JP6486479B2 - 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム、および供給系 - Google Patents
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Description
基板に対し、主元素が同一でありハロゲン元素が異なるか、主元素が異なりハロゲン元素が同一であるか、主元素が異なりハロゲン元素も異なる2種類以上のハロゲン系原料を、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給する工程と、
前記基板に対し、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有する技術が提供される。
以下、本発明の一実施形態について図1〜図3を参照しながら説明する。
図1に示すように、処理炉202は加熱機構(温度調整部)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、後述するようにガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、基板上に膜を形成するシーケンス例について、図4(a)を用いて説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
基板としてのウエハ200に対し、主元素が同一でありハロゲン元素が異なるか、主元素が異なりハロゲン元素が同一であるか、主元素が異なりハロゲン元素も異なる2種類以上のハロゲン系原料として、TiCl4ガスとTiI4ガスとを、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給するステップ1と、
ウエハ200に対し、2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体としてNH3ガスを供給するステップ2と、
を含むサイクルを所定回数(1回以上)行うことで、ウエハ200上に、TiおよびNを含む膜としてチタン窒化膜(TiN膜)を形成する。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、シャッタ開閉機構115sによりシャッタ219sが移動させられて、マニホールド209の下端開口が開放される(シャッタオープン)。その後、図1に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内へ搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。
処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気(減圧排気)される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される。真空ポンプ246は、少なくとも後述する成膜処理が終了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内のウエハ200が所望の成膜温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくとも後述する成膜処理が終了するまでの間は継続して行われる。また、回転機構267によるボート217およびウエハ200の回転を開始する。回転機構267によるボート217およびウエハ200の回転は、少なくとも後述する成膜処理が終了するまでの間は継続して行われる。
その後、次の2つのステップ、すなわち、ステップ1,2を順次実施する。
このステップでは、処理室201内のウエハ200に対し、TiCl4ガスとTiI4ガスとを、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップ(重複)させて供給する。図4(a)に示す成膜シーケンスは、TiCl4ガスとTiI4ガスとを、それらの供給期間の全てを互いにオーバーラップさせて供給する場合を示している。すなわち、ウエハ200に対するTiCl4ガスの供給とウエハ200に対するTiI4ガスの供給とを同時に開始し、その後、ウエハ200に対するTiCl4ガスの供給とウエハ200に対するTiI4ガスの供給とを同時に停止するようにしている。
ステップ1が終了した後、処理室201内のウエハ200、すなわち、ウエハ200上に形成された第1層に対してNH3ガスを供給する。
上述したステップ1,2を非同時に、すなわち、同期させることなく行うサイクルを所定回数(n回)実施することにより、ウエハ200上に、所定組成および所定厚さのTiN膜を形成することができる。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、1サイクルあたりに形成される第2層の厚さを所望の膜厚よりも小さくし、第2層を積層することで形成されるTiN膜の膜厚が所望の膜厚になるまで、上述のサイクルを複数回繰り返すのが好ましい。
成膜ステップが終了したら、ガス供給管232d,232eのそれぞれからN2ガスを処理室201内へ供給し、排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用する。これにより、処理室201内がパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物が処理室201内から除去される(アフターパージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、マニホールド209の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態でマニホールド209の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。ボートアンロードの後は、シャッタ219sが移動させられ、マニホールド209の下端開口がOリング220cを介してシャッタ219sによりシールされる(シャッタクローズ)。処理済のウエハ200は、反応管203の外部に搬出された後、ボート217より取り出されることとなる(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果が得られる。
本実施形態における成膜処理のシーケンスは、図4(a)に示す態様に限定されず、以下に示す変形例のように変更することができる。
以下に示す成膜シーケンスのように、2種類以上のハロゲン系原料として、TiCl4ガスとTiBr4ガスとを用いるようにしてもよい。この場合も、ウエハ200上には、TiN膜が形成されることとなる。TiN膜の仕事関数は、ハロゲン系原料としてTiCl4ガスを単体で用いた場合には大きく、TiBr4ガスを単体で用いた場合には小さくなる傾向がある。また、Brは、Iと同様にClに比べて第1層から脱離しやすく、TiN膜中に残留しにくい特性がある。そのため、本変形例によっても、図4(a)に示す成膜シーケンスと同様の効果が得られる。
