JP6497535B2 - レジスト下層膜形成組成物用添加剤及び該添加剤を含むレジスト下層膜形成組成物 - Google Patents
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Description
は少なくとも1つの水素原子がフルオロ基で置換され、更に置換基として少なくとも1つのヒドロキシ基を有するか又は置換基としてヒドロキシ基を有さない炭素原子数1乃至12の直鎖状、分岐鎖状又は環状の有機基を表す。)
(式中、R1は前記式(1)、式(2)及び式(3)のR1の定義と同義であり、Xは直接結合又は−C(=O)O−R5−基を表し、該−C(=O)O−R5−基を構成するR5は炭素原子数1乃至3のアルキレン基を表し、該アルキレン基は硫黄原子と結合するものであり、R6は水素原子、メチル基、メトキシ基又はハロゲノ基を表す。)
(式中、R1、R5及びR6は前記式(4)のR1、R5及びR6の定義と同義である。)
(式中、R1及びR2は前記式(1)のR1及びR2の定義と同義であり、2つのR7はそれぞれ独立に水素原子、メチル基又はエチル基を表し、R8はメチル基を表し、bは0乃至3の整数を表し、R9は炭素原子数1乃至6の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキル基、又は炭素原子数1乃至6の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルコキシアルキル基を表し、R10は炭素原子数1乃至6の直鎖状又は分岐鎖状のアルコキシ基を表し、R11は水素原子、又は炭素原子数2乃至6の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルコキシカルボニル基を表す。)
(式中、Q1及びQ2はそれぞれ独立に、炭素原子数1乃至13の直鎖状もしくは分岐鎖状の炭化水素基を有する二価の有機基、脂環式炭化水素環を有する二価の有機基、芳香族炭化水素環を有する二価の有機基、又は窒素原子を1乃至3つ含む複素環を有する二価の有機基を表し、前記炭化水素基、前記脂環式炭化水素環、前記芳香族炭化水素環及び前記複素環は置換基を少なくとも1つ有してもよい。)
本発明の第1の態様に係るレジスト下層膜形成組成物用添加剤に使用される共重合体は、前記式(1)乃至式(3)で表される構造単位を有する共重合体、前記式(1)乃至式(3)で表される構造単位に加えて前記式(4)で表される構造単位をさらに有する共重合体、又は前記共重合体において前記式(2)で表される構造単位に替えて前記式(5)で表される構造単位を有する共重合体である。
本発明の第2の態様に係るリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物は、前記共重合体とは異なる、前記式(6)で表される構造単位及び前記式(7)で表される構造単位を有する樹脂を含む。当該樹脂は、ポリマー鎖の末端に下記式(8)で表される構造をさらに有してもよい。
(式中、R13、R14及びR15はそれぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1乃至13の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキル基、ハロゲノ基又はヒドロキシ基を表し、前記R13、R14及びR15の少なくとも1つは前記アルキル基を表し、Arは芳香族炭化水素環又は脂環式炭化水素環を表し、2つのカルボニル基はそれぞれ前記Arで表される環の隣接する2つの炭素原子と結合するものであり、Zは炭素原子数1乃至3のアルコキシ基を置換基として有してもよい炭素原子数1乃至6の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を表す。)
前記レジスト下層膜形成組成物は、架橋剤をさらに含むものである。前記架橋剤としては、例えば、ヘキサメトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルベンゾグアナミン、1,3,4,6−テトラキス(メトキシメチル)グリコールウリル(POWDERLINK〔登録商標〕1174)、1,3,4,6−テトラキス(ブトキシメチル)グリコールウリル、1,3,4,6−テトラキス(ヒドロキシメチル)グリコールウリル、1,3−ビス(ヒドロキシメチル)尿素、1,1,3,3−テトラキス(ブトキシメチル)尿素及び1,1,3,3−テトラキス(メトキシメチル)尿素が挙げられる。前記架橋剤の含有割合は、前記樹脂に対し、例えば1質量%乃至30質量%である。
前記レジスト下層膜形成組成物は、さらに有機酸を含むものである。前記有機酸は、架橋反応を促進する触媒成分であり、例えば、p−トルエンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、ピリジニウム−p−トルエンスルホネート、サリチル酸、カンファースルホン酸、5−スルホサリチル酸、4−クロロベンゼンスルホン酸、4−フェノールスルホン酸、4−フェノールスルホン酸メチル、ベンゼンジスルホン酸、1−ナフタレンスルホン酸、クエン酸、安息香酸、ヒドロキシ安息香酸等の、スルホン酸化合物及びカルボン酸化合物が挙げられる。これらの有機酸は単独で含有してもよいし、2種以上の組み合わせで含有することもできる。前記有機酸の含有割合は、前記架橋剤に対し、例えば0.1質量%乃至20質量%である。
