JP6493839B2 - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Description
高ドーズのイオン注入が行われたウエハでは、レジストの炭化および変質によりレジストの表層が硬化するので、硬化層がレジストの表面に形成されていることがある。
そこで、本発明の目的は、基板の表面からレジストを良好に除去できる、基板処理方法および基板処理装置を提供することである。
請求項3に記載の発明は、前記生成工程は、前記基板から離れた位置で前記混合液と硫酸とを混合する工程である、請求項1または2に記載の基板処理方法である。
請求項4に記載の発明は、前記生成工程は、前記基板の表面で前記混合液と硫酸とを混合する工程である、請求項1または2に記載の基板処理方法である。
請求項5に記載の発明は、前記供給工程は、100℃以上の前記HF混合SPMを前記基板の表面に供給する工程を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理方法である。
請求項6に記載の発明は、表面にレジストが形成されている基板を保持する基板保持手段(5)と、前記基板保持手段に保持されている基板の表面に、硫酸、過酸化水素水、およびフッ酸の混合液であるHF混合SPMを供給するSPM供給手段(6、6a、6b)を備え、前記SPM供給手段は、過酸化水素水とフッ酸とを混合し、混合液を生成する混合手段(30、130)と、前記混合手段が過酸化水素水とフッ酸とを混合した後に、前記混合手段を通過した前記混合液を硫酸と混合し、HF混合SPMを生成するHF混合SPM生成手段(14、14a、14b)と、を含む、基板処理装置である。この構成によれば、ウエハ上のデバイスへのダメージを抑制しつつ、レジストを良好に除去することができる。
請求項10に記載の発明は、前記SPM供給手段は、100℃以上の前記HF混合SPMを前記基板の表面に供給する手段を含む、請求項6〜9のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
請求項11に記載の発明は、基板の表面からレジストを除去する基板処理方法であって、過酸化水素水とフッ酸とを混合し、混合液を生成する混合工程と、前記混合工程の後に、前記混合液と硫酸とを混合し、硫酸、過酸化水素水、およびフッ酸の混合液であるHF混合SPMを生成する生成工程と、前記HF混合SPMを前記基板の表面に供給する供給工程と、を含み、前記混合工程は、混合タンクに貯留されている前記混合液中に配置された気体吐出口から気体を吐出することにより、前記混合液中に気泡を発生させて、前記混合タンク内の前記混合液を撹拌するバブリング工程を含む、基板処理方法である。この方法によれば、気泡の発生により過酸化水素水およびフッ酸が均一に混合される。
請求項12に記載の発明は、表面にレジストが形成されている基板を保持する基板保持手段と、前記基板保持手段に保持されている基板の表面に、硫酸、過酸化水素水、およびフッ酸の混合液であるHF混合SPMを供給するSPM供給手段と、を備え、前記SPM供給手段は、過酸化水素水とフッ酸とを混合し、混合液を生成する混合手段と、前記混合手段が過酸化水素水とフッ酸とを混合した後に前記混合液と硫酸とを混合し、HF混合SPMを生成するHF混合SPM生成手段と、を含み、前記混合手段は、過酸化水素水およびフッ酸が個別に供給され、前記HF混合SPM生成手段に供給される前記混合液を貯留する混合タンクと、前記混合タンクに貯留されている前記混合液中に配置された気体吐出口から気体を吐出することにより、前記混合液中に気泡を発生させて、前記混合タンク内の前記混合液を撹拌するバブリングユニットと、を含む、基板処理装置である。この方法によれば、気泡の発生により過酸化水素水およびフッ酸が均一に混合される。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置1を示す模式的な平面図である。図2は、基板処理装置1に備えられたチャンバ4の内部を水平に見た模式図である。
図1に示すように、基板処理装置1は、半導体ウエハなどの円板状の基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。基板処理装置1は、基板Wを収容する複数のキャリアCを保持する複数のロードポートLPと、複数のロードポートLPから搬送された基板Wを処理液や処理ガスで処理する複数の処理ユニット2と、複数のロードポートLPと複数の処理ユニット2との間で基板Wを搬送する基板搬送ロボットIR、CRと、基板処理装置1を制御する制御装置3とを含む。
SPMノズル14は、たとえば、連続流の状態でSPM等を選択的に吐出するストレートノズルであり、たとえば基板Wの上面に垂直な方向に処理液を吐出する垂直姿勢で第1のノズルアーム15に取り付けられている。第1のノズルアーム15は、水平方向に延びており、スピンチャック5の周囲で鉛直方向に延びる第1の揺動軸線(図示しない)まわりに旋回可能に設けられている。