2種類以上のハロゲン系原料として、主元素が異なりハロゲン元素が同一であるガスを用いるようにしてもよい。例えば、図4(b)および以下に示す成膜シーケンスのように、2種類以上のハロゲン元素として、TiCl4ガスとBCl3ガスとを用いるようにしてもよい。この場合、ウエハ200上には、Ti、BおよびNを含む膜、すなわち、チタン硼窒化膜(TiBN膜)が形成されることとなる。また、以下に示す成膜シーケンスのように、2種類以上のハロゲン元素として、TiCl4ガスとHfCl4ガスとを用いるようにしてもよい。この場合、ウエハ200上には、Ti、HfおよびNを含むチタンハフニウム窒化膜(TiHfN膜)が形成されることとなる。TiBN膜をBが添加(ドープ)されたTiN膜と称することもできる。TiHfN膜をHfが添加(ドープ)されたTiN膜と称することもできる。
2種類以上のハロゲン系原料として、主元素が異なりハロゲン元素も異なるガスを用いるようにしてもよい。例えば、図4(c)および以下に示す成膜シーケンスのように、2種類以上のハロゲン元素として、TiCl4ガスとBBr3ガスとを用いるようにしてもよい。この場合、ウエハ200上には、TiBN膜が形成されることとなる。また、以下に示す成膜シーケンスのように、2種類以上のハロゲン元素として、TiBr4ガスとHfCl4ガスとを用いるようにしてもよい。この場合、ウエハ200上には、TiHfN膜が形成されることとなる。
第1原料と第2原料との供給比率を、サイクル毎に変化させるようにしてもよい。すなわち、第1原料の供給量および第2原料の供給量のうち少なくともいずれかを、サイクル毎に増加させたり減少させたりするようにしてもよい。
2種類以上のハロゲン系原料のうち少なくともいずれかの原料の供給タイミングを、サイクル毎に(例えば1サイクルおきに)変化させるようにしてもよい。図5(d)に示す成膜シーケンスは、特定のサイクルで、第1原料の供給タイミングを第2原料の供給タイミングよりも遅らせる例を示している。
第1原料の供給量および第2原料の供給量を、それぞれ、サイクル毎に変化させるようにしてもよい。
第1原料の供給タイミングと、第2原料の供給タイミングとを、サイクル内で異ならせるようにしてもよい。例えば、第1原料の供給開始のタイミングと、第2原料の供給開始のタイミングとを、サイクル内で異ならせるようにしてもよい。また例えば、第1原料の供給停止のタイミングと、第2原料の供給停止のタイミングとを、サイクル内で異ならせるようにしてもよい。そして、第1原料の供給時間と、第2原料の供給時間とを、サイクル内で異ならせるようにしてもよい。
第1原料の供給流量および第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、サイクル内で変化させるようにしてもよい。
第1原料、第2原料および反応体のうちいずれかを間欠的に供給するようにし、他を連続的に供給するようにしてもよい。
第1原料および第2原料のうちいずれかの原料の供給期間中に他方の原料を間欠的に供給するようにしてもよい。図11は、第2原料および反応体をそれぞれ間欠的に供給し、かつ、第1原料を第2原料の供給期間中に間欠的に供給する例を示している。本変形例によれば、ステップ1において処理室201内へ供給された第1原料と、ステップ1の開始時点で処理室201内に吸着している反応体と、の反応による副生成物の生成を穏やかにすることが可能となる。結果として、ウエハ200上に形成する膜の膜質を向上させることが可能となる。
第1原料と第2原料とをそれぞれの供給期間をオーバーラップさせずに供給してもよい。例えば、図12(a)に示すように、第2原料の供給を第1原料の供給終了後に行うようにしてもよい。このようにしても、図8(b)に示す成膜シーケンスと同様の効果が得られる。また例えば、図12(b)に示すように、第2原料の供給を第1原料の供給開始前と供給終了後とにそれぞれ行うようにしてもよい。このようにしても、図8(a)に示す成膜シーケンスと同様の効果が得られる。なお、図12(b)の成膜シーケンスによれば、第2原料の供給を1サイクルあたりに2回に分けて行うことから、ウエハ200上への第2原料の吸着量を微調整することが容易となる。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。但し、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
基板に対し、主元素が同一でありハロゲン元素が異なるか、主元素が異なりハロゲン元素が同一であるか、主元素が異なりハロゲン元素も異なる2種類以上のハロゲン系原料を、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップ(重複、同期)させて供給する工程と、
前記基板に対し、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造(分子構造)が異なる反応体を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数(1回以上)行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法、または、基板処理方法が提供される。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記2種類以上のハロゲン系原料のうち所定の第1原料と、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち前記第1原料とは種類の異なる第2原料と、の供給比率を、前記サイクル毎に変化させる(前記第1原料の前記第2原料に対する供給比率を増加あるいは減少させる)。
付記2に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1原料の供給量および前記第2原料の供給量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル毎に変化させる。
付記3に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1原料の供給流量および前記第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル毎に変化させる。
付記3に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1原料の供給時間および前記第2原料の供給時間のうち少なくともいずれかを、前記サイクル毎に変化させる。
付記1乃至5のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記2種類以上のハロゲン系原料のうち少なくともいずれかの原料(第1原料および/または第2原料)の供給タイミングを、前記サイクル毎に変化させる。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記2種類以上のハロゲン系原料のうち所定の第1原料の供給タイミングと、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち前記第1原料とは種類の異なる第2原料の供給タイミングとを、前記サイクル内で異ならせる。
