら、このとき、可動電極111,112,211,212とコンデンサ132,232との間が閉回路となっており、第1の期間t1の電荷量が保存されているため、可動電極111,112,211,212の電荷量のバランスから溢れ出した電荷がコンデンサ132,232に移動して蓄えられる。そして、Q=CVの関係から、移動してきた電荷量に比例すると共にコンデンサ132,232の容量Cに反比例した電圧値がC−V変換回路130,230から出力される。
さらに、第4の期間t4、すなわち信号P1a、P2a及びP1b、P2bに基づいて固定電極113,213の電位が0、固定電極114,214の電位がVddにされたのちC−V変換回路130,230の出力が十分に安定すると、C−V変換回路130,230の出力電圧がLPF回路151,251に入力され、サンプリングされる。
そして、最終的に、第2の期間t2にサンプリングされた電圧値と第4の期間t4にサ
ンプリングされた電圧値とがサンプルホールド回路で差動演算され、これがGAIN回路152,252でさらに増幅されて、加速度信号OUT1,OUT2が出力される。これにより、サンプルホールド回路でのサンプリング時に発生するTrのスイッチングノイズの温度特性やオペアンプの1/fノイズ、オペアンプのオフセット電圧と温度特性などがキャンセルされた出力が得られ、この出力に基づいて可動電極111,112,211,212の変位に応じた加速度検出が行われる。
自己診断時にも、通常動作時と同様、制御信号発生回路160から出力される信号P1a、P2a及びP1b、P2bが固定電極113,114,213,214に印加される。そして、信号信号S1a、S1bが図3に示すようにハイレベルとなり、スイッチ142,242がオン、スイッチ141,241がオフされることで、オペアンプ131,231の非反転入力端子に基準電圧V1とは異なる自己診断用電圧V2,V3がそれぞれ印加され、可動電極111,112が自己診断用電圧V2、可動電極211,212が自己診断用電圧V3とされる。
このように、オペアンプ131,231の非反転入力端子に自己診断用電圧V2,V3がそれぞれ入力されることで、可動電極111,211と固定電極113,213との間の電位差よりも可動電極112,212と固定電極114,214との間の電位差の方が大きくなり、静電気力が増大するため、この静電気力によって可動電極111,112,211,212が強制的に中心点から移動させられる。
続いて、信号S1a、S1bに基づいてスイッチ回路140,240によるスイッチ切替えが行われ、通常動作時と同様に、オペアンプ131,231の非反転入力端子に基準電圧V1(中点電圧Vdd/2)が印加されるようにする。
この後、上記した通常動作時と同様の作動を行い、可動電極111,112,211,212の変位量に応じた加速度信号OUT1,OUT2を得る。このとき、上記静電気力による可動電極111,112,211,212の変位量はオペアンプ131,231の非反転入力端子に印加される電圧によって一義的に決まるため、可動電極111,112,211,212の変位量に応じた出力も一義的に決まり、得られた出力と一義的に決まっている自己診断量(出力)とを比較することによって自己診断が行われる。
ここで本実施形態においては、上述したように、加速度センサ100の自己診断用電圧をV2(V1+VX)とし、加速度センサ200の自己診断用電圧をV2とは異なるV3(V1−VX)としている。したがって、加速度センサ100の出力OUT1は、電圧V2+α(ゲイン増分)となる。また、加速度センサ200の出力OUT2は、電圧V3+β(ゲイン増分)となる。すなわち、図3に示すように、加速度センサ100と加速度センサ200とで出力電圧(自己診断出力)が異なっている。したがって、加速度センサ100と加速度センサ200との間で短絡が生じたとしても、短絡による電圧と加速度センサ100,200の出力電圧とが異なるものとなるので、短絡異常であることを判定することができる。
なお、短絡異常の判定の仕方としては種々考えられる。本実施形態においては、加速度センサ100,200の出力OUT1,OUT2が、図4に示すように演算や比較判定の機能を有する制御回路300に入力され、自己診断時においては、制御回路300において基準となる自己診断量との比較がそれぞれなされる。そして、出力OUT1,OUT2が自己診断量とそれぞれ一致すれば制御回路300は正常と判定し、自己診断量と一致しなければ異常であると判定する。短絡異常が生じれば、出力OUT1,OUT2が同電位となり、各出力OUT1,OUT2と対応する自己診断量が不一致となるので、上述の判定により、短絡異常の有無も判定される。