硫酸供給源から供給されるH2SO4と、過酸化水素供給源から供給されるH2O2と、フッ酸供給源から供給されるHFは、いずれも水溶液である。H2SO4の濃度は、たとえば90〜98%であり、H2O2の濃度は、たとえば30〜50%であり、HFの濃度は、たとえば47〜51%である。
フッ酸配管28には、混合部30にHFを供給するマイクロポンプ31が介装されている。マイクロポンプ31は、液体を下流に送る機能と、液体の流れを遮断する機能とを有している。マイクロポンプ31が駆動されると、温度調整されていない常温(約23℃)のHFが、フッ酸配管28を通して混合部30に供給される。マイクロポンプ31から混合部30に送られるHFの流量は、制御装置3によって制御される。マイクロポンプ31は、HFが混合部30に供給される供給状態と混合部30へのHFの供給が停止される供給停止状態とに切り替わるフッ酸切替手段の一例である。フッ酸切替手段は、フッ酸配管28を開閉するフッ酸バルブ32(図6参照)であってもよい。
混合部30に流入するH2O2およびHFの流量は、過酸化水素水流量調整バルブ23およびマイクロポンプ31によって調整される。H2O2の流量が300ml/min.の場合、HFの流量は、たとえば90μl/min.である。この例のように流量が互いに異なる場合でも、H2O2およびHFは、混合部30内で撹拌されることにより均一に混合される。
SPMノズル14の混合室に流入したH2SO4、H2O2、およびHFは、混合室で十分に撹拌混合される。この混合によって、H2SO4とH2O2とが均一に混ざり合い、H2SO4とH2O2との反応によってH2SO4およびH2O2の混合液(SPM)が生成される。これにより、HFを含むSPM、つまり、HF混合SPMが生成される。
SPM(H2SO4およびH2O2の混合液)を先に生成し、その後、ごく少量のHFをSPMに混入した場合、HFは、高温(100℃以上)のSPMに接触した瞬間に蒸発してしまう。そのため、HFが均一に分散したHF混合SPMが生成されない。しかし、前述のように、あらかじめHFとH2O2とを十分に混合しておくことにより、ごく微量のHF成分が均一に分散したHF混合SPMを生成することが可能となる。
図3に示すように、制御装置3は、たとえばマイクロコンピュータなどによって構成されている。制御装置3は、予め定められたプログラムに従って、スピンモータ13、ノズル移動ユニット16、ヒータ21等の動作を制御する。また、制御装置3は、硫酸バルブ19、過酸化水素水バルブ22、マイクロポンプ31、リンス液バルブ37等の開閉を制御するとともに、流量調整バルブ20,23,33のアクチュエータを制御して、当該流量調整バルブ20,23の開度を制御する。
処理ユニット2によって基板Wにレジスト除去処理が施されるときには、基板Wをチャンバ4内に搬入する搬入工程が行われる(ステップS1)。具体的には、制御装置3は、全てのノズル等がスピンチャック5の上方から退避している状態で、基板Wを保持している基板搬送ロボットCR(図1参照)のハンドをチャンバ4の内部に進入させることにより、基板Wをその表面が上方に向けられた状態でスピンチャック5の上に置く。その後、制御装置3は、スピンモータ13によって基板Wの回転を開始させる(ステップS2)。基板Wの回転速度は、予め定める処理回転速度(100〜500rpmの範囲内。たとえば約300rpm)まで上昇させられ、その処理回転速度に維持される。
SPMノズル14が基板Wの上方に配置された後、制御装置3は、硫酸バルブ19、過酸化水素水バルブ22を開き、さらにマイクロポンプ31を駆動させる。これにより、過酸化水素水配管18を流通するH2O2と、フッ酸配管28を流通するHFとが混合部30に流入し、混合液(HF混合H2O2)が生成される(混合工程)。さらに混合部30を通過した混合液と、硫酸配管17の内部を流通するH2SO4とがSPMノズル14に供給され、SPMノズル14の混合室においてH2SO4とH2O2とHFとが混合され、高温(たとえば、160℃)のHF混合SPMが生成される(生成工程)。そのHF混合SPMが、SPMノズル14の吐出口から吐出され、基板Wの上面に着液する(供給工程)。制御装置3は、第1のノズル移動ユニット16を制御することにより、この状態で基板Wの上面に対するHF混合SPMの着液位置を中央部と周縁部との間で移動させる。
これにより、表面に硬化層を有するレジストであっても、効果的に除去することが可能となる。レジスト表面の硬化層は、炭素を主成分とする有機物がイオン注入により硬化したものである。レジストが効果的に除去される理由は、HFには14族元素酸化物(SiO2等)を溶解する働きがあり、HF混合SPMに含まれるHFがレジスト表面の有機酸化物を効果的に除去したためであると考えられる。