付記7に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1原料の供給開始のタイミングと、前記第2原料の供給開始のタイミングとを、前記サイクル内で異ならせる。
付記7に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1原料の供給停止のタイミングと、前記第2原料の供給停止のタイミングとを、前記サイクル内で異ならせる。
付記7に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1原料の供給時間と、前記第2原料の供給時間とを、前記サイクル内で異ならせる。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記2種類以上のハロゲン系原料のうち所定の第1原料の供給流量、および、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち前記第1原料とは種類の異なる第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル内で変化させる。
付記11に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1原料の供給流量、および、前記第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル内で徐々に増加させる。
付記11に記載の方法であって、好ましくは、
前記第1原料の供給流量、および、前記第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル内で徐々に減少させる。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記サイクルでは、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち所定の第1原料、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち前記第1原料とは種類の異なる第2原料、および、前記反応体のうちいずれかを連続的に(それ以外を間欠的に)供給する。
付記14に記載の方法であって、好ましくは、
前記サイクルでは、前記第1原料および前記第2原料のうちいずれかを連続的に供給し、前記反応体を間欠的に供給する。
付記14に記載の方法であって、好ましくは、
前記サイクルでは、前記第1原料および前記第2原料をそれぞれ間欠的に供給し、前記反応体を連続的に供給する。
付記1乃至16のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記サイクルは、前記基板を処理室内に収容した状態で行われ、
前記原料を供給する工程では、前記2種類以上のハロゲン系原料を混合させてから前記処理室内へ供給する。
付記2乃至17のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記基板上における前記第1原料の吸着量と前記第2原料の吸着量との比率を制御することで、前記膜の組成比および仕事関数のうち少なくともいずれかを調整する。
本発明の他の態様によれば、
基板を収容する処理室と、
前記処理室内の基板に対し、主元素が同一でありハロゲン元素が異なるか、主元素が異なりハロゲン元素が同一であるか、主元素が異なりハロゲン元素も異なる2種類以上のハロゲン系原料を供給する第1供給系と、
前記処理室内の基板に対し、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体を供給する第2供給系と、
前記処理室内において、基板に対して前記2種類以上のハロゲン系原料をそれらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給する処理と、前記基板に対して反応体を供給する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行わせるように、前記第1供給系および前記第2供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板に対し、主元素が同一でありハロゲン元素が異なるか、主元素が異なりハロゲン元素が同一であるか、主元素が異なりハロゲン元素も異なる2種類以上のハロゲン系原料を、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給する手順と、
前記基板に対し、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体を供給する手順と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する手順を、コンピュータに実行させるプログラム、または、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板に対し、主元素が同一でありハロゲン元素が異なるか、主元素が異なりハロゲン元素が同一であるか、主元素が異なりハロゲン元素も異なる2種類以上のハロゲン系原料を供給する第1供給系と、
基板に対し、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体を供給する第2供給系と、を有し、
前記第1供給系により、基板に対して前記2種類以上のハロゲン系原料を、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給する処理と、前記第2供給系により、前記基板に対して前記反応体を供給する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行わせるように制御される供給系が提供される。
200 ウエハ(基板)
201 処理室
202 処理炉
203 反応管
207 ヒータ
231 排気管
232a〜232e ガス供給管
Claims (20)
- 基板に対し、ノンプラズマの雰囲気下で、主元素が同一でありハロゲン元素が異なる2種類以上のハロゲン系原料を、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給する工程と、