前記レジスト下層膜形成組成物は、さらに溶剤を含むものである。前記溶剤としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、メチルエチルケトン、乳酸エチル、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、N−メチルピロリドン、及びこれらの溶剤から選択された2種以上の混合物が挙げられる。前記溶剤の割合は、前記レジスト下層膜形成組成物に対し、例えば50質量%乃至99.5質量%である。前記レジスト下層膜形成組成物用添加剤は上記溶剤を含有してもよく、その場合、当該溶剤の割合は、前記レジスト下層膜形成組成物用添加剤に対し、例えば50質量%乃至95質量%である。
前記レジスト下層膜形成組成物は、必要に応じて界面活性剤をさらに含有してもよい。界面活性剤は、基板に対する前記レジスト下層膜形成組成物の塗布性を向上させるための添加物であり、ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤のような公知の界面活性剤を用いることができる。前記界面活性剤の具体例としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、エフトップ〔登録商標〕EF301、同EF303、同EF352(三菱マテリアル電子化成(株)製)、メガファック〔登録商標〕F171、同F173、同R−30、同R−40、同R−40−LM(DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード〔登録商標〕AG710、サーフロン〔登録商標〕S−382、同SC101、同SC102、同SC103、同SC104、同SC105、同SC106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)を挙げることができる。これらの界面活性剤は単独で含有してもよいし、2種以上の組合せで含有することもできる。前記レジスト下層膜形成組成物が界面活性剤を含有する場合、前記界面活性剤の割合は、前記樹脂に対し、例えば0.1質量%乃至5質量%であり、好ましくは0.2質量%乃至3質量%である。
テレフタル酸ジグリシジルエステル(ナガセケムテックス(株)製、商品名:デナコール〔登録商標〕EX711)100.00g、5−ヒドロキシイソフタル酸(東京化成工業(株)製)63.32g、4−tert−ブチルフタル酸無水物(東京化成工業(株)製)15.97g及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド(東京化成工業(株)製)3.96gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル733.01gに加え溶解させた。反応容器を窒素置換後、135℃で4時間反応させ、ポリマーを含む溶液を得た。該ポリマーを含む溶液は、室温に冷却しても白濁等を生じることはなく、プロピレングリコールモノメチルエーテルに対する溶解性は良好である。得られたポリマーを含む溶液に対しGPC分析を行ったところ、当該溶液中のポリマーは、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量4095、分散度は1.36であった。本合成例で得られたポリマーは、下記式(6−7)で表される構造単位及び下記式(7−7)で表される構造単位を有すると共に、下記式(8−7)で表される構造をポリマー鎖の末端に有し、本発明のレジスト下層膜形成組成物に含まれる樹脂に該当する。
メタクリル酸2−(O−[1’−メチルプロピリデンアミノ]カルボキシアミノ)エチル10.00g(昭和電工(株)製、商品名:カレンズ〔登録商標〕MOI−BM)、ヒドロキシプロピルメタクリレート3.57g(東京化成工業(株)製)、及びトリフルオロエチルメタクリレート2.78g(大阪有機工業(株)製)にプロピレングリコールモノメチルエーテル38.23gを加えた後、フラスコ内を窒素にて置換し70℃まで昇温した。重合開始剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテル33.89gに溶解したアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)0.68gを前記フラスコ内に窒素加圧下添加し、24時間反応させ、下記式(1−2)で表される構造単位、下記式(5−1)で表される構造単位及び下記式(3−2)で表される構造単位を有する共重合体を含む溶液が得られた。得られた共重合体を含む溶液に対しGPC分析を行ったところ、当該溶液中の共重合体は、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量9465、分散度は2.37であった。本合成例で得られた共重合体は、本発明のレジスト下層膜形成組成物用添加剤に使用される共重合体に該当する。