そして、正常判定の場合には、通常動作時の出力OUT1,OUT2を例えばVSCの制御回路に出力する。また、短絡異常を含む異常判定の場合には、異常を知らせる信号を、例えばナビ画面やインパネ表示部などの報知部310に出力する。さらには、通常動作時の出力OUT1,OUT2を例えばVSCの制御回路に出力しないようにする。本実施形態において、制御回路300は容量式物理量検出装置と別のECUとして構成されているが、容量式物理量検出装置の一部として備える構成としても良い。
このように本実施形態によれば、2つの加速度センサ100,200の自己診断用電圧V2,V3を互いに異なるものとしている。このため、自己診断時のそれぞれのセンサ出力を互いに異なる電位とすることが可能であり、通常動作時の基準電圧が互いに等しい電圧V1であり、同一のタイミングで自己診断がなされる構成でありながら、自己診断出力の短絡異常を判別することができる。
また、本実施形態においては、2つの加速度センサ100,200において、一方のセンサ100の自己診断用電圧V2(V1+VX)と基準電圧V1との差電圧(VX)と、他方のセンサ200の自己診断用電圧V3(V1−VX)と基準電圧V1との差電圧(VX)を等しくしている。このため、それぞれの自己診断用出力も、例えば加速度の作用しない通常動作時の出力に対して対称な関係となるので、制御回路300の構成を簡素化することができる。しかしながら、自己診断用電圧V2,V3は上記例に限定されるものではない。自己診断用電圧V2,V3は、基準電圧V1とは異なり、且つ、互いに異なるように設定されれば良いので、例えば自己診断用電圧V2,V3がともに基準電圧よりも高く(又は低く)、且つ、互いに異なるように設定されても良い。
なお、本実施形態においては、自己診断時の出力OUT1,OUT2を対応する自己診断量とそれぞれ比較することで、短絡異常の有無を判定する構成例を示した。しかしながら、出力OUT1,OUT2の一致・不一致で、短絡異常の有無を判定する構成としても良い。また、本実施形態においては、2つの加速度センサ100,200において、一方のセンサ100の自己診断用電圧V2を基準電圧V1よりも高くし、他方のセンサ200の自己診断用電圧V3を基準電圧V1よりも低くしている。このため、それぞれの自己診断出力は、例えば加速度の作用しない通常動作時の出力に対して出力OUT1は立ち上がり、出力OUT2は立ち下がる所謂逆相となる。したがって、制御回路300が自己診断時の出力OUT1,OUT2を微分処理し、その極性から短時間で短絡異常の有無を判定する構成としても良い。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態を、図5〜図7に基づいて説明する。図5は、第2実施形態の容量式物理量検出装置において、一方の加速度センサにおける、スイッチ回路周辺の概略構成を示す図である。図6は、容量式物理量検出装置において、他方の加速度センサにおける、スイッチ回路周辺の概略構成を示す図である。図7は、自己診断時におけるセンサ出力を示す図である。
第2実施形態に係る容量式物理量検出装置は、第1実施形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。なお、第1実施形態に示した要素と同一の要素には、同一の符号を付与するものとする。
第1実施形態においては、自己診断用電圧が1つの加速度センサ100,200について、1つずつ設定される例を示した。しかしながら、例えば、車両が斜面にいる状態で自己診断を実施した場合、可動電極111,112,211,212の変位に対して重力の影響も加算されるため、影響の度合いによっては、加速度センサ100,200の出力OUT1,OUT2が等しい電位となることも考えられる。このように、可動電極の変位に対して重力などの外乱の影響がある場合、影響の度合いによっては、2つの容量式物理量センサにおいて自己診断用電圧が互いに異なっていても、自己診断出力が等しい電位となることも考えられる。
