JP6485536B1 - エピタキシャルウェーハの製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エピタキシャルウェーハの製造装置1の反応室111からの排気量を、反応室においてエピタキシャル成膜処理を行っている場合には第1排気量に制御し、ゲートバルブ114を開いて反応室とウェーハ移載室12との間でウェーハWFを投入又は取り出す場合には、第1排気量より小さい第2排気量に制御し、反応室にてエピタキシャル成膜処理を終了したのち、反応室のガスのパージ処理が終了するまでは、第1排気量より大きい第3排気量に制御する。
【選択図】 図3
Description
前記反応室と連通するウェーハ移載室と、
前記反応室と前記移載室との連通部に設けられ反応室と移載室とのガスの流通を開閉するゲートバルブと、
前記ウェーハ移載室に設けられ、処理前のウェーハを前記移載室から前記反応室に投入し、処理後のウェーハを前記反応室から前記ウェーハ移載室へ取り出すウェーハ移載手段と、
前記ウェーハ移載室から前記反応室へ前記ウェーハを投入し、前記反応室においてエピタキシャル成膜処理を行ったのち、前記反応室から前記ウェーハ移載室へ前記ウェーハを取り出す制御を実行する第1制御手段と、
前記ウェーハ移載室のガスを排気する第1排気手段と、
前記反応室のガスを排気する第2排気手段と、
前記第1排気手段及び前記第2排気手段による排気量を制御する第2制御手段と、を備え、
前記第2制御手段は、
前記第1排気手段による排気量を所定の範囲に制御するとともに、
前記第1制御手段によるエピタキシャル膜の成長工程の制御信号を入力し、当該制御信号に基づいて、
前記第2排気手段による排気量を、
前記反応室においてエピタキシャル成膜処理を行っている場合には、第1排気量に制御し、
前記ゲートバルブを開いて前記反応室と前記ウェーハ移載室との間で前記ウェーハを投入又は取り出す場合には、前記第1排気量より小さく、かつ、前記第1排気手段による排気量以上の第2排気量に制御し、
前記反応室にてエピタキシャル成膜処理を終了したのち、前記反応室のガスのパージ処理が終了するまでは、前記第1排気量より大きい第3排気量に制御するエピタキシャルウェーハの製造装置である。
前記反応室にてエピタキシャル成膜処理を終了し、前記反応室のガスのパージ処理が終了した時点から、前記ゲートバルブを開いて前記ウェーハを前記ウェーハ移載室へ取り出す時点までの間は、前記第2排気手段による排気量を、前記第1排気量又は第2排気量に制御することがより好ましい。
前記第1排気量による排気圧は、−0.4〜−0.6kPa、
前記第2排気量による排気圧は、0〜−0.3kPa、
前記第3排気量による排気圧は、−0.7kPa以上とすることができる。
前記第1排気手段による前記ウェーハ移載室からのガスの排気量を制御することにより、前記ウェーハ移載室の圧力を所定の範囲に制御し、
前記第2排気手段による前記反応室からのガスの排気量を制御することにより、前記反応室の圧力を制御するとともに、
前記反応室の圧力を、
前記反応室においてエピタキシャル成膜処理を行っている場合には、第1圧力に制御し、
前記ゲートバルブを開いて前記反応室と前記ウェーハ移載室との間で前記ウェーハを投入又は取り出す場合には、前記第1圧力より高く、かつ、前記ウェーハ移載室の圧力以下である第2圧力に制御し、
前記反応室にてエピタキシャル成膜処理を終了したのち、前記反応室のガスのパージ処理が終了するまでは、前記第1圧力より低い第3圧力に制御するエピタキシャルウェーハの製造方法である。
。なお、本実施形態のエピタキシャルウェーハの製造装置1においては、第3コントローラ124によるスクラバ123の排気量の制御は、図3のスクラバ123(第1排気手段)の目標排気量のグラフに示すように、当該排気量が所定の範囲に入るように(多少の誤差はあってもよい)、すなわち一定量になるように制御されるものとする。また、反応室111に接続されたスクラバ115による排気量は、第1排気量、第2排気量及び第3排気量という3水準の排気量の設定が可能とされ、図3に示すように第2排気量<第1排気量<第3排気量の関係とされている。さらに特に限定はされないが、これら3水準の排気量の設定により、ウェーハ移載室12の圧力に対する反応室111の圧力の差は、スクラバ123で制御される排気量による排気圧を基準にすると、第1排気量による排気圧は、−0.4〜−0.6kPa、第2排気量による排気圧は、0〜−0.3kPa、第3排気量による排気圧は、−0.7kPa以上となるように設定されている。
が、エピタキシャル膜の成膜処理後の水素ガスパージの処理信号である場合はステップS9へ進む。この水素ガスパージ信号が入力されたということは、未だゲートバルブ114が閉じている状態である。ステップS9において、第2コントローラ116は、スクラバ115による排気量が第3排気量になるように循環ポンプの循環水量を増加させる。これにより、図3の時間t3〜t4に示すように、反応室111からの排気量が増加することで、反応室111内で発生したパーティクルなどの塵埃が、ウェーハWFに付着することなく、スクラバ115を介して反応室111外へ排出することができる。