前記基板に対し、ノンプラズマの雰囲気下で、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体を供給する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法。 - 前記2種類以上のハロゲン系原料のうち所定の第1原料と、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち前記第1原料とは種類の異なる第2原料と、の供給比率を、前記サイクル毎に変化させる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料の供給量および前記第2原料の供給量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル毎に変化させる請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料の供給流量および前記第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル毎に変化させる請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料の供給時間および前記第2原料の供給時間のうち少なくともいずれかを、前記サイクル毎に変化させる請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記2種類以上のハロゲン系原料のうち少なくともいずれかの原料の供給タイミングを、前記サイクル毎に変化させる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記2種類以上のハロゲン系原料のうち所定の第1原料の供給タイミングと、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち前記第1原料とは種類の異なる第2原料の供給タイミングとを、前記サイクル内で異ならせる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料の供給開始のタイミングと、前記第2原料の供給開始のタイミングとを、前記サイクル内で異ならせる請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料の供給停止のタイミングと、前記第2原料の供給停止のタイミングとを、前記サイクル内で異ならせる請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料の供給時間と、前記第2原料の供給時間とを、前記サイクル内で異ならせる請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記2種類以上のハロゲン系原料のうち所定の第1原料の供給流量、および、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち前記第1原料とは種類の異なる第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル内で変化させる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料の供給流量、および、前記第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル内で徐々に増加させる請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料の供給流量、および、前記第2原料の供給流量のうち少なくともいずれかを、前記サイクル内で徐々に減少させる請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルでは、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち所定の第1原料、前記2種類以上のハロゲン系原料のうち前記第1原料とは種類の異なる第2原料、および、前記反応体のうちいずれかを連続的に供給する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルでは、前記第1原料および前記第2原料のうちいずれかを連続的に供給し、前記反応体を間欠的に供給する請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルでは、前記第1原料および前記第2原料をそれぞれ間欠的に供給し、前記反応体を連続的に供給する請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルは、前記基板を処理室内に収容した状態で行われ、
前記原料を供給する工程では、前記2種類以上のハロゲン系原料を、ガス混合室内で混合させてから前記処理室内へ供給する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 基板を収容する処理室と、
前記処理室内の基板に対し、主元素が同一でありハロゲン元素が異なる2種類以上のハロゲン系原料を供給する第1供給系と、
前記処理室内の基板に対し、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体を供給する第2供給系と、
前記処理室内において、基板に対し、ノンプラズマの雰囲気下で、前記2種類以上のハロゲン系原料をそれらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給する処理と、前記基板に対し、ノンプラズマの雰囲気下で、反応体を供給する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行わせるように、前記第1供給系および前記第2供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の処理室内において、
基板に対し、ノンプラズマの雰囲気下で、主元素が同一でありハロゲン元素が異なる2種類以上のハロゲン系原料を、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給する手順と、
前記基板に対し、ノンプラズマの雰囲気下で、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体を供給する手順と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する手順を、コンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。 - 基板に対し、主元素が同一でありハロゲン元素が異なる2種類以上のハロゲン系原料を供給する第1供給系と、
基板に対し、前記2種類以上のハロゲン系原料とは化学構造が異なる反応体を供給する第2供給系と、を有し、
前記第1供給系により、基板に対し、ノンプラズマの雰囲気下で、前記2種類以上のハロゲン系原料を、それらの供給期間の少なくとも一部をオーバーラップさせて供給する処理と、前記第2供給系により、前記基板に対し、ノンプラズマの雰囲気下で、前記反応体を供給する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に膜を形成する処理を行わせるように制御される供給系。
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