さらに、制御装置3は、基板Wが回転している状態で、基板Wの上面に対するHF混合SPMの着液位置を中央部と周縁部との間で移動させるので、HF混合SPMの着液位置が、基板Wの上面全域を通過し、基板Wの上面全域が走査される。そのため、SPMノズル14から吐出されたHF混合SPMが、基板Wの上面全域に供給され、基板Wの上面全域が均一に処理される。
具体的には、制御装置3は、第1のノズル移動ユニット16を制御することにより、基板Wの上面中央部の上方にSPMノズル14を配置し、その後、過酸化水素水バルブ22を開いた状態に維持しつつ硫酸バルブ19を閉じる。それと同時に、制御装置3は、マイクロポンプ31を停止させる。これにより、H2O2だけが過酸化水素水配管18および混合液配管27の内部を流通してSPMノズル14に供給される。SPMノズル14に供給された過酸化水素水は、SPMノズル14の内部を通ってSPMノズル14の吐出口から吐出される。そのH2O2が、処理回転速度で回転している基板Wの上面中央部に着液する。すなわち、SPMノズル14から吐出される処理液が、HF混合SPMからH2O2に切り換わる。
過酸化水素水の吐出開始から予め定める過酸化水素水供給時間が経過すると、制御装置3は、過酸化水素水バルブ22を閉じて、SPMノズル14からのH2O2の吐出を停止させる。また、制御装置3は、第1のノズル移動ユニット16を制御することにより、SPMノズル14を処理位置からホーム位置に移動させる。これにより、SPMノズル14が基板Wの上方から退避する。
また、図4の処理例では、SPM処理工程(ステップS3)において、基板WをSPM処理速度(たとえば約300rpm)で回転させる場合について説明したが、SPM処理工程(ステップS3)の少なくとも一部の期間において、基板Wをパドル状態としてもよい。パドル状態とは、基板Wの上面が液膜で覆われており、かつ、基板が回転方向に静止しているまたは低回転速度(50rpm以下)で回転している状態を意味する。パドル状態では、基板W上からのSPMの排出が抑制されて基板Wの上面にSPMの液膜が保持される。基板Wがパドル状態のとき、基板Wに対するSPMの供給(SPMの吐出)を停止してもよい。
図5は、レジスト除去試験の条件および結果を示す図である。このレジスト除去試験は、SPM中のHFの濃度とレジスト除去性能との関係を確認するためのものである。
この試験で用いられた試料は、KrF(フッ化クリプトン)エキシマレーザ用レジストのパターンが表面全域に隙間なく形成され、このレジストパターンをマスクとしてAs(ヒ素)がドーズ量1×1016atoms/cm2、ドーズエネルギー40kevで表面にイオン注入された、直径300mmのシリコンウエハWである。
HFの濃度が違うHF混合SPMによって同様の処理を行った。この時のHF混合SPM中のHF濃度は以下の通りである。
データ1(100ppm)
データ2(1000ppm)
データ3(10000ppm)
<比較例>
前述の実施例において、HFが含まれないSPMで同様の処理を行った。
以上、この発明の一実施形態について説明したが、本発明は他の形態で実施することもできる。
前述の実施形態では、SPM供給ユニット6は混合部30によって混合された混合液をSPMノズル14に案内する混合液配管27を備えていたが、これに限るものではない。図6は他の実施形態に係るSPM供給ユニット6aを示す図である。なお、図6では図2と共通の機器には共通の番号を付し、その説明を省略する。
フッ酸配管28には、フッ酸配管28を開閉するフッ酸バルブ32と、HFの流量を変更するフッ酸流量調整バルブ33とが、混合タンク130側からこの順に介装されている。混合タンク130には、温度調整されていない常温(約23℃)のHFが、フッ酸配管28を通して供給される。
混合タンク130で生成されたHF混合H2O2は、混合液ポンプ131によってSPMノズル14に供給される。同様に、H2SO4は、硫酸配管17からSPMノズル14に供給される。SPMノズル14の混合室に流入したH2SO4、H2O2、およびHFは、混合室で十分に撹拌混合され、これによって、HF混合SPMが生成される。その後、HF混合SPMは、SPMノズル14から吐出され、基板W上に供給される。この実施形態に係るSPM供給ユニット6aでは、前述の実施形態よりもHF濃度の薄いH2O2/HF混合液を生成することが可能となる。その理由は、配管やバルブ内でH2O2およびHFを混合する場合に比べて、H2O2およびHFの割合を自由に変更できるからである。
SPM供給ユニット6bは、硫酸ノズル14a、およびH2O2/HFノズル14bを備える。硫酸ノズル14aは、基板Wに向けてH2SO4を吐出する。H2O2/HFノズル14bは、混合部30から供給されたH2O2/HF混合液を基板Wに向けて吐出する。H2O2/HFノズル14bは、混合タンク130から供給されたH2O2/HF混合液を基板Wに向けて吐出してもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