11…反応炉
111…反応室
112…サセプタ
113…ガス供給装置
114…ゲートバルブ
115…スクラバ
116…第2コントローラ
12…ウェーハ移載室
121…ウェーハハンドリングロボット
122…ロボットコントローラ
123…スクラバ
124…第3コントローラ
13…ロードロック室
14…ファクトリインターフェース
15…カセットケース
16…第1コントローラ
WF…ウェーハ
Claims (5)
- ウェーハにエピタキシャル膜を成長させる反応室と、
前記反応室と連通するウェーハ移載室と、
前記反応室と前記ウェーハ移載室との連通部に設けられ反応室とウェーハ移載室とのガスの流通を開閉するゲートバルブと、
前記ウェーハ移載室に設けられ、処理前のウェーハを前記ウェーハ移載室から前記反応室に投入し、処理後のウェーハを前記反応室から前記ウェーハ移載室へ取り出すウェーハ移載手段と、
前記ウェーハ移載室から前記反応室へ前記ウェーハを投入し、前記反応室においてエピタキシャル成膜処理を行ったのち、前記反応室から前記ウェーハ移載室へ前記ウェーハを取り出す制御を実行する第1制御手段と、
前記ウェーハ移載室のガスを排気する第1排気手段と、
前記反応室のガスを排気する第2排気手段と、
前記第1排気手段及び前記第2排気手段による排気量を制御する第2制御手段と、を備え、
前記第2制御手段は、
前記第1排気手段による排気量を所定の範囲に制御するとともに、
前記第1制御手段によるエピタキシャル膜の成長工程の制御信号を入力し、当該制御信号に基づいて、
前記第2排気手段による排気量を、
前記反応室においてエピタキシャル成膜処理を行っている場合には、第1排気量に制御し、
前記ゲートバルブを開いて前記反応室と前記ウェーハ移載室との間で前記ウェーハを投入又は取り出す場合には、前記第1排気量より小さく、かつ、前記第1排気手段による排気量以上の第2排気量に制御し、
前記反応室にてエピタキシャル成膜処理を終了したのち、前記反応室のガスのパージ処理が終了するまでは、前記第1排気量より大きい第3排気量に制御するエピタキシャルウェーハの製造装置。 - 前記第2制御手段は、
前記反応室にてエピタキシャル成膜処理を終了し、前記反応室のガスのパージ処理が終了した時点から、前記ゲートバルブを開いて前記ウェーハを前記ウェーハ移載室へ取り出す時点までの間は、前記第2排気手段による排気量を、前記第1排気量又は第2排気量に制御する請求項1に記載のエピタキシャルウェーハの製造装置。 - 前記第1排気手段で制御される排気量による排気圧を基準とする、
前記第1排気量による排気圧は、−0.4〜−0.6kPa、
前記第2排気量による排気圧は、0〜−0.3kPa、
前記第3排気量による排気圧は、−0.7kPa以上である請求項1又は2に記載のエピタキシャルウェーハの製造装置。 - ウェーハにエピタキシャル膜を成長させる反応室と、前記反応室と連通するウェーハ移載室と、前記反応室と前記ウェーハ移載室との連通部に設けられ反応室とウェーハ移載室とのガスの流通を開閉するゲートバルブと、前記ウェーハ移載室に設けられ、処理前のウェーハを前記ウェーハ移載室から前記反応室に投入し、処理後のウェーハを前記反応室から前記ウェーハ移載室へ取り出すウェーハ移載手段と、前記ウェーハ移載室のガスを排気する第1排気手段と、前記反応室のガスを排気する第2排気手段と、を備えるエピタキシャルウェーハの製造装置を用いたエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記第1排気手段による前記ウェーハ移載室からのガスの排気量を制御することにより、前記ウェーハ移載室の圧力を所定の範囲に制御し、
前記第2排気手段による前記反応室からのガスの排気量を制御することにより、前記反応室の圧力を制御するとともに、
前記反応室の圧力を、
前記反応室においてエピタキシャル成膜処理を行っている場合には、第1圧力に制御し、
前記ゲートバルブを開いて前記反応室と前記ウェーハ移載室との間で前記ウェーハを投入又は取り出す場合には、前記第1圧力より高く、かつ、前記ウェーハ移載室の圧力以下である第2圧力に制御し、
前記反応室にてエピタキシャル成膜処理を終了したのち、前記反応室のガスのパージ処理が終了するまでは、前記第1圧力より低い第3圧力に制御するエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記反応室にてエピタキシャル成膜処理を終了し、前記反応室のガスのパージ処理が終了した時点から、前記ゲートバルブを開いて前記ウェーハを前記ウェーハ移載室へ取り出す時点までの間は、前記反応室の圧力を、前記第1圧力又は前記第2圧力に制御する請求項4に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
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