メタクリル酸2−(O−[1’−メチルプロピリデンアミノ]カルボキシアミノ)エチル6.82g(昭和電工(株)製、商品名:カレンズ〔登録商標〕MOI−BM)、メタクリル酸1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロイソプロピル4.43g(東京化成工業(株)製)、アダマンチルメタクリレート6.20g(大阪有機工業(株)製)、及び前記特許文献5の合成例3によって得られた2−トシルエチルメタクリレート5.03gにプロピレングリコールモノメチルエーテル23.73gを加えた後、フラスコ内を窒素にて置換し70℃まで昇温した。重合開始剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテル38.51gに溶解したアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)0.77gを前記フラスコ内に窒素加圧下添加し、24時間反応させ、下記式(1−2)で表される構造単位、下記式(2−9)で表される構造単位、下記式(3−4)で表される構造単位及び下記式(4−2)で表される構造単位を有する共重合体を含む溶液が得られた。得られた共重合体を含む溶液のGPC分析を行ったところ、当該溶液中の共重合体は、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量10012、分散度は2.52であった。本合成例で得られた共重合体は、本発明のレジスト下層膜形成組成物用添加剤に使用される共重合体に該当する。
本明細書の合成例1で得られた、ポリマー0.14gを含む溶液0.87gに、上記合成例2で得られた、共重合体0.0021gを含む溶液0.12g、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、商品名:POWDERLINK〔登録商標〕1174)0.035g、及びピリジニウムp−トルエンスルホナート0.0043g(東京化成工業(株)製)を混合し、当該混合物にプロピレングリコールモノメチルエーテル5.04g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート13.86gを加え溶解させた。その後、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物とした。
上記合成例1で得られた、ポリマー0.14gを含む溶液0.87gに、上記合成例3で得られた、共重合体0.021gを含む溶液0.12g、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、商品名:POWDERLINK〔登録商標〕1174)0.035g、及びピリジニウムp−トルエンスルホナート0.0044g(東京化成工業(株)製)を混合し、当該混合物にプロピレングリコールモノメチルエーテル5.09g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート13.86gを加え溶解させた。その後孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物とした。
国際公開第2005/098542号に記載の合成例1により得られた、下記式(6−1)で表される構造単位及び下記式(7−1)で表される構造単位を有するポリマー0.21gを含む溶液1.17gに、上記合成例2で得られた、重合体0.031gを含む溶液0.19g、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、商品名:POWDERLINK〔登録商標〕1174)0.52g、及びp−トルエンスルホン酸(東京化成工業(株)製)0.0066gを混合し、当該混合物にプロピレングリコールモノメチルエーテル12.68g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート5.91gを加え溶解させた。その後孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物とした。
国際公開第2005/098542号に記載の合成例1により得られた、前記式(6−1)で表される構造単位及び前記式(7−1)で表される構造単位を有するポリマー0.21gを含む溶液1.17gに、上記合成例2で得られた、重合体0.031gを含む溶液0.18g、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、商品名:POWDERLINK〔登録商標〕1174)0.052g、及びp−トルエンスルホン酸(東京化成工業(株)製)0.0066gを混合し、プロピレングリコールモノメチルエーテル12.68g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート5.91gを加え溶解させた。その後孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物とした。