そこで、本実施形態においては、C−V変換回路130,230におけるオペアンプ131,231の非反転入力端子に、自己診断時において、互いに異なる電圧が異なるタイミングで(切り替わって)それぞれ入力されるようにしている。換言すれば、自己診断時における出力OUT1,OUT2の波形パターンの組合せを複数としている。一例としては、図5に示すように、加速度センサ100のスイッチ回路140において、自己診断時にスイッチ142を介して入力される自己診断用電圧V2を、電圧源側において、自己診断と関連付けてあるタイミングで切り替えるようにしている。本実施形態においては、自己診断用電圧V2を、第1実施形態に示したV1+VXとV1−VXとで交互に切り替えている。また、図6に示すように、加速度センサ200のスイッチ回路240において、自己診断時にスイッチ242を介して入力される自己診断用電圧V3を、電圧源側において、自己診断と関連付けてあるタイミングで切り替えるようにしている。本実施形態においては、自己診断用電圧V3を、第1実施形態に示したV1−VXとV1+VXとで交互に切り替えている。なお、自己診断用電圧V2がV1+VXのときは自己診断用電圧V3がV1−VXとなり、自己診断用電圧V2がV1−VXのときは自己診断用電圧V3がV1+VXとなるように、同一のタイミングで自己診断用電圧V2,V3が切り替えられる。
この結果、図7に示すように、自己診断時における出力OUT1、OUT2は、自己診断用電圧V2がV1+VX、自己診断用電圧V3がV1−VXのパターンと、自己診断用電圧V2がV1−VX、自己診断用電圧V3がV1+VXのパターンとの、2つのパターンを示すこととなる。重力が作用しない状態における、一方のパターン側の出力OUT1、OUT2の差電圧と、他方のパターン側の出力OUT1、OUT2の差電圧とには差があるので、重力の影響によって、一方のパターン側の出力OUT1、OUT2が同電位となったとしても、他方のパターン側の出力OUT1、OUT2が同電位となることはない。
このように、本実施形態によれば、加速度センサ100,200の自己診断時の出力OUT1、OUT2の組合せが少なくとも2パターンできるので、2パターン以上において、加速度センサ100,200の自己診断時の出力OUT1、OUT2が等しければ、短絡異常であると判定することができる。また、複数のパターンのうち、1つのパターンでも加速度センサ100,200の自己診断時の出力OUT1、OUT2が異なれば、短絡異常ではないと判別することもできる。したがって、例えば傾斜地などにおいても短絡の有無を判定することが可能であり、車両用として好適である。なお、本実施形態においても、第1実施形態に示したように、制御回路300にて出力OUT1、OUT2が比較されて、短絡異常の有無が判定されるように構成されている。
また、本実施形態においては、オペアンプ131,231の非反転入力端子に、基準電圧V1よりも高い電圧(V1+VX)と低い電圧(V1−VX)が、それぞれ入力されるように構成されている。したがって、各加速度センサ100,200において、2つの自己診断用電圧の差が大きいので、短絡の有無を高精度に判別することができる。しかしながら、自己診断用電圧V2としての複数の電圧と、自己診断用電圧V3としての複数の電圧は上記例に限定されるものではない。複数の電圧は、基準電圧V1とは異なり、且つ、互いに異なるように設定されれば良いので、例えばともに基準電圧よりも高く(又は低く)設定されても良い。
なお、本実施形態においては、図7に示すように、自己診断用電圧V2,V3の切り替え(1パターン目と2パターン目との間)に間が設けられた例を示した。しかしながら、自己診断用電圧V2,V3の切り替えタイミングは特に限定されるものではない。所定の自己診断期間において、少なくとも2パターンの出力がなされれば良い。したがって、自己診断用電圧V2,V3が、それぞれ連続して切り替えられる構成としても良い。
また、本実施形態においては、電圧源側において、自己診断と関連付けて自己診断用電圧V2,V3がそれぞれ切り替えられる例を示した。しかしながら、例えば図8及び図9に示すように、電圧源及び対応するスイッチ141〜143、241〜243を増やしても良い。なお、図8においては、スイッチ回路140が、基準電圧V1に対応するスイッチ141、自己診断用電圧V21(V1+VX)に対応するスイッチ142、及び自己診断用電圧V21とは異なる電圧である自己診断用電圧V22(V1−VX)に対応するスイッチ143とを有している。また、図9においては、スイッチ回路240が、基準電圧V1に対応するスイッチ241、自己診断用電圧V31(V1−VX)に対応するスイッチ242、及び自己診断用電圧V21とは異なる電圧である自己診断用電圧V32(V1+VX)に対応するスイッチ243とを有している。そして、自己診断時において、スイッチ142,242が閉でスイッチ143,243が開の状態と、スイッチ143,243が閉でスイッチ142,242が開の状態とで切り替えられる構成となっている。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
本実施形態においては、容量式物理量センサとして加速度センサを例に挙げて説明したが、それ以外のセンサ、例えば圧力センサや角速度センサ(ヨーレートセンサ)にも本発明を適用することが可能である。