3 制御装置
5 スピンチャック(基板保持手段)
6 SPM供給ユニット(SPM供給手段)
14 SPMノズル(HF混合SPM生成手段)
14a 硫酸ノズル(HF混合SPM生成手段)
14b H2O2/HFノズル(HF混合SPM生成手段)
30 混合部(混合手段)
130 混合タンク(混合手段)
132 バブリングユニット(撹拌手段)
132a 気体吐出口
W 基板
Claims (12)
- 基板の表面からレジストを除去する基板処理方法であって、
混合手段にて過酸化水素水とフッ酸とを混合し、混合液を生成する混合工程と、
前記混合工程の後に、前記混合手段を通過した前記混合液を硫酸と混合し、硫酸、過酸化水素水、およびフッ酸の混合液であるHF混合SPMを生成する生成工程と、
前記HF混合SPMを前記基板の表面に供給する供給工程と、を含む、基板処理方法。 - 前記混合工程で混合される過酸化水素水およびフッ酸は、いずれも常温である、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記生成工程は、前記基板から離れた位置で前記混合液と硫酸とを混合する工程である、請求項1または2に記載の基板処理方法。
- 前記生成工程は、前記基板の表面で前記混合液と硫酸とを混合する工程である、請求項1または2に記載の基板処理方法。
- 前記供給工程は、100℃以上の前記HF混合SPMを前記基板の表面に供給する工程を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 表面にレジストが形成されている基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持されている基板の表面に、硫酸、過酸化水素水、およびフッ酸の混合液であるHF混合SPMを供給するSPM供給手段と、を備え、
前記SPM供給手段は、
過酸化水素水とフッ酸とを混合し、混合液を生成する混合手段と、
前記混合手段が過酸化水素水とフッ酸とを混合した後に、前記混合手段を通過した前記混合液を硫酸と混合し、HF混合SPMを生成するHF混合SPM生成手段と、を含む、基板処理装置。 - 前記混合手段は、過酸化水素水およびフッ酸が個別に供給され、前記HF混合SPM生成手段に供給される前記混合液を貯留する混合タンクを含む、請求項6に記載の基板処理装置。
- 前記混合手段は、前記混合タンク内の前記混合液を撹拌する撹拌手段をさらに含む、請求項7に記載の基板処理装置。
- 前記混合手段は、過酸化水素水と、前記過酸化水素水よりも少量のフッ酸とを混合し、 前記HF混合SPM生成手段は、硫酸と、前記硫酸よりも少量の前記混合液とを混合する、請求項6〜8のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記SPM供給手段は、100℃以上の前記HF混合SPMを前記基板の表面に供給する手段を含む、請求項6〜9のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 基板の表面からレジストを除去する基板処理方法であって、
過酸化水素水とフッ酸とを混合し、混合液を生成する混合工程と、
前記混合工程の後に、前記混合液と硫酸とを混合し、硫酸、過酸化水素水、およびフッ酸の混合液であるHF混合SPMを生成する生成工程と、 前記HF混合SPMを前記基板の表面に供給する供給工程と、を含み、
前記混合工程は、混合タンクに貯留されている前記混合液中に配置された気体吐出口から気体を吐出することにより、前記混合液中に気泡を発生させて、前記混合タンク内の前記混合液を撹拌するバブリング工程を含む、基板処理方法。 - 表面にレジストが形成されている基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持されている基板の表面に、硫酸、過酸化水素水、およびフッ酸の混合液であるHF混合SPMを供給するSPM供給手段と、を備え、
前記SPM供給手段は、
過酸化水素水とフッ酸とを混合し、混合液を生成する混合手段と、
前記混合手段が過酸化水素水とフッ酸とを混合した後に前記混合液と硫酸とを混合し、HF混合SPMを生成するHF混合SPM生成手段と、を含み、 前記混合手段は、過酸化水素水およびフッ酸が個別に供給され、前記HF混合SPM生成手段に供給される前記混合液を貯留する混合タンクと、前記混合タンクに貯留されている前記混合液中に配置された気体吐出口から気体を吐出することにより、前記混合液中に気泡を発生させて、前記混合タンク内の前記混合液を撹拌するバブリングユニットと、を含む、基板処理装置。
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