本明細書の合成例1で得られた、ポリマー0.16gを含む溶液0.97gに、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、商品名:POWDERLINK〔登録商標〕1174)0.039g及びピリジニウムp−トルエンスルホナート0.0049g(東京化成工業(株)製)を混合し、プロピレングリコールモノメチルエーテル5.12g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート13.86gを加え溶解させた。その後孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物とした。本比較例で調製されたレジスト下層膜形成組成物は、本発明のレジスト下層膜形成組成物用添加剤を含まない。
国際公開第2005/098542号に記載の合成例1により得られた、前記式(6−1)で表される構造単位及び前記式(7−1)で表される構造単位を有するポリマー0.16gを含む溶液0.87gに、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、商品名:POWDERLINK〔登録商標〕1174)0.039g、及びp−トルエンスルホン酸(東京化成工業(株)製)0.049gを混合し、プロピレングリコールモノメチルエーテル13.15g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート5.94gを加え溶解させた。その後孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物とした。本比較例で調製されたレジスト下層膜形成組成物は、本発明のレジスト下層膜形成組成物用添加剤を含まない。
実施例1乃至実施例4、比較例1及び比較例2で調製されたリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物を、それぞれ、スピナーにより、半導体基板であるシリコンウェハー上に塗布した。そのシリコンウェハーをホットプレート上に配置し、205℃で1分間ベークし、膜厚25nmのレジスト下層膜を形成した。これらのレジスト下層膜を、プロピレングリコールモノメチルエーテル70質量%及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート30質量%から成る溶剤に浸漬し、その溶剤に不溶であるか否かの確認実験を行った。その結果、浸漬前と浸漬後とで膜厚は変化しなかった。
実施例1乃至実施例4、比較例1及び比較例2で調製されたリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物を、それぞれ、スピナーにより、SiON膜が蒸着されたシリコンウェハーに塗布した。そのウェハーをホットプレート上に配置し、205℃で1分間ベークし、膜厚5nmのレジスト下層膜を形成した。これらのレジスト下層膜の上に、市販のフォトレジスト溶液(住友化学(株)製、商品名:PAR855)をスピナーにより塗布し、ホットプレート上で105℃にて60秒間加熱してフォトレジスト膜(膜厚0.10μm)を形成した。
Claims (7)
- 下記式(1)乃至式(4)で表される構造単位を有する共重合体を含むレジスト下層膜形成組成物用添加剤。
- 前記式(1)で表される構造単位は下記式(1a)で表される構造単位、下記式(1b)で表される構造単位、下記式(1c)で表される構造単位又は下記式(1d)で表される構造単位である請求項1又は請求項2に記載のレジスト下層膜形成組成物用添加剤。
- 下記式(1)、式(3)及び式(5)で表される構造単位を有する共重合体を含むレジスト下層膜形成組成物用添加剤。
- 前記共重合体の重量平均分子量は1500乃至20000である、請求項1乃至請求項4のうちいずれか一項に記載のレジスト下層膜形成組成物用添加剤。
- 請求項1乃至請求項5のうちいずれか一項に記載のレジスト下層膜形成組成物用添加剤、前記添加剤に使用される共重合体とは異なる、下記式(6)で表される構造単位及び下記式(7)で表される構造単位を有する樹脂、有機酸、架橋剤並びに溶剤を含み、前記添加剤に使用される共重合体の含有量は前記樹脂100質量部に対し3質量部乃至40質量部である、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物。
- 請求項6に記載のリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物を基板上に塗布しベークして厚さ1nm乃至25nmのレジスト下層膜を形成する工程、前記レジスト下層膜上にレジスト溶液を塗布し加熱してレジスト膜を形成する工程、フォトマスクを介して前記レジスト膜をKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー及び極端紫外線からなる群から選択される放射線により露光する工程、及び前記露光後に現像液によって現像する工程を含む、レジストパターンの形成方法。
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