本実施形態においては、複数の容量式物理量センサとして、可動電極の変位方向が互いに直交するように配置された加速度センサ100,200を含む例を挙げたが、複数のセンサの個数は上記例に限定されるものではなく、3個以上のセンサを備える構成においても本発明を適用することができる。この場合、複数のセンサのうち、短絡有無を調べる任意の2個のセンサが上述した構成であれば良い。また、2つの加速度センサの配置も上記例に限定されるものではない。例えば、2つの加速度センサが同軸方向を検出するように配置された構成にも本発明を適用することができる。
本実施形態においては、加速度センサ100,200の検出部110,210が別のチップ1,2にそれぞれ構成される例を挙げて説明したが、1つのチップに少なくとも検出部110,210が集積化された構成も本発明を適用することができる。
本発明の第1実施形態に係る容量式物理量検出装置の概略構成を示す平面図である。 容量式物理量検出装置の回路構成の概略を示すブロック図である。 自己診断時におけるセンサ出力を示す図である。 容量式物理量検出装置を含む短絡異常を判定・報知するシステムの概略構成を示すブロック図である。 第2実施形態の容量式物理量検出装置において、一方の加速度センサにおける、スイッチ回路周辺の概略構成を示す図である。 容量式物理量検出装置において、他方の加速度センサにおける、スイッチ回路周辺の概略構成を示す図である。 自己診断時におけるセンサ出力を示す図である。 変形例を示す図である。 変形例を示す図である。
符号の説明
100,200・・・加速度センサ
110,210・・・検出部
111,112,211,212・・・可動電極
113,114,213,214・・・固定電極
130,230・・・C−V変換回路
131,231・・・オペアンプ
140,240・・・スイッチ回路
141〜143,241〜243・・・スイッチ
150,250・・・信号処理回路

Claims (6)

  1. 物理量の変化に応じて変位する可動電極と該可動電極に対向配置された固定電極からなる検出部と、
    一方の入力が前記可動電極に接続され、他方の入力が、自己診断でない通常動作時には容量変化を検出するための基準電位に接続され、自己診断時には前記基準電位と異なる自己診断用電位に接続される差動増幅器を含み、前記可動電極と前記固定電極との間の容量変化に応じた電圧を出力するC−V変換回路と、
    前記C−V変換回路の出力電圧を信号処理して、前記物理量の変化に応じた信号とする信号処理回路と、を有する容量式物理量センサを複数備え、
    複数の前記容量式物理量センサにおいて、前記基準電位が互いに同電位であり、同一のタイミングで自己診断がなされる容量式物理量検出装置であって、
    複数の前記容量式物理量センサのうち、2つの前記容量式物理量センサにおける各差動増幅器は、前記自己診断用電位としての複数の電位にそれぞれ接続され、
    2つの前記差動増幅器において、前記自己診断用電位の電位が切り替わるタイミングが同一とされ、
    2つの前記差動増幅器が接続される前記自己診断用電位は、同一のタイミングにおいて、互いに異なることを特徴とする容量式物理量検出装置。
  2. 2つの前記容量式物理量センサの各差動増幅器は、前記自己診断用電位として、前記基準電位よりも高い電位と前記基準電位よりも低い電位にそれぞれ接続され、
    一方の前記差動増幅器が前記基準電位よりも高い電位と接続されるタイミングでは、他方の前記差動増幅器が前記基準電位よりも低い電位と接続され、
    一方の前記差動増幅器が前記基準電位よりも低い電位と接続されるタイミングでは、他方の前記差動増幅器が前記基準電位よりも高い電位と接続されることを特徴とする請求項に記載の容量式物理量検出装置。
  3. 複数の前記容量式物理量センサは、少なくとも前記検出部が異なる半導体基板にそれぞれ構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の容量式物理量検出装置。
  4. 複数の前記容量式物理量センサは、少なくとも前記検出部が同一の半導体基板に集積化されていることを特徴とする請求項1または2に記載の容量式物理量検出装置。
  5. 2つの前記容量式物理量センサは、前記可動電極の変位方向が互いに直交するように配置された加速度センサであることを特徴とする請求項1〜いずれか1項に記載の容量式物理量検出装置。
  6. 車両に搭載されることを特徴とする請求項1〜いずれか1項に記載の容量式物理量検出装